掩膜版组件及其工艺方法、制作功能膜层的工艺方法.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 202010232184.X (22)申请日 2020.03.27 (71)申请人 合肥京东方卓印科技有限公司 地址 230012 安徽省合肥市新站区新站工 业物流园内A组团E区宿舍楼15幢 申请人 京东方科技集团股份有限公司 (72)发明人 徐海 (74)专利代理机构 北京中博世达专利商标代理 有限公司 11274 代理人 申健 (51)Int.Cl. C23C 14/04(2006.01) C23C 14/24(2006.01) H01L 51/52(2006.01) H01。

2、L 51/56(2006.01) (54)发明名称 掩膜版组件及其工艺方法、 制作功能膜层的 工艺方法 (57)摘要 本发明公开一种掩膜版组件及其工艺方法、 制作功能膜层的工艺方法， 涉及OLED制作技术领 域， 用于解决现有的掩膜版无法制作与具有悬空 区的异形屏对应的阴极层图案的问题。 本发明掩 膜版组件， 包括： 多个掩膜版， 多个所述掩膜版上 分别开设有与显示屏的不同区域对应的蒸镀开 口、 且多个所述掩膜版的蒸镀开口所组成的图案 与所述显示屏的图案相同。 本发明的掩膜版组件 用于制作异形屏的功能膜层。 权利要求书1页 说明书6页 附图5页 CN 111254387 A 2020.06.0。

3、9 CN 111254387 A 1.一种掩膜版组件， 其特征在于， 包括： 多个掩膜版， 多个所述掩膜版上分别开设有与显示屏的不同区域对应的蒸镀开口、 且 多个所述掩膜版的蒸镀开口所组成的图案与所述显示屏的图案相同。 2.一种制作权利要求1所述的掩膜版组件的工艺方法， 其特征在于， 包括以下步骤： 按照待制作的显示屏的形状， 将所述显示屏上的形状分割为多个， 获得多个图案； 在多个掩膜片上分别制作与多个所述图案一一对应的蒸镀开口， 得到多个掩膜版。 3.根据权利要求2所述的掩膜版组件的工艺方法， 其特征在于， 当所述图案具有尖角区 时， 所述在多个掩膜片上分别制作与多个所述图案一一对应的蒸镀。

4、开口具体包括： 在每个所述掩膜片上制作与相应的所述图案相同的蒸镀开口之后， 采用化学刻蚀工艺 处理所述蒸镀开口的尖角区。 4.根据权利要求3所述的掩膜版组件的工艺方法， 其特征在于， 所述采用化学刻蚀工艺 处理所述蒸镀开口的尖角区具体包括： 采用光刻胶将所述掩膜片上距离所述尖角区的边沿510mm以上的区域均覆盖； 采用刻蚀药液腐蚀所述掩膜片上未被光刻胶附着的区域， 得到尖角区的厚度为100 m 的掩膜版。 5.一种采用权利要求1所述的掩膜版组件来制作显示屏中功能膜层的工艺方法， 其特 征在于， 包括以下步骤： 采用掩膜版组件中多个掩膜版在基板上分别进行真空蒸镀， 以形成显示屏的功能膜 层。 6。

5、.根据权利要求5所述的掩膜版组件来制作显示屏中功能膜层的工艺方法， 其特征在 于， 所述真空蒸镀的操作具体包括： 将所述掩膜版与所述基板上的对准标记对准； 将所述掩膜版与所述基板贴合后进行真空蒸镀。 7.一种掩膜版， 其特征在于， 包括： 外周遮挡部， 所述外周遮挡部用于遮挡与显示屏的外侧区对应的基板区域； 悬空遮挡部， 所述悬空遮挡部用于遮挡与所述显示屏的悬空区对应的基板区域， 所述 悬空遮挡部与所述外周遮挡部之间的间隙形成与所述显示屏的图案对应的蒸镀开口； 连接部， 所述连接部将所述外周遮挡部与所述悬空遮挡部连接。 8.根据权利要求7所述的掩膜版， 其特征在于， 所述连接部为连接线。 9.。

