镀膜机观察结构.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 202020390764.7 (22)申请日 2020.03.25 (73)专利权人 度亘激光技术(苏州)有限公司 地址 215000 江苏省苏州市工业园区苏州 金鸡湖大道99号西北区20幢215、 217 室 (72)发明人 苏朋杨国文宋院鑫张松涛 赵卫东 (74)专利代理机构 北京超凡宏宇专利代理事务 所(特殊普通合伙) 11463 代理人 付兴奇 (51)Int.Cl. C23C 14/52(2006.01) C23C 14/56(2006.01) (ESM)同样的发明创造。

2、已同日申请发明专利 (54)实用新型名称 镀膜机观察结构 (57)摘要 本申请公开了一种镀膜机观察结构， 涉及镀 膜设备的技术领域。 本申请的镀膜机观察结构包 括镀膜机本体、 挡板、 观察窗、 转动玻璃和碎屑收 集件， 镀膜机本体具有壳体以及设于壳体内的镀 膜腔， 壳体上设有观察通道， 观察通道具有第一 开口端和与镀膜腔相通的第二开口端； 观察窗连 接于壳体上， 且设于第一开口端处； 挡板连接于 壳体上， 且设于第二开口端处； 转动玻璃能转动 地设于观察通道内， 且位于挡板和观察窗之间； 碎屑收集件设于观察通道内， 碎屑收集件具有收 集槽， 收集槽被配置成用于收集转动玻璃上脱离 的碎屑。 故本。

3、申请能够用于对镀膜机的镀膜腔内 的情况进行观察， 使得镀膜质量较佳。 权利要求书2页 说明书6页 附图10页 CN 211872079 U 2020.11.06 CN 211872079 U 1.一种镀膜机观察结构， 其特征在于， 包括： 镀膜机本体， 具有壳体以及设于壳体内的镀膜腔， 所述壳体上设有观察通道， 所述观察 通道具有第一开口端和与所述镀膜腔相通的第二开口端； 观察窗， 连接于所述壳体上， 且设于所述第一开口端处； 挡板， 连接于所述壳体上， 且设于所述第二开口端处； 转动玻璃， 能转动地设于所述观察通道内， 且位于所述挡板和所述观察窗之间； 以及 碎屑收集件， 设于所述观察通道内。

4、， 所述碎屑收集件具有收集槽， 所述收集槽被配置成 用于收集所述转动玻璃上脱离的碎屑。 2.根据权利要求1所述的镀膜机观察结构， 其特征在于， 所述碎屑收集件包括： 第一板； 第二板， 与所述第一板间隔设置； 以及 第三板， 分别与所述第一板和第二板相连； 其中， 所述第一板、 所述第二板与所述第三板形成所述收集槽， 所述第一板和所述第二 板分别位于所述转动玻璃的两侧。 3.根据权利要求2所述的镀膜机观察结构， 其特征在于， 所述转动玻璃的部分区域伸入 所述收集槽内； 其中， 所述转动玻璃的径向截面面积的二分之一大于或者等于所述第一板沿宽度方向 的截面面积； 所述转动玻璃的径向截面面积的二分之。

5、一大于或者等于所述第二板沿宽度方向的截 面面积。 4.根据权利要求3所述的镀膜机观察结构， 其特征在于， 包括： 转动手柄， 所述观察窗上设有第一安装孔， 所述转动手柄能转动地穿设于所述第一安 装孔内， 且所述转动手柄的端部穿过所述第一安装孔与所述转动玻璃连接。 5.根据权利要求2所述的镀膜机观察结构， 其特征在于， 所述转动玻璃的部分区域伸入 所述收集槽内； 其中， 所述转动玻璃的径向截面面积的二分之一大于所述第一板沿宽度方向的截面面 积； 所述转动玻璃的径向截面面积的二分之一小于所述第二板沿宽度方向的截面面积。 6.根据权利要求5所述的镀膜机观察结构， 其特征在于， 所述挡板上设有第一孔，。

