晶圆凸块用读刻号装置.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 202020174184.4 (22)申请日 2020.02.14 (73)专利权人 联立 （徐州） 半导体有限公司 地址 221000 江苏省徐州市经济技术开发 区清洁技术产业园服务中心213室 (72)发明人 戴传勇 (74)专利代理机构 苏州创策知识产权代理有限 公司 32322 代理人 范圆圆 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) (54)实用新型名称 一种晶圆凸块用读刻号装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种晶圆凸块用读刻号 装置， 属于晶圆。

2、技术领域， 包括基体、 复位弹簧和 晶圆箱， 所述基体的一端设置有前挡板， 所述基 体的另一端靠近下端位置固定有后导向板， 所述 后导向板的下端靠近前挡板的一侧设置有支撑 板， 所述支撑板的上端设置有凹槽， 本实用新型 将后导向板按压使其旋转至水平， 旋转箱体使滑 动底板远离支撑板的一端靠近支撑板， 箱体的滑 动卡块顺着滑向条滑动至支撑板端， 缓慢松开后 导向板使后导向板在复位弹簧的弹力作用下转 动， 使箱体内晶圆本体顺着固定卡板滑动下落至 凹槽的表面， 抽拉滑动底板使箱体的上端打开， 实现快速安装固定； 调节支撑板的角度使晶圆本 体高度不一， 方便进行读号。 权利要求书1页 说明书2页 附图。

3、2页 CN 211479991 U 2020.09.11 CN 211479991 U 1.一种晶圆凸块用读刻号装置， 包括基体(3)、 复位弹簧(4)和晶圆箱(8)， 其特征在于： 所述基体(3)的一端设置有前挡板(7)， 所述基体(3)的另一端靠近下端位置固定有后导向 板(1)， 所述后导向板(1)的下端靠近前挡板(7)的一侧设置有支撑板(5)， 所述支撑板(5)的 上端设置有凹槽(6)， 所述后导向板(1)的侧边下端与基体(3)的底部之间设置有复位弹簧 (4)， 所述后导向板(1)靠近前挡板(7)的一侧设置有滑向条(2)， 所述滑向条(2)的滑槽固定 有晶圆箱(8)， 所述后导向板(1)。

4、的侧边设置有照明灯(9)， 所述晶圆箱(8)的内部均匀固定 有晶圆本体(10)。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆凸块用读刻号装置， 其特征在于： 所述晶圆箱(8)包 括滑动底板(81)、 箱体(82)、 滑动卡块(83)和固定卡板(84)， 其中， 所述箱体(82)的内部均 匀设置有固定卡板(84)， 所述箱体(82)的侧边设置有滑槽设置有滑动底板(81)， 所述箱体 (82)的下端设置有滑动卡块(83)。 3.根据权利要求1所述的一种晶圆凸块用读刻号装置， 其特征在于： 所述后导向板(1) 与基体(3)之间轴销转动连接， 所述支撑板(5)与后导向板(1)之间阻尼轴转动连接。 4.根据权利要。

5、求1所述的一种晶圆凸块用读刻号装置， 其特征在于： 所述复位弹簧(4) 在自然状态下存储于扩张状态， 所述复位弹簧(4)与后导向板(1)和基体(3)之间通过卡扣 连接。 5.根据权利要求1所述的一种晶圆凸块用读刻号装置， 其特征在于： 所述凹槽(6)与固 定卡板(84)的间距保持一致， 所述支撑板(5)与凹槽(6)为一体式结构。 6.根据权利要求2所述的一种晶圆凸块用读刻号装置， 其特征在于： 所述滑动卡块(83) 与滑向条(2)之间滑动连接， 所述滑动底板(81)与箱体(82)滑动连接， 所述箱体(82)自然放 置时固定卡板(84)竖直向上。 权利要求书 1/1 页 2 CN 2114799。

6、91 U 2 一种晶圆凸块用读刻号装置 技术领域 0001 本实用新型属于晶圆技术领域， 具体涉及一种晶圆凸块用读刻号装置。 背景技术 0002 晶圆指制造半导体晶体管或集成电路的衬底(也叫基片)。 由于是晶体材料， 其形 状为圆形， 所以称为晶圆。 衬底材料有硅、 锗、 GaAs、 InP、 GaN等。 由于硅最为常用， 如果没有 特别指明晶体材料， 通常指硅晶圆。 0003 在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构， 而成为有特定电性功能的集成电路 产品。 晶圆的原始材料是硅， 而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。 二氧化硅矿石经由电弧炉 提炼， 盐酸氯化， 并经蒸馏后， 制成了高纯度的多晶硅，。

7、 其纯度高达99.999999999。 0004 现有技术的存在以下问题： 现有的晶圆凸块用读刻号装置在结构上采用固定式 的， 造成晶圆固定安装不便， 容易掉落损坏， 同时角度无法调节， 易造成读号不便的问题。 实用新型内容 0005 为解决上述背景技术中提出的问题。 本实用新型提供了一种晶圆凸块用读刻号装 置， 具有结构简单， 安装方便， 角度可调节的特点。 0006 为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 一种晶圆凸块用读刻号装置， 包 括基体、 复位弹簧和晶圆箱， 所述基体的一端设置有前挡板， 所述基体的另一端靠近下端位 置固定有后导向板， 所述后导向板的下端靠近前挡板的一侧设置。

