晶圆保护膜撕膜机.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 202020371683.2 (22)申请日 2020.03.20 (73)专利权人 广东硕成科技有限公司 地址 512000 广东省韶关市乳源县乳城镇 侯公渡经济开发区氯碱特色产业基地 (72)发明人 柯跃虎诸葛锋曾庆明 (74)专利代理机构 上海微策知识产权代理事务 所(普通合伙) 31333 代理人 史玉婷 (51)Int.Cl. B32B 43/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种晶圆保护膜撕膜机 (57)摘要 本实用新型提供一种晶圆保护膜撕膜机， 属 于晶。

2、圆撕膜机技术领域， 该晶圆保护膜撕膜机包 括机体， 所述机体的一侧外壁通过螺栓固定有第 二放置槽； 所述机体的顶部外壁通过螺栓固定有 第四固定座， 第四固定座的顶部外壁开设有电动 滑轨， 电动滑轨底部内壁左右滑动连接有第三固 定座， 第三固定座的一侧外壁通过螺栓固定有第 一电动伸缩柱。 本实用新型在设备撕膜工作结束 后， 第三固定座通过电动滑轨左右滑动位置， 第 一电动伸缩柱带动第二电动伸缩柱向前延伸至 晶圆处理正上方， 第二电动伸缩柱带动推板向下 延伸， 直至接触机体的顶部面， 然后利用电动滑 轨向第二放置槽方向滑动， 把撕膜后的晶圆推入 第二放置槽内， 便于人工后期的取用， 提高了工 作效。

3、率。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 211942491 U 2020.11.17 CN 211942491 U 1.一种晶圆保护膜撕膜机， 其特征在于： 包括机体(1)， 所述机体(1)的一侧外壁通过螺 栓固定有第二放置槽(17)； 所述机体(1)的顶部外壁通过螺栓固定有第四固定座(12)， 第四 固定座(12)的顶部外壁开设有电动滑轨， 电动滑轨的底部内壁左右滑动连接有第三固定座 (11)， 第三固定座(11)的一侧外壁通过螺栓固定有第一电动伸缩柱(10)， 第一电动伸缩柱 (10)的底部外壁通过螺栓固定有第二电动伸缩柱， 第二电动伸缩柱的底部外壁通过螺栓固 定有推板(13)；。

4、 所述机体(1)顶部设置有输送结构。 2.根据权利要求1所述的晶圆保护膜撕膜机， 其特征在于： 所述机体(1)的一侧外壁通 过螺栓固定有控制模块(3)， 控制模块(3)与第一电动伸缩柱(10)、 第二电动伸缩柱和电动 滑轨的信号输入端电性连接。 3.根据权利要求1所述的晶圆保护膜撕膜机， 其特征在于： 所述输送结构包括第一固定 座(2)和皮带(14)， 所述第一固定座(2)的一侧外壁通过螺栓固定于机体(1)的一侧外壁， 第 一固定座(2)的顶部外壁通过螺栓固定有电机， 电机的信号输入端与控制模块(3)电性连 接， 所述机体(1)的两侧内壁转动连接有两个滚轮， 所述皮带(14)的圆周内壁套接于两。

5、个滚 轮的外表面外壁， 其中一个滚轮通过联轴器与电机相连接。 4.根据权利要求2所述的晶圆保护膜撕膜机， 其特征在于： 所述机体(1)的底部内壁通 过螺栓固定有真空泵(15)， 真空泵(15)的信号输入端与控制模块(3)电性连接， 机体(1)的 顶部外壁通过螺栓固定有吸盘(9)， 吸盘(9)通过导管与真空泵(15)相连接。 5.根据权利要求4所述的晶圆保护膜撕膜机， 其特征在于： 所述机体(1)靠近吸盘(9)的 顶部外壁通过螺纹固定有光幕传感器(18)， 光幕传感器(18)的信号输出端与控制模块(3) 信号输入端电性连接。 6.根据权利要求5所述的晶圆保护膜撕膜机， 其特征在于： 所述机体(1。

6、)的顶部外壁通 过螺栓固定有第二固定座(5)， 第二固定座(5)的顶部外壁通过螺栓固定有转盘(6)， 转盘 (6)的顶部外壁通过螺栓固定有支撑架(7)。 7.根据权利要求6所述的晶圆保护膜撕膜机， 其特征在于： 所述支撑架(7)的一端通过 螺栓固定有铁块(8)， 铁块(8)的一侧外壁通过螺栓固定有固定轴， 固定轴的圆周外壁滑动 连接有磁铁(16)。 8.根据权利要求7所述的晶圆保护膜撕膜机， 其特征在于： 所述机体(1)的一侧外壁通 过螺栓固定有第一放置槽(4)。 权利要求书 1/1 页 2 CN 211942491 U 2 一种晶圆保护膜撕膜机 技术领域 0001 本实用新型属于晶圆撕膜机技。