6、根据权利要求8所述的掩膜版， 其特征在于， 所述连接线的直径为0.1mm。 10.根据权利要求8所述的掩膜版， 其特征在于， 所述连接线采用ABS树脂或殷钢制作。 权利要求书 1/1 页 2 CN 111254387 A 2 掩膜版组件及其工艺方法、 制作功能膜层的工艺方法 技术领域 0001 本发明涉及OLED制作技术领域， 尤其涉及一种掩膜版组件及其工艺方法、 制作功 能膜层的工艺方法。 背景技术 0002 随着OLED(Organic Light-Emitting Diode， 即有机发光二极管)技术的发展， OLED的应用在显示行业的应用也越来越多。 0003 现有OLED屏包括基板、。

7、 阳极层、 有机功能层及阴极层， 阳极层、 有机功能层及阴极 层形成在基板上。 在制作异形屏时， 阳极层采用真空溅射工艺进行薄膜溅射， 有机功能层采 用打印工艺进行制作， 但是对于阴极层必须采用蒸镀方式进行制作， 采用现有的掩膜版 (MASK)无法制作与具有悬空区的异形屏(如空心D形)对应的阴极层图案。 发明内容 0004 本发明提供一种掩膜版及其工艺方法、 制作显示屏中功能膜层的工艺方法， 用于 解决现有的掩膜版无法制作与具有悬空区的异形屏对应的阴极层图案的问题。 0005 为达到上述目的， 本发明实施例采用如下技术方案： 0006 第一方面， 本发明实施例提供了一种掩膜版组件， 包括： 多。

8、个掩膜版， 多个所述掩 膜版上分别开设有与显示屏的不同区域对应的蒸镀开口、 且多个所述掩膜版的蒸镀开口所 组成的图案与所述显示屏的图案相同； 能够采用掩膜版组件中的多个掩膜版分别对基板进 行真空蒸镀， 从而解决现有技术的问题。 0007 在本发明一些可能的实施例中， 所述掩膜版具有尖角区， 所述掩膜版上除尖角区 以上的其他区域的厚度为所述掩膜版上尖角区的厚度的23倍， 能够解决掩膜版的尖角区 出现下垂的问题， 并降低蒸镀得到的功能膜层在尖角区对应的区域出现阴影问题。 0008 第二方面， 本发明实施例还提供了一种制作上述掩膜版组件的工艺方法， 包括以 下步骤： 按照待制作的显示屏的形状， 将所。

9、述显示屏上的形状分割为多个， 获得多个图案； 在多个掩膜片上分别制作与多个所述图案一一对应的蒸镀开口， 得到多个掩膜版； 通过多 个掩膜片对基板进行拼接蒸镀， 从而实现异形屏上功能膜层的制作。 0009 在本发明一些可能的实施例中， 当所述图案具有尖角区时， 所述在多个掩膜片上 分别制作与多个所述图案一一对应的蒸镀开口， 得到多个掩膜版具体包括： 在每个所述掩 膜片上制作与相应的所述图案相同的蒸镀开口之后， 采用化学刻蚀工艺处理所述蒸镀开口 的尖角区。 0010 在本发明一些可能的实施例中， 所述采用化学刻蚀工艺处理所述蒸镀开口的尖角 区具体包括： 采用光刻胶将所述掩膜片上距离所述尖角区的边沿。

10、510mm以上的区域均覆 盖； 采用刻蚀药液腐蚀所述掩膜片上未被光刻胶附着的区域， 得到尖角区的厚度为100 m的 掩膜版， 以使掩膜版不会出现下垂问题， 同时降低采用该掩膜版蒸镀后得到的功能膜层在 尖角区的阴影问题。 说明书 1/6 页 3 CN 111254387 A 3 0011 第三方面， 本发明实施例还提供了一种掩膜版组件来制作显示屏中功能膜层的工 艺方法， 包括以下步骤： 采用掩膜版组件中多个掩膜版在基板上分别进行真空蒸镀， 以形成 显示屏的功能膜层， 与上述掩膜版组件的效果相同。 0012 在本发明一些可能的实施例中， 所述真空蒸镀的操作具体包括： 将所述掩膜版与 所述基板上的对。

