半导体制程特种气体输送管道内压力测量装置.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 202020316321.3 (22)申请日 2020.03.15 (66)本国优先权数据 201922435072.X 2019.12.30 CN (73)专利权人 苏州锐泽系统工程有限公司 地址 215163 江苏省苏州市高新区科发路 101号南楼905室 (72)发明人 汪德生 (51)Int.Cl. G01L 11/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种半导体制程特种气体输送管道内压力 测量装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种半导体制程特种气 体输送管道内。

2、压力测量装置， 包括第一柱体和第 二柱体， 所述第一柱体内设有用于对第二柱体进 行延展的延展机构， 所述第二柱体的左右两侧均 设有顶板， 所述第二柱体内设有用于对两块顶板 进行驱动的驱动机构。 本实用新型可以不同内径 和不同长度的管道进行压力测量， 测量较为方 便。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 211784019 U 2020.10.27 CN 211784019 U 1.一种半导体制程特种气体输送管道内压力测量装置， 包括第一柱体 （1） 和第二柱体 （2） ， 其特征在于， 所述第一柱体 （1） 内设有用于对第二柱体 （2） 进行延展的延展机构 （3） ， 所 述第二柱体 。

3、（2） 的左右两侧均设有顶板 （4） ， 所述第二柱体 （2） 内设有用于对两块顶板 （4） 进 行驱动的驱动机构 （5） 。 2.根据权利要求1所述的一种半导体制程特种气体输送管道内压力测量装置， 其特征 在于， 所述延展机构 （3） 包括两个设置在第一柱体 （1） 侧壁上凹槽 （6） ， 两个所述凹槽 （6） 内 均竖直转动连接有螺纹杆 （7） ， 两根所述螺纹杆 （7） 的下端均转动贯穿第一柱体 （1） 设置， 所 述第二柱体 （2） 的上端设有与两根螺纹杆 （7） 相匹配的第一螺纹孔 （8） ， 两根所述螺纹杆 （7） 的下端分别与两个第一螺纹孔 （8） 螺纹连接， 两根所述螺纹杆 （。

4、7） 外均同轴固定连接有齿轮 （9） ， 所述第一柱体 （1） 外转动连接有T型转环 （10） ， 所述T型转环 （10） 的内侧壁设有齿槽， 所 述齿槽与两个齿轮 （9） 均相啮合。 3.根据权利要求1所述的一种半导体制程特种气体输送管道内压力测量装置， 其特征 在于， 所述驱动机构 （5） 包括左右贯穿第二柱体 （2） 设置的条形通孔 （11） ， 所述条形通孔 （11） 内竖直转动连接有双向螺纹杆 （12） ， 所述双向螺纹杆 （12） 外螺纹套设有两块螺纹块 （13） ， 两块所述螺纹块 （13） 的外侧壁均转动连接有两根偏转杆 （14） ， 四根所述偏转杆 （14） 远离螺纹块 （1。

5、3） 的一端分别与两块顶板 （4） 转动连接， 所述双向螺纹杆 （12） 的上端转动贯 穿第二柱体 （2） 设置， 所述第一柱体 （1） 上下贯穿设有插杆 （15） ， 所述插杆 （15） 的上端同轴 固定连接有转柄 （16） ， 所述双向螺纹杆 （12） 的上端设有插孔， 所述插杆 （15） 与插孔滑动连 接。 4.根据权利要求3所述的一种半导体制程特种气体输送管道内压力测量装置， 其特征 在于， 两块所述螺纹块 （13） 上均贯穿设有与双向螺纹杆 （12） 相匹配的第二螺纹孔， 两个所 述第二螺纹孔内的螺纹旋向相反。 5.根据权利要求3所述的一种半导体制程特种气体输送管道内压力测量装置， 。

6、其特征 在于， 所述插孔内侧壁固定连接有两块滑块 （17） ， 所述插杆 （15） 的外侧壁上设有与滑块 （17） 相匹配的滑槽， 所述滑块 （17） 与滑槽滑动连接。 6.根据权利要求1所述的一种半导体制程特种气体输送管道内压力测量装置， 其特征 在于， 两块所述顶板 （4） 的远离第二柱体 （2） 的一端均固定安装有压力传感器 （18） 。 权利要求书 1/1 页 2 CN 211784019 U 2 一种半导体制程特种气体输送管道内压力测量装置 技术领域 0001 本实用新型涉及压力测试设备技术领域， 尤其涉及一种半导体制程特种气体输送 管道内压力测量装置。 背景技术 0002 气体工业。

