LPCVD炉真空泵防返气工装.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 202020137598.X (22)申请日 2020.01.21 (73)专利权人 麦斯克电子材料有限公司 地址 471000 河南省洛阳市高新技术产业 开发区滨河北路99号 (72)发明人 张天鹏李艳巧李鲁董开纪 (74)专利代理机构 洛阳公信知识产权事务所 (普通合伙) 41120 代理人 陈佳丽 (51)Int.Cl. F04B 39/10(2006.01) F04B 39/14(2006.01) F04B 37/14(2006.01) H01L 21/67(2006.0。

2、1) F27D 7/06(2006.01) (54)实用新型名称 一种LPCVD炉真空泵防返气工装 (57)摘要 一种LPCVD炉真空泵防返气工装， 涉及半导 体材料生产技术领域， 包括一球形空心连接件， 连接件的上下端设有接口， 连接件的中心位置放 置有橡胶圆球， 连接件靠近上端接口的内壁上设 有4个凸出柱， 4个凸出柱均匀分布于同一个水平 的圆周上。 本实用新型有益效果： 本实用新型结 构简单、 设计合理、 操作方便， 克服了外界气体进 入炉腔沾污产品的问题， 保证了炉腔的洁净度， 进而保证了产品质量。 权利要求书1页 说明书2页 附图3页 CN 211648404 U 2020.10.0。

3、9 CN 211648404 U 1.一种LPCVD炉真空泵防返气工装， 其特征在于： 包括一球形空心连接件 （1） ， 连接件 （1） 的上下端设有接口， 连接件 （1） 的中心位置放置有橡胶圆球 （2） ， 连接件 （1） 靠近上端接 口的内壁上设有4个凸出柱 （3） ， 4个凸出柱 （3） 均匀分布于同一个水平的圆周上。 2.根据权利要求1所述的一种LPCVD炉真空泵防返气工装， 其特征在于： 所述连接件 （1） 由2个空心半球形通过丝扣连接而成。 3.根据权利要求1所述的一种LPCVD炉真空泵防返气工装， 其特征在于： 所述连接件 （1） 两端的接口为NW40接口。 权利要求书 1/1。

4、 页 2 CN 211648404 U 2 一种LPCVD炉真空泵防返气工装 技术领域 0001 本实用新型属于半导体材料生产技术领域， 具体涉及一种LPCVD炉真空泵防返气 工装。 背景技术 0002 半导体硅抛光片生产过程中有一道重要的工艺就是背封工艺。 背封工艺主要的一 种方式就是采用低压化学气象淀积 （LPCVD） 原理在硅片背面生长一层二氧化硅或多晶硅薄 膜。 执行背封工艺主流设备有一种是低压卧式背封炉。 工作原理即将硅片放入石英管内， 用 真空泵对炉管进行抽气， 制造真空环境然后再通入气体， 并通过蝶阀的开合角度控制石英 管内的压力。 适当的气体配合适当的温度在特定的压力环境下进行。

5、反应， 在硅片背面生成 一层二氧化硅或多晶硅薄膜。 0003 在生产过程中有一项重要的要求就是由真空泵对炉管进行抽真空， 而且要保证在 任何时候外界空气不能通过真空泵尾气管道进入炉腔。 外界空气一旦通过真空泵尾气管道 进入炉腔， 势必会造成沾污， 造成产品报废。 实用新型内容 0004 为解决上述问题， 本实用新型所要解决的技术问题是提供一种LPCVD炉真空泵防 返气工装， 外界气体不能通过该装置进入炉腔， 从而保证了炉腔的洁净度， 保证了产品质 量。 0005 本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案是： 一种LPCVD炉真空泵防返 气工装， 包括一球形空心连接件， 连接件的上下端设有接。

6、口， 连接件的中心位置放置有橡胶 圆球， 连接件靠近上端接口的内壁上设有4个凸出柱， 4个凸出柱均匀分布于同一个水平的 圆周上。 0006 本实用新型所述连接件由2个空心半球形通过丝扣连接而成。 0007 本实用新型所述连接件两端的接口为NW40接口。 0008 本实用新型的有益效果是： 本实用新型结构简单、 设计合理、 操作方便， 连接件上 端接口处有四个凸出柱， 真空泵工作时气体由下往上排出顶起橡胶圆球并接触四个凸出 柱， 所以不会将管道堵死， 可以顺利排气； 真空泵停止工作时橡胶圆球靠自重堵塞下部接 口， 外界空气不能进入泵腔， 由此克服了外界气体进入炉腔沾污产品的问题， 保证了炉腔的 。

7、洁净度， 进而保证了产品质量。 附图说明 0009 图1为本实用新型结构示意图； 0010 图2为本实用新型俯视结构示意图； 0011 图3为本实用新型使用状态示意图。 0012 图中标记： 1、 连接件， 2、 橡胶圆球， 3、 凸出柱。 说明书 1/2 页 3 CN 211648404 U 3 具体实施方式 0013 下面结合说明书附图对本实用新型的具体实施方式进行详细的阐述和说明。 0014 如图所示， 一种LPCVD炉真空泵防返气工装， 包括一球形空心连接件1， 连接件1的 上下端设有接口， 连接件1的中心位置放置有橡胶圆球2， 连接件1靠近上端接口的内壁上设 有4个凸出柱3， 4个凸。

8、出柱3均匀分布同一个水平的圆周上。 0015 本实用新型所述橡胶圆球2的直径大于等于连接件1下端开口的直径。 0016 本实用新型所述连接件1由2个空心半球形通过丝扣连接而成。 0017 本实用新型所述连接件1两端的接口为NW40接口， 方便接入尾气管道。 0018 根据尾气管道直径的大小不同， 可变换本实用新型连接件1接口的大小。 0019 本实用新型提供了一种LPCVD炉真空泵防止向炉腔返气的工装结构， 该工装结构 可以直接安装在真空泵尾气管道出口端， 由于该工装的单向通气性， 气体只能由炉腔进入 泵腔然后进入尾气管道， 外界气体不能通过该工装进入炉腔， 从而保证了炉腔的洁净度， 保 证了。

9、产品质量。 0020 如说明书附图1-3所示， 本实用新型包括一个球形空心不锈钢连接件1， 该连接件1 分上下两半球， 两半球之间通过丝扣连接。 一个橡胶圆球位于连接件1的中心位置， 该连接 件1的上下接口为NW40， 方便接入尾气管道。 连接件1的上端接口处设有四个凸出柱3， 四个 凸出柱3均匀分布于同一水平面上， 连接件1的下端开口光滑不设凸出柱， 真空泵工作时气 体由下往上排出的过程中顶起橡胶圆球2并接触四个凸出柱， 所以橡胶圆球不会将管道堵 死， 可以顺利排气； 真空泵停止工作时橡胶圆球2靠自重， 堵塞下部接口， 外界空气不能进入 泵腔。 本实用新型加工工艺简单、 价格低廉、 操作方便， 克服了外界气体进入炉腔沾污产品 的问题。 保证了炉腔的洁净度， 保证了产品质量。 说明书 2/2 页 4 CN 211648404 U 4 图1 说明书附图 1/3 页 5 CN 211648404 U 5 图2 说明书附图 2/3 页 6 CN 211648404 U 6 图3 说明书附图 3/3 页 7 CN 211648404 U 7 。