多晶硅还原系统.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 202021609994.4 (22)申请日 2020.08.05 (73)专利权人 中国恩菲工程技术有限公司 地址 100038 北京市海淀区复兴路12号 (72)发明人 石何武张升学陈贵娥郑红梅 杨永亮 (74)专利代理机构 北京清亦华知识产权代理事 务所(普通合伙) 11201 代理人 王海燕 (51)Int.Cl. C01B 33/035(2006.01) F27D 17/00(2006.01) (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 (54)实用新型名称 多晶硅还原。

2、系统 (57)摘要 本实用新型公开一种多晶硅还原系统， 所述 多晶硅还原系统包括还原炉、 热水供给装置、 第 一换热器、 第二换热器、 第三换热器、 第四换热 器、 管道混合器， 第一换热器分别与还原炉、 热水 供给装置和第二换热器连接， 第二换热器分别与 还原炉、 管道混合器和第一换热器连接， 第三换 热器分别与第一换热器和管道混合器连接， 第四 换热器分别与管道混合器和第二换热器连接。 本 实用新型的多晶硅还原系统通过换热器和热水 供应装置的配合， 能够使还原尾气中的热量逐级 递减且被合理利用于多晶硅还原工艺中各个环 节， 充分利用了多晶硅还原工艺中产生的副热。 权利要求书1页 说明书7页。

3、 附图1页 CN 212246233 U 2020.12.29 CN 212246233 U 1.一种多晶硅还原系统， 其特征在于， 包括： 还原炉， 所述还原炉具有混合气供给口和还原尾气排出口， 所述还原炉的炉壁具有冷 却通道， 所述冷却通道具有冷却水进口和冷却水出口； 热水供给装置， 所述热水供给装置具有与所述冷却水进口相连的供水口和与所述冷却 水出口相连的回水口； 第一换热器， 所述第一换热器具有第一尾气进口、 第一尾气出口、 第一换热器进水口和 第一换热器出水口， 所述第一尾气进口与所述还原尾气排出口相连， 所述第一换热器进水 口与所述供水口相连； 第二换热器， 所述第二换热器具有第二。

4、尾气进口、 第二尾气出口、 混合气进口和混合气 出口， 所述第二尾气进口与所述第一尾气出口相连， 所述混合气出口与所述混合气供给口 相连； 管道混合器， 所述管道混合器具有三氯氢硅进口、 氢气进口和混合气排出口， 所述混合 气排出口与所述第二换热器的混合气进口相连； 第三换热器， 所述第三换热器具有三氯氢硅入口、 三氯氢硅出口、 第三换热器进水口和 第三换热器出水口， 所述三氯氢硅出口与所述混合器的三氯氢硅进口相连， 所述第三换热 器进水口与所述第一换热器出水口相连， 所述第三换热器出水口与所述回水口相连； 第四换热器， 所述第四换热器具有氢气供给口、 氢气排出口、 第四换热器尾气进口和第 四。

5、换热器尾气出口， 所述氢气排出口与所述混合器的氢气进口相连， 所述第四换热器尾气 进口与所述第二尾气出口相连。 2.根据权利要求1所述的多晶硅还原系统， 其特征在于， 还包括与所述第四换热器尾气 出口相连的硅渣过滤器。 3.根据权利要求2所述的多晶硅还原系统， 其特征在于， 所述硅渣过滤器为旋风分离器 或反冲洗式滤芯过滤器。 4.根据权利要求1所述的多晶硅还原系统， 其特征在于， 还包括与所述第三换热器的三 氯氢硅入口相连的缓冲罐。 5.根据权利要求2所述的多晶硅还原系统， 其特征在于， 所述还原炉包括炉罩和底盘， 所述冷却通道包括炉罩冷却通道和底盘冷却通道， 所述炉罩冷却通道和所述底盘冷却通。

6、道 分别具有所述冷却水进口和所述冷却水出口， 所述炉罩冷却通道的冷却水进口和所述底盘 的冷却水进口分别与所述供水口相连， 所述炉罩冷却通道的冷却水出口和所述底盘的冷却 水出口分别与所述回水口相连。 6.根据权利要求1所述的多晶硅还原系统， 其特征在于， 还包括与所述供水口相连的热 水循环泵， 所述热水供给装置为闪蒸器。 7.根据权利要求1所述的多晶硅还原系统， 其特征在于， 所述第一换热器、 第二换热器、 第三换热器和第四换热器为夹套管式换热器、 U型管式换热器或列管式换热器中的一种。 权利要求书 1/1 页 2 CN 212246233 U 2 多晶硅还原系统 技术领域 0001 本实用新型。

