用于双台面激光直写曝光机的真空吸附控制系统.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 202020035807.X (22)申请日 2020.01.08 (73)专利权人 合肥芯碁微电子装备股份有限公 司 地址 230088 安徽省合肥市高新区创新大 道2800号创新产业园二期F3楼11层 (72)发明人 张浩为卫国魏云飞 (74)专利代理机构 合肥天明专利事务所(普通 合伙) 34115 代理人 奚华保 (51)Int.Cl. G03F 7/20(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于双台面激光直写曝光机的真空吸 附控制系统 (57)摘要 本实用新型涉。

2、及一种用于双台面激光直写 曝光机的真空吸附控制系统， 包括鼓风机、 控制 电路、 自锁式按钮KEY1、 自锁式按钮KEY2、 电磁阀 一和电磁阀二。 控制电路包括交流接触器、 热继 电器和继电器。 鼓风机的出气口分别与电磁阀一 的进气口、 电磁阀二的进气口相连， 电磁阀一的 出气口接曝光A台面的进气口， 电磁阀二的出气 口接曝光B台面的进气口。 本实用新型不仅可以 在双台面激光直写曝光机工作时打开鼓风机， 在 曝光机不工作时切断鼓风机电源， 实现节能减 排， 还可以通过热继电器保护鼓风机， 在鼓风机 过载或过流时及时切断电源并报警， 防止因鼓风 机过热或电流过大而导致鼓风机烧坏， 从而延长 鼓。

3、风机的使用寿命。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 211318990 U 2020.08.21 CN 211318990 U 1.一种用于双台面激光直写曝光机的真空吸附控制系统， 其特征在于： 包括鼓风机、 控 制电路、 电磁阀一和电磁阀二； 所述控制电路包括交流接触器、 热继电器、 继电器、 自锁式按钮KEY1和自锁式按钮 KEY2； 所述交流接触器， 其进电端1L1、 3L2和5L3分别接三相电， 其线圈A1接其进电端L2， 其 线圈A2接热继电器的常闭触点96脚， 其常开触点13脚接24V电源， 其常闭触点95脚接继电器 的常开触点5脚， 其常开触点98脚接24V电源； 所述。

4、热继电器， 其引脚U、 V、 W与鼓风机的进电端相连； 所述继电器， 其常开触点3脚接交流接触器的进电端L3， 其7脚接地； 所述自锁式按钮KEY1和自锁式按钮KEY2串行连接后， 一端接24V电源， 另一端分别接继 电器的8脚、 电磁阀一的控制端、 电磁阀二的控制端； 所述鼓风机的出气口分别与电磁阀一的进气口、 电磁阀二的进气口相连， 电磁阀一的 出气口接曝光A台面的进气口， 电磁阀二的出气口接曝光B台面的进气口。 2.根据权利要求1所述的一种用于双台面激光直写曝光机的真空吸附控制系统， 其特 征在于： 所述交流接触器的常开触点97脚接报警装置。 3.根据权利要求1所述的一种用于双台面激光直。

5、写曝光机的真空吸附控制系统， 其特 征在于： 所述曝光A台面和曝光B台面均包括依次设置的吸盘和吸盘垫。 4.根据权利要求1所述的一种用于双台面激光直写曝光机的真空吸附控制系统， 其特 征在于： 所述鼓风机的出气口通过气路一接曝光A台面的进气口， 所述电磁阀一安装在气路 一上； 所述鼓风机的出气口还通过气路二接曝光B台面的进气口， 所述电磁阀二安装在气路 二上； 所述气路一通过气路转接阀一与曝光A台面的进气口相连； 所述气路二通过气路转接 阀二与曝光B台面的进气口相连。 5.根据权利要求1所述的一种用于双台面激光直写曝光机的真空吸附控制系统， 其特 征在于： 所述交流接触器的型号为施耐德LCID。

6、32。 6.根据权利要求1所述的一种用于双台面激光直写曝光机的真空吸附控制系统， 其特 征在于： 所述热继电器的型号为施耐德LRD14C。 7.根据权利要求1所述的一种用于双台面激光直写曝光机的真空吸附控制系统， 其特 征在于： 所述继电器的信号为施耐德LY2N-J。 权利要求书 1/1 页 2 CN 211318990 U 2 一种用于双台面激光直写曝光机的真空吸附控制系统 技术领域 0001 本实用新型涉及双台面激光直写曝光机技术领域， 具体涉及一种用于双台面激光 直写曝光机的真空吸附控制系统。 背景技术 0002 激光直写曝光机采用激光直接扫描成像的技术， 激光曝光时有一个最佳焦面， 在。

