晶圆检视装置.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 202020905124.5 (22)申请日 2020.05.26 (30)优先权数据 109206105 2020.05.19 TW (73)专利权人 桔云科技股份有限公司 地址 中国台湾新竹县竹北市溪州路150号 (72)发明人 洪成都林仲政 (74)专利代理机构 北京中原华和知识产权代理 有限责任公司 11019 代理人 寿宁张琳 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) (54)实用新型名称 晶圆检视装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种晶圆检视装。

2、置， 用以 检视晶圆， 其借由非接触式检测器投射光至放置 于载台上的该晶圆， 并借由该非接触式检测器与 该晶圆的相对运动， 以利于该非接触式检测器对 该晶圆进行检视。 权利要求书1页 说明书3页 附图6页 CN 212303609 U 2021.01.05 CN 212303609 U 1.一种晶圆检视装置， 用以检视晶圆， 其特征在于， 该晶圆检视装置， 包含： 载台， 用以放置该晶圆； 以及 非接触式检测器， 用以投射光至放置于该载台上的该晶圆的表面， 该非接触式检测器 与放置于该载台的该晶圆能相对运动。 2.根据权利要求1所述的晶圆检视装置， 其特征在于， 该光为光束， 该光束在该表面形。

3、 成光斑， 且该光斑随着该非接触式检测器与该晶圆的相对运动， 在该表面形成光轨迹。 3.根据权利要求1所述的晶圆检视装置， 其特征在于， 该非接触式检测器与该晶圆的相 对运动为相对转动或相对线性运动。 4.根据权利要求1或2所述的晶圆检视装置， 其特征在于， 还包含驱动件， 该驱动件用以 驱动该载台运动。 5.根据权利要求1所述的晶圆检视装置， 其特征在于， 该非接触式检测器为光传感器。 6.根据权利要求1所述的晶圆检视装置， 其特征在于， 该载台具有多个限位柱， 该多个 限位柱圈围成置放空间， 该置放空间用以放置该晶圆， 以使该晶圆被限位于该多个限位柱 之间。 7.根据权利要求1所述的晶圆检。

4、视装置， 其特征在于， 还包含支架， 该非接触式检测器 设置于该支架， 该非接触式检测器可在该支架上位移。 8.根据权利要求7所述的晶圆检视装置， 其特征在于， 该支架包含本体及滑动件， 该滑 动件滑动地结合于该本体， 该非接触式检测器设置于该滑动件， 该滑动件可沿着该本体的 轨道移动。 9.根据权利要求8所述的晶圆检视装置， 其特征在于， 该本体为柱状、 环状或弧状导柱。 10.根据权利要求1所述的晶圆检视装置， 其特征在于， 该晶圆检视装置设置于晶圆清 洗机。 权利要求书 1/1 页 2 CN 212303609 U 2 晶圆检视装置 技术领域 0001 本实用新型涉及一种晶圆检视装置， 。

5、尤其是涉及一种设置于晶圆清洗机的晶圆检 视装置。 背景技术 0002 在晶圆制程中会对晶圆进行表面清洗制程， 其是将晶圆放置于载台， 并借由冲洗 装置对该晶圆进行清洗制程， 以去除残留在该晶圆上的废弃颗粒或化学制剂， 然而当该晶 圆被倾斜的放置于该载台上时， 使得该载台与该晶圆间产生间隙， 因此当该冲洗装置以水 柱冲洗该晶圆时， 水柱的冲击力将造成该晶圆破裂， 或者发生该晶圆被水柱冲离该载台的 情形。 0003 或者， 在不同的晶圆制程中， 若必需对该晶圆进行薄化制程， 经研磨晶背后的晶圆 若发生厚度不均的情形时， 将影响后续切割等制程， 因此在薄化制程后， 必需对该晶圆厚度 进行检视， 以检。

6、视出厚度不均的晶圆。 0004 此外， 在晶圆制程中， 若发生晶圆翘曲的情形， 将影响后续切割等制程， 因此必需 对该晶圆进行检视， 以检视出发生翘曲的晶圆。 实用新型内容 0005 本实用新型的主要目的是以非接触式检测器检视晶圆是否平坦地置放于载台， 或 者， 以该非接触式检测器检视该晶圆是否发生厚度均或翘曲的情形。 0006 本实用新型的一种晶圆检视装置， 用以检视晶圆， 该晶圆检视装置包含载台以及 非接触式检测器， 该载台用以放置该晶圆， 该非接触式检测器， 用以投射光至放置于该载台 上的该晶圆的表面， 该非接触式检测器与放置于该载台的该晶圆能相对运动。 0007 进一步地， 该光为光束。

