炉门冷却装置.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 202020139772.4 (22)申请日 2020.01.21 (73)专利权人 深圳市拉普拉斯能源技术有限公 司 地址 518118 广东省深圳市坪山区坑梓街 道吉康路1号 (72)发明人 张武庞爱锁林佳继刘群 林依婷 (74)专利代理机构 杭州天昊专利代理事务所 (特殊普通合伙) 33283 代理人 董世博 (51)Int.Cl. F27D 1/18(2006.01) F27D 1/12(2006.01) (54)实用新型名称 一种炉门冷却装置 (57)摘要 一种炉门冷却。

2、装置， 包括炉门、 散热器； 所述 散热器包括散热片、 进气管以及抽风口； 所述进 风口以及抽风管设置于炉门的侧面， 进风口和通 风管设置于炉门圆心的两侧； 本实用新型通过设 置散热器， 实现炉门的风冷散热， 既保证了密封 圈不会因为遭受高温而损坏， 又保护了炉门的使 用寿命。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 212205648 U 2020.12.22 CN 212205648 U 1.一种炉门冷却装置， 其特征在于， 包括炉门、 散热器； 所述散热器包括散热片、 进气管 以及抽风口； 所述进气管以及抽风口设置于炉门的侧面， 进气管和抽风口设置于炉门圆心 的两侧。 2.根据权利要。

3、求1所述的一种炉门冷却装置， 其特征在于， 所述进气管靠近炉门的部位 设置有多孔出气孔； 设置有多孔出气孔的部分进气管与散热片近似垂直或者垂直。 3.根据权利要求1所述的一种炉门冷却装置， 其特征在于， 所述抽风口抽出的气流的流 向与散热片平行。 4.根据权利要求1所述的一种炉门冷却装置， 其特征在于， 所述炉门上还设置有密封圈 和炉门法兰； 密封圈设置于炉门与炉体连接部位。 5.根据权利要求1所述的一种炉门冷却装置， 其特征在于， 所述炉门呈圆形， 炉门上设 置有通孔， 所述通孔有三个， 分别为通孔一、 通孔二和通孔三； 所述通孔一和通孔二关于炉 门的直径对称设置， 通孔一和通孔二的形状大小。

4、均相等； 所述通孔三的圆心设置于通孔一 和通孔二对称的直径上； 炉门的圆心位于通孔一、 二、 三为顶点组成的三角形中； 通孔三向 炉门的外侧凸起。 6.根据权利要求5所述的一种炉门冷却装置， 其特征在于， 所述散热片的设置避开通孔 一、 二、 三， 穿过通孔的散热片分为两部分， 分别位于通孔的两侧。 7.根据权利要求1所述的一种炉门冷却装置， 其特征在于， 所述炉门的外侧设置有散热 片； 所述散热片为矩形的薄片， 所有散热片平行、 等间距设置。 8.根据权利要求5所述的一种炉门冷却装置， 其特征在于， 所述散热片为弧形， 其中最 靠近炉门圆心的散热片的弧度越小， 越远离炉门圆心的散热片的弧度越。

5、大； 散热片的设置 避开了上述的通孔一、 二、 三， 穿过通孔的散热片分为两部分， 分别位于通孔的两侧。 权利要求书 1/1 页 2 CN 212205648 U 2 一种炉门冷却装置 技术领域 0001 本实用新型涉及半导体和太阳能电池制造领域， 特别是涉及一种炉门冷却装置。 背景技术 0002 在半导体等光伏产品制造的过程中， 往往离不开高温环节， 比如扩散炉、 氧化炉、 退火炉等等都是在内部高温的环境下进行工作的， 而且工艺进行的过程中炉体内部的压力 较低， 这就要求炉体需要有比较好的保温性能。 目前， 往往在炉门处设置密封圈加炉管法兰 的方法实现炉体的保温， 但是密封圈的寿命会受到炉体。