11、准标记对准； 将所述掩膜版与所述基板贴合后进行真空蒸镀， 保证采用多 个掩膜版进行拼接蒸镀后得到的异形屏中功能膜层的精度较高。 0013 第四方面， 本发明实施例还提供了一种掩膜版， 包括： 外周遮挡部， 所述外周遮挡 部用于遮挡与显示屏的外侧区对应的基板区域； 悬空遮挡部， 所述悬空遮挡部用于遮挡与 所述显示屏的悬空区对应的基板区域， 所述悬空遮挡部与所述外周遮挡部之间的间隙形成 与所述显示屏的图案对应的蒸镀开口； 连接部， 所述连接部将所述外周遮挡部与所述悬空 遮挡部连接， 通过连接部将掩膜版的外周遮挡部和悬空遮挡部的连接， 该掩膜版能够对具 有悬空区的异形屏所对应的基板上所有非蒸镀区域进。

12、行遮挡， 从而能够采用该掩膜版在基 板上以真空蒸镀方式制作与异形屏图案对应的阴极层。 0014 在本发明一些可能的实施例中， 所述连接部为连接线， 减少制作阴极层的影响。 0015 在本发明一些可能的实施例中， 所述连接部包括多个连接线， 多个连接线间隔设 置， 保证外周遮挡部与悬空遮挡部的连接强度。 0016 在本发明一些可能的实施例中， 所述连接线的直径为0.1mm， 在保证连接强度基础 上， 减少连接线对制作阴极层的影响。 0017 在本发明一些可能的实施例中， 所述连接线采用ABS树脂或殷钢制作， 制作工艺较 简单， 且能够避免连接线对基板划伤， 且不易粘附有机材料。 0018 在本发。

13、明一些可能的实施例中， 所述掩膜版具有尖角区， 所述掩膜版上除尖角区 以外的其他区域的厚度为所述掩膜版上尖角区的厚度的23倍， 以使掩膜版不会出现下垂 问题， 同时降低采用该掩膜版蒸镀后得到的功能膜层在尖角区的阴影问题。 附图说明 0019 为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案， 下面将对实施例或现 有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍， 显而易见地， 下面描述中的附图仅仅是本 发明的一些实施例， 对于本领域普通技术人员来讲， 在不付出创造性劳动的前提下， 还可以 根据这些附图获得其他的附图。 0020 图1为本发明实施例掩膜版组件中一个掩膜版的结构示意图； 0021 图2为。

14、本发明实施例掩膜版组件中另一个掩膜版的结构示意图； 0022 图3为通过本发明实施例掩膜版组件在基板上制作D形的功能膜层的结构示意图； 0023图4为通过本发明实施例掩膜版组件在基板上制作形的功能膜层的结构示意 图； 0024 图5为本发明实施例制作掩膜版组件的工艺方法的流程示意图之一； 0025 图6为本发明实施例制作掩膜版组件的工艺方法的流程示意图之二； 0026 图7为本发明实施例采用掩膜版组件制作来制作显示屏中功能膜层的工艺方法的 流程示意图； 0027 图8为本发明实施例掩膜版的结构示意图。 说明书 2/6 页 4 CN 111254387 A 4 具体实施方式 0028 下面将结合。