7、涉及多晶硅生产技术领域， 具体地， 涉及一种多晶硅还原系统。 背景技术 0002 多晶硅是太阳能电池和集成电路的基础原材料， 多晶硅大多采用改良西门子工艺 技术， 高纯三氯氢硅与氢气的混合气在还原炉内实现多晶硅的气相沉积， 还原炉内的温度 高达1000多摄氏度， 需要采用外供冷却介质进行冷却， 以确保还原系统的安全稳定运行。 因 此， 多晶硅还原系统的能耗非常高， 为此， 相关技术中提出了多种方案回收热能。 然而， 相关 技术中的热能回收方案仍然存在热能回收效率低、 系统能耗整体偏高的问题， 存在改进的 需求。 实用新型内容 0003 本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。

8、。 0004 为此， 本实用新型的实施例提出一种热能回收效率高、 能耗降低的多晶硅还原系 统。 0005 根据本实用新型实施例的多晶硅还原系统， 包括： 0006 还原炉， 所述还原炉具有混合气供给口和还原尾气排出口， 所述还原炉的炉壁具 有冷却通道， 所述冷却通道具有冷却水进口和冷却水出口； 0007 热水供给装置， 所述热水供给装置具有与所述冷却水进口相连的供水口和与所述 冷却水出口相连的回水口； 0008 第一换热器， 所述第一换热器具有第一尾气进口、 第一尾气出口、 第一换热器进水 口和第一换热器出水口， 所述第一尾气进口与所述还原尾气排出口相连， 所述第一换热器 进水口与所述供水口相。

9、连； 0009 第二换热器， 所述第二换热器具有第二尾气进口、 第二尾气出口、 混合气进口和混 合气出口， 所述第二尾气进口与所述第一尾气出口相连， 所述混合气出口与所述混合气供 给口相连； 0010 管道混合器， 所述管道混合器具有三氯氢硅进口、 氢气进口和混合气排出口， 所述 混合气排出口与所述第二换热器的混合气进口相连； 0011 第三换热器， 所述第三换热器具有三氯氢硅入口、 三氯氢硅出口、 第三换热器进水 口和第三换热器出水口， 所述三氯氢硅出口与所述混合器的三氯氢硅进口相连， 所述第三 换热器进水口与所述第一换热器出水口相连， 所述第三换热器出水口与所述回水口相连； 0012 第四。

10、换热器， 所述第四换热器具有氢气供给口、 氢气排出口、 第四换热器尾气进口 和第四换热器尾气出口， 所述氢气排出口与所述混合器的氢气进口相连， 所述第四换热器 尾气进口与所述第二尾气出口相连。 0013 根据本实用新型的实施例的多晶硅还原系统通过换热器和热水供应装置的配合， 能够使还原尾气中的热量逐级递减且被合理利用于多晶硅还原工艺中各个环节， 充分利用 说明书 1/7 页 3 CN 212246233 U 3 了多晶硅还原工艺中产生的副热。 0014 在一些实施例中， 所述多晶硅还原系统还包括与所述第四换热器尾气出口相连的 硅渣过滤器。 0015 在一些实施例中， 所述硅渣过滤器为旋风分离器。

11、或反冲洗式滤芯过滤器。 0016 在一些实施例中， 所述多晶硅还原系统还包括与所述第三换热器的三氯氢硅入口 相连的缓冲罐。 0017 在一些实施例中， 所述还原炉包括炉罩和底盘， 所述冷却通道包括炉罩冷却通道 和底盘冷却通道， 所述炉罩冷却通道和所述底盘冷却通道分别具有所述冷却水进口和所述 冷却水出口， 所述炉罩冷却通道的冷却水进口和所述底盘的冷却水进口分别与所述供水口 相连， 所述炉罩冷却通道的冷却水出口和所述底盘的冷却水出口分别与所述回水口相连。 0018 在一些实施例中， 所述多晶硅还原系统还包括与所述供水口相连的热水循环泵， 所述热水供给装置为闪蒸器。 0019 在一些实施例中， 所述。