7、术领域， 具体涉及一种晶圆保护膜撕膜机。 背景技术 0002 在现有技术中， 晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片， 由于其形状为圆 形， 故称为晶圆； 在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构， 而成为有特定电性功能之IC 产品， 晶圆的原始材料是硅， 而地壳表面有用之不竭的二氧化硅， 二氧化硅矿石经由电弧炉 提炼， 盐酸氯化， 并经蒸馏后， 制成了高纯度的多晶硅， 其纯度高达99.999999999， 目前的 晶圆在生产过程中会进行封装， 便于在不同的地点运输， 出于对晶圆质量安全的考虑， 防止 晶圆在运输时破碎， 晶圆的表面会进行贴膜， 在后续工序加工之前需要先将薄膜撕除； 目前 的撕。

8、膜设备使用时极为不便， 且贴膜粘在撕膜机构滚轴的侧表面不易取下， 工作人员使用 时效率低下。 0003 经过检索发现， 在授权公告号为CN201821020749.2的中国专利中公开了一种晶圆 撕膜机的撕膜机构， 包括撕膜机本体， 所述撕膜机本体的上表面设置有晶圆固定盘， 所述晶 圆固定盘的上表面设置有晶圆本体， 所述晶圆本体的两侧设置有滑轨， 所述滑轨设置在撕 膜机本体的上表面， 所述滑轨的上表面设置有连接架， 所述连接架的内部设置有滚轴， 所述 滚轴的外侧表面设置有齿轮， 所述齿轮的外侧表面设置有导向齿条， 所述导向齿条的底面 设置在撕膜机本体的上表面。 0004 但是上述技术方案还存在撕。

9、掉晶圆模之后， 需要人工手动收集晶圆， 使得工作效 率不高的问题。 实用新型内容 0005 本实用新型的目的在于提供一种晶圆保护膜撕膜机， 旨在解决现有技术中的撕掉 晶圆模之后， 需要人工手动收集晶圆， 使得工作效率不高的问题。 0006 为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 包括机体， 所述机体的一侧外壁 通过螺栓固定有第二放置槽； 所述机体的顶部外壁通过螺栓固定有第四固定座， 第四固定 座的顶部外壁开设有电动滑轨， 电动滑轨的底部内壁左右滑动连接有第三固定座， 第三固 定座的一侧外壁通过螺栓固定有第一电动伸缩柱， 第一电动伸缩柱的底部外壁通过螺栓固 定有第二电动伸缩柱， 第二电动。

10、伸缩柱的底部外壁通过螺栓固定有推板； 所述机体顶部设 置有输送结构。 0007 为了使得设备自动化操作， 作为本实用新型一种优选的， 所述机体的一侧外壁通 过螺栓固定有控制模块， 控制模块与第一电动伸缩柱、 第二电动伸缩柱和电动滑轨的信号 输入端电性连接。 0008 为了便于输送物料， 作为本实用新型一种优选的， 所述输送结构包括第一固定座 和皮带， 所述第一固定座的一侧外壁通过螺栓固定于机体的一侧外壁， 第一固定座的顶部 外壁通过螺栓固定有电机， 电机的信号输入端与控制模块电性连接， 所述机体的两侧内壁 说明书 1/4 页 3 CN 211942491 U 3 转动连接有两个滚轮， 所述皮带。

11、的圆周内壁套接于两个滚轮的外表面外壁， 其中一个滚轮 通过联轴器与电机相连接。 0009 为了使得物料固定， 便于撕膜作业， 作为本实用新型一种优选的， 所述机体的底部 内壁通过螺栓固定有真空泵， 真空泵的信号输入端与控制模块电性连接， 机体的顶部外壁 通过螺栓固定有吸盘， 吸盘通过导管与真空泵相连接。 0010 为了便于设备的自动化操作， 作为本实用新型一种优选的， 所述机体靠近吸盘的 顶部外壁通过螺纹固定有光幕传感器， 光幕传感器的信号输出端与控制模块信号输入端电 性连接。 0011 为了进一步便于撕膜作业， 作为本实用新型一种优选的， 所述机体的顶部外壁通 过螺栓固定有第二固定座， 第二。

