软膜限定机构.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 202020548357.4 (22)申请日 2020.04.14 (73)专利权人 苏州光越微纳科技有限公司 地址 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡 湖大道99号苏州纳米城13栋302 (72)发明人 史晓华 (74)专利代理机构 苏州华博知识产权代理有限 公司 32232 代理人 徐典 (51)Int.Cl. B29C 59/02(2006.01) G03F 7/004(2006.01) (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 (54)实用新型名称 一种软膜限定机构。

2、 (57)摘要 本实用新型公开了一种软膜限定机构， 包括 压紧机构， 包括分别位于软膜上方、 下方的限位 盘、 托盘， 限位盘的底部具备容纳软膜且开口向 下的容纳坑； 当软膜不受除重力之外的外力时， 容纳坑的竖向投影面积大于的软膜的竖向投影 面积， 容纳坑的竖向投影轮廓与软膜的竖向投影 轮廓形状相同， 并且容纳坑的深度不小于软膜的 厚度； 容纳坑底部至限位盘的上表面之间为透明 板， 透明板与限位盘可拆卸地连接； 活动机构， 限 位盘、 托盘均具备竖向升降自由度， 还具备沿同 一水平方向的直线往复自由度； 检视机构， 限位 盘的上方设有工作台， 检视机构设置在工作台 上。 采用此实用新型能实现软。

3、膜的绷直， 保证软 膜尺寸精度， 方便检视等工序。 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 CN 212312759 U 2021.01.08 CN 212312759 U 1.一种软膜限定机构， 其特征在于， 包括： 压紧机构， 包括分别位于软膜上方、 下方的限位盘、 托盘， 所述限位盘的底部具备容纳 软膜且开口向下的容纳坑； 当软膜不受除重力之外的外力时， 所述容纳坑的竖向投影面积 大于的软膜的竖向投影面积， 所述容纳坑的竖向投影轮廓与软膜的竖向投影轮廓形状相 同， 并且容纳坑的深度不小于软膜的厚度； 所述容纳坑底部至限位盘的上表面之间为透明 板， 所述透明板与限位盘可拆卸地连接； 活动机构。

4、， 所述限位盘、 托盘均具备竖向升降自由度， 还具备沿同一水平方向的直线往 复自由度； 检视机构， 所述限位盘的上方设有工作台， 所述检视机构设置在工作台上。 2.根据权利要求1所述的软膜限定机构， 其特征在于： 所述托盘的下方依次设有竖向气 缸、 水平直线模组， 所述限位盘通过第一水平滑轨连接有工作台， 所述第一水平滑轨的长度 方向与水平直线模组运动方向平行。 3.根据权利要求2所述的软膜限定机构， 其特征在于： 所述限位盘的两侧分别设有与第 一水平滑轨装配的升降气缸， 所述容纳坑的竖向投影不与升降气缸重合。 4.根据权利要求1所述的软膜限定机构， 其特征在于： 所述限位盘中具备水平的台阶 。

5、面， 所述限位盘在台阶面朝上具备容纳透明板的镂空部， 所述镂空部的竖向投影面积大于 容纳坑的竖向投影面积， 所述台阶面上具备环形槽， 所述环形槽通过真空吸附住透明板， 所 述限位盘在台阶面朝下为容纳坑。 5.根据权利要求1所述的软膜限定机构， 其特征在于： 当软膜不受除重力之外的外力 时， 所述容纳坑的竖向投影面积为软膜的竖向投影面积的1.05至1.1倍。 6.根据权利要求1所述的软膜限定机构， 其特征在于： 当软膜不受除重力之外的外力 时， 所述托盘的竖向投影面积等于软膜的竖向投影面积。 7.根据权利要求2所述的软膜限定机构， 其特征在于： 所述工作台上设有第二水平滑 轨， 所述第二水平滑轨。

6、与第一水平滑轨长度方向相互垂直， 所述第二水平滑轨上活动连接 有滑动板， 所述滑动板上沿平行于第二水平滑轨的长度方向上依次设有若干个形状不同的 洞口。 8.根据权利要求7所述的软膜限定机构， 其特征在于： 所述洞口包括口部呈圆形的第一 洞口， 还包括口部呈矩形的第二洞口。 9.根据权利要求8所述的软膜限定机构， 其特征在于： 所述检视机构包括位于滑动板上 的显微镜， 所述显微镜的朝向方向穿过第一洞口或第二洞口。 权利要求书 1/1 页 2 CN 212312759 U 2 一种软膜限定机构 技术领域 0001 本实用新型涉及纳米压印设备领域， 具体涉及一种软膜限定机构。 背景技术 0002 纳。