12、第一换热器、 第二换热器、 第三换热器和第四换热器为夹套 管式换热器、 U型管式换热器或列管式换热器中的一种。 附图说明 0020 图1是根据本实用新型实施例的多晶硅还原系统结构示意图。 0021 附图标记： 0022 还原炉1， 混合气供给口11， 还原尾气排出口12， 炉罩13， 底盘14， 封头15， 冷却水进 口16， 冷却水出口17， 0023 热水供给装置2， 供水口21， 回水口22， 0024 第一换热器3， 第一尾气进口31， 第一尾气出口32， 第一换热器进水口33， 第一换热 器出水口34， 0025 第二换热器4， 第二尾气进口41， 第二尾气出口42， 混合气进口43。

13、混合气出口44， 0026 第三换热器5， 三氯氢硅入口51， 三氯氢硅出口52， 第三换热器进水口53， 第三换热 器出水口54， 0027 第四换热器6， 氢气供给口61， 氢气排出口62， 第四换热器尾气进口63第四换热器 尾气出口64， 0028 管道混合器7， 三氯氢硅进口71， 氢气进口72， 混合气排出口73， 0029 硅渣过滤器8， 0030 缓冲罐9， 0031 热水循环泵10。 具体实施方式 0032 下面详细描述本实用新型的实施例， 所述实施例的示例在附图中示出。 下面通过 参考附图描述的实施例是示例性的， 旨在用于解释本实用新型， 而不能理解为对本实用新 型的限制。 。

14、0033 在本实用新型的描述中， 需要理解的是， 术语 “中心” 、“纵向” 、“横向” 、“长度” 、“宽 度” 、“厚度” 、“上” 、“下” 、“前” 、“后” 、“左” 、“右” 、“竖直” 、“水平” 、“顶” 、“底”“内” 、“外” 、“顺 说明书 2/7 页 4 CN 212246233 U 4 时针” 、“逆时针” 、“轴向” 、“径向” 、“周向” 等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位 或位置关系， 仅是为了便于描述本实用新型和简化描述， 而不是指示或暗示所指的装置或 元件必须具有特定的方位、 以特定的方位构造和操作， 因此不能理解为对本实用新型的限 制。 0034 。

15、此外， 术语 “第一” 、“第二” 仅用于描述目的， 而不能理解为指示或暗示相对重要性 或者隐含指明所指示的技术特征的数量。 由此， 限定有 “第一” 、“第二” 的特征可以明示或者 隐含地包括至少一个该特征。 在本实用新型的描述中，“多个” 的含义是至少两个， 例如两 个， 三个等， 除非另有明确具体的限定。 0035 在本实用新型中， 除非另有明确的规定和限定， 术语 “安装” 、“相连” 、“连接” 、“固 定” 等术语应做广义理解， 例如， 可以是固定连接， 也可以是可拆卸连接， 或成一体； 可以是 机械连接， 也可以是电连接或彼此可通讯； 可以是直接相连， 也可以通过中间媒介间接相 。

16、连， 可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系， 除非另有明确的限定。 对于本 领域的普通技术人员而言， 可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。 0036 在本实用新型中， 除非另有明确的规定和限定， 第一特征在第二特征 “上” 或 “下” 可以是第一和第二特征直接接触， 或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。 而且， 第一特 征在第二特征 “之上” 、“上方” 和 “上面” 可是第一特征在第二特征正上方或斜上方， 或仅仅 表示第一特征水平高度高于第二特征。 第一特征在第二特征 “之下” 、“下方” 和 “下面” 可以 是第一特征在第二特征正下方或斜下方， 或仅仅表示第。

17、一特征水平高度小于第二特征。 0037 在本实用新型中， 术语 “一个实施例” 、“一些实施例” 、“示例” 、“具体示例” 、 或 “一 些示例” 等意指结合该实施例或示例描述的具体特征、 结构、 材料或者特点包含于本实用新 型的至少一个实施例或示例中。 在本说明书中， 对上述术语的示意性表述不必须针对的是 相同的实施例或示例。 而且， 描述的具体特征、 结构、 材料或者特点可以在任一个或多个实 施例或示例中以合适的方式结合。 此外， 在不相互矛盾的情况下， 本领域的技术人员可以将 本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。 0038 下面参考附图描述根据本实。

