高稳定性OLED基板蒸镀设备.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 202020124073.2 (22)申请日 2020.01.19 (73)专利权人 山西穿越光电科技有限责任公司 地址 044500 山西省运城市永济市城东街 道循环经济产业园区 (72)发明人 张再武 (74)专利代理机构 北京艾皮专利代理有限公司 11777 代理人 冯铁惠 (51)Int.Cl. C23C 14/24(2006.01) (54)实用新型名称 一种高稳定性OLED基板蒸镀设备 (57)摘要 本实用新型公开了一种高稳定性OLED基板 蒸镀设备， 包括蒸镀设备本。

2、体， 所述蒸镀设备本 体的顶部固定安装有蒸镀筒， 所述蒸镀筒的顶部 开设有环形插接槽， 蒸镀筒的前侧和后侧均开设 有圆形通孔， 两个圆形通孔的相对端均与环形插 接槽相互连通， 两个圆形通孔的内部均固定安装 有固定机构， 所述环形插接槽的内部插接有环形 插接块。 该实用新型， 通过设置蒸镀设备本体、 蒸 镀筒、 环形插接槽、 圆形通孔、 固定机构、 圆形块、 固定杆、 提拉钮、 挤压弹簧、 圆形挡块、 环形插接 块、 密封盖、 圆形配合孔、 限位槽、 限位块和支撑 孔的配合使用， 解决了现有安装的过程麻烦， 不 利于快速密封的问题， 该高稳定性OLED基板蒸镀 设备， 具备快速密封的优点。 权利。

3、要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 212128287 U 2020.12.11 CN 212128287 U 1.一种高稳定性OLED基板蒸镀设备， 包括蒸镀设备本体(1)， 其特征在于： 所述蒸镀设 备本体(1)的顶部固定安装有蒸镀筒(2)， 所述蒸镀筒(2)的顶部开设有环形插接槽(3)， 所 述蒸镀筒(2)的前侧和后侧均开设有圆形通孔(4)， 两个圆形通孔(4)的相对端均与环形插 接槽(3)相互连通， 两个圆形通孔(4)的内部均固定安装有固定机构(5)， 所述环形插接槽 (3)的内部插接有环形插接块(6)， 所述环形插接块(6)的顶部固定安装有密封盖(7)； 前侧所述固定机构(5)包。

4、括圆形块(501)， 所述圆形块(501)的外表面与圆形通孔(4)的 内壁固定连接， 所述圆形块(501)的内部滑动连接有固定杆(502)， 所述固定杆(502)的前侧 贯穿圆形通孔(4)并延伸至蒸镀筒(2)的前侧， 所述固定杆(502)的前侧固定安装有提拉钮 (503)， 所述固定杆(502)的外表面套设有挤压弹簧(504)和圆形挡块(505)， 所述挤压弹簧 (504)的前侧与圆形块(501)的后侧固定连接， 所述挤压弹簧(504)远离圆形块(501)的一端 与圆形挡块(505)的前侧固定连接， 所述圆形挡块(505)的内部与固定杆(502)固定连接， 所 述圆形挡块(505)的外表面与圆。

5、形通孔(4)的内壁滑动连接， 所述固定杆(502)的后侧依次 贯穿圆形通孔(4)和环形插接块(6)并延伸至环形插接槽(3)的内部。 2.如权利要求1所述的一种高稳定性OLED基板蒸镀设备， 其特征在于： 所述环形插接块 (6)的前侧和后侧均开设有圆形配合孔(8)， 两个圆形配合孔(8)的内部均与固定杆(502)插 接。 3.如权利要求1所述的一种高稳定性OLED基板蒸镀设备， 其特征在于： 所述圆形通孔 (4)内壁的顶部和底部均开设有限位槽(9)， 所述圆形挡块(505)的顶部和底部均固定安装 有限位块(10)， 两个限位块(10)均与限位槽(9)滑动连接。 4.如权利要求1所述的一种高稳定性。

