CVD碳化硅进气系统.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 202020014529.X (22)申请日 2020.01.02 (73)专利权人 成都超纯应用材料有限责任公司 地址 610200 四川省成都市双流区西航港 空港二路1166号 (72)发明人 白秋云 (74)专利代理机构 成都睿道专利代理事务所 (普通合伙) 51217 代理人 潘育敏 (51)Int.Cl. C23C 16/455(2006.01) C23C 16/32(2006.01) (54)实用新型名称 一种CVD碳化硅进气系统 (57)摘要 本实用新型涉及CVD碳。

2、化硅生产技术领域， 尤其是一种CVD碳化硅进气系统， 包括反应腔和 混气罐， 所述混气罐一侧固定连通有三个供气 管， 所述混气罐另一侧固定连通有进气管， 所述 反应腔一侧设置有真空泵， 所述反应腔上还固定 连通有出气管， 所述反应腔外侧壁上呈周向均匀 地固定连接有若干个固定机构， 若干个所述固定 机构上固定连接有通气管道， 且所述通气管道缠 绕在所述反应腔外侧壁上， 所述进气管与所述通 气管道之间相互连通， 所述通气管道内侧呈周向 均匀地固定连通有三个进气口， 且三个所述进气 口均分别与所述反应腔相连通。 该CVD碳化硅进 气系统通过多孔进气的方式， 从而能够有效地解 决了工件表面cvd沉积厚。

3、度不均匀的问题， 实用 性强。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 211713197 U 2020.10.20 CN 211713197 U 1.一种CVD碳化硅进气系统， 包括反应腔(1)和混气罐(3)， 所述混气罐(3)一侧固定连 通有三个供气管(2)， 所述混气罐(3)另一侧固定连通有进气管(4)， 所述反应腔(1)一侧设 置有真空泵(8)， 所述反应腔(1)上还固定连通有出气管(6)， 其特征在于， 所述反应腔(1)外 侧壁上呈周向均匀地固定连接有若干个固定机构(5)， 若干个所述固定机构(5)上固定连接 有通气管道(7)， 且所述通气管道(7)缠绕在所述反应腔(1)外侧壁上。

4、， 所述进气管(4)与所 述通气管道(7)之间相互连通， 所述通气管道(7)内侧呈周向均匀地固定连通有三个进气口 (9)， 且三个所述进气口(9)均分别与所述反应腔(1)相连通。 2.根据权利要求1所述的一种CVD碳化硅进气系统， 其特征在于， 所述固定机构(5)包括 安装块(10)， 所述安装块(10)固定连接在所述反应腔(1)的外侧壁上， 所述安装块(10)一端 固定连接有下夹板(11)， 所述下夹板(11)一端固定连接有第一紧固板(12)， 所述下夹板 (11)上端铰接有上夹板(15)， 且所述上夹板(15)和所述下夹板(11)之间为相对设置， 所述 上夹板(15)一端固定连接有第二紧固。

5、板(13)， 且所述第一紧固板(12)和所述第二紧固板 (13)之间通过螺栓固定连接在一起， 所述通气管道(7)设置在所述下夹板(11)和所述上夹 板(15)之间。 3.根据权利要求2所述的一种CVD碳化硅进气系统， 其特征在于， 所述下夹板(11)和所 述上夹板(15)的内表面上均分别粘接有保护层(14)。 4.根据权利要求2所述的一种CVD碳化硅进气系统， 其特征在于， 所述下夹板(11)和所 述上夹板(15)均为弧形结构件。 权利要求书 1/1 页 2 CN 211713197 U 2 一种CVD碳化硅进气系统 技术领域 0001 本实用新型涉及CVD碳化硅生产技术领域， 尤其涉及一种C。

6、VD碳化硅进气系统。 背景技术 0002 传统的cvd碳化硅生产工艺复杂， 进气端由氢气、 氩气、 以及MTS三种气源同时进入 混合罐混合好之后再进入反应腔体开始反应， 生成sic； 传统的进气系统即将三路气体经混 气罐混合均匀后通过一个入口通入反应腔进行反应， 但经过长期的生产发现， 该通气方法 存在很大弊端， 即cvd碳化硅沉积厚度从进气端到出气端呈现一定的梯度变化， 该变化的产 生是由于反应气体在反应腔体中边流动边反应， 越靠近排气端， 反应气体浓度越低， 这严重 影响工件表面碳化硅沉积厚度的均匀性。 实用新型内容 0003 本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的现有的碳化硅进气系统。

7、会造成 工件表面碳化硅沉积厚度不均匀的缺点， 而提出的一种CVD碳化硅进气系统。 0004 为了实现上述目的， 本实用新型采用了如下技术方案： 0005 设计一种CVD碳化硅进气系统， 包括反应腔和混气罐， 所述混气罐一侧固定连通有 三个供气管， 所述混气罐另一侧固定连通有进气管， 所述反应腔一侧设置有真空泵， 所述反 应腔上还固定连通有出气管， 所述反应腔外侧壁上呈周向均匀地固定连接有若干个固定机 构， 若干个所述固定机构上固定连接有通气管道， 且所述通气管道缠绕在所述反应腔外侧 壁上， 所述进气管与所述通气管道之间相互连通， 所述通气管道内侧呈周向均匀地固定连 通有三个进气口， 且三个所述。