15、本发明实施例中的附图， 对本发明实施例中的技术方案进行清楚、 完 整地描述， 显然， 所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例， 而不是全部的实施例。 基于 本发明中的实施例， 本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他 实施例， 都属于本发明保护的范围。 0029 在本发明的描述中， 需要说明的是， 除非另有明确的规定和限定， 术语 “安装” 、“相 连” 、“连接” 应做广义理解， 例如， 可以是固定连接， 也可以是可拆卸连接， 或一体地连接； 可 以是机械连接； 可以是直接相连， 也可以通过中间媒介间接相连， 可以是两个元件内部的连 通。 对于本领域的普通技术人员而言， 。

16、可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。 0030 在本发明的描述中，“和/或” ， 仅仅是一种描述关联对象的关联关系， 表示可以存 在三种关系， 例如， A和/或B， 可以表示： 单独存在A， 同时存在A和B， 单独存在B这三种情况。 另外， 本文中字符 “/” ， 一般表示前后关联对象是一种 “或” 的关系。 0031 参照图1至图3， 本发明实施例掩膜版组件包括多个掩膜版1(也称为MASK)， 每个掩 膜版1上均开设有蒸镀开口11， 多个掩膜版1上的蒸镀开口11分别与显示屏的不同区域对 应、 且多个掩膜版1的蒸镀开口11所组成的图案与显示屏的图案相同。 0032 相较于现有技术， 。

17、在采用本发明实施例掩膜版组件制作显示屏的功能膜层200时， 以显示屏为其内形成有悬空区的异形屏、 且功能膜层200为阴极层为例， 由于掩膜版组件包 括多个掩膜版1， 多个掩膜版1上分别开设有与异形屏的不同区域对应的蒸镀开口11， 且多 个掩膜版1的蒸镀开口11所组成的图案与异形屏的图案相同， 可通过合理设计掩膜版1， 使 掩膜版1上所有掩膜区均连续， 每个掩膜版1均能够遮盖与异形屏的外周区、 悬空区及部分 异形屏的区域对应的基板100， 如先采用一个掩膜版1对基板100进行真空蒸镀， 在基板100 上形成与异形屏的部分区域图案相同的阴极层， 之后再采用其他掩膜版1依次在基板100上 形成与异形。

18、屏的其他部分区域图案相同的阴极层， 直至在基板100上形成与异形屏的整个 图案相同的阴极层， 从而解决现有技术的问题。 0033 需要说明的是： 上述显示屏的功能膜层200可为有机功能层、 或阴极层， 其中， 有机 功能层既可采用打印工艺制作， 也可采用蒸镀工艺制作； 而阴极层仅可采用蒸镀工艺制作。 因此， 本发明实施例的掩膜版组件主要用于蒸镀阴极层， 若除阴极层以外的膜层也采用蒸 镀工艺制作， 则本发明实施例的掩膜版组件也适用。 0034 示例的， 上述单个掩膜版1上仅开设与显示屏的局部区域对应的一个蒸镀开口11， 即在掩膜版组件中多个掩膜版1上分别开设一个与显示屏的不同局部区域对应的蒸镀开。

19、口 11。 0035 当然， 上述单个掩膜版1上也可开设与显示屏的不同区域对应的多个蒸镀开口11， 单个掩膜版1上多个蒸镀开口11所对应的显示屏的多个局部区域的图案相互独立(即多个 图案之间具有间距)。 0036 本发明实施例的掩膜版组件采用上述两种掩膜版类型的组合方案有多种， 如掩膜 版组件由均开设有一个蒸镀开口11的多个掩膜版1组成， 以异形屏为D形为例， 掩膜版组件 由图1中的掩膜版1a和图2中的掩膜版1b组成； 又如掩膜版组件由均开设有多个蒸镀开口11 的多个掩膜版1组成， 又如掩膜版组件由均开设有一个蒸镀开口11的一个或多个掩膜版1、 及均开设有多个蒸镀开口11的一个或多个掩膜版1组。

