用于同步辐射装置中的丝扫描探测器执行机构.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 202020750131.2 (22)申请日 2020.05.09 (73)专利权人 北京利方达真空技术有限责任公 司 地址 100094 北京市海淀区丰慧中路7号新 材料创业大厦A807 (72)发明人 李虎马志飞高丽 (74)专利代理机构 北京卫平智业专利代理事务 所(普通合伙) 11392 代理人 张新利谢建玲 (51)Int.Cl. G01J 1/42(2006.01) G01J 1/04(2006.01) G01V 8/10(2006.01) (54)实用新型名称 一种。

2、用于同步辐射装置中的丝扫描探测器 执行机构 (57)摘要 本实用新型公开了一种用于同步辐射装置 中的丝扫描探测器执行机构。 它主要由运动组 件、 夹丝机构及真空腔体等组成。 运动组件包括 步进电机、 直线运动模组、 支架及光电位置开关， 实现夹丝架构的直线运动及位置指示。 夹丝机构 包括丝支架、 探测丝、 传动杆及密封波纹管， 丝支 架用于固定探测丝， 传动杆起到连接丝支架和运 动组件的作用， 密封波纹管实现传动杆与真空腔 体之间的密封。 真空腔体实现了夹丝机构与外界 的真空隔离， 同时提供接电引入接口。 由于本探 测器为同步辐射装置中的一个部件， 因此其与其 余部件的连接也主要通过真空腔体实。

3、现， 为满足 高真空使用要求， 其法兰密封形式为金属密封。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 212133861 U 2020.12.11 CN 212133861 U 1.一种用于同步辐射装置中的丝扫描探测器执行机构， 其特征在于， 包括： 运动组件 (1)、 夹丝机构(2)和真空腔体(3)； 所述运动组件(1)包括： 步进电机(1-1)、 直线运动模组(1-2)、 2个光电位置开关(1-3) 和支架， 所述步进电机(1-1)与直线运动模组(1-2)连接， 2个光电位置开关(1-3)均设置在 直线运动模组(1-2)的一侧， 直线运动模组(1-2)固定在支架上， 支架上设有法兰， 所。

4、述直线 运动模组(1-2)上设有滑台， 滑台的一端设有转接板， 滑台位于2个光电位置开关(1-3)之 间， 所述夹丝机构(2)包括： 传动杆(2-1)、 密封波纹管(2-2)、 丝支架(2-3)及探测丝(2-4)， 所述真空腔体(3)包括： 真空腔(3-1)和电信号引入法兰(3-2)， 所述电信号引入法兰 (3-2)设置在真空腔(3-1)上， 真空腔(3-1)的上方设有支管， 支管上设有连接法兰， 所述密 封波纹管(2-2)位于支管的内部， 所述密封波纹管(2-2)的上端与支架上的法兰通过焊接连接， 所述密封波纹管(2-2)的 下端依次穿过支管上的连接法兰、 支管与传动杆(2-1)的一端通过焊。

5、接连接， 传动杆(2-1) 的一端还与丝支架(2-3)连接， 探测丝(2-4)固定在丝支架(2-3)上， 所述探测丝(2-4)和丝 支架(2-3)位于真空腔(3-1)的内部， 传动杆(2-1)的另一端依次穿过密封波纹管(2-2)、 支管上的连接法兰、 支架上的法兰、 转接板与直线运动模组(1-2)连接， 支架上的法兰与支管上的连接法兰为密封连接。 2.如权利要求1所述的用于同步辐射装置中的丝扫描探测器执行机构， 其特征在于， 所 述探测丝(2-4)采用双丝交叉结构。 3.如权利要求1所述的用于同步辐射装置中的丝扫描探测器执行机构， 其特征在于， 直 线运动模组(1-2)用于将步进电机(1-1)。

6、的旋转运动转化为直线运动。 4.如权利要求1所述的用于同步辐射装置中的丝扫描探测器执行机构， 其特征在于， 所 述探测丝(2-4)的材质为钨丝。 5.如权利要求1所述的用于同步辐射装置中的丝扫描探测器执行机构， 其特征在于， 所 述光电位置开关(1-3)用于检测传动杆(2-1)的运动位置。 权利要求书 1/1 页 2 CN 212133861 U 2 一种用于同步辐射装置中的丝扫描探测器执行机构 技术领域 0001 本实用新型涉及一种丝扫描探测器执行机构， 具体涉及一种用于同步辐射装置中 的丝扫描探测器执行机构。 背景技术 0002 在同步辐射光束线内， 因实际使用需要， 在光束线的不同位置需。

7、安装光束探测装 置， 以实现对同步辐射光束位置及强度的检测， 因此本实用新型提出了一种用于同步辐射 装置中的丝扫描探测器执行机构， 已实现上述功能。 实用新型内容 0003 针对现有技术中存在的缺陷， 本实用新型的目的是提供了一种用于同步辐射装置 中的丝扫描探测器执行机构， 是为了解决同步辐射装置中对于光束位置及强度的检测问 题， 使用方便， 安全可靠。 0004 为达到以上目的， 本实用新型采取的技术方案是： 0005 一种用于同步辐射装置中的丝扫描探测器执行机构， 包括： 运动组件1、 夹丝机构2 和真空腔体3； 0006 所述运动组件1包括： 步进电机1-1、 直线运动模组1-2、 2个。