7、米压印领域会应用到硅胶质地的软膜， 软膜如果不受力， 放任其自身自重等原 因， 则会发生形变， 所以需要一种设备对软膜的状态进行限定， 好在压印时抵消软膜的自身 形态的不利形变。 实用新型内容 0003 本实用新型要解决的问题在于提供一种， 能实现软膜的绷直， 保证软膜尺寸精度， 方便检视等工序。 0004 为解决上述问题， 本实用新型提供一种， 为达到上述目的， 本实用新型解决其技术 问题所采用的技术方案是： 0005 一种软膜限定机构， 包括： 压紧机构， 包括分别位于软膜上方、 下方的限位盘、 托 盘， 限位盘的底部具备容纳软膜且开口向下的容纳坑； 当软膜不受除重力之外的外力时， 容 纳。

8、坑的竖向投影面积大于的软膜的竖向投影面积， 容纳坑的竖向投影轮廓与软膜的竖向投 影轮廓形状相同， 并且容纳坑的深度不小于软膜的厚度； 容纳坑底部至限位盘的上表面之 间为透明板， 透明板与限位盘可拆卸地连接； 活动机构， 限位盘、 托盘均具备竖向升降自由 度， 还具备沿同一水平方向的直线往复自由度； 检视机构， 限位盘的上方设有工作台， 检视 机构设置在工作台上。 0006 采用上述技术方案的有益效果是： 托盘承载软膜， 限位盘、 托盘相互靠近， 将软膜 夹在其中， 通过竖向的挤压将原本自然松垮、 收缩的软膜沿水平方向挤压， 让软膜变得更加 平整， 软膜上各局部的尺寸关系更加精准。 人员再从上往。

9、下透过透明板对软膜进行观察。 透 明板既实现物理挤压又不阻挡检视， 同时透明板可拆， 方便人员从上往下替换软膜等动作， 方便现场操作。 容纳坑的尺寸要保证进行对软膜进行水平方向上的限位， 又为软膜撑大后 预留一定的空间。 限位盘、 托盘的自由度一是实现软膜的挤压， 也是方便限位盘、 托盘的水 平移位， 让出人员操作空间， 方便软膜的替换。 0007 作为本实用新型的进一步改进， 托盘的下方依次设有竖向气缸、 水平直线模组， 限 位盘通过第一水平滑轨连接有工作台， 第一水平滑轨的长度方向与水平直线模组运动方向 平行。 0008 采用上述技术方案的有益效果是： 托盘具备竖向与水平运动的主动力， 限。

10、位盘虽 然没有水平方向的主动力， 但是方便人员水平抽拉， 好方便对软膜进行替换。 0009 作为本实用新型的更进一步改进， 限位盘的两侧分别设有与第一水平滑轨装配的 升降气缸， 容纳坑的竖向投影不与升降气缸重合。 0010 采用上述技术方案的有益效果是： 限位盘也可以竖向主动运动， 搭配带有竖向气 缸的托盘， 限位盘、 托盘可以相互挤压软膜， 也可以微调软膜的上下位置， 以适应与检视机 说明书 1/4 页 3 CN 212312759 U 3 构之间的焦距， 方便上方对软膜进行检视。 0011 作为本实用新型的又进一步改进， 限位盘中具备水平的台阶面， 限位盘在台阶面 朝上具备容纳透明板的镂空。

11、部， 镂空部的竖向投影面积大于容纳坑的竖向投影面积， 台阶 面上具备环形槽， 环形槽通过真空吸附住透明板， 限位盘在台阶面朝下为容纳坑。 0012 采用上述技术方案的有益效果是： 台阶面为透明板提供一圈承载面， 也为环形槽 提供了布置位置。 0013 作为本实用新型的又进一步改进， 当软膜不受除重力之外的外力时， 容纳坑的竖 向投影面积为软膜的竖向投影面积的1.05至1.1倍。 0014 采用上述技术方案的有益效果是： 容纳坑适当大于软膜的竖向投影面积， 为软膜 的水平撑大提供空间， 同时容纳坑的最大尺寸被控制， 保证撑大后的软膜边沿也基本与容 纳坑内壁接触。 0015 作为本实用新型的又进一。

