晶圆撕胶废膜回收装置.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 202020136736.2 (22)申请日 2020.01.21 (73)专利权人 江苏汇成光电有限公司 地址 225128 江苏省扬州市邗江区高新技 术产业开发区金荣路19号 (72)发明人 陈志远聂伟孟强徐学飞 王坤苏杨生 (74)专利代理机构 南京苏科专利代理有限责任 公司 32102 代理人 王峰 (51)Int.Cl. B65B 69/00(2006.01) B65H 18/10(2006.01) B65H 20/02(2006.01) (54)实用新型名称 一种晶圆。

2、撕胶废膜回收装置 (57)摘要 本实用新型公开了半导体生产制造领域内 的一种晶圆撕胶废膜回收装置， 包括竖直设置的 安装基板， 安装基板上可转动地设置有放料轴， 放料轴上安装有胶带料盘， 导向辊组下方对应设 置有驱动晶圆工作台移动的驱动机构， 胶带料盘 放出的胶带经过导向辊组导向后与晶圆相接触， 与晶圆相接触的胶带最后卷绕到收料筒上， 所述 安装基板背面对应收料筒竖直设置有驱动气缸， 驱动气缸的活塞杆伸出端铰接有摆动杆， 摆动杆 端部连接有压杆轴， 压杆轴向前穿过安装基板， 位于安装基板前面的压杆轴上套设有压杆， 压杆 与收料筒相对应设置， 压杆上设置有位置传感 器； 所述安装基板正面设置有控。

3、制驱动气缸的控 制开关。 本实用新型能够对撕下来的废胶膜进行 清理回收。 权利要求书1页 说明书3页 附图5页 CN 211766866 U 2020.10.27 CN 211766866 U 1.一种晶圆撕胶废膜回收装置， 包括竖直设置的安装基板， 安装基板上可转动地设置 有放料轴， 放料轴与安装基板相垂直， 放料轴上安装有胶带料盘， 胶带料盘上卷绕有多圈胶 带， 所述安装基板上对应胶带料盘设置有导向辊组， 导向辊组下方对应设置有驱动晶圆工 作台移动的驱动机构， 胶带料盘放出的胶带经过导向辊组导向后与晶圆工作台上的晶圆相 接触， 其特征在于， 所述安装基板上对应胶带可转动地设置有收料筒， 收。

4、料筒轴线与安装基 板相垂直， 与晶圆相接触的胶带最后卷绕到收料筒上， 所述安装基板背面对应收料筒竖直 设置有驱动气缸， 驱动气缸的活塞杆伸出端铰接有摆动杆， 安装基板背面设置有支座， 摆动 杆中部与支座相铰接， 摆动杆端部连接有压杆轴， 压杆轴向前穿过安装基板， 位于安装基板 前面的压杆轴上套设有压杆， 压杆与安装基板相垂直， 压杆与收料筒相对应设置， 压杆上设 置有位置传感器； 所述安装基板正面设置有控制驱动气缸的控制开关。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆撕胶废膜回收装置， 其特征在于， 所述安装基板上对 应压杆轴开设有弧形槽， 压杆轴穿过弧形槽， 弧形槽位于收料筒的上方。 3.根据权利要。

5、求1或2所述的一种晶圆撕胶废膜回收装置， 其特征在于， 所述收料筒上 固定安装有定位支架， 定位支架包括位于收料筒外侧的外侧杆和位于收料筒内侧的内侧 杆， 外侧杆和内侧杆均与收料筒轴线相垂直， 外侧杆和内侧杆之间设置有连接杆， 外侧杆与 收料筒外壁之间留有间隙。 4.根据权利要求1或2所述的一种晶圆撕胶废膜回收装置， 其特征在于， 所述收料筒的 筒轴穿过安装基板伸到安装基板的后面， 收料筒的筒轴与安装基板后面的皮带轮机构相传 动连接。 5.根据权利要求1或2所述的一种晶圆撕胶废膜回收装置， 其特征在于， 所述安装基板 的后面设置有继电器和蜂鸣器， 驱动气缸上设置有磁性开关， 磁性开关与继电器、。