6、 所述 第二板上设有第三孔， 所述第三孔的轴线与所述第一孔的轴线成重合设置。 7.根据权利要求2所述的镀膜机观察结构， 其特征在于， 所述转动玻璃设于所述收集槽 内； 其中， 所述转动玻璃的径向截面面积小于或者等于所述第一板沿宽度方向的截面面 积； 所述转动玻璃的径向截面面积小于或者等于所述第二板沿宽度方向的截面面积。 8.根据权利要求7所述的镀膜机观察结构， 其特征在于， 所述挡板上设有第一孔， 所述 第一板上设有第二孔， 所述第二板上设有第三孔， 所述第二孔的轴线、 所述第三孔的轴线与 所述第一孔的轴线成重合设置。 9.根据权利要求6或8所述的镀膜机观察结构， 其特征在于， 包括： 权利要。

7、求书 1/2 页 2 CN 211872079 U 2 转动手柄， 所述观察窗上设有第一安装孔， 所述转动手柄能转动地穿设于所述第一安 装孔内， 所述第二板上设有第二安装孔； 所述转动手柄的端部依次穿过所述第一安装孔和所述第二安装孔与所述转动玻璃连 接。 10.根据权利要求1所述的镀膜机观察结构， 其特征在于， 所述挡板上设有朝向所述观 察窗凸起的凸边， 其中， 所述碎屑收集件设于所述凸边所围成的区域内。 权利要求书 2/2 页 3 CN 211872079 U 3 镀膜机观察结构 技术领域 0001 本申请涉及镀膜设备的技术领域， 具体而言， 涉及一种镀膜机观察结构。 背景技术 0002 真。

8、空镀膜机是一种常用的镀膜工艺设备， 广泛地用于半导体器件、 金属以及其他 功能性材料的薄膜制备。 实际过程中， 为保证镀膜质量， 往往需要对镀膜机的镀膜腔内的情 况经常进行观察。 发明内容 0003 本申请的目的在于提供一种镀膜机观察结构， 其能够用于对镀膜机的镀膜腔内的 情况进行观察， 使得镀膜质量较佳。 0004 本申请的实施例是这样实现的： 0005 一种镀膜机观察结构包括镀膜机本体、 挡板、 观察窗、 转动玻璃和碎屑收集件， 所 述镀膜机本体具有壳体以及设于壳体内的镀膜腔， 所述壳体上设有观察通道， 所述观察通 道具有第一开口端和与所述镀膜腔相通的第二开口端； 所述观察窗连接于所述壳体。

9、上， 且 设于所述第一开口端处； 所述挡板连接于所述壳体上， 且设于所述第二开口端处； 所述转动 玻璃能转动地设于所述观察通道内， 且位于所述挡板和所述观察窗之间； 所述碎屑收集件 设于所述观察通道内， 所述碎屑收集件具有收集槽， 所述收集槽被配置成用于收集所述转 动玻璃上脱离的碎屑。 0006 于一实施例中， 所述碎屑收集件包括第一板、 第二板和第三板， 所述第二板与所述 第一板间隔设置； 所述第三板分别与所述第一板和第二板相连； 其中， 所述第一板、 所述第 二板与所述第三板形成所述收集槽， 所述第一板和所述第二板分别位于所述转动玻璃的两 侧。 0007 于一实施例中， 所述第一板和所述第。

10、二板为直板， 所述第三板为曲形板， 所述收集 槽为圆弧形。 0008 于一实施例中， 所述转动玻璃的部分区域伸入所述收集槽内； 其中， 所述转动玻璃 的径向截面面积的二分之一大于或者等于所述第一板沿宽度方向的截面面积； 所述转动玻 璃的径向截面面积的二分之一大于或者等于所述第二板沿宽度方向的截面面积。 0009 于一实施例中， 所述镀膜机观察结构包括转动手柄， 所述观察窗上设有第一安装 孔， 所述转动手柄能转动地穿设于所述第一安装孔内， 且所述转动手柄的端部穿过所述第 一安装孔与所述转动玻璃连接。 0010 于一实施例中， 所述转动玻璃的部分区域伸入所述收集槽内； 其中， 所述转动玻璃 的径向。