12、步改进， 当软膜不受除重力之外的外力时， 托盘的竖向 投影面积等于软膜的竖向投影面积。 0016 采用上述技术方案的有益效果是： 托盘整个顶部与软膜整个底部面积完全贴合， 但同时托盘的顶部尺寸还是小于容纳腔的开口尺寸的。 当托盘上压软膜时， 软膜适度压扁， 托盘与容纳腔之间的间隙为软膜边沿的适当挤出提供了空隙。 0017 作为本实用新型的又进一步改进， 工作台上设有第二水平滑轨， 第二水平滑轨与 第一水平滑轨长度方向相互垂直， 第二水平滑轨上活动连接有滑动板， 滑动板上沿平行于 第二水平滑轨的长度方向上依次设有若干个形状不同的洞口。 0018 采用上述技术方案的有益效果是： 第二水平滑轨给滑动。

13、板提供了滑动的自由度， 便于快捷切换限位盘正上方的洞口形状。 0019 作为本实用新型的又进一步改进， 洞口包括口部呈圆形的第一洞口， 还包括口部 呈矩形的第二洞口。 0020 采用上述技术方案的有益效果是： 不同的洞口对应不同尺寸的软膜， 洞口形状与 软膜轮廓形状尽量吻合， 检视时可以减少无关视野的干扰。 0021 作为本实用新型的又进一步改进， 检视机构包括位于滑动板上的显微镜， 显微镜 的朝向方向穿过第一洞口或第二洞口。 0022 采用上述技术方案的有益效果是： 显微镜可以帮助人员检视软膜的细节。 附图说明 0023 为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案， 下面将对实施。

14、例 或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍， 显而易见地， 下面描述中的附图仅仅 是本实用新型的一些实施例， 对于本领域普通技术人员来讲， 在不付出创造性劳动的前提 下， 还可以根据这些附图获得其他的附图。 0024 图1是本实用新型一种实施方式的立体图。 0025 图2是本实用新型一种实施方式的立体图。 0026 图3是本实用新型一种实施方式的主视图。 0027 图4是本实用新型一种实施方式的局部视图。 0028 1-竖向气缸； 2-水平直线模组； 3-托盘； 4-限位盘； 5-透明板； 6-第一水平滑轨； 7- 说明书 2/4 页 4 CN 212312759 U 4 滑动板； 8-。

15、第一洞口； 9-第二洞口； 10-工作台； 11-第二水平滑轨； 12-显微镜； 13-升降气缸； 14-环形槽； 15-容纳坑； 16-软膜。 具体实施方式 0029 下面结合具体实施例， 对本实用新型的内容做进一步的详细说明： 0030 为了达到本实用新型的目的， 一种软膜限定机构， 包括： 压紧机构， 包括分别位于 软膜16上方、 下方的限位盘4、 托盘3， 限位盘4的底部具备容纳软膜16且开口向下的容纳坑 15； 当软膜16不受除重力之外的外力时， 容纳坑15的竖向投影面积大于的软膜16的竖向投 影面积， 容纳坑15的竖向投影轮廓与软膜16的竖向投影轮廓形状相同， 并且容纳坑15的深 。

16、度不小于软膜16的厚度； 容纳坑15底部至限位盘4的上表面之间为透明板5， 透明板5与限位 盘4可拆卸地连接； 活动机构， 限位盘4、 托盘3均具备竖向升降自由度， 还具备沿同一水平方 向的直线往复自由度； 检视机构， 限位盘4的上方设有工作台10， 检视机构设置在工作台10 上。 0031 图2相比图1， 限位盘4是从工作台10中拉出的状态。 0032 采用上述技术方案的有益效果是： 托盘承载软膜， 限位盘、 托盘相互靠近， 将软膜 夹在其中， 通过竖向的挤压将原本自然松垮、 收缩的软膜沿水平方向挤压， 让软膜变得更加 平整， 软膜上各局部的尺寸关系更加精准。 人员再从上往下透过透明板对软膜。

17、进行观察。 透 明板既实现物理挤压又不阻挡检视， 同时透明板可拆， 方便人员从上往下替换软膜等动作， 方便现场操作。 容纳坑的尺寸要保证进行对软膜进行水平方向上的限位， 又为软膜撑大后 预留一定的空间。 限位盘、 托盘的自由度一是实现软膜的挤压， 也是方便限位盘、 托盘的水 平移位， 让出人员操作空间， 方便软膜的替换。 0033 在本实用新型的另一些实施方式中， 托盘3的下方依次设有竖向气缸1、 水平直线 模组2， 限位盘4通过第一水平滑轨6连接有工作台10， 第一水平滑轨6的长度方向与水平直 线模组2运动方向平行。 0034 采用上述技术方案的有益效果是： 托盘具备竖向与水平运动的主动力，。