7、 此焦面曝光出来的效果最好， 所以曝光时要求PCB板要吸附平整。 一般采用真空负压的方式 吸附， 这种吸附方式需要用到鼓风机产生气源， 而一般常用的鼓风机功率都在3500-5000W 之间， 连续工作时候会产生大量能耗， 也会带来大量热量。 而曝光机在工作时需要恒温恒 湿， 鼓风机带来的热量也会影响机台的性能。 而且鼓风机使用380V交流电源供电， 普通接触 器很难对其进行控制。 0003 针对此现象， 一般都会提醒机台操作人员在机台停机时候或者维修保养时候手动 切断工厂进电空开来切断鼓风机电源， 但是操作员往往会遗忘此事， 使鼓风机一直处于通 电状态， 造成大量能耗， 浪费资源的同时也带来的。

8、大量热量。 0004 此外， 曝光机在客户现场经常24H连续曝光运行， 鼓风机长时间满功率运行时， 带 来大量热量会影响环境温度的同时鼓风机也会由于散热不及时造成过载过流， 长时间过载 过流会烧坏鼓风机。 现有的曝光机控制系统没有对鼓风机进行过流过热保护， 而是继续超 负荷使用， 影响了曝光机的使用性能， 缩短了曝光机的使用寿命。 实用新型内容 0005 本实用新型的目的在于提供一种用于双台面激光直写曝光机的真空吸附控制系 统， 该真空吸附控制系统能够解决现有技术中存在的不足， 不仅可以在双台面激光直写曝 光机工作时打开鼓风机， 在曝光机不工作时切断鼓风机电源， 实现节能减排， 还可以通过热 。

9、继电器保护鼓风机， 在鼓风机过载或过流时及时切断电源并报警， 防止因鼓风机过热或电 流过大而导致鼓风机烧坏， 从而延长鼓风机的使用寿命。 0006 为实现上述目的， 本实用新型采用了以下技术方案： 0007 一种用于双台面激光直写曝光机的真空吸附控制系统， 包括鼓风机、 控制电路、 电 磁阀一和电磁阀二。 0008 所述控制电路包括交流接触器、 热继电器、 继电器、 自锁式按钮KEY1和自锁式按钮 KEY2； 所述交流接触器， 其进电端1L1、 3L2和5L3分别接三相电， 其线圈A1接其进电端L2， 其 线圈A2接热继电器的常闭触点96脚， 其常开触点13脚接24V电源， 其常闭触点95脚接。

10、继电器 的常开触点5脚， 其常开触点98脚接24V电源。 0009 所述热继电器， 其引脚U、 V、 W与鼓风机的进电端相连； 用于为鼓风机输出三相电。 0010 所述继电器， 其常开触点3脚接交流接触器的进电端L3， 其7脚接地。 0011 所述自锁式按钮KEY1和自锁式按钮KEY2串行连接后， 一端接24V电源， 另一端分别 接继电器的8脚、 电磁阀一的控制端、 电磁阀二的控制端。 说明书 1/4 页 3 CN 211318990 U 3 0012 所述鼓风机的出气口分别与电磁阀一的进气口、 电磁阀二的进气口相连， 电磁阀 一的出气口接曝光A台面的进气口， 电磁阀二的出气口接曝光B台面的进。

11、气口。 0013 进一步的， 所述交流接触器的常开触点97脚接报警装置。 根据用户需求接入塔灯 红灯或蜂鸣器等外围报警装置， 来提醒用户。 0014 进一步的， 所述曝光A台面和曝光B台面均包括依次设置的吸盘和吸盘垫。 0015 进一步的， 所述鼓风机的出气口通过气路一接曝光A台面的进气口， 所述电磁阀一 安装在气路一上； 所述鼓风机的出气口还通过气路二接曝光B台面的进气口， 所述电磁阀二 安装在气路二上； 所述气路一通过气路转接阀一与曝光A台面的进气口相连； 所述气路二通 过气路转接阀二与曝光B台面的进气口相连。 0016 进一步的， 所述交流接触器的型号为施耐德LCID32。 0017 进。

12、一步的， 所述热继电器的型号为施耐德LRD14C。 0018 进一步的， 所述继电器的信号为施耐德LY2N-J。 0019 由以上技术方案可知， 本实用新型不仅可以在双台面激光直写曝光机工作时打开 鼓风机， 在曝光机不工作时切断鼓风机电源， 实现节能减排， 还可以通过热继电器保护鼓风 机， 在鼓风机过载或过流时及时切断电源并报警， 防止因鼓风机过热或电流过大而导致鼓 风机烧坏， 从而延长鼓风机的使用寿命。 附图说明 0020 图1是本实用新型的电气原理图； 0021 图2是控制电路的电路原理图。 具体实施方式 0022 下面结合附图对本实用新型做进一步说明： 0023 如图1所示的一种用于双台。