6、 蜂鸣器相 串联， 磁性开关通过继电器控制蜂鸣器的通断。 6.根据权利要求1或2所述的一种晶圆撕胶废膜回收装置， 其特征在于， 所述胶带为热 熔胶带。 7.根据权利要求1或2所述的一种晶圆撕胶废膜回收装置， 其特征在于， 所述导向辊组 包括位于晶圆工作台和胶带料盘之间的导向辊一、 导向辊二、 导向辊三和导向辊四， 以及位 于晶圆工作台和收料筒之间的导向板、 导向辊五和导向辊六， 导向板倾斜设置。 8.根据权利要求1或2所述的一种晶圆撕胶废膜回收装置， 其特征在于， 所述驱动机构 包括导轨， 晶圆工作台经滑块滑动连接在导轨上， 导轨上设置有驱动晶圆工作台移动的气 缸。 权利要求书 1/1 页 2。

7、 CN 211766866 U 2 一种晶圆撕胶废膜回收装置 技术领域 0001 本实用新型属于半导体生产制造领域， 特别涉及一种晶圆撕胶废膜回收装置。 背景技术 0002 现有技术中， 晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片， 由于其形状为圆形， 故称为晶圆。 晶圆在加工过程中， 需要对晶圆进行涂膜、 曝光、 显影、 蚀刻、 离子植入、 金属溅 镀和切割等若干工序。 晶圆加工时通常采用将晶圆附在底膜上， 并且在晶圆表面覆盖一层 保护胶膜， 在底膜表面的周围固定一个定位环， 定位环作为晶圆的支撑体， 便于对晶圆进行 加工， 定位方便， 防止将晶圆破坏。 半导体加工制造领域内有一种晶圆合框设备。

8、， 能够实现 自动将晶圆上表面的保护胶膜撕去， 但是其不足之处在于： 缺少对撕下来的废胶膜进行清 理回收的装置。 实用新型内容 0003 本实用新型的目的是提供一种晶圆撕胶废膜回收装置， 能够对撕下来的废胶膜进 行清理回收， 并且在废胶膜需要清理的时候可以进行检测提醒。 0004 本实用新型的目的是这样实现的： 一种晶圆撕胶废膜回收装置， 包括竖直设置的 安装基板， 安装基板上可转动地设置有放料轴， 放料轴与安装基板相垂直， 放料轴上安装有 胶带料盘， 胶带料盘上卷绕有多圈胶带， 所述安装基板上对应胶带料盘设置有导向辊组， 导 向辊组下方对应设置有驱动晶圆工作台移动的驱动机构， 胶带料盘放出的。

9、胶带经过导向辊 组导向后与晶圆工作台上的晶圆相接触， 所述安装基板上对应胶带可转动地设置有收料 筒， 收料筒轴线与安装基板相垂直， 与晶圆相接触的胶带最后卷绕到收料筒上， 所述安装基 板背面对应收料筒竖直设置有驱动气缸， 驱动气缸的活塞杆伸出端铰接有摆动杆， 安装基 板背面设置有支座， 摆动杆中部与支座相铰接， 摆动杆端部连接有压杆轴， 压杆轴向前穿过 安装基板， 位于安装基板前面的压杆轴上套设有压杆， 压杆与安装基板相垂直， 压杆与收料 筒相对应设置， 压杆上设置有位置传感器； 所述安装基板正面设置有控制驱动气缸的控制 开关。 0005 本实用新型工作时， 胶带料盘放出的胶带经过导向辊组导向。

10、后收绕在收料筒上， 驱动机构控制晶圆工作台移动， 使得胶带将晶圆表面的胶膜撕去； 然后胶带料盘转动放胶 带， 收料筒将废胶膜收起卷绕， 晶圆工作台复位后继续移动进行撕胶； 正常工作时， 压杆靠 近收料筒， 当位置传感器检测到费胶膜时， 通过控制开关控制驱动气缸， 使得摆动杆带动压 杆向上移动， 让开位置， 便于人员将废胶膜取下清理掉。 与现有技术相比， 本实用新型的有 益效果在于： 能够对撕下来的废胶膜进行清理回收， 并且在废胶膜需要清理的时候可以进 行检测提醒。 0006 作为本实用新型的进一步改进， 所述安装基板上对应压杆轴开设有弧形槽， 压杆 轴穿过弧形槽， 弧形槽位于收料筒的上方。 0。