18、用新型实施例的多晶硅还原系统和多晶硅还原系统。 0039 如图1所示， 根据本实用新型实施例的多晶硅还原系统包括还原炉1、 热水供给装 置2、 第一换热器3、 第二换热器4、 第三换热器5、 第四换热器6和管道混合器7。 0040 还原炉1具有混合气供给口11和还原尾气排出口12， 还原炉1的炉壁具有冷却通 道， 冷却通道具有冷却水进口16和冷却水出口17。 0041 热水供给装置2具有与冷却水进口16相连的供水口21和与冷却水出口17相连的回 水口22。 0042 第一换热器3具有第一尾气进口31、 第一尾气出口32、 第一换热器进水口33和第一 换热器进水口34， 第一尾气进口31与还原尾。

19、气排出口12相连， 第一换热器进水口33与供水 口21相连。 0043 第二换热器4具有第二尾气进口41、 第二尾气出口42、 混合气进口43和混合气出口 44， 第二尾气进口41与第一尾气出口32相连， 混合气出口44与混合气供给口11相连。 0044 管道混合器7具有三氯氢硅进口71、 氢气进口72和混合气排出口73， 混合气排出口 73与第二换热器4的混合气进口43相连。 0045 第三换热器5具有三氯氢硅入口51、 三氯氢硅出口52、 第三换热器5进水口53和第 说明书 3/7 页 5 CN 212246233 U 5 三换热器5出水口54， 三氯氢硅出口52与混合器的三氯氢硅进口71。

20、相连， 第三换热器5进水 口53与第一换热器进水口34相连， 第三换热器5出水口54与回水口22相连。 0046 第四换热器6具有氢气供给口61、 氢气排出口62、 第四换热器6尾气进口63和第四 换热器6尾气出口64， 氢气排出口62与混合器的氢气进口72相连， 第四换热器6尾气进口63 与第二尾气出口42相连。 0047 根据本实用新型的实施例的多晶硅还原系统在运行过程中， 还原炉1尾气通过还 原尾气排出口12和第一尾气进口31进入第一换热器3， 并与通过从热水供给装置2的供水口 21和第一换热器进水口33进入第一换热器3的热水进行一次换热， 一次降温后的还原尾气 通过第一尾气出口32和第。

21、二尾气进口41进入第二换热器4， 并与通过混合气排出口73和混 合气进口43进入第二换热器4的三氯氢硅和氢气的混合气进行二次换热， 二次降温后的还 原尾气通过第二尾气出口42和第四换热器6尾气进口63进入第四换热器6， 并与从通过氢气 供给口61进入第四换热器6的氢气进行三次换热， 三次降温后的还原尾气通过第四换热器6 尾气出口64排出， 被预热过的氢气通过氢气排出口62和氢气进口72进入管道混合器7中。 0048 第一换热器3中换热升温后的热水通过第一换热器进水口34和第三换热器5进水 口53进入第三换热器5中， 并与通过三氯氢硅入口51进入第三换热器5的三氯氢硅进行换 热， 换热降温后的热。

22、水通过第三换热器5出水口54和回水口22进入热水供给装置2中， 换热 升温后的三氯氢硅被气化后通过三氯氢硅出口52和三氯氢硅进口71进入管道混合器7中并 与预热后的氢气充分混合。 0049 本实用新型的实施例的多晶硅还原系统能够使还原尾气中的热量逐级递减且被 合理利用于多晶硅还原工艺中各个环节， 充分利用了多晶硅还原工艺中产生的副热。 0050 在一些实施例中， 多晶硅还原系统还包括与第四换热器6尾气出口64相连的硅渣 过滤器8。 0051 根据本实用新型的实施例提出的多晶硅还原系统， 硅渣过滤器8能够截留在还原 生产过程中产生的硅尘， 解决现有多晶硅系统还原尾气管堵塞导致系统非计划性停车的问。

23、 题， 从而减少生产过程中造成的损失。 0052 在一些实施例中， 硅渣过滤器8可以是旋风分离器， 也可以是在线带反冲洗式滤芯 过滤器等多种形式， 0053 在一些实施例中， 多晶硅还原系统还包括与第三换热器5的三氯氢硅入口51相连 的缓冲罐9。 0054 根据本实用新型的实施例提出的多晶硅还原系统， 液态三氯氢硅先进入缓冲罐9 内能够减小液态三氯氢硅的压力波动， 起到稳流的作用。 在一个实施例中， 缓冲罐9也可以 是汽化罐， 使液态三氯氢硅进入第三换热器5前提前进行部分气化， 以保证在第三换热器5 中， 液态的三氯氢硅能够完全汽化。 0055 在一些实施例中， 还原炉1包括炉罩13和底盘14。