6、的温度以及压力的影响， 当炉体的 压力变大， 热气流流速增快， 密封圈连接处的温度也会快速增加， 甚至可能会超过连接处密 封圈的允许温度， 损坏密封圈。 为了避免上述情况的发生， 多采用对密封圈外部， 也就是炉 门的外侧设置水冷的方式保护密封圈的使用寿命。 但是由于炉门的金属材质容易受到腐 蚀， 特别是在磷扩散工艺中， 金属炉门极容易受到腐蚀生锈， 虽然保护了密封圈的使用寿 命， 但是影响了炉门的使用寿命， 得不偿失， 而且炉门生锈， 还会使生产过程产生隐患， 并且 容易对炉内的加工工艺产生污染。 发明内容 0003 本实用新型的目的是解决现有技术的不足， 提供一种炉门冷却装置， 结构简单， 。

7、使 用方便。 0004 一种炉门冷却装置， 包括炉门、 散热器； 所述散热器包括散热片、 进气管以及抽风 口； 所述进风口以及抽风管设置于炉门的侧面， 进风口和通风管设置于炉门圆心的两侧。 0005 进一步的， 所述进气管靠近炉门的部位设置有多孔出气孔； 设置有多孔出气孔的 部分进气管与散热片近似垂直或者垂直。 0006 进一步的， 所述抽风口抽出的气流的流向与散热片平行。 0007 进一步的， 所述密封圈设置于炉门与炉体连接部位。 0008 进一步的， 所述炉门呈圆形， 炉门上设置有通孔， 所述通孔有三个， 分别为通孔一、 通孔二和通孔三； 所述通孔一和通孔二关于炉门的直径对称设置， 通孔一。

8、和通孔二的形状 大小均相等； 所述通孔三的圆心设置于通孔一和通孔二对称的直径上； 炉门的圆心位于通 孔一、 二、 三为顶点组成的三角形中； 通孔三向炉门的外侧凸起。 0009 进一步的， 所述散热片的设置避开通孔一、 二、 三， 穿过通孔的散热片分为两部分， 分别位于通孔的两侧。 0010 进一步的， 所述炉门的外侧设置有散热片； 所述散热片为矩形的薄片， 所有散热片 平行、 等间距设置。 0011 进一步的， 所述散热片为弧形， 其中最靠近炉门圆心的散热片的弧度越小， 越远离 炉门圆心的散热片的弧度越大； 散热片的设置避开了上述的通孔一、 二、 三， 穿过通孔的散 热片分为两部分， 分别位于。

9、通孔的两侧。 0012 本实用新型的有益效果为： 说明书 1/3 页 3 CN 212205648 U 3 0013 本实用新型通过设置散热器， 实现炉门的风冷散热， 既保证了密封圈不会因为遭 受高温而损坏， 又保护了炉门的使用寿命； 0014 本实用新型通过设置散热片能够实现炉门高效的降温， 同时能够在炉门和散热片 之间设置高导热材料， 进一步提高散热效率。 附图说明 0015 图1为本实用新型实施例一的整体结构图； 0016 图2为本实用新型实施例一整体的侧视图； 0017 图3为本实用新型实施例一整体的正视图； 0018 图4为本实用新型实施例二整体的正视图。 0019 附图标识说明： 。

10、炉门1、 通孔一11、 通孔二12、 通孔三13、 密封圈2、 散热器3、 散热片 31、 进气管32、 抽风口33。 具体实施方式 0020 以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式， 本领域技术人员可由本说 明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。 本实用新型还可以通过另外 不同的具体实施方式加以实施或应用， 本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应 用， 在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。 需说明的是， 在不冲突的情况 下， 以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。 0021 需要说明的是， 以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本 构。

11、想， 遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、 形状 及尺寸绘制， 其实际实施时各组件的型态、 数量及比例可为一种随意的改变， 且其组件布局 型态也可能更为复杂。 0022 实施例一： 0023 如图1、 2所示， 一种炉门冷却装置， 包括炉门1、 散热器3。 所述散热器3包括散热片 31、 进气管32以及抽风口33。 所述炉门1上设置密封圈2和炉门法兰对炉体进行密封， 实现炉 体的保温。 0024 如图3所示， 所述密封圈2设置于炉门1与炉体连接部位， 所述炉门1呈圆形。 在本实 施例中， 炉门1上设置有通孔， 所述通孔有三个， 分别为通孔一11、 通孔二12和通。