6、OLED基板蒸镀设备， 其特征在于： 所述圆形块 (501)的内部开设有支撑孔(11)， 所述支撑孔(11)的内部与固定杆(502)的外表面滑动连 接。 5.如权利要求1所述的一种高稳定性OLED基板蒸镀设备， 其特征在于： 所述固定杆 (502)的后侧呈斜角， 且斜角为十度至四十五之间。 权利要求书 1/1 页 2 CN 212128287 U 2 一种高稳定性OLED基板蒸镀设备 技术领域 0001 本实用新型属于蒸镀技术领域， 尤其涉及一种高稳定性OLED基板蒸镀设备。 背景技术 0002 真空蒸镀， 简称蒸镀， 是指在真空条件下， 采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料 (或称膜料)并使之。

7、气化， 粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法， 蒸镀是使用较早、 用途较 广泛的气相沉积技术， 具有成膜方法简单、 薄膜纯度和致密性高、 膜结构和性能独特等优 点。 0003 现有的蒸镀设备， 为了满足市场需求， 一般都是往如何更好的蒸镀和如何更方便 使用者使用这些方面进行优化， 往往忽略了是否能够很好的安装蒸镀筒的密封盖， 现有的 蒸镀设备具有， 蒸镀的效果更好和更方便使用者使用这些有益之处， 但是有一定的限制， 在 正常使用时， 往往密封盖安装的过程非常的麻烦， 现有技术存在的问题是： 安装的过程麻 烦， 不利于快速密封。 实用新型内容 0004 针对现有技术存在的问题， 本实用新型提供了一。

8、种高稳定性OLED基板蒸镀设备， 具备快速密封的优点， 解决了现有安装的过程麻烦， 不利于快速密封的问题。 0005 本实用新型是这样实现的， 一种高稳定性OLED基板蒸镀设备， 包括蒸镀设备本体， 所述蒸镀设备本体的顶部固定安装有蒸镀筒， 所述蒸镀筒的顶部开设有环形插接槽， 所述 蒸镀筒的前侧和后侧均开设有圆形通孔， 两个圆形通孔的相对端均与环形插接槽相互连 通， 两个圆形通孔的内部均固定安装有固定机构， 所述环形插接槽的内部插接有环形插接 块， 所述环形插接块的顶部固定安装有密封盖。 0006 作为本实用新型优选的， 前侧所述固定机构包括圆形块， 所述圆形块的外表面与 圆形通孔的内壁固定连。

9、接， 所述圆形块的内部滑动连接有固定杆， 所述固定杆的前侧贯穿 圆形通孔并延伸至蒸镀筒的前侧， 所述固定杆的前侧固定安装有提拉钮， 所述固定杆的外 表面套设有挤压弹簧和圆形挡块， 所述挤压弹簧的前侧与圆形块的后侧固定连接， 所述挤 压弹簧远离圆形块的一端与圆形挡块的前侧固定连接， 所述圆形挡块的内部与固定杆固定 连接， 所述圆形挡块的外表面与圆形通孔的内壁滑动连接， 所述固定杆的后侧依次贯穿圆 形通孔和环形插接块并延伸至环形插接槽的内部。 0007 作为本实用新型优选的， 所述环形插接块的前侧和后侧均开设有圆形配合孔， 两 个圆形配合孔的内部均与固定杆插接。 0008 作为本实用新型优选的， 。

10、所述圆形通孔内壁的顶部和底部均开设有限位槽， 所述 圆形挡块的顶部和底部均固定安装有限位块， 两个限位块均与限位槽滑动连接。 0009 作为本实用新型优选的， 所述圆形块的内部开设有支撑孔， 所述支撑孔的内部与 固定杆的外表面滑动连接。 0010 作为本实用新型优选的， 所述固定杆的后侧呈斜角， 且斜角为十度至四十五之间。 说明书 1/4 页 3 CN 212128287 U 3 0011 与现有技术相比， 本实用新型的有益效果如下： 0012 1、 本实用新型通过设置蒸镀设备本体、 蒸镀筒、 环形插接槽、 圆形通孔、 固定机构、 圆形块、 固定杆、 提拉钮、 挤压弹簧、 圆形挡块、 环形插接。