18、 限位盘虽 然没有水平方向的主动力， 但是方便人员水平抽拉， 好方便对软膜进行替换。 0035 在本实用新型的另一些实施方式中， 限位盘4的两侧分别设有与第一水平滑轨6装 配的升降气缸13， 容纳坑15的竖向投影不与升降气缸13重合。 0036 如图4所示， 升降气缸13为两个。 0037 采用上述技术方案的有益效果是： 限位盘也可以竖向主动运动， 搭配带有竖向气 缸的托盘， 限位盘、 托盘可以相互挤压软膜， 也可以微调软膜的上下位置， 以适应与检视机 构之间的焦距， 方便上方对软膜进行检视。 0038 在本实用新型的另一些实施方式中， 限位盘4中具备水平的台阶面， 限位盘4在台 阶面朝上具备。

19、容纳透明板5的镂空部， 镂空部的竖向投影面积大于容纳坑15的竖向投影面 积， 台阶面上具备环形槽14， 环形槽14通过真空吸附住透明板5， 限位盘4在台阶面朝下为容 纳坑15。 0039 如图4所示， 环形槽14开口朝上。 0040 采用上述技术方案的有益效果是： 台阶面为透明板提供一圈承载面， 也为环形槽 提供了布置位置。 说明书 3/4 页 5 CN 212312759 U 5 0041 在本实用新型的另一些实施方式中， 当软膜16不受除重力之外的外力时， 容纳坑 15的竖向投影面积为软膜16的竖向投影面积的1.05至1.1倍。 0042 采用上述技术方案的有益效果是： 容纳坑适当大于软膜。

20、的竖向投影面积， 为软膜 的水平撑大提供空间， 同时容纳坑的最大尺寸被控制， 保证撑大后的软膜边沿也基本与容 纳坑内壁接触。 0043 在本实用新型的另一些实施方式中， 当软膜16不受除重力之外的外力时， 托盘3的 竖向投影面积等于软膜16的竖向投影面积。 0044 采用上述技术方案的有益效果是： 托盘整个顶部与软膜整个底部面积完全贴合， 但同时托盘的顶部尺寸还是小于容纳腔的开口尺寸的。 当托盘上压软膜时， 软膜适度压扁， 托盘与容纳腔之间的间隙为软膜边沿的适当挤出提供了空隙。 0045 在本实用新型的另一些实施方式中， 工作台10上设有第二水平滑轨11， 第二水平 滑轨11与第一水平滑轨6长。

21、度方向相互垂直， 第二水平滑轨11上活动连接有滑动板7， 滑动 板7上沿平行于第二水平滑轨11的长度方向上依次设有若干个形状不同的洞口。 0046 采用上述技术方案的有益效果是： 第二水平滑轨给滑动板提供了滑动的自由度， 便于快捷切换限位盘正上方的洞口形状。 0047 在本实用新型的另一些实施方式中， 洞口包括口部呈圆形的第一洞口8， 还包括口 部呈矩形的第二洞口9。 0048 采用上述技术方案的有益效果是： 不同的洞口对应不同尺寸的软膜， 洞口形状与 软膜轮廓形状尽量吻合， 检视时可以减少无关视野的干扰。 0049 在本实用新型的另一些实施方式中， 检视机构包括位于滑动板7上的显微镜12， 。

22、显 微镜12的朝向方向穿过第一洞口8或第二洞口9。 0050 采用上述技术方案的有益效果是： 显微镜可以帮助人员检视软膜的细节。 0051 如图4的状态， 软膜16还未顶入容纳坑15内。 0052 上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点， 其目的在于让熟悉此项技术 的人士能够了解本实用新型的内容并加以实施， 并不能以此限制本实用新型的保护范围， 凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰， 都应涵盖在本实用新型的保护范围 内。 说明书 4/4 页 6 CN 212312759 U 6 图1 说明书附图 1/4 页 7 CN 212312759 U 7 图2 说明书附图 2/4 页 8 CN 212312759 U 8 图3 说明书附图 3/4 页 9 CN 212312759 U 9 图4 说明书附图 4/4 页 10 CN 212312759 U 10 。