7、， 该光束在该表面形成光斑， 且该光斑随着该非接触式检测 器与该晶圆的相对运动， 在该表面形成光轨迹。 0008 进一步地， 该非接触式检测器与该晶圆的相对运动为相对转动或相对线性运动。 0009 进一步地， 该晶圆检视装置还包含驱动件， 该驱动件用以驱动该载台运动。 0010 进一步地， 该非接触式检测器为光传感器。 0011 进一步地， 该载台具有多个限位柱， 该多个限位柱圈围成置放空间， 该置放空间用 以放置该晶圆， 以使该晶圆被限位于该多个限位柱之间。 0012 进一步地， 该晶圆检视装置还包含支架， 该非接触式检测器设置于该支架， 该非接 触式检测器可在该支架上位移。 0013 进一。

8、步地， 该支架包含本体及滑动件， 该滑动件滑动地结合于该本体， 该非接触式 检测器设置于该滑动件， 该滑动件可沿着该本体的轨道移动。 0014 进一步地， 该本体为柱状、 环状或弧状导柱。 0015 进一步地， 该晶圆检视装置设置于晶圆清洗机。 0016 本实用新型借由该非接触式检测器与该晶圆的相对运动， 以利于该非接触式检测 说明书 1/3 页 3 CN 212303609 U 3 器对放置于该载台上的该晶圆进行检视， 以检视出未平坦地置放于该载台的该晶圆， 或者， 检视出厚度不均的该晶圆， 或者， 检视出发生翘曲的该晶圆， 以利于后续的清洗或切割等制 程。 附图说明 0017 为让本实用新。

9、型的上述和其他目的、 特征、 优点与实施例能更明显易懂， 所附图式 的说明如下： 0018 图1示出了本实用新型一实施例的晶圆检视装置与晶圆的立体结构示意图； 0019 图2示出了本实用新型另一实施例的晶圆检视装置与晶圆的立体结构示意图； 0020 图3示出了本实用新型一实施例的晶圆检视装置设置于晶圆清洗机的立体结构示 意图； 0021 图4示出了本实用新型一实施例的晶圆检视装置设置于晶圆清洗机的剖视示意 图； 0022 图5示出了本实用新型再一实施例的晶圆检视装置与晶圆的立体结构示意图； 0023 图6A示出了本实用新型一实施例的支架的本体的立体结构示意图； 0024 图6B示出了本实用新型。

10、另一实施例的支架的本体的立体结构示意图。 0025 【符号说明】 0026 100： 晶圆检视装置 110： 载台 0027 111： 限位柱 112： 置放空间 0028 120： 非接触式检测器 130： 驱动件 0029 140： 支架 141： 本体 0030 141a： 轨道 142： 滑动件 0031 200： 晶圆清洗机 300： 晶圆 0032 310： 表面 L： 光 0033 L1： 光斑 具体实施方式 0034 请参阅图1及图2， 其为本实用新型一种晶圆检视装置100的第一实施例， 该晶圆检 视装置100包含载台110及非接触式检测器120， 请参阅图2、 图3及图4， 。

11、在本实施例中， 以该 晶圆检视装置100被设置于晶圆清洗机200中说明， 但不以此为限。 0035 请参阅图1至图4， 在本实施例中， 该晶圆检视装置100用以检视晶圆300是否平坦 地置放于载台110， 以利于后续的冲洗制程， 然而， 在不同的实施例中， 该晶圆检视装置100 被用以检视该晶圆300的厚度或该晶圆300的外观是否发生翘曲。 0036 请参阅图1、 图2及图4， 该载台110用以放置该晶圆300， 在本实施例中， 该载台110 具有多个限位柱111， 该多个限位柱111圈围成置放空间112， 该置放空间112用以放置该晶 圆300， 以使该晶圆300被限位于该多个限位柱111之。