11、块、 密封盖、 圆形配合孔、 限位槽、 限 位块和支撑孔的配合使用， 解决了现有安装的过程麻烦， 不利于快速密封的问题， 该高稳定 性OLED基板蒸镀设备， 具备快速密封的优点。 0013 2、 本实用新型通过人力拉动提拉钮来实现整个固定机构的动力源， 因力是可以传 递的， 在拉动提拉钮的同时带动固定杆移动， 这样就能够实现通过圆形挡块给予挤压弹簧 一个形变的力， 从而实现将固定杆拉进圆形通孔的内部， 等环形插接块与环形插接槽插接 完成以后， 挤压弹簧也给予固定杆一个相同的反作用力， 这样就能够实现很好的安装。 0014 3、 本实用新型通过在环形插接块的内部开设有圆形配合孔， 这样就能够实现。

12、与固 定杆的插接效果更好， 同时安装的效果更好。 0015 4、 本实用新型通过在圆形通孔内壁的顶部和底部开设有限位槽， 这样就能够实现 与圆形挡块顶部和底部固定安装的限位块滑动连接， 这样不仅能够很好的限制圆形挡块的 位置， 同时也能使圆形挡块的运动轨迹更加稳定， 使安装的效果更好。 0016 5、 本实用新型通过在圆形块的内部开设有支撑孔， 这样就能够实现固定杆的插接 效果更好， 同时安装的效果更好。 0017 6、 本实用新型通过固定杆的后侧呈斜角， 这样就能够实现固定杆与圆形配合孔的 插接效果更好， 同时安装的效果更好。 附图说明 0018 图1是本实用新型实施例提供的结构示意图； 0。

13、019 图2是本实用新型实施例提供的蒸镀筒局部立体图； 0020 图3是本实用新型实施例提供的密封盖立体图； 0021 图4是本实用新型实施例提供的固定机构细化图。 0022 图中： 1、 蒸镀设备本体； 2、 蒸镀筒； 3、 环形插接槽； 4、 圆形通孔； 5、 固定机构； 501、 圆形块； 502、 固定杆； 503、 提拉钮； 504、 挤压弹簧； 505、 圆形挡块； 6、 环形插接块； 7、 密封盖； 8、 圆形配合孔； 9、 限位槽； 10、 限位块； 11、 支撑孔。 具体实施方式 0023 为能进一步了解本实用新型的发明内容、 特点及功效， 兹例举以下实施例， 并配合 附图详。

14、细说明如下。 0024 下面结合附图对本实用新型的结构作详细的描述。 0025 如图1至图4所示， 本实用新型实施例提供的一种高稳定性OLED基板蒸镀设备， 包 括蒸镀设备本体1， 蒸镀设备本体1的顶部固定安装有蒸镀筒2， 蒸镀筒2的顶部开设有环形 插接槽3， 蒸镀筒2的前侧和后侧均开设有圆形通孔4， 两个圆形通孔4的相对端均与环形插 接槽3相互连通， 两个圆形通孔4的内部均固定安装有固定机构5， 环形插接槽3的内部插接 有环形插接块6， 环形插接块6的顶部固定安装有密封盖7。 0026 参考图4， 前侧固定机构5包括圆形块501， 圆形块501的外表面与圆形通孔4的内壁 固定连接， 圆形块5。

15、01的内部滑动连接有固定杆502， 固定杆502的前侧贯穿圆形通孔4并延 说明书 2/4 页 4 CN 212128287 U 4 伸至蒸镀筒2的前侧， 固定杆502的前侧固定安装有提拉钮503， 固定杆502的外表面套设有 挤压弹簧504和圆形挡块505， 挤压弹簧504的前侧与圆形块501的后侧固定连接， 挤压弹簧 504远离圆形块501的一端与圆形挡块505的前侧固定连接， 圆形挡块505的内部与固定杆 502固定连接， 圆形挡块505的外表面与圆形通孔4的内壁滑动连接， 固定杆502的后侧依次 贯穿圆形通孔4和环形插接块6并延伸至环形插接槽3的内部。 0027 采用上述方案： 通过人力。