11、007 作为本实用新型的进一步改进， 所述收料筒上固定安装有定位支架， 定位支架包 说明书 1/3 页 3 CN 211766866 U 3 括位于收料筒外侧的外侧杆和位于收料筒内侧的内侧杆， 外侧杆和内侧杆均与收料筒轴线 相垂直， 外侧杆和内侧杆之间设置有连接杆， 外侧杆与收料筒外壁之间留有间隙。 废胶膜穿 过外侧杆与收料筒之间的间隙， 将废胶膜卡住， 然后收料筒转动收料时可以避免废胶膜松 动。 0008 作为本实用新型的进一步改进， 所述收料筒的筒轴穿过安装基板伸到安装基板的 后面， 收料筒的筒轴与安装基板后面的皮带轮机构相传动连接。 皮带轮机构控制收料筒转 动。 0009 作为本实用新型。

12、的进一步改进， 所述安装基板的后面设置有继电器和蜂鸣器， 驱 动气缸上设置有磁性开关， 磁性开关与继电器、 蜂鸣器相串联， 磁性开关通过继电器控制蜂 鸣器的通断。 当磁性开关感知到驱动气缸使得压杆上升时反馈信号给继电器， 继电器工作 将电路1和2导通， 蜂鸣器工作； 当磁性开关感知到驱动气缸使得压杆下降时无反馈信号给 继电器， 继电器电路1和2常闭， 蜂鸣器不工作； 清理废胶膜时作业人员将控制开关向下拨使 得驱动气缸的活塞杆缩回， 使得右侧压杆抬起， 此时会触发继电器导通使得蜂鸣器蜂鸣， 直 至将压杆放下才会停止蜂鸣， 这样换完废胶膜作业前能有效提醒作业人员将压杆及时放 下， 避免因为压杆未放。

13、下导致位置传感器无法检测到废胶膜已经需要清理。 0010 为了防止胶带传动时粘住导向辊组， 所述胶带为热熔胶带。 胶带与晶圆接触前被 加热， 正好释放粘性进行撕胶。 0011 作为本实用新型的进一步改进， 所述导向辊组包括位于晶圆工作台和胶带料盘之 间的导向辊一、 导向辊二、 导向辊三和导向辊四， 以及位于晶圆工作台和收料筒之间的导向 板、 导向辊五和导向辊六， 导向板倾斜设置。 0012 作为本实用新型的进一步改进， 所述驱动机构包括导轨， 晶圆工作台经滑块滑动 连接在导轨上， 导轨上设置有驱动晶圆工作台移动的气缸。 气缸驱动晶圆工作台移动， 与胶 带发生相对位移， 从而将胶膜撕去。 附图说。

14、明 0013 图1为本实用新型的主视图。 0014 图2为本实用新型的后视图。 0015 图3为收料筒的剖视图。 0016 图4为压杆的剖视图。 0017 图5为继电器、 蜂鸣器和磁性开关的电气控制原理图。 0018 其中， 1安装基板， 2放料轴， 3胶带料盘， 4晶圆工作台， 5收料筒， 6驱动气缸， 7摆动 杆， 8支座， 9压杆轴， 9a压杆， 10控制开关， 11弧形槽， 12定位支架， 12a外侧杆， 12b内侧杆， 12c连接杆， 13皮带轮机构， 14继电器， 15蜂鸣器， 16磁性开关， 17导向辊一， 18导向辊二， 19 导向辊三， 20导向辊四， 21导向板， 22导向。

15、辊五， 23导向辊六， 24导轨， 25气缸， 26胶带。 具体实施方式 0019 如图1-5所示， 为一种晶圆撕胶废膜回收装置， 包括竖直设置的安装基板1， 安装基 板1上可转动地设置有放料轴2， 放料轴2与安装基板1相垂直， 放料轴2上安装有胶带料盘3， 胶带料盘3上卷绕有多圈胶带26， 安装基板1上对应胶带料盘3设置有导向辊组， 导向辊组下 说明书 2/3 页 4 CN 211766866 U 4 方对应设置有驱动晶圆工作台4移动的驱动机构， 胶带料盘3放出的胶带26经过导向辊组导 向后与晶圆工作台4上的晶圆相接触， 安装基板1上对应胶带26可转动地设置有收料筒5， 收 料筒5轴线与安装。