13、面激光直写曝光机的真空吸附控制系统， 包括鼓风机、 控制电路、 电磁阀一和电磁阀二。 0024 所述控制电路包括交流接触器、 热继电器、 继电器、 自锁式按钮KEY1和自锁式按钮 KEY2。 所述交流接触器， 其进电端1L1、 3L2和5L3分别接三相电L1、 L2和L3， 其线圈A1接其进 电端L2， 其线圈A2接热继电器的常闭触点96脚， 其常开触点13脚接24V电源， 其常闭触点95 脚接继电器的常开触点5脚， 其常开触点98脚接24V电源。 当交流接触器的线圈A1与A2形成 380V回路时， 交流接触器吸合。 L1、 L2、 L3为380V三相电接入交流接触器。 交流接触器与热继 电器。

14、机械连接， 同时继电器通过热继电器的常闭开关与交流接触器连接组成控制电路。 所 述交流接触器的13脚和14脚为交流接触器的一对常开触点， 13脚接直流24V电源， 14脚为 RUN状态。 当热继电器处于正常状态或者交流接触器未吸合， 即鼓风机不在工作状态时， 交 流接触器的13脚和14脚处于断开状态， RUN没有24V状态输出， 当热继电器处于正常状态且 交流接触器处于吸合状态时， 14脚与13脚接通， RUN有24V状态输出,此脚可根据用户需求接 入塔灯黄灯等外围报警装置用做工作指示灯。 0025 所述热继电器， 其引脚U、 V、 W与鼓风机的进电端相连； 用于为鼓风机输出三相电。 热继电器。

15、正常工作时， 其常闭触点95脚和常闭触点96脚为接通状态。 0026 所述继电器， 其常开触点3脚接交流接触器的进电端L3， 其7脚接地。 说明书 2/4 页 4 CN 211318990 U 4 0027 所述自锁式按钮KEY1和自锁式按钮KEY2串行连接后， 一端接24V电源， 另一端分别 接继电器的8脚、 电磁阀一的控制端、 电磁阀二的控制端。 自锁式按钮KEY1和自锁式按钮 KEY2， 通过对电磁阀一和电磁阀二的导通与关闭进行控制， 进而对曝光A台面和曝光B台面 的真空吸附进行控制。 自锁式按钮KEY1和自锁式按钮KEY2的特点是按一次按钮接通锁住， 再按一次按钮断开。 0028 所述。

16、鼓风机的出气口分别与电磁阀一的进气口、 电磁阀二的进气口相连， 电磁阀 一的出气口接曝光A台面的进气口， 电磁阀二的出气口接曝光B台面的进气口。 电磁阀一接 通时， 鼓风机抽气为曝光A台面产生负压， 负压可以将PCB板吸附在曝光A台面上进行曝光。 电磁阀二接通时， 鼓风机抽气为曝光B台面产生负压， 负压可以将PCB板吸附在曝光B台面上 进行曝光。 0029 进一步的， 所述交流接触器的常开触点97脚接报警装置。 根据用户需求接入塔灯 红灯或蜂鸣器等外围报警装置， 来提醒用户。 热继电器在正常工作时为断开状态， 其常开触 点97脚 （97脚为ALARM信号） 与常开触点98脚 （接24V直流信号。

17、） 未接通， 没有状态输出， 反之 热继电器过载过流或者缺项处于异常状态时， 其常开触点97脚和常开触点98脚为接通状 态， 常开触点97脚的ALARM信号与常开触点98脚的24V直流信号接通， 97脚有24V状态输出, 此脚可根据用户需求接入塔灯红灯或者蜂鸣器等外围报警装置用来提醒用户。 0030 进一步的， 所述曝光A台面和曝光B台面均包括依次设置的吸盘和吸盘垫。 吸盘为 镂空装置， 配合吸盘垫上的阵列式小孔， 可以在吸盘垫表面形成负压。 0031 进一步的， 所述鼓风机的出气口通过气路一接曝光A台面的进气口， 所述电磁阀一 安装在气路一上； 所述鼓风机的出气口还通过气路二接曝光B台面的进。

