水电阻率探头的安装结构.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 202020275546.9 (22)申请日 2020.03.09 (73)专利权人 江阴新顺微电子有限公司 地址 214400 江苏省无锡市江阴市高新区 长山大道78号 (72)发明人 吕伟钱如平蒋亚东周晓 (74)专利代理机构 江阴市轻舟专利代理事务所 (普通合伙) 32380 代理人 孙燕波 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) (54)实用新型名称 一种水电阻率探头的安装结构 (57)摘要 本实用新型涉及一种水电阻率探头的安装 结构， 属于集成电。

2、路或分立器件芯片制造技术领 域。 包括U型连接接头， 所述U型连接接头两接口 朝上设置且分别设于QDR外槽出水口下方， 所述U 型连接接头一接口与QDR外槽出水口通过连接管 连接， 所述U型连接接头另一接口与水电阻率探 头接头连接， 所述水电阻率探头接头内设置水电 阻率探头。 所述连接管、 U型连接接头和水电阻率 探头接头分别为PVC材质制成件。 本申请增加了 水流过水电阻率探头时的流速， 提高了水电阻率 探头测试反应快速和准确性； 能够对晶圆化学清 洗后的冲水效果进行实时的监控， 防止有冲水不 彻底、 化学试剂残留等导致对芯片质量的影响。 权利要求书1页 说明书2页 附图1页 CN 2115。

3、55835 U 2020.09.22 CN 211555835 U 1.一种水电阻率探头的安装结构， 其特征在于： 包括U型连接接头(3)， 所述U型连接接 头(3)两接口朝上设置且分别设于QDR外槽出水口(1)下方， 所述U型连接接头(3)一接口与 QDR外槽出水口(1)通过连接管(2)连接， 所述U型连接接头(3)另一接口与水电阻率探头接 头(4)连接， 所述水电阻率探头接头(4)内设置水电阻率探头(5)。 2.根据权利要求1所述的一种水电阻率探头的安装结构， 其特征在于： 所述连接管(2)、 U型连接接头(3)和水电阻率探头接头(4)分别为PVC材质制成件。 3.根据权利要求2所述的一种。

4、水电阻率探头的安装结构， 其特征在于： 所述连接管(2) 包括L型连接接头(2.1)和直管(2.2)， 所述直管(2.2)竖向设置， 且所述直管(2.2)一端与L 型连接接头(2.1)连接， 另一端与U型连接接头(3)连接。 权利要求书 1/1 页 2 CN 211555835 U 2 一种水电阻率探头的安装结构 技术领域 0001 本实用新型涉及一种水电阻率探头的安装结构， 属于集成电路或分立器件芯片制 造技术领域。 背景技术 0002 半导体晶圆湿法清洗工艺属于比较成熟的工艺， 在整个半导体制造过程中需要多 次经过湿法清洗， 清洗质量直接关系到产品的质量情况， 对于清洗质量的判断一般有表面。

5、 颗粒数量、 化学试剂是否冲洗干净等， 一旦表面残留有化学试剂， 后续的高温步会将残留物 质扩散进晶圆， 从而导致产品器件的参数不良等。 0003 对于清洗工艺主要使用各类化学试剂对晶圆表面进行处理， 在采用化学试剂处理 后， 需要使用高纯去离子水(电阻率15Mcm)对化学试剂进行冲洗， 对冲洗的效果一般 测试QDR槽溢出水的水阻情况来判定。 测试QDR槽出水水电阻率的方式一般采用水电阻率测 试探头和水阻仪配合。 一般水电阻率探头安装在QDR槽的边缘， 这种安装方法的不足之处在 于： 0004 1、 水电阻率探头的水压较小， 经过探头的水量少。 0005 2、 水电阻率探头的水量较少或流速偏慢。

6、， 会导致水电阻率探头不能真实反映水的 电阻率情况。 0006 综上， 水电阻率测试探头的安装直接导致是否可以准确对纯水电阻率进行测试和 能否反馈出真实的冲洗效果情况。 实用新型内容 0007 本实用新型所要解决的技术问题是针对上述现有技术提供一种水电阻率探头的 安装结构， 不仅结构简单， 能够反馈出接近真实的水电阻率， 提高测试的准确性。 0008 本实用新型解决上述问题所采用的技术方案为： 一种水电阻率探头的安装结构， 包括U型连接接头， 所述U型连接接头两接口朝上设置且分别设于QDR外槽出水口下方， 所述 U型连接接头一接口与QDR外槽出水口通过连接管连接， 所述U型连接接头另一接口与水。

7、电 阻率探头接头连接， 所述水电阻率探头接头内设置水电阻率探头。 0009 所述连接管、 U型连接接头和水电阻率探头接头分别为PVC材质制成件。 0010 所述连接管包括L型连接接头和直管， 所述直管竖向设置， 且所述直管一端与L型 连接接头连接， 另一端与U型连接接头连接。 0011 与现有技术相比， 本实用新型的优点在于： 一种水电阻率探头的安装结构， QDR槽 内的水经QDR外槽出水口溢出后， 经过连接管向下落差流动， 在U型连接接头的U型区域使得 水流掉头向上时流经水电阻率探头， 大大增加了水流过水电阻率探头时的流速， 提高了水 电阻率探头测试反应快速和准确性； 能够对晶圆化学清洗后的。

8、冲水效果进行实时的监控， 防止有冲水不彻底、 化学试剂残留等导致对芯片质量的影响。 说明书 1/2 页 3 CN 211555835 U 3 附图说明 0012 图1为本实用新型实施例一种水电阻率探头的安装结构的示意图； 0013 图中1 QDR外槽出水口、 2连接管、 2.1 L型连接接头、 2.2直管、 3 U型连接接头、 4水 电阻率探头接头、 5水电阻率探头。 具体实施方式 0014 以下结合附图实施例对本实用新型作进一步详细描述。 0015 如图1所示， 本实施例中的一种水电阻率探头的安装结构， 包括PVC材质的U型连接 接头3， U型连接接头3两接口朝上设置且分别设于QDR外槽出水。

9、口1下方， U型连接接头3一接 口与QDR外槽出水口1通过PVC材质制成的连接管2连接， U型连接接头3另一接口与水电阻率 探头接头4连接， 水电阻率探头5设置于水电阻率探头接头4内。 0016 上述连接管2包括L型连接接头2.1和直管2.2， 直管2.2竖向设置且直管2.2一端与 L型连接接头2.1连接， 另一端与U型连接接头3连接。 0017 本申请中水电阻率探头5与QDR外槽出水口1之间形成高度落差， QDR槽内的水经 QDR外槽出水1溢出后， 经过连接管2向下落差流动， 在U型连接接头3的U型区域使得水流掉 头向上时流经水电阻率探头5， 大大增加了水流过水电阻率探头时的流速， 提高了水电阻率 探头测试反应快速和准确性； 能够对晶圆化学清洗后的冲水效果进行实时的监控， 防止有 冲水不彻底、 化学试剂残留等导致对芯片质量的影响。 0018 除上述实施例外， 本实用新型还包括有其他实施方式， 凡采用等同变换或者等效 替换方式形成的技术方案， 均应落入本实用新型权利要求的保护范围之内。 说明书 2/2 页 4 CN 211555835 U 4 图1 说明书附图 1/1 页 5 CN 211555835 U 5 。