8、有支撑板， 所述支撑板的 上端设置有凹槽， 所述后导向板的侧边下端与基体的底部之间设置有复位弹簧， 所述后导 向板靠近前挡板的一侧设置有滑向条， 所述滑向条的滑槽固定有晶圆箱， 所述后导向板的 侧边设置有照明灯， 所述晶圆箱的内部均匀固定有晶圆本体。 0007 优选的， 所述晶圆箱包括滑动底板、 箱体、 滑动卡块和固定卡板， 其中， 所述箱体的 内部均匀设置有固定卡板， 所述箱体的侧边设置有滑槽设置有滑动底板， 所述箱体的下端 设置有滑动卡块。 0008 优选的， 所述后导向板与基体之间轴销转动连接， 所述支撑板与后导向板之间阻 尼轴转动连接。 0009 优选的， 所述复位弹簧在自然状态下存储。

9、于扩张状态， 所述复位弹簧与后导向板 和基体之间通过卡扣连接。 0010 优选的， 所述凹槽与固定卡板的间距保持一致， 所述支撑板与凹槽为一体式结构。 0011 优选的， 所述滑动卡块与滑向条之间滑动连接， 所述滑动底板与箱体滑动连接， 所 述箱体自然放置时固定卡板竖直向上。 0012 与现有技术相比， 本实用新型的有益效果是： 0013 本实用新型将后导向板按压使其旋转至水平， 旋转箱体使滑动底板远离支撑板的 一端靠近支撑板， 箱体的滑动卡块顺着滑向条滑动至支撑板端， 缓慢松开后导向板使后导 向板在复位弹簧的弹力作用下转动， 使箱体内晶圆本体顺着固定卡板滑动下落至凹槽的表 说明书 1/2 页。

10、 3 CN 211479991 U 3 面， 抽拉滑动底板使箱体的上端打开， 实现快速安装固定； 调节支撑板的角度使晶圆本体高 度不一， 方便进行读号。 附图说明 0014 图1为本实用新型的结构示意图； 0015 图2为本实用新型的晶圆箱结构示意图； 0016 图中： 1、 后导向板； 2、 滑向条； 3、 基体； 4、 复位弹簧； 5、 支撑板； 6、 凹槽； 7、 前挡板； 8、 晶圆箱； 81、 滑动底板； 82、 箱体； 83、 滑动卡块； 84、 固定卡板； 9、 照明灯； 10、 晶圆本体。 具体实施方式 0017 下面将结合本实用新型实施例中的附图， 对本实用新型实施例中的技术。

11、方案进行 清楚、 完整地描述， 显然， 所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例， 而不是全部的 实施例。 基于本实用新型中的实施例， 本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下 所获得的所有其他实施例， 都属于本实用新型保护的范围。 0018 请参阅图1-2， 本实用新型提供以下技术方案： 一种晶圆凸块用读刻号装置， 包括 基体3、 复位弹簧4和晶圆箱8， 基体3的一端设置有前挡板7， 基体3的另一端靠近下端位置固 定有后导向板1， 后导向板1的下端靠近前挡板7的一侧设置有支撑板5， 为了方便进行转动， 后导向板1与基体3之间轴销转动连接， 支撑板5与后导向板1之间阻尼轴转动连接， 支撑。

12、板5 的上端设置有凹槽6， 后导向板1的侧边下端与基体3的底部之间设置有复位弹簧4， 为了方 便进行自动回位， 复位弹簧4在自然状态下存储于扩张状态， 复位弹簧4与后导向板1和基体 3之间通过卡扣连接， 后导向板1靠近前挡板7的一侧设置有滑向条2， 滑向条2的滑槽固定有 晶圆箱8， 后导向板1的侧边设置有照明灯9， 晶圆箱8的内部均匀固定有晶圆本体10。 0019 晶圆箱8包括滑动底板81、 箱体82、 滑动卡块83和固定卡板84， 其中， 箱体82的内部 均匀设置有固定卡板84， 为了方便进行倾斜读号， 凹槽6与固定卡板84的间距保持一致， 支 撑板5与凹槽6为一体式结构， 箱体82的侧边设。

13、置有滑槽设置有滑动底板81， 箱体82的下端 设置有滑动卡块83， 为了方便移动固定， 滑动卡块83与滑向条2之间滑动连接， 滑动底板81 与箱体82滑动连接， 箱体82自然放置时固定卡板84竖直向上。 0020 本实用新型的工作原理及使用流程： 本实用新型使用时， 装置安装在合适位置， 将 晶圆本体10安装在固定卡板84的槽内， 然后移动箱体82， 将后导向板1按压使其旋转至水 平， 旋转箱体82使滑动底板81远离支撑板5的一端靠近支撑板5， 箱体82的滑动卡块83顺着 滑向条2滑动至支撑板5端， 缓慢松开后导向板1使后导向板1在复位弹簧4的弹力作用下转 动， 使箱体82内晶圆本体10顺着固。

14、定卡板84滑动下落至凹槽6的表面， 抽拉滑动底板81使箱 体82的上端打开， 调节照明灯9的位置方便进行晶圆本体10的照射读号， 调节支撑板5的角 度使晶圆本体10高度不一， 方便进行读号， 读号完毕， 按压后导向板1， 晶圆本体10在重力作 用下滑动至箱体82内， 插入滑动底板81， 移走箱体82， 使用便携。 0021 尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例， 对于本领域的普通技术人员而言， 可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、 修 改、 替换和变型， 本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。 说明书 2/2 页 4 CN 211479991 U 4 图1 说明书附图 1/2 页 5 CN 211479991 U 5 图2 说明书附图 2/2 页 6 CN 211479991 U 6 。