18、气口， 所述电磁阀二 安装在气路二上； 所述气路一通过气路转接阀一与曝光A台面的进气口相连； 所述气路二通 过气路转接阀二与曝光B台面的进气口相连。 0032 进一步的， 所述交流接触器的型号为施耐德LCID32。 0033 进一步的， 所述热继电器的型号为施耐德LRD14C。 0034 进一步的， 所述继电器的信号为施耐德LY2N-J。 0035 本实用新型的工作原理为： 0036 由于自锁式按钮KEY1和自锁式按钮 KEY2属于串行连接， 当自锁式按钮KEY1和自 锁式按钮 KEY2中有任一按钮按下时， 继电器的8脚都会有24V信号接通。 由于继电器的7脚 接地， 当8脚有24V信号时， 。

19、继电器的线圈吸合， 继电器的常开触点3脚和常开触点5脚接通， 若此时热继电器为正常工作状态， 其常闭触点95脚和常闭触点96脚也为接通状态， 即交流 接触器的线圈A1、 A2与L2、 L3两相进电形成380V回路， 交流接触器吸合， 三相电L1、 L2和L3分 别与鼓风机的进电端U、 V、 W接通， 鼓风机开始工作。 若此时热继电器为非正常工作状态， 即 其常闭触点95脚和常闭触点96脚断开状态， 即交流接触器的线圈A1、 A2与两相进电L2、 L3无 法形成回路， 交流接触器无法吸合， 三相电L1、 L2、 L3分别与鼓风机的进电端U、 V、 W无法接 通， 鼓风机停止工作。 0037 本实。

20、用新型的工作过程为： 0038 正常工作时， 当自锁式按钮KEY1按下时， 继电器的7脚与8脚形成24V回路， 继电器 的线圈吸合， 继电器常开触点3脚和5脚接通， 5脚与热继电器的常闭触点95脚接通， 即交流 接触器的线圈A1、 A2形成380V交流回路， 交流接触器吸合， 三相电L1、 L2、 L3分别与U、 V、 W接 说明书 3/4 页 5 CN 211318990 U 5 通， 鼓风机开始工作。 同时由于自锁式按钮KEY1与电磁阀一连接， 所以此时电磁阀一也处于 导通状态， 气路一接通， 曝光A台面产生负压开始正常曝光。 0039 当自锁式按钮KEY2按下时， 继电器7脚与8脚形成2。

21、4V回路， 继电器线圈吸合， 继电 器常开触点3脚和5脚接通， 5脚与热继电器的常闭触点95脚接通， 即交流接触器的线圈A1、 A2形成380V交流回路， 交流接触器吸合， 三相电L1、 L2、 L3分别与U、 V、 W接通， 鼓风机开始工 作。 同时由于自锁式按钮KEY2与电磁阀二连接， 所以此时电磁阀二也处于导通状态， 气路二 接通， 曝光B台面产生负压开始正常曝光。 0040 当两个台面曝光结束， 即曝光A台面以及曝光B台面两个台面上板需要被取走， 此 时只要再次按下自锁式按钮KEY1和KEY2， 自锁式按钮KEY1和KEY2处于断开状态， 电磁阀一 和电磁阀二断开， 两侧气路断开， 同。

22、时继电器7脚与8脚未形成24V回路， 继电器的线圈A1和 A2断开， 鼓风机停止工作， 曝光A台面和曝光B台面的负压消失， 可取走板材。 0041 综上所述， 只有在曝光机工作时鼓风机才会工作， 当机台停机即取走板材后不再 放入板材， 未按自锁式按钮KEY1和KEY2时， 鼓风机就会停止工作， 从而达到节能降热的效 果。 当鼓风机正常工作时， 热继电器处于安全工作保护状态， 交流接触器处于吸合状态， 此 时热继电器的97脚ALARM报警信号处于断开状态， 14脚RUN运行信号处于接通状态。 当过载 或者电流过大等异常状态时， 热继电器就吸合， 其常闭触点95脚和96脚断开， 交流接触器断 开，。

23、 热继电器的97脚的ALARM报警信号接通， 交流接触器14脚接的RUN运行信号断开， 鼓风机 断电。 此外热继电器上还有STOP停止按键可以用来手动紧断电， RESERT按键可以在排查异 常后进行复位功能， 因此， 本实用新型还具有安全保护功能。 0042 以上所述的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述， 并非对本实用 新型的范围进行限定， 在不脱离本实用新型设计精神的前提下， 本领域普通技术人员对本 实用新型的技术方案作出的各种变形和改进， 均应落入本实用新型权利要求书确定的保护 范围内。 说明书 4/4 页 6 CN 211318990 U 6 图1 说明书附图 1/2 页 7 CN 211318990 U 7 图2 说明书附图 2/2 页 8 CN 211318990 U 8 。