11、截面面积的二分之一大于所述第一板沿宽度方向的截面面积； 所述转动玻璃的径向 截面面积的二分之一小于所述第二板沿宽度方向的截面面积。 0011 于一实施例中， 所述挡板上设有第一孔， 所述第二板上设有第三孔， 所述第三孔的 轴线与所述第一孔的轴线成重合设置。 说明书 1/6 页 4 CN 211872079 U 4 0012 于一实施例中， 所述转动玻璃设于所述收集槽内； 其中， 所述转动玻璃的径向截面 面积小于或者等于所述第一板沿宽度方向的截面面积； 所述转动玻璃的径向截面面积小于 或者等于所述第二板沿宽度方向的截面面积。 0013 于一实施例中， 所述挡板上设有第一孔， 所述第一板上设有第二。

12、孔， 所述第二板上 设有第三孔， 所述第二孔的轴线、 所述第三孔的轴线与所述第一孔的轴线成重合设置。 0014 于一实施例中， 所述镀膜机观察结构包括转动手柄， 所述观察窗上设有第一安装 孔， 所述转动手柄能转动地穿设于所述第一安装孔内， 所述第二板上设有第二安装孔； 所述 转动手柄的端部依次穿过所述第一安装孔和所述第二安装孔与所述转动玻璃连接。 0015 于一实施例中， 所述挡板上设有朝向所述观察窗凸起的凸边， 其中， 所述碎屑收集 件设于所述凸边所围成的区域内。 0016 于一实施例中， 所述观察窗包括观察边框和观察玻璃， 所述观察边框连接于所述 壳体上； 所述观察玻璃设于所述观察边框内。。

13、 0017 本申请与现有技术相比的有益效果是： 0018 本申请通过观察窗和转动玻璃能够对镀膜机的镀膜腔内的情况进行观察， 使得镀 膜质量较佳； 本申请通过挡板阻挡部分气化为原子、 分子或离子的靶材沉积到观察窗上而 降低观察窗的清晰度， 而影响观察效果； 本申请通过碎屑收集件能够收集转动玻璃上脱离 的薄膜碎屑， 避免碎屑进入镀膜腔内而影响镀膜质量。 附图说明 0019 为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案， 下面将对实施例中所需要使用的附 图作简单地介绍， 应当理解， 以下附图仅示出了本申请的某些实施例， 因此不应被看作是对 范围的限定， 对于本领域普通技术人员来讲， 在不付出创造性劳动的前。

14、提下， 还可以根据这 些附图获得其他相关的附图。 0020 图1为本申请一实施例示出的镀膜机本体的结构示意图； 0021 图2为本申请一实施例示出的镀膜机观察结构的剖视图； 0022 图3为本申请一实施例示出的镀膜机观察结构的部分结构示意图； 0023 图4为本申请一实施例示出的镀膜机观察结构的部分结构示意图； 0024 图5为本申请一实施例示出的镀膜机观察结构的剖视图； 0025 图6为本申请一实施例示出的碎屑收集件的剖视图； 0026 图7为本申请一实施例示出的碎屑收集件的剖视图； 0027 图8为本申请一实施例示出的镀膜机观察结构的剖视图； 0028 图9为本申请一实施例示出的镀膜机观察。

15、结构的部分结构示意图； 0029 图10为本申请一实施例示出的碎屑收集件的剖视图。 0030 图标： 100镀膜机观察结构； 1镀膜机本体； 11壳体； 12镀膜腔； 13观察通 道； 131第一开口端； 132第二开口端； 2挡板； 21第一孔； 22凸边； 3观察窗； 31 观察边框； 32观察玻璃； 33第一安装孔； 4转动玻璃； 5转动手柄； 6碎屑收集件； 61第一板； 611第二孔； 62第二板； 621第三孔； 622第二安装孔； 63第三板； 64 收集槽； A1第一方向； A2第二方向。 说明书 2/6 页 5 CN 211872079 U 5 具体实施方式 0031 术语 。

16、“第一” 、“第二” 、“第三” 等仅用于区分描述， 并不表示排列序号， 也不能理解 为指示或暗示相对重要性。 0032 此外， 术语 “水平” 、“竖直” 、“悬垂” 等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂， 而 是可以稍微倾斜。 如 “水平” 仅仅是指其方向相对 “竖直” 而言更加水平， 并不是表示该结构 一定要完全水平， 而是可以稍微倾斜。 0033 在本申请的描述中， 需要说明的是， 术语 “内” 、“外” 、“左” 、“右” 、“上” 、“下” 等指示 的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系， 或者是该申请产品使用时惯常摆放 的方位或位置关系， 仅是为了便于描述本申请和简化描述。