7、名词， 是指那些在特定领域中应用的， 对气体有特殊要求的纯气， 高纯气 或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。 0003 现有的输气管道在投入使用之前需要对其各个位置进行压力测试， 现有的压力测 试设备不便于调节长度， 对管道内部测量较为不便， 且不便于对不同内径的管道压力进行 测量。 0004 为此， 我们提出来一种半导体制程特种气体输送管道内压力测量装置解决上述问 题。 发明内容 0005 本实用新型的目的是为了解决现有技术中压力测试设备长度不便于调节且不便 于对不同内径的管道压力进行测量的问题， 而提出的一种半导体制程特种气体输送管道内 压力测量装置。 0006 为了实现上述目的， 本。

8、实用新型采用了如下技术方案： 0007 一种半导体制程特种气体输送管道内压力测量装置， 包括第一柱体和第二柱体， 所述第一柱体内设有用于对第二柱体进行延展的延展机构， 所述第二柱体的左右两侧均设 有顶板， 所述第二柱体内设有用于对两块顶板进行驱动的驱动机构。 0008 优选地， 所述延展机构包括两个设置在第一柱体侧壁上凹槽， 两个所述凹槽内均 竖直转动连接有螺纹杆， 两根所述螺纹杆的下端均转动贯穿第一柱体设置， 所述第二柱体 的上端设有与两根螺纹杆相匹配的第一螺纹孔， 两根所述螺纹杆的下端分别与两个第一螺 纹孔螺纹连接， 两根所述螺纹杆外均同轴固定连接有齿轮， 所述第一柱体外转动连接有T型 转。

9、环， 所述T型转环的内侧壁设有齿槽， 所述齿槽与两个齿轮均相啮合。 0009 优选地， 所述驱动机构包括左右贯穿第二柱体设置的条形通孔， 所述条形通孔内 竖直转动连接有双向螺纹杆， 所述双向螺纹杆外螺纹套设有两块螺纹块， 两块所述螺纹块 的外侧壁均转动连接有两根偏转杆， 四根所述偏转杆远离螺纹块的一端分别与两块顶板转 动连接， 所述双向螺纹杆的上端转动贯穿第二柱体设置， 所述第一柱体上下贯穿设有插杆， 所述插杆的上端同轴固定连接有转柄， 所述双向螺纹杆的上端设有插孔， 所述插杆与插孔 滑动连接。 0010 优选地， 两块所述螺纹块上均贯穿设有与双向螺纹杆相匹配的第二螺纹孔， 两个 所述第二螺纹。

10、孔内的螺纹旋向相反。 0011 优选地， 所述插孔内侧壁固定连接有两块滑块， 所述插杆的外侧壁上设有与滑块 相匹配的滑槽， 所述滑块与滑槽滑动连接。 说明书 1/3 页 3 CN 211784019 U 3 0012 优选地， 两块所述顶板的远离第二柱体的一端均固定安装有压力传感器。 0013 与现有技术相比， 本实用新型的有益效果为： 0014 1、 通过设置延展机构， 通过转动T型转环， T型转环带动两个齿轮转动， 两个齿轮带 动两根螺纹杆转动， 两根螺纹杆带动第一柱体移动， 从而可以调节第一柱体和第二柱体的 总长度， 对不同长度的管道进行测量时， 较为方便； 0015 2、 通过设置驱动。

11、机构， 通过转动转柄， 转柄带动插杆转动， 插杆带动双向螺纹杆转 动， 双向螺纹杆带动两块螺纹块升降， 两块螺纹块相对移动， 两块螺纹块通过四根偏转杆带 动两块顶板相对移动， 两块顶板带动压力传感器移动， 直至压力传感器与管道内壁相抵接 触， 即可对不同内径管道内壁的压力进行测量， 测量较为方便。 0016 本实用新型可以不同内径和不同长度的管道进行压力测量， 测量较为方便。 附图说明 0017 图1为本实用新型提出的一种半导体制程特种气体输送管道内压力测量装置的正 面结构透视图； 0018 图2为本实用新型提出的一种半导体制程特种气体输送管道内压力测量装置的侧 面结构透视图； 0019 图3。