16、拉动提拉钮503来实现整个固定机构5的动力源， 因力是 可以传递的， 在拉动提拉钮503的同时带动固定杆502移动， 这样就能够实现通过圆形挡块 505给予挤压弹簧504一个形变的力， 从而实现将固定杆502拉进圆形通孔4的内部， 等环形 插接块6与环形插接槽3插接完成以后， 挤压弹簧504也给予固定杆502一个相同的反作用 力， 这样就能够实现很好的安装。 0028 参考图3， 环形插接块6的前侧和后侧均开设有圆形配合孔8， 两个圆形配合孔8的 内部均与固定杆502插接。 0029 采用上述方案： 通过在环形插接块6的内部开设有圆形配合孔8， 这样就能够实现 与固定杆502的插接效果更好， 。

17、同时安装的效果更好。 0030 参考图4， 圆形通孔4内壁的顶部和底部均开设有限位槽9， 圆形挡块505 的顶部和 底部均固定安装有限位块10， 两个限位块10均与限位槽9滑动连接。 0031 采用上述方案： 通过在圆形通孔4内壁的顶部和底部开设有限位槽9， 这样就能够 实现与圆形挡块505顶部和底部固定安装的限位块10滑动连接， 这样不仅能够很好的限制 圆形挡块505的位置， 同时也能使圆形挡块505的运动轨迹更加稳定， 使安装的效果更好。 0032 参考图4， 圆形块501的内部开设有支撑孔11， 支撑孔11的内部与固定杆 502的外 表面滑动连接。 0033 采用上述方案： 通过在圆形块。

18、501的内部开设有支撑孔11， 这样就能够实现固定杆 502的插接效果更好， 同时安装的效果更好。 0034 参考图4， 固定杆502的后侧呈斜角， 且斜角为十度至四十五之间。 0035 采用上述方案： 通过固定杆502的后侧呈斜角， 这样就能够实现固定杆502 与圆形 配合孔8的插接效果更好， 同时安装的效果更好。 0036 本实用新型的工作原理： 0037 在使用时， 首先通过人力拉动提拉钮503来实现整个固定机构5的动力源， 因力是 可以传递的， 在拉动提拉钮503的同时带动固定杆502移动， 这样就能够实现通过圆形挡块 505给予挤压弹簧504一个形变的力， 从而实现将固定杆 502拉。

19、进圆形通孔4的内部， 等环形 插接块6与环形插接槽3插接完成以后， 挤压弹簧504也给予固定杆502一个相同的反作用 力， 在通过在圆形块501的内部开设有支撑孔11， 这样就能够实现固定杆502的插接效果更 好， 这样就能够实现很好的安装， 其次通过在圆形通孔4内壁的顶部和底部开设有限位槽9， 这样就能够实现与圆形挡块505顶部和底部固定安装的限位块10滑动连接， 这样不仅能够 很好的限制圆形挡块505的位置， 同时也能使圆形挡块505的运动轨迹更加稳定， 最后通过 在环形插接块6的内部开设有圆形配合孔8， 这样就能够实现与固定杆502的插接效果更好， 同时安装的效果更好。 0038 综上所。

20、述： 该高稳定性OLED基板蒸镀设备， 通过设置蒸镀设备本体1、 蒸镀筒2、 环 形插接槽3、 圆形通孔4、 固定机构5、 圆形块501、 固定杆502、 提拉钮503、 挤压弹簧504、 圆形 说明书 3/4 页 5 CN 212128287 U 5 挡块505、 环形插接块6、 密封盖7、 圆形配合孔 8、 限位槽9、 限位块10和支撑孔11的配合使 用， 解决了现有安装的过程麻烦， 不利于快速密封的问题。 0039 需要说明的是， 在本文中， 诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实 体或者操作与另一个实体或操作区分开来， 而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存 在任何这种实际的。

21、关系或者顺序。 而且， 术语 “包括” 、“包含” 或者其任何其他变体意在涵盖 非排他性的包含， 从而使得包括一系列要素的过程、 方法、 物品或者设备不仅包括那些要 素， 而且还包括没有明确列出的其他要素， 或者是还包括为这种过程、 方法、 物品或者设备 所固有的要素。 0040 尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例， 对于本领域的普通技术人员而言， 可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、 修 改、 替换和变型， 本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。 说明书 4/4 页 6 CN 212128287 U 6 图1 图2 说明书附图 1/3 页 7 CN 212128287 U 7 图3 说明书附图 2/3 页 8 CN 212128287 U 8 图4 说明书附图 3/3 页 9 CN 212128287 U 9 。