24、， 冷却通道包括炉罩冷却通道和底 盘冷却通道， 炉罩冷却通道和底盘冷却通道分别具有冷却水进口16和冷却水出口17， 炉罩 冷却通道的冷却水进口16和底盘冷却通道的冷却水进口16分别与供水口21相连， 炉罩冷却 通道的冷却水出口17和底盘冷却通道的冷却水出口17分别与回水口22相连。 0056 在传统的还原炉降温方法中， 还原炉的底盘采用中温水(6090)进行冷却， 这 样水源品种多， 冷却系统复杂， 使得还原车间配管繁杂， 操作困难， 热回收利用不全。 而根据 说明书 4/7 页 6 CN 212246233 U 6 本实用新型的实施例的多晶硅还原系统， 底盘14和炉罩13均采用相同温度的高温。

25、回水进行 降温， 对冷却系统进行简化， 方便操作。 0057 在一些实施例中， 多晶硅还原系统还包括与供水口21相连的热水循环泵10， 热水 供给装置2为闪蒸器。 0058 根据本实用新型的实施例的多晶硅还原系统， 热水循环泵10能够为还原炉1和还 原尾气提供稳定压力和流速以供换热的热水。 0059 在一些实施例中， 第一换热器3、 第二换热器4、 第三换热器5和第四换热器6分别为 夹套管式换热器、 U型管式换热器或列管式换热器中的一种。 0060 根据本实用新型的实施例提出的多晶硅还原系统， 根据生产要求的不同能够选取 不同形式的换热器满足生产要求， 根据各个换热器所处位置以及自身所起的作用。

26、选用。 0061 本实用新型的实施例还提出一种多晶硅还原工艺包括： 0062 利用热水与三氯氢硅进行热交换， 以加热三氯氢硅； 0063 将加热后的三氯化硅送入管道混合器7； 0064 将氢气与还原尾气进行换热， 以预热氢气； 0065 将预热后的氢气送入管道混合器7中与加热后的三氯氢硅混合， 以得到三氯氢硅 和氢气的混合气； 0066 将混合气与还原尾气进行热交换； 0067 将经过热交换后的混合气送入还原炉1内进行还原反应； 0068 将从热水供给装置2供给的热水供给至还原炉1以对还原炉1进行冷却并排出对还 原炉1冷却后的热水。 0069 根据本实用新型的实施例的多晶硅还原工艺， 利用换热。

27、器和热水供应装置的配 合， 能够使还原尾气中的热量逐级递减且被合理利用于多晶硅还原工艺中各个环节， 充分 利用了多晶硅还原工艺中产生的副热。 0070 在一些实施例中， 与三氯氢硅进行热交换的热水是从热水供给装置2供给的热水 与从还原炉1排出的还原尾气进行热交换后的热水； 0071 与混合气进行热交换的还原尾气是已经与三氯氢硅进行了热交换的还原尾气； 0072 预热氢气的还原尾气是已经与混合气进行了热交换的还原尾气。 0073 根据本实用新型的实施例提出的多晶硅还原工艺， 使用已经与混合气进行了热交 换的还原尾气对氢气预热能够进一步对还原尾气中的热量进行回收， 对氢气进行预热能够 使氢气与三氯。

28、氢硅气体充分混合。 0074 在一些实施例中， 多晶硅还原工艺还包括在加热三氯氢硅之前通过缓冲罐9对三 氯氢硅进行稳流， 以及对氢气进行了热交换的还原尾气进行过滤。 0075 根据本实用新型的实施例提出的多晶硅还原工艺， 在加热三氯氢硅之前通过缓冲 罐9对三氯氢硅进行稳流的目的是为了保证液态三氯氢硅的压力， 对氢气进行了热交换的 还原尾气进行过滤能够截留在还原生产过程中产生的硅尘， 解决现有多晶硅系统还原尾气 管堵塞导致系统非计划性停车的问题， 从而减少生产过程中造成的损失。 0076 在一些实施例中， 从热水供给装置2供给的热水的温度为130-150。 0077 在一些实施例中， 从还原炉1。

29、排出的还原尾气与从热水供给装置2供给的热水热交 换后， 还原尾气的温度从700-750降至400-450， 热水的温度从130-150升至160-180 说明书 5/7 页 7 CN 212246233 U 7 ， 0078 还原尾气经过与混合气热交换后温度从400-450摄氏度降至200-240， 混合气的 温度从45-60升温至220-250， 0079 与三氯氢硅热交换后的热水温度从160-180降至130-150， 三氯氢硅的温度升 至35-40， 0080 与氢气热交换后的还原尾气温度从200-240降至140-160， 氢气的温度升至 60-65。 0081 根据本实用新型的实施例。