12、孔三13。 所 述通孔一11和通孔二12关于炉门1的直径对称设置， 通孔一11和通孔二12的形状大小均相 等。 通孔一11和通孔二12用于设置螺丝螺母， 将密封圈2等装置固定于炉门1上。 所述通孔三 13的圆心设置于通孔一11和通孔二12对称的直径上， 并且炉门1的圆心位于通孔一11、 二、 三为顶点组成的三角形中。 通孔三13向炉门1的外侧凸起， 通孔三13用于设置石英舟的桨。 0025 所述炉门1的外侧还设置有散热片31， 所述散热片31为矩形的薄片。 所有散热片31 平行、 等间距设置， 散热片31采用铜、 铝等高比热容并且不易产生化学或物理变化的材料。 炉门1的外周为散热片31长度的边。

13、界， 散热片31仅设置于炉门1的外侧， 不超出炉门1的范 围。 散热片31的设置避开了上述的通孔一11、 二、 三。 穿过通孔的散热片31分为两部分， 分别 位于通孔的两侧。 所述进气管32设置于炉门1的侧面， 进气管32靠近炉门1的部位设置有多 孔出气孔。 在本实施例中， 设置有出气孔的部分进气管32与散热片31近似垂直或者垂直， 目 说明书 2/3 页 4 CN 212205648 U 4 的是进气管32吹出的气体能够以较高的流速穿过散热片31之间的间隙， 带走散热片31上的 热量， 达到为散热片31快速降温的目的。 进气管32的气流能够通过压缩空气的装置或者风 扇产生， 在本实施例中采用。

14、压缩空气的装置作为产生压缩空气的装置。 0026 为了实现散热气流的循环， 在炉门1的侧面还设置有抽风口33， 所述抽风口33与设 置有出气孔的部分进气管32分别位于炉门1圆心的两侧。 所述抽风口33抽出的气流的流向 与散热片31平行， 目的是能够保证散热气流能够保持高流速。 0027 所述炉门1和散热片31之间可以设置高导热材料， 比如石墨纸等， 加快散热的效 率。 0028 采用本实施例中所述的装置， 在炉内温度为1000， 炉内的压力为600mbar的情况 下， 此时设置压缩空气的流量为15L/min， 检测工作两小时的密封圈2温度的变化曲线， 发现 密封圈2在两小时内的最大温度为190。

15、， 并且密封圈2颜色未产生变化， 形状没有产生畸 变， 密封圈2还能够正常使用。 在相同情况下， 不使用本实施例中所述的装置， 密封圈2在两 小时内的最大温度为270， 并且密封圈2已经变色， 形状产生畸变， 不能够继续使用。 0029 实施例二 0030 如图4所示， 所述散热片31为弧形， 其中最靠近炉门1圆心的散热片31的弧度越小， 越远离炉门1圆心的散热片31的弧度越大。 散热片31的设置避开了上述的通孔一11、 二、 三。 穿过通孔的散热片31分为两部分， 分别位于通孔的两侧。 散热片31采用弧形的目的是使散 热气流能够比较均匀的穿过炉门1的外表面， 同时散热片31在靠近进气管32的。

16、一侧集中， 使 近期能够更加充分、 均匀； 散热片31在靠近抽风口33一侧集中能够保证热气流充分被抽风 口33抽走。 0031 实施例三 0032 所述散热片31的形状可以根据压缩空气的流向， 设置定制的图案， 比如折角形等 等， 增强散热器3的散热效果。 0033 以上描述仅是本实用新型的具体实例， 不构成对本实用新型的任何限制。 显然对 于本领域的专业人员来说， 在了解了本实用新型内容和原理后， 都可能在不背离本实用新 型原理、 结构的情况下， 进行形式和细节上的各种修改和改变， 但是这些基于本实用新型思 想的修正和改变仍在本实用新型的权利要求保护范围之内。 说明书 3/3 页 5 CN 212205648 U 5 图1 图2 说明书附图 1/2 页 6 CN 212205648 U 6 图3 图4 说明书附图 2/2 页 7 CN 212205648 U 7 。