12、固定座的顶部外壁通过螺栓固定有转盘， 转盘的顶部外壁 通过螺栓固定有支撑架。 0012 为了使得模皮固定， 作为本实用新型一种优选的， 所述支撑架的一端通过螺栓固 定有铁块， 铁块的一侧外壁通过螺栓固定有固定轴， 固定轴的圆周外壁滑动连接有磁铁。 0013 为了便于归纳撕掉后的模皮， 作为本实用新型一种优选的， 所述机体的一侧外壁 通过螺栓固定有第一放置槽。 0014 与现有技术相比， 本实用新型的有益效果是： 0015 1、 通过设置有第一电动伸缩柱和第二电动伸缩柱等结构， 在设备撕膜工作结束 后， 第三固定座通过电动滑轨左右滑动位置， 第一电动伸缩柱带动第二电动伸缩柱向前延 伸至晶圆处理正。

13、上方， 第二电动伸缩柱带动推板向下延伸， 直至接触机体的顶部面， 然后利 用电动滑轨向第二放置槽方向滑动， 把撕膜后的晶圆推入第二放置槽内， 便于人工后期的 取用， 提高了工作效率。 0016 2、 通过设置有支撑架和转盘等结构， 支撑架通过第二固定座上的转盘可进行度旋 转方向， 便于撕膜作业， 当物料被吸盘所固定时， 人工手动操作通过固定轴把磁铁扳开， 然 后把模皮放置在铁块和磁铁之间， 受强大磁力的影响， 把模皮固定。 0017 3、 通过设置有真空泵和吸盘等结构， 物料通过皮带传送至吸盘上方时， 经过光幕 传感器红外线信号发出端， 当红外线光幕被口罩遮挡时， 光幕传感器把遮光信号发送至控。

14、 制模块， 控制模块电性连接控制真空泵启动， 使得吸盘产生吸力， 从而使得物料固定， 便于 撕膜作业。 附图说明 0018 附图用来提供对本实用新型的进一步理解， 并且构成说明书的一部分， 与本实用 新型的实施例一起用于解释本实用新型， 并不构成对本实用新型的限制。 在附图中： 0019 图1为本实用新型中的主视结构示意图； 0020 图2为本实用新型中的右视结构示意图； 0021 图3为本实用新型中的俯视结构示意图； 0022 图4为本实用新型中的电路流程结构示意图； 0023 图中： 1-机体； 2-第一固定座； 3-控制模块； 4-第一放置槽； 5-第二固定座； 6-转盘； 7-支撑架；。

15、 8-铁块； 9-吸盘； 10-第一电动伸缩柱； 11-第三固定座； 12-第四固定座； 13-推板； 14-皮带； 15-真空泵； 16-磁铁； 17-第二放置槽； 18-光幕传感器。 说明书 2/4 页 4 CN 211942491 U 4 具体实施方式 0024 下面将结合本实用新型实施例中的附图， 对本实用新型实施例中的技术方案进行 清楚、 完整地描述， 显然， 所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例， 而不是全部的 实施例。 基于本实用新型中的实施例， 本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下 所获得的所有其他实施例， 都属于本实用新型保护的范围。 0025 请参阅图1-4，。

16、 本实用新型提供以下技术方案： 包括机体1， 所述机体1的一侧外壁 通过螺栓固定有第二放置槽17； 所述机体1的顶部外壁通过螺栓固定有第四固定座12， 第四 固定座12的顶部外壁开设有电动滑轨， 电动滑轨的底部内壁左右滑动连接有第三固定座 11， 第三固定座11的一侧外壁通过螺栓固定有第一电动伸缩柱10， 第一电动伸缩柱10的底 部外壁通过螺栓固定有第二电动伸缩柱， 第二电动伸缩柱的底部外壁通过螺栓固定有推板 13； 所述机体1顶部设置有输送结构。 0026 在本实用新型的具体实施例中， 在设备撕膜工作结束后， 第三固定座11通过电动 滑轨左右滑动位置， 第一电动伸缩柱10带动第二电动伸缩柱向。

17、前延伸至晶圆处理正上方， 第二电动伸缩柱带动推板13向下延伸， 直至接触机体1的顶部面， 然后利用电动滑轨向第二 放置槽17方向滑动， 把撕膜后的晶圆推入第二放置槽17内， 便于人工后期的取用， 提高了工 作效率。 0027 具体的， 所述机体1的一侧外壁通过螺栓固定有控制模块3， 控制模块3分别与第一 电动伸缩柱10、 第二电动伸缩柱和电动滑轨的信号输入端电性连接。 0028 本实施例中： 控制模块3使得设备可以自动化操作， 节省人力。 0029 具体的， 所述输送结构包括第一固定座2和皮带14， 所述第一固定座2的一侧外壁 通过螺栓固定于机体1的一侧外壁， 第一固定座2的顶部外壁通过螺栓固。