8、光电位置开关1-3和支 架， 所述步进电机1-1与直线运动模组1-2连接， 2个光电位置开关1-3均设置在直线运动模 组1-2的一侧， 直线运动模组1-2固定在支架上， 支架上设有法兰， 所述直线运动模组1-2上 设有滑台， 滑台的一端设有转接板， 滑台位于2个光电位置开关1-3之间， 0007 所述夹丝机构2包括： 传动杆2-1、 密封波纹管2-2、 丝支架2-3及探测丝2-4， 0008 所述真空腔体3包括： 真空腔3-1和电信号引入法兰3-2， 所述电信号引入法兰3-2 设置在真空腔3-1上， 真空腔3-1的上方设有支管， 支管上设有连接法兰， 所述密封波纹管2- 2位于支管的内部， 0。

9、009 所述密封波纹管2-2的上端与支架上的法兰通过焊接连接， 所述密封波纹管2-2的 下端依次穿过支管上的连接法兰、 支管与传动杆2-1的一端通过焊接连接， 传动杆2-1的一 端还与丝支架2-3连接， 探测丝2-4固定在丝支架2-3上， 所述探测丝2-4和丝支架2-3位于真 空腔3-1的内部， 0010 传动杆2-1的另一端依次穿过密封波纹管2-2、 支管上的连接法兰、 支架上的法兰、 转接板与直线运动模组1-2连接， 支架上的法兰与支管上的连接法兰为密封连接， 0011 非工作状态下， 探测丝2-4的位置位于光束上方， 不与光束相交。 工作状态下， 运动 组件1带动探测丝2-4垂直运动， 。

10、探测丝2-4的中心点与光束中心重合， 光照所产生的电流通 过真空腔体3上的电信号引出法兰3-2引出。 根据所探测的电流值的大小判断光的强度。 0012 作为优选方案， 所述探测丝2-4采用双丝交叉结构， 通过两条丝进行比对。 0013 作为优选方案， 直线运动模组1-2用于将步进电机1-1的旋转运动转化为直线运 动。 说明书 1/3 页 3 CN 212133861 U 3 0014 作为优选方案， 所述探测丝2-4的材质为钨丝。 0015 作为优选方案， 所述光电位置开关1-3用于检测传动杆2-1的运动位置。 0016 本实用新型提供的丝扫描探测器执行机构实际使用时， 先将整体通过连接法兰与。

11、 光束线其余部件连接， 通过运动组件调整探测丝位置， 初始位置为上位(即通光位)。 需要检 测时， 步进电机运动进而控制探测丝向下运动。 运动至所需位置， 光电位置开关发出信号， 步进电机停止运动， 开始进行检测。 当需要再次通光时， 步进电机反向运动至上位， 此时可 通光。 0017 有益效果： 本实用新型提供的丝扫描探测器执行机构具有以下优点： 0018 可方便的对探测丝的位置进行控制。 附图说明 0019 本实用新型有如下附图： 0020 图1为本实用新型提供的丝扫描探测器执行机构的结构示意图。 0021 图中： 1-运动组件， 2-夹丝机构， 3-真空腔体， 1-1-步进电机， 1-2。

12、-直线运动模组， 1-3-光电位置开关， 2-1-传动杆， 2-2-密封波纹管， 2-3-丝支架， 2-4-探测丝， 3-1-真空腔， 3-2-电信号引入法兰。 具体实施方式 0022 以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。 0023 如图1所示， 一种用于同步辐射装置中的丝扫描探测器执行机构， 包括： 运动组件 1、 夹丝机构2和真空腔体3。 运动组件1包括步进电机1-1、 直线运动模组1-2、 支架及2个光电 位置开关1-3。 所述步进电机1-1与直线运动模组1-2连接， 2个光电位置开关1-3均设置在直 线运动模组1-2的一侧， 直线运动模组1-2固定在支架上， 支架上设有法兰， 所。

13、述直线运动模 组1-2上设有滑台， 滑台的一端设有转接板， 滑台位于2个光电位置开关1-3之间， 0024 步进电机1-1为运动驱动部件， 直线运动模组1-2负责将步进电机1-1的旋转运动 转化为直线运动， 运动位置的指示由光电位置开关1-3实现。 0025 夹丝机构2包括传动杆2-1、 密封波纹管2-2、 丝支架2-3及探测丝2-4等部件， 真空 腔体3包括真空腔3-1和电信号引入法兰3-2， 0026 所述电信号引入法兰3-2设置在真空腔3-1上， 真空腔3-1的上方设有支管， 支管上 设有连接法兰， 所述密封波纹管2-2位于支管的内部， 0027 所述密封波纹管2-2的上端与支架上的法兰。

14、通过焊接连接， 所述密封波纹管2-2的 下端依次穿过支管上的连接法兰、 支管与传动杆2-1的一端通过焊接连接， 传动杆2-1的一 端还与丝支架2-3连接， 探测丝2-4固定在丝支架2-3上， 所述探测丝2-4和丝支架2-3位于真 空腔3-1的内部， 0028 传动杆2-1的另一端依次穿过密封波纹管2-2、 支管上的连接法兰、 支架上的法兰、 转接板与直线运动模组1-2连接， 支架上的法兰与支管上的连接法兰为密封连接， 0029 丝支架2-3用于固定探测丝。 探测丝2-4是主要功能元件， 其材质为钨丝， 当同步辐 射光通过探测丝2-4时， 可产生相应的电流， 根据所探测的电流值的大小判断光的强度。 0030 作为优选方案， 所述探测丝2-4采用双丝交叉结构。 说明书 2/3 页 4 CN 212133861 U 4 0031 以上所述仅是本实用新型的优选实施方式， 应当指出， 对于本技术领域的普通技 术人员来说， 在不脱离本实用新型原理的前提下， 还可以做出若干改进和润饰， 这些改进和 润饰也应视为本实用新型的保护范围。 0032 本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。 说明书 3/3 页 5 CN 212133861 U 5 图1 说明书附图 1/1 页 6 CN 212133861 U 6 。