8、进气口均分别与所述反应腔相连通。 0006 优选的， 所述固定机构包括安装块， 所述安装块固定连接在所述反应腔的外侧壁 上， 所述安装块一端固定连接有下夹板， 所述下夹板一端固定连接有第一紧固板， 所述下夹 板上端铰接有上夹板， 且所述上夹板和所述下夹板之间为相对设置， 所述上夹板一端固定 连接有第二紧固板， 且所述第一紧固板和所述第二紧固板之间通过螺栓固定连接在一起， 所述通气管道设置在所述下夹板和所述上夹板之间。 0007 优选的， 所述下夹板和所述上夹板的内表面上均分别粘接有保护层。 0008 优选的， 所述下夹板和所述上夹板均为弧形结构件。 0009 本实用新型提出的一种CVD碳化硅进。

9、气系统， 有益效果在于： 该CVD碳化硅进气系 统的进气端由氢气、 氩气、 以及MTS三种气源分别通过三个供气管进入到混气罐中进行混 合， 三路气体经混气罐混合均匀后， 混合气体会通过进气管进入到通气管道中， 接着， 混合 气体会通过通气管道上的三个进气口进入到反应腔中开始进行反应， 从而能够使得混合气 体可以均匀地分散到反应腔中， 能够使得混合气体在反应腔内部的浓度较为地均匀， 进而 能够有效地避免工件表面cvd碳化硅沉积厚度不均匀的问题。 因此， 本设计通过采用多孔进 气的方式， 通过在反应腔外部缠绕通气管道， 将进气分为几个入口通气， 分别在反应腔的前 端， 中端及尾端通气， 从而能够有。

10、效地解决了工件表面cvd沉积厚度不均匀的问题。 说明书 1/3 页 3 CN 211713197 U 3 附图说明 0010 图1为本实用新型提出的一种CVD碳化硅进气系统的结构示意图。 0011 图2为图1中的部分结构俯视图。 0012 图3为图1和图2中的固定机构的结构示意图。 0013 图中： 反应腔1、 供气管2、 混气罐3、 进气管4、 固定机构5、 出气管6、 通气管道7、 真空 泵8、 进气口9、 安装块10、 下夹板11、 第一紧固板12、 第二紧固板13、 保护层14、 上夹板15。 具体实施方式 0014 下面将结合本实用新型实施例中的附图， 对本实用新型实施例中的技术方案。

11、进行 清楚、 完整地描述， 显然， 所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例， 而不是全部的 实施例。 0015 实施例1 0016 参照图1-3， 一种CVD碳化硅进气系统， 包括反应腔1和混气罐3， 混气罐3一侧固定 连通有三个供气管2， 混气罐3另一侧固定连通有进气管4， 反应腔1一侧设置有真空泵8， 反 应腔1上还固定连通有出气管6， 反应腔1外侧壁上呈周向均匀地固定连接有若干个固定机 构5， 若干个固定机构5上固定连接有通气管道7， 且通气管道7缠绕在反应腔1外侧壁上， 进 气管4与通气管道7之间相互连通， 通气管道7内侧呈周向均匀地固定连通有三个进气口9， 且三个进气口9均分别与。

12、反应腔1相连通， 在cvd碳化硅生产的过程中， 进气端由氢气、 氩气、 以及MTS三种气源分别通过三个供气管2进入到混气罐3中进行混合， 三路气体经混气罐3混 合均匀后， 混合气体会通过进气管4进入到通气管道7中， 接着， 混合气体会通过通气管道7 上的三个进气口9进入到反应腔1中开始进行反应， 从而能够使得混合气体可以均匀地分散 到反应腔1中， 能够使得混合气体在反应腔1内部的浓度较为地均匀， 进而能够有效地避免 工件表面cvd碳化硅沉积厚度不均匀的问题。 因此， 本设计通过采用多孔进气的方式， 通过 在反应腔1外部缠绕通气管道7， 将进气分为几个入口通气， 分别在反应腔1的前端， 中端及 。

13、尾端通气， 从而能够有效地解决了工件表面cvd沉积厚度不均匀的问题。 0017 实施例2 0018 参照图3， 作为本实用新型的另一优选实施例， 与实施例1的区别在于， 固定机构5 包括安装块10， 安装块10固定连接在反应腔1的外侧壁上， 安装块10一端固定连接有下夹板 11， 下夹板11一端固定连接有第一紧固板12， 下夹板11上端铰接有上夹板15， 且上夹板15和 下夹板11之间为相对设置， 上夹板15一端固定连接有第二紧固板13， 且第一紧固板12和第 二紧固板13之间通过螺栓固定连接在一起， 通气管道7设置在下夹板11和上夹板15之间， 下 夹板11和上夹板15均为弧形结构件， 通过。

14、该种设计， 从而能够快速方便地将通气管道7固定 安装到反应腔1的外侧壁上， 安装操作过程十分地简单方便， 而且通气管道7的固定安装的 结构十分稳固可靠， 极具实用性。 0019 实施例3 0020 参照图3， 作为本实用新型的另一优选实施例， 与实施例2的区别在于， 下夹板11和 上夹板15的内表面上均分别粘接有保护层14， 本设计中的保护层14采用橡胶垫， 通过采用 橡胶垫的保护层14， 从而能够有效地起到对通气管道7的缓冲和保护的作用， 能够有效地避 免由于下夹板11和上夹板15夹持的力度过大而造成通气管道7的损坏。 说明书 2/3 页 4 CN 211713197 U 4 0021 以上所述， 仅为本实用新型较佳的具体实施方式， 但本实用新型的保护范围并不 局限于此， 任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内， 根据本实用 新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变， 都应涵盖在本实用新型的保护范 围之内。 说明书 3/3 页 5 CN 211713197 U 5 图1 图2 说明书附图 1/2 页 6 CN 211713197 U 6 图3 说明书附图 2/2 页 7 CN 211713197 U 7 。