12、间， 请参阅图1， 在本实施例中， 由该多 个限位柱111圈围成的该置放空间112可依据不同的晶圆尺寸(如6寸、 8寸、 12寸等尺寸)设 置， 使不同尺寸的晶圆可被限位于该多个限位柱111所圈围的该置放空间112中。 0037 请参阅图1、 图2及图4， 该非接触式检测器120为光传感器(如红外线光传感器、 紫 说明书 2/3 页 4 CN 212303609 U 4 外线光传感器、 影像传感器、 深度传感器等)， 且该光传感器可为主动式光感测或被动式光 感测， 该非接触式检测器120用以投射光L至放置于该载台110上的该晶圆300的表面310， 在 本实施例中， 该光L为光束， 该光束在该。

13、表面310形成光斑L1。 0038 请参阅图1、 图2及图4， 该非接触式检测器120与放置于该载台110的该晶圆300能 相对运动， 该相对运动为相对转动或相对线性运动， 较佳地， 该晶圆检视装置100包含驱动 件130， 该驱动件130为马达、 气压缸、 油压缸等驱动件， 在本实施例中， 该驱动件130用以驱 动该载台110运动， 请参阅图2及图4， 在本实施例中， 该驱动件130驱动该载台110转动， 当该 载台110转动或摆动时， 该载台110同步带动该晶圆300转动或摆动， 使该非接触式检测器 120与该晶圆300能相对运动。 0039 请参阅图5， 本实用新型的第二实施例， 该晶圆。

14、检视装置100包含支架140， 该非接 触式检测器120设置于该支架140， 该非接触式检测器120可在该支架140位移， 在本实施例 中， 该支架140包含本体141及滑动件142， 该滑动块142滑动地结合于该本体141， 该非接触 式检测器120设置于该滑动件142， 当该滑动件142沿着该本体141的轨道141a移动时， 该滑 动件142同步带动该非接触式检测器120移动， 使该非接触式检测器120与该晶圆300能相对 运动， 请参阅图6A及图6B， 其中该本体141为柱状导柱、 环状导柱， 或者该本体141为弧状导 柱(图未绘出)， 请参阅图6B， 当该非接触式检测器120固定于该环。

15、状导柱时， 可借由马达及 齿轮带动该环状导柱转动或摆动， 但本实用新型并不限制驱动该环状导柱的马达及齿轮为 必要组件， 或者， 当图6B的该环状导柱如同图5所示的该柱状导柱设有轨道时， 该非接触式 检测器120可被马达或皮带带动而沿着该环状导柱转动或摆动， 但本实用新型并不限制驱 动该非接触式检测器120的马达及皮带为必要组件。 0040 请参阅图1及图2， 在本实施例中， 当该载台110同步带动该晶圆300转动或摆动时， 该光斑L1随着该非接触式检测器120与该晶圆300的相对运动， 在该表面310形成圆形或弧 形的光轨迹， 请参阅图5， 在第二实施例中， 当该滑动件142同步带动该非接触式。

16、检测器120 移动时， 该光斑L1随着该非接触式检测器120与该晶圆300的相对运动， 在该表面310形成线 形的光轨迹。 0041 请参阅图2及图5， 该非接触式检测器120可借由该光斑L1或该光轨迹转换成电信 号， 以利于检视该晶圆300是否平坦地置放于该载台110， 或者检视该晶圆300是否有厚度不 均或翘曲的情形。 0042 本实用新型借由该非接触式检测器120与该晶圆300的相对运动， 使该非接触式检 测器120检视该晶圆300， 以检视出未平坦地置放于该载台110的该晶圆300， 或厚度不均的 该晶圆300， 或发生翘曲的该晶圆300， 以避免影响后续清洗或切割等制程。 0043 。

17、以上所述， 仅是本实用新型的较佳实施例而已， 并非对本实用新型作任何形式上 的限制， 虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上， 然而并非用以限定本实用新型,任何熟 悉本专业的技术人员， 在不脱离本实用新型技术方案范围内,当可利用上述揭示的技术内 容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例,但凡是未脱离本实用新型技术方案的内 容， 依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、 等同变化与修饰， 均仍 属于本实用新型技术方案的范围内。 说明书 3/3 页 5 CN 212303609 U 5 图1 说明书附图 1/6 页 6 CN 212303609 U 6 图2 说明书附图 2/6 页 7 CN 212303609 U 7 图3 说明书附图 3/6 页 8 CN 212303609 U 8 图4 说明书附图 4/6 页 9 CN 212303609 U 9 图5 图6A 说明书附图 5/6 页 10 CN 212303609 U 10 图6B 说明书附图 6/6 页 11 CN 212303609 U 11 。