20、成。 具体可根据实际显示屏的图案复 说明书 3/6 页 5 CN 111254387 A 5 杂度， 合理制作相应的掩膜版组件。 0037 若上述蒸镀开口11具有尖角区12， 在掩膜版的厚度较薄时， 掩膜版的尖角区12容 易出现的下垂问题， 而在掩膜版的厚度较厚时， 采用该掩膜版制作的功能膜层在对应尖角 区的区域容易产生较大的阴影问题。 因此， 在本发明的一些实施例中， 上述掩膜版1上除尖 角区12以外的其他区域的厚度为掩膜版1上尖角区12的厚度的23倍， 使得采用该工艺处 理后的掩膜版1不会出现下垂问题， 同时降低采用该掩膜版1蒸镀后得到的功能膜层在尖角 区的阴影问题。 当然， 上述蒸镀开口。

21、11在尖角区的厚度设计也适用于制作图4中形功 能膜层的掩膜板。 0038 基于上述掩膜版组件的结构， 参照图5， 本发明实施例还包括一种制作上述实施例 所述的掩膜版组件的工艺方法， 包括以下步骤： 0039 步骤S101： 按照待制作的显示屏的形状， 将显示屏上的形状分割为多个， 获得多个 图案。 0040 步骤S102： 在多个掩膜片上分别制作与多个图案一一对应的蒸镀开口， 得到多个 掩膜版。 即获得掩膜版组件。 0041 根据待制作显示屏的形状复杂度， 在考虑蒸镀精度的基础上， 合理分割待制作显 示屏的形状， 使得采用上述工艺制作的掩膜版组件制作显示屏的功能膜层厚度较均匀， 且 精度较高。。

22、 0042 同理， 对于上述图案具有尖角区的情况， 上述在多个掩膜片上分别制作与多个图 案一一对应的蒸镀开口， 得到多个掩膜版具体包括： 0043 在每个掩膜片上制作与上述相应的图案相同的蒸镀开口之后， 采用化学刻蚀工艺 处理每个蒸镀开口的尖角区。 0044 由于采用化学刻蚀工艺进一步处理掩膜片上蒸镀开口的尖角区， 能够降低掩膜片 的尖角区的厚度， 使得采用该工艺处理后的掩膜版1不会出现下垂问题， 同时降低采用该掩 膜版1蒸镀后得到的功能膜层在尖角区的阴影问题。 0045 需要说明的是： 上述在掩膜片上制作与上述图案相同的蒸镀开口可采用光刻蚀工 艺。 0046 考虑到若掩膜版中尖角区的厚度太厚。

23、， 则采用该工艺处理后的掩膜版在进行蒸镀 后， 所获得的功能膜层的尖角区厚度低于其他区域， 导致功能膜层不均匀； 若掩膜版中尖角 区的厚度过薄， 则掩膜版的尖角区仍会出现的下垂问题。 因此， 参照图6， 本发明实施例的工 艺方法中上述采用化学刻蚀工艺处理蒸镀开口的尖角区具体包括： 0047 步骤S201： 采用光刻胶将掩膜片上距离尖角区的边沿510mm以上的区域均覆盖； 0048 步骤S202： 采用刻蚀药液腐蚀上述掩膜片上未被光刻胶附着的区域， 得到尖角区 的厚度为100 m的掩膜版。 0049 由于为了防止掩膜版的尖角区出现下垂的问题， 掩膜版的厚度为200300 m， 上 述通过控制刻蚀。

24、药液的量、 刻蚀时间及反应温度等参数， 从而实现得到尖角区(此处的尖角 是指距离蒸镀开口的尖角处边沿510mm内的区域)的厚度为100 m的掩膜版， 即掩膜版上 除尖角区以外的其他区域的厚度为掩膜版上尖角区的厚度的23倍。 0050 本发明一些可能的实施例为采用掩膜版组件来制作显示屏中功能膜层的工艺方 法， 该工艺方法包括以下步骤： 说明书 4/6 页 6 CN 111254387 A 6 0051 采用掩膜版组件中多个掩膜版在基板上分别进行真空蒸镀， 以形成显示屏的功能 膜层。 0052 通过上述工艺方法能够制作异形屏的功能膜层， 特别是阴极层， 其实现过程与上 述相同， 此处不再赘述。 0。