17、， 而不是指示或暗示所指的装置 或元件必须具有特定的方位、 以特定的方位构造和操作， 因此不能理解为对本申请的限制。 0034 在本申请的描述中， 除非另有明确的规定和限定， 术语 “设置” 、“安装” 、“相连” 、 “连接” 应做广义理解， 例如， 可以是固定连接， 也可以是可拆卸连接， 或一体地连接； 可以是 机械连接， 也可以是电连接； 可以是直接相连， 也可以通过中间媒介间接相连， 可以是两个 元件内部的连通。 0035 下面将结合附图对本申请的技术方案进行清楚、 完整地描述。 0036 请参照图1， 其为本申请一实施例示出的镀膜机本体1的结构示意图。 镀膜机本体1 具有壳体11以及。

18、设于壳体11内的镀膜腔12， 壳体11上设有观察通道13， 观察通道13可以是 通孔形状， 具有设于壳体11外表面的第一开口端131和与镀膜腔12相通的第二开口端132。 0037 其中， 观察通道13可以是方形孔、 圆形孔、 椭圆形孔、 三角形孔等。 观察通道13的轴 线方向为第一开口端131指向第二开口端132的方向， 将观察通道13的轴线方向称作第一方 向A1， 并将第一开口端131指向第二开口端132的方向定义为向左。 将观察通道13的径向方 向称作第二方向A2， 第一方向A1与第二方向A2垂直。 0038 请参照图2， 其为本申请一实施例示出的镀膜机观察结构100的剖视图。 镀膜机观。

19、 察结构100包括镀膜机本体1。 观察通道13内沿第一方向A1依次设置有观察窗3、 转动玻璃4 和挡板2。 观察通道13为圆形通孔， 观察窗3、 转动玻璃4和挡板2与观察通道13成同轴设置。 0039 观察窗3通过螺栓连接、 焊接、 粘接、 卡接等方式固定连接于壳体11上， 且设于第一 开口端131处； 转动玻璃4能转动地设于观察通道13内， 且位于挡板2和观察窗3之间； 挡板2 通过螺栓连接、 焊接、 粘接、 卡接等方式固定连接于壳体11上， 且设于第二开口端132处； 挡 板2上设有用于观察的第一孔21。 于实施例中， 挡板2可以是由金属等材料制成的， 则挡板2 被镀膜后不易脱落， 节省麻。

20、烦。 0040 镀膜机观察结构100还包括转动手柄5， 观察窗3上设有第一安装孔33， 转动手柄5 通过轴承或者转动套能转动地穿设于第一安装孔33内， 且转动手柄5的端部穿过第一安装 孔33与转动玻璃4连接， 旋转转动手柄5后， 能令转动玻璃4旋转。 0041 观察窗3包括观察边框31和观察玻璃32， 观察边框31连接于壳体11上； 观察玻璃32 嵌设于观察边框31内。 第一安装孔33设于观察边框31和观察玻璃32上。 0042 本实施例通过观察窗3和转动玻璃4能够对镀膜机的镀膜腔12内的情况进行观察， 使得镀膜质量较佳。 本实施例通过挡板2阻挡部分气化为原子、 分子或离子的靶材沉积到观 察窗。

21、3上而降低观察窗3的清晰度， 而影响观察效果。 0043 于一观察过程中， 观察视线与第一方向A1同向， 观察视线依次通过观察窗3、 转动 说明书 3/6 页 6 CN 211872079 U 6 玻璃4和挡板2上的第一孔21观察镀膜腔12。 0044 由于第一孔21的设置， 转动玻璃4上在与第一孔21对应的位置上， 会通过第一孔21 镀上薄膜而影响观察， 每次观察时， 为避免影响视线， 可以旋转转动手柄5后， 使得转动玻璃 4旋转一个角度， 将转动玻璃4上未被镀膜处转至与第一孔21对应位置后， 再进行观察。 0045 观察通道13内还固定设有碎屑收集件6， 碎屑收集件6设于转动玻璃4的下方，。