18、定有电机， 电机的 信号输入端与控制模块3电性连接， 所述机体1的两侧内壁转动连接有两个滚轮， 所述皮带 14的圆周内壁套接于两个滚轮的外表面外壁， 其中一个滚轮通过联轴器与电机相连接。 0030 本实施例中： 把物料放置于皮带14上， 启动第一固定座2上的电机， 带动滚轮旋转， 便于输送物料进行撕膜作业。 0031 具体的， 所述机体1的底部内壁通过螺栓固定有真空泵15， 真空泵15的信号输入端 与控制模块3电性连接， 机体1的顶部外壁通过螺栓固定有吸盘9， 吸盘9通过导管与真空泵 15相连接。 0032 本实施例中： 控制模块3电性连接控制真空泵15启动， 使得吸盘9产生吸力， 从而使 得。

19、物料固定， 便于撕膜作业。 0033 具体的， 所述机体1靠近吸盘9的顶部外壁通过螺纹固定有光幕传感器18， 光幕传 感器18的型号为APS30-0420NB， 光幕传感器18的信号输出端与控制模块3信号输入端电性 连接。 0034 本实施例中： 物料通过皮带14传送至吸盘9上方时， 经过光幕传感器18红外线信号 发出端， 当红外线光幕被口罩遮挡时， 光幕传感器18把遮光信号发送至控制模块3， 控制模 块3电性连接控制电机停止工作， 进行下一步的撕膜作业。 0035 具体的， 所述机体1的顶部外壁通过螺栓固定有第二固定座5， 第二固定座5的顶部 外壁通过螺栓固定有转盘6， 转盘6的顶部外壁通过。

20、螺栓固定有支撑架7。 0036 本实施例中： 支撑架7通过第二固定座5上的转盘6可进行360度旋转方向， 便于撕 说明书 3/4 页 5 CN 211942491 U 5 膜作业。 0037 具体的， 所述支撑架7的一端通过螺栓固定有铁块8， 铁块8的一侧外壁通过螺栓固 定有固定轴， 固定轴的圆周外壁滑动连接有磁铁16。 0038 本实施例中： 当物料被吸盘9所固定时， 人工手动操作通过固定轴把磁铁16扳开， 然后把模皮放置在铁块8和磁铁16之间， 受强大磁力的影响， 把模皮固定。 0039 具体的， 所述机体1的一侧外壁通过螺栓固定有第一放置槽4。 0040 本实施例中： 固定好模皮后， 通。

21、过转盘6手动旋转支撑架7， 直至完全把模皮撕掉， 撕掉后的模皮放置在第一放置槽4内， 便于人们后期整理分类。 0041 本实用新型的工作原理及使用流程： 把物料放置于皮带14上， 控制模块3电性连接 控制第一固定座2上的电机启动， 带动滚轮旋转， 便于输送物料， 物料通过皮带14传送至吸 盘9上方时， 经过光幕传感器18红外线信号发出端， 当红外线光幕被口罩遮挡时， 光幕传感 器18把遮光信号发送至控制模块3， 控制模块3电性连接控制电机停止工作， 控制模块3电性 连接控制真空泵15启动， 使得吸盘9产生吸力， 从而使得物料固定， 人工手动操作通过固定 轴把磁铁16扳开， 然后把模皮放置在铁块。

22、8和磁铁16之间， 受强大磁力的影响， 把模皮固定， 固定好模皮后， 支撑架7通过第二固定座5上的转盘6可进行360度旋转方向， 通过转盘6手动 旋转支撑架7， 直至完全把模皮撕掉， 撕掉后的模皮放置在第一放置槽4内， 便于人们后期整 理分类， 在设备撕膜结束后， 控制模块3电性连接控制第四固定座12上的电动滑轨工作， 第 三固定座11通过电动滑轨左右滑动位置， 控制模块3电性连接控制第一电动伸缩柱10带动 第二电动伸缩柱向前延伸至晶圆处理正上方， 控制模块3电性连接控制第二电动伸缩柱带 动推板13向下延伸， 直至接触机体1的顶部面， 然后利用电动滑轨向第二放置槽17方向滑 动， 把撕膜后的晶。

23、圆推入第二放置槽17内， 然后进行下一轮作业。 0042 最后应说明的是： 以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已， 并不用于限制本 实用新型， 尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明， 对于本领域的技术人员 来说， 其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改， 或者对其中部分技术特征 进行等同替换。 凡在本实用新型的精神和原则之内， 所作的任何修改、 等同替换、 改进等， 均 应包含在本实用新型的保护范围之内。 说明书 4/4 页 6 CN 211942491 U 6 图1 图2 说明书附图 1/2 页 7 CN 211942491 U 7 图3 图4 说明书附图 2/2 页 8 CN 211942491 U 8 。