25、053 为了保证上述蒸镀后显示屏的功能膜层的精度， 参照图7， 上述真空蒸镀过程包 括： 0054 步骤S301： 将掩膜版与基板上的对准标记对准。 0055 步骤S302： 将掩膜版与基板贴合后进行真空蒸镀。 0056 每个掩膜版通过基板上的对准标记与基板对准后再进行真空蒸镀， 能够保证多个 掩膜版在基板形成的多个蒸镀图案之间的精度较高。 需要说明的是： 上述基板设有对准标 记， 该对准标记可为圆圈形或十字形。 0057 此外， 参照图8和图3， 本发明实施例包括一种掩膜版1包括外周遮挡部101、 悬空遮 挡部102及连接部103， 其中， 外周遮挡部101用于遮挡与显示屏的外侧区对应的基板。

26、100区 域， 悬空遮挡部102用于遮挡与显示屏内形成的悬空区对应的基板100区域， 悬空遮挡部102 与外周遮挡部101之间的间隙形成与显示屏的形状对应的蒸镀开口11， 连接部103将外周遮 挡部101与悬空遮挡部102连接。 0058 在采用本发明实施例掩膜版1在基板100上进行真空蒸镀方式来制作异形屏的功 能膜层200、 且异形屏内形成有悬空区时， 由于掩膜版1的连接部103将用于遮挡与显示屏的 外侧区对应的基板100区域的外周遮挡部101与用于遮挡与显示屏内形成的悬空区对应的 基板100区域的悬空遮挡部102连接， 悬空遮挡部102与外周遮挡部101之间的间隙形成与异 形屏的形状对应的。

27、蒸镀开口11， 使得将掩膜版1与基板100对准后进行真空蒸镀， 通过该蒸 镀开口11制作得到与异形屏形状相同的功能膜层200， 从而解决现有技术的问题。 0059 需要说明的是， 上述外周遮挡部101和悬空遮挡部102均为掩膜片上的连续掩膜 区。 考虑到连接部103的面积越大， 对蒸镀得到的功能膜层200的影响越大， 因此， 上述连接 部103为连接线。 0060 为保证外周遮挡部101和悬空遮挡部102的连接强度， 上述连接部103包括多个连 接线， 多个连接线间隔分布， 多个连接线能够将外周遮挡部101与悬空遮挡部102的不同区 域连接， 如图8所示， 从而外周遮挡部101与悬空遮挡部10。

28、2不易脱开。 0061 若上述连接线的直径过小， 外周遮挡部101和悬空遮挡部102的连接强度较小， 外 周遮挡部101和悬空遮挡部102容易脱开； 若上述连接线的直径过大， 容易导致基板100上对 应连接线的区域所形成的蒸镀层厚度较薄。 因此， 本发明实施例中连接线的直径为0.1mm， 在保证外周遮挡部101和悬空遮挡部102的连接强度的基础上， 降低对基板100上对应连接 线的区域所形成的蒸镀层(如阴极层)的影响。 0062 在一些实施例中， 上述连接线采用ABS(Acrylonitrile Butadiene Styrene， 丙烯 腈-丁二烯-苯乙烯共聚物)树脂， ABS树脂具有良好的。

29、尺寸稳定性、 突出的耐冲击性、 耐热 性、 介电性能、 耐磨性、 表面光泽性好、 易涂装和着色等优点， 能够避免划伤基板100、 且其上 不易粘附有机材料。 0063 当上述连接线为ABS树脂时， 实现连接部103连接外周遮挡部101和悬空遮挡部102 的工艺方法为： 将连接线进行拉伸， 并加热连接线的两端， 以将连接线的两端分别与外周遮 说明书 5/6 页 7 CN 111254387 A 7 挡部101、 悬空遮挡部102粘结。 0064 在另一些实施例中， 连接线采用殷钢制作， 