22、 碎屑 收集件6具有收集槽64， 收集槽64位于转动玻璃4的正下方， 收集槽64被配置成用于收集转 动玻璃4上脱离的碎屑。 0046 由于转动玻璃4容易被镀上薄膜， 被镀上的薄膜又容易脱落， 在镀膜腔12内抽真空 时， 从转动玻璃4上脱离脱落的薄膜碎屑可以掉落到收集槽64， 避免薄膜碎屑穿过挡板2与 壳体11之间的缝隙进入镀膜腔12内而影响镀膜质量。 0047 请参照图3， 其为本申请一实施例示出的镀膜机观察结构100的部分结构示意图。 碎屑收集件6包括第一板61、 第二板62和第三板63， 第二板62与第一板61间隔设置； 第三板 63分别与第一板61和第二板62相连； 其中， 第一板61、。

23、 第二板62与第三板63形成收集槽64， 第一板61和第二板62分别位于转动玻璃4的左、 右两侧， 第一板61相对更靠近挡板2， 第一板 61相对更靠近观察窗3。 0048 其中， 第一板61和第二板62为直板， 第三板63为下凹的曲形板， 使得收集槽64为圆 弧形的槽， 从而利于收集薄膜碎屑。 于实施例中， 第一板61、 第二板62和第三板63可以是一 体成型的， 也可以是通过螺栓连接、 焊接、 粘接、 卡接等方式固定连接在一起的。 碎屑收集件 6可以是由金属、 塑料等材质制成的。 0049 转动玻璃4的径向、 第一板61的宽度方向和第二板62的宽度方向为均为第二方向 A2。 0050 转动。

24、玻璃4的部分区域伸入收集槽64内； 其中， 第一板61和第二板62的形状、 尺寸 为相同设置， 转动玻璃4沿第二方向A2的截面面积的二分之一大于或者等于第一板61沿第 二方向A2的截面面积； 转动玻璃4沿第二方向A2的截面面积的二分之一大于或者等于第二 板62沿第二方向A2的截面面积。 0051 本实施例中， 第一板61和第二板62均为部分圆环形状的板， 且第一板61和第二板 62的内圆直径大于转动手柄5的外径， 从而可以避免第一板61和第二板62遮挡了挡板2上第 一孔21而阻碍观察视线， 避免第二板62阻碍转动手柄5的转动而影响观察效果。 再者转动玻 璃4为圆柱形形状的玻璃， 第一板61和第。

25、二板62的外圆直径大于转动玻璃4的外径， 从而可 以避免碎屑收集件6阻碍转动玻璃4的旋转。 0052 挡板2上设有朝向观察窗3凸起的凸边22， 其中， 碎屑收集件6设于凸边22所围成的 区域内。 则当转动玻璃4上脱落的碎屑没有进入收集槽64内， 反而进入挡板2和第一板61之 间的间隙中时， 碎屑可以被凸边22所承接， 防止碎屑进入挡板2与观察通道13内壁之间的间 隙。 故凸边22的设置， 可以进一步阻碍碎屑进入镀膜腔12(请参照图2)。 0053 其中， 凸边22可以为下凹的曲形板形状， 凸边22的形状、 尺寸可以与第三板63的形 状、 尺寸相适应， 以便凸边22与第三边贴合。 0054 请参。

26、照图4， 其为本申请一实施例示出的镀膜机观察结构100的部分结构示意图。 碎屑收集件6固定设于凸边22上。 碎屑收集件6可以通过焊接、 粘接等方式固定在挡板2上， 也可以通过螺栓连接等方式能拆卸固定在挡板2上。 碎屑收集件6与挡板2为可拆卸式连接， 说明书 4/6 页 7 CN 211872079 U 7 便于碎屑收集件6的清理。 0055 请参照图5， 其为本申请一实施例示出的镀膜机观察结构100的剖视图。 转动玻璃4 的部分区域伸入收集槽64内。 0056 请参照图6， 其为本申请一实施例示出的碎屑收集件6的剖视图。 第一板61和第二 板62的形状、 尺寸为不同设置， 转动玻璃4沿第二方向。