30、的多晶硅还原工艺， 还原尾气经过与热水、 三氯氢硅和 氢气的混合气和氢气换热， 将温度为700-750的还原尾气降至温度为140-160， 同时利 用与还原尾气换热后的热水能够将三氯氢硅完全气化， 已经对氢气预热， 本实用新型的实 施例的多晶硅还原工艺根据还原尾气中各个工艺环节所需要的热能， 将还原尾气中的的热 能充分利用在多晶硅还原工艺的各个环节之中， 充分且有效利用了多晶硅还原工艺中产生 的副热， 降低了生产成本。 0082 下面参考附图描述根据本实用新型的一些具体示例性的多晶硅还原系统。 0083 如图1所示， 根据本实用新型实施例的多晶硅还原系统包括还原炉1、 热水供给装 置2、 第一。

31、换热器3、 第二换热器4、 第三换热器5、 第四换热器6、 管道混合器7、 硅渣过滤器8、 缓冲罐9和热水循环泵10。 0084 还原炉1包括炉罩13、 底盘14、 封头15、 混合气供给口11和还原尾气排出口12， 封头 15安装在炉罩13上端， 底盘14安装于炉罩13下端， 混合气供给口11和还原尾气排出口12设 于底盘14上， 炉罩13和底盘14具有冷却通道(图中未示出)， 冷却通道具有冷却水出口17和 冷却水进口16， 热水供给装置2包括供水口21和回水口22， 热水供给装置2的供水口21通过 热水循环泵10分别与炉罩13和底盘14的冷却通道的冷却水出口17连接， 炉罩13和底盘14的。

32、 冷却通道的冷却水出口17分别与热水供给装置2的回水口22连接。 0085 第一换热器3包括第一尾气进口31、 第一尾气出口32、 第一换热器进水口33和第一 换热器进水口34， 第二换热器4包括第二尾气进口41、 第二尾气出口42和混合气进口43混合 气出口44， 第三换热器5包括三氯氢硅入口51、 三氯氢硅出口52、 第三换热器5进水口53和第 三换热器5出水口54， 第四换热器6包括氢气供给口61、 氢气排出口62、 第四换热器6尾气进 口63和第四换热器6尾气出口64。 0086 管道混合器7包括三氯氢硅进口71、 氢气进口72和混合气排出口73。 0087 第一换热器3的第一尾气进口。

33、31与还原炉1的还原尾气排出口12连通， 第一换热器 3的第一尾气出口32与第二换热器4的第二尾气进口41连通， 第二换热器4的第二尾气出口 42与第四换热器6的第四换热器6尾气进口63连通， 第四换热器6的第四换热器6尾气出口64 与硅渣过滤器8连通。 0088 第一换热器3的第一换热器进水口33通过热水循环泵10与热水供给装置2的供水 口21连通， 第一换热器3的第一换热器进水口34与第三换热器5进水口53连通， 第三换热器5 出水口54与热水供给装置2的回水口22连通。 0089 还原炉1的混合气供给口11与第二换热器4的混合气出口44连通， 第二换热器4的 混合气进口43与管道混合气的。

34、混合气排出口73连通， 管道混合气的氢气进口72与第四换热 器6氢气排出口62连通， 氢气通过第四换热器6的氢气供给口61进入第四换热器6， 管道混合 说明书 6/7 页 8 CN 212246233 U 8 器7的三氯氢硅进口71与第三换热器5的三氯氢硅出口52连通， 第三换热器5的三氯氢硅入 口51与缓冲器连通， 液态三氯氢硅通过缓冲器进入第三换热器5中。 0090 在本实施例中， 热水供给装置2为闪蒸器， 封头未蝶形封头， 第一换热器3、 第二换 热器4、 第三换热器5和第四换热器6分别为夹套管式换热器、 U型管式换热器或列管式换热 器中的一种。 0091 尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例， 可以理解的是， 上述实施例是 示例性的， 不能理解为对本实用新型的限制， 本领域的普通技术人员在本实用新型的范围 内可以对上述实施例进行变化、 修改、 替换和变型。 说明书 7/7 页 9 CN 212246233 U 9 图1 说明书附图 1/1 页 10 CN 212246233 U 10 。