12、为本实用新型提出的一种半导体制程特种气体输送管道内压力测量装置的俯 视结构透视图； 0020 图4为本实用新型提出的一种半导体制程特种气体输送管道内压力测量装置中双 向螺纹杆与插杆的连接结构截面图。 0021 图中： 1第一柱体、 2第二柱体、 3延展机构、 4顶板、 5驱动机构、 6凹槽、 7螺纹杆、 8第 一螺纹孔、 9齿轮、 10 T型转环、 11条形通孔、 12双向螺纹杆、 13螺纹块、 14偏转杆、 15插杆、 16 转柄、 17滑块、 18压力传感器。 具体实施方式 0022 下面将结合本实用新型实施例中的附图， 对本实用新型实施例中的技术方案进行 清楚、 完整地描述， 显然， 所。

13、描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例， 而不是全部的 实施例。 0023 参照图1-4， 一种半导体制程特种气体输送管道内压力测量装置， 包括第一柱体1 和第二柱体2， 第一柱体1内设有用于对第二柱体2进行延展的延展机构3， 具体的， 延展机构 3包括两个设置在第一柱体1侧壁上凹槽6， 两个凹槽6内均竖直转动连接有螺纹杆7， 两根螺 纹杆7的下端均转动贯穿第一柱体1设置， 第二柱体2的上端设有与两根螺纹杆7相匹配的第 一螺纹孔8， 两根螺纹杆7的下端分别与两个第一螺纹孔8螺纹连接。 0024 本实用新型中， 两根螺纹杆7外均同轴固定连接有齿轮9， 第一柱体1外转动连接有 T型转环10， T。

14、型转环10的内侧壁设有齿槽， 齿槽与两个齿轮9均相啮合， 第二柱体2的左右两 侧均设有顶板4， 第二柱体2内设有用于对两块顶板4进行驱动的驱动机构5， 值得一提的是， 驱动机构5包括左右贯穿第二柱体2设置的条形通孔11， 条形通孔11内竖直转动连接有双向 螺纹杆12， 双向螺纹杆12外螺纹套设有两块螺纹块13， 需要说明的是， 两块螺纹块13上均贯 穿设有与双向螺纹杆12相匹配的第二螺纹孔， 两个第二螺纹孔内的螺纹旋向相反。 说明书 2/3 页 4 CN 211784019 U 4 0025 本实用新型中， 两块螺纹块13的外侧壁均转动连接有两根偏转杆14， 四根偏转杆 14远离螺纹块13的一。

15、端分别与两块顶板4转动连接， 双向螺纹杆12的上端转动贯穿第二柱 体2设置， 第一柱体1上下贯穿设有插杆15， 插杆15的上端同轴固定连接有转柄16， 双向螺纹 杆12的上端设有插孔， 插杆15与插孔滑动连接， 值得一提的是， 插孔内侧壁固定连接有两块 滑块17， 插杆15的外侧壁上设有与滑块17相匹配的滑槽， 滑块17与滑槽滑动连接， 需要说明 的是， 两块顶板4的远离第二柱体2的一端均固定安装有压力传感器18， 需要说明的是， 压力 传感器18通过无线网络与外部显示屏相连通， 此为现有技术， 具体不做赘述。 0026 本实用新型中使用时， 将第一主体1和第二主体2放入管道内， 然后转动T型。

16、转环 10， 所述T型转环10带动两个齿轮9转动， 两个齿轮9带动两根螺纹杆7转动， 两根螺纹杆7带 动第一柱体1移动， 直至第一柱体1与第二柱体2之间的总长度延长至合适长度； 然后转动转 柄16， 转柄16带动插杆15转动， 插杆15带动双向螺纹杆12转动， 双向螺纹杆12带动两块螺纹 块13相对移动， 两块螺纹块13通过四根偏转杆14带动两块顶板4相对移动， 两块顶板4带动 两个压力传感器18移动， 直至压力传感器18与管道内壁相抵接触， 继续转动转柄16即可对 管道进行压力测量。 0027 以上所述， 仅为本实用新型较佳的具体实施方式， 但本实用新型的保护范围并不 局限于此， 任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内， 根据本实用 新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变， 都应涵盖在本实用新型的保护范 围之内。 说明书 3/3 页 5 CN 211784019 U 5 图1 说明书附图 1/4 页 6 CN 211784019 U 6 图2 说明书附图 2/4 页 7 CN 211784019 U 7 图3 说明书附图 3/4 页 8 CN 211784019 U 8 图4 说明书附图 4/4 页 9 CN 211784019 U 9 。