16、基板1相垂直， 与晶圆相接触的胶带26最后卷绕到收料筒5上， 安装基板1 背面对应收料筒5竖直设置有驱动气缸6， 驱动气缸6的活塞杆伸出端铰接有摆动杆7， 安装 基板1背面设置有支座8， 摆动杆7中部与支座8相铰接， 摆动杆7端部连接有压杆轴9， 压杆轴 9向前穿过安装基板1， 位于安装基板1前面的压杆轴9上套设有压杆9a， 压杆9a与安装基板1 相垂直， 压杆9a与收料筒5相对应设置， 压杆9a上设置有位置传感器； 安装基板1正面设置有 控制驱动气缸6的控制开关10。 安装基板1上对应压杆轴9开设有弧形槽11， 压杆轴9穿过弧 形槽11， 弧形槽11位于收料筒5的上方。 收料筒5上固定安装有。

17、定位支架12， 定位支架12包括 位于收料筒5外侧的外侧杆12a和位于收料筒5内侧的内侧杆12b， 外侧杆12a和内侧杆12b均 与收料筒5轴线相垂直， 外侧杆12a和内侧杆12b之间设置有连接杆12c， 外侧杆12a与收料筒 5外壁之间留有间隙。 收料筒5的筒轴穿过安装基板1伸到安装基板1的后面， 收料筒5的筒轴 与安装基板1后面的皮带轮机构13相传动连接。 安装基板1的后面设置有继电器14和蜂鸣器 15， 驱动气缸6上设置有磁性开关16， 磁性开关16与继电器14、 蜂鸣器15相串联， 磁性开关16 通过继电器14控制蜂鸣器15的通断。 胶带26为热熔胶带。 所述导向辊组包括位于晶圆工作 。

18、台4和胶带料盘3之间的导向辊一17、 导向辊二18、 导向辊三19和导向辊四20， 以及位于晶圆 工作台4和收料筒5之间的导向板21、 导向辊五22和导向辊六23， 导向板倾斜设置。 所述驱动 机构包括导轨24， 晶圆工作台4经滑块滑动连接在导轨24上， 导轨24上设置有驱动晶圆工作 台4移动的气缸25。 0020 本实用新型工作时， 胶带料盘3放出的胶带26经过导向辊组导向后收绕在收料筒5 上， 驱动机构控制晶圆工作台4移动， 使得胶带26将晶圆表面的胶膜撕去； 然后胶带料盘3转 动放胶带26， 收料筒5将废胶膜收起卷绕， 晶圆工作台4复位后继续移动进行撕胶； 正常工作 时， 压杆9a靠近收。

19、料筒5， 当位置传感器检测到费胶膜时， 通过控制开关10控制驱动气缸6， 使得摆动杆7带动压杆9a向上移动， 让开位置， 便于人员将废胶膜取下清理掉。 如图5， 当磁 性开关16感知到驱动气缸6使得压杆9a上升时反馈信号给继电器14， 继电器14工作将电路1 和2导通， 蜂鸣器15工作； 当磁性开关16感知到驱动气缸6使得压杆9a下降时无反馈信号给 继电器14， 继电器14电路1和2常闭， 蜂鸣器15不工作； 清理废胶膜时作业人员将控制开关10 向下拨使得驱动气缸6的活塞杆缩回， 使得右侧压杆9a抬起， 此时会触发继电器14导通使得 蜂鸣器15蜂鸣， 直至将压杆9a放下才会停止蜂鸣， 这样换完。

20、废胶膜作业前能有效提醒作业 人员将压杆9a及时放下， 避免因为压杆9a未放下导致位置传感器无法检测到废胶膜已经需 要清理。 本实用新型的优点在于： 能够对撕下来的废胶膜进行清理回收， 并且在废胶膜需要 清理的时候可以进行检测提醒。 0021 本实用新型并不局限于上述实施例， 在本实用新型公开的技术方案的基础上， 本 领域的技术人员根据所公开的技术内容， 不需要创造性的劳动就可以对其中的一些技术特 征作出一些替换和变形， 这些替换和变形均在本实用新型的保护范围内。 说明书 3/3 页 5 CN 211766866 U 5 图1 说明书附图 1/5 页 6 CN 211766866 U 6 图2 说明书附图 2/5 页 7 CN 211766866 U 7 图3 说明书附图 3/5 页 8 CN 211766866 U 8 图4 说明书附图 4/5 页 9 CN 211766866 U 9 图5 说明书附图 5/5 页 10 CN 211766866 U 10 。