27、A2的截面面积的二分之一大于第一板 61沿第二方向A2的截面面积； 转动玻璃4的沿第二方向A2的截面面积的二分之一小于第二 板62沿第二方向A2的截面面积。 0057 本实施例的第二板62比较大， 其沿第二方向A2的截面为整圆形， 第一板61比较小， 其沿第二方向A2的截面为割圆形或者部分圆环形状。 0058 第二板62上设有第三孔621， 第三孔621的轴线与第一孔21的轴线成重合设置。 第 三孔621的设置， 可以避免第二板62遮挡了挡板2上第一孔21而阻碍观察视线。 0059 第二板62上第二安装孔622， 转动手柄5的端部依次穿过第一安装孔33和第二安装 孔622与转动玻璃4连接。 第。

28、二安装孔622的设置可以避免第二板62阻碍转动手柄5的转动而 影响观察效果。 0060 请参照图7， 其为本申请一实施例示出的碎屑收集件6的剖视图。 本实施例的第一 板61比较小， 其沿第二方向A2的截面为整圆形， 第二板62比较小， 其沿第二方向A2的截面为 割圆形或者部分圆环形状。 0061 第一板61上设有第二孔611， 第二孔611的轴线与第一孔21的轴线成重合设置。 第 二孔611的设置， 可以避免第一板61遮挡了挡板2上第一孔21而阻碍观察视线。 0062 请参照图8， 其为本申请一实施例示出的镀膜机观察结构100的剖视图。 转动玻璃4 的全部区域均设于收集槽64内。 0063 碎。

29、屑收集件6可以通过焊接、 粘接等方式固定在壳体11上， 也可以通过螺栓连接等 方式能拆卸固定在壳体11上。 碎屑收集件6与壳体11为可拆卸式连接， 便于碎屑收集件6的 清理。 0064 请参照图9， 其为本申请一实施例示出的镀膜机观察结构100的部分结构示意图。 第一板61和第二板62的形状、 尺寸为相同设置， 转动玻璃4沿第二方向A2的截面面积小于或 者等于第一板61沿第二方向A2的截面面积； 转动玻璃4沿第二方向A2的截面面积小于或者 等于第二板62沿第二方向A2的截面面积。 0065 第一板61和第二板62沿第二方向A2的截面均为整圆形。 0066 请参照图10， 其为本申请一实施例示出。

30、的碎屑收集件6的剖视图。 第一板61上设有 第二孔611， 第二孔611的轴线与第一孔21的轴线成重合设置。 第二孔611的设置， 可以避免 第一板61遮挡了挡板2上第一孔21而阻碍观察视线。 0067 第二板62上设有第三孔621， 第三孔621的轴线与第一孔21的轴线成重合设置。 第 三孔621的设置， 可以避免第二板62遮挡了挡板2上第一孔21而阻碍观察视线。 0068 第二板62上第二安装孔622， 转动手柄5的端部依次穿过第一安装孔33和第二安装 孔622与转动玻璃4连接。 第二安装孔622的设置可以避免第二板62阻碍转动手柄5的转动而 影响观察效果。 0069 以上所述仅为本申请的。

31、优选实施例而已， 并不用于限制本申请， 对于本领域的技 术人员来说， 本申请可以有各种更改和变化。 凡在本申请的精神和原则之内， 所作的任何修 说明书 5/6 页 8 CN 211872079 U 8 改、 等同替换、 改进等， 均应包含在本申请的保护范围之内。 说明书 6/6 页 9 CN 211872079 U 9 图1 说明书附图 1/10 页 10 CN 211872079 U 10 图2 说明书附图 2/10 页 11 CN 211872079 U 11 图3 说明书附图 3/10 页 12 CN 211872079 U 12 图4 说明书附图 4/10 页 13 CN 211872079 U 13 图5 说明书附图 5/10 页 14 CN 211872079 U 14 图6 说明书附图 6/10 页 15 CN 211872079 U 15 图7 说明书附图 7/10 页 16 CN 211872079 U 16 图8 说明书附图 8/10 页 17 CN 211872079 U 17 图9 说明书附图 9/10 页 18 CN 211872079 U 18 图10 说明书附图 10/10 页 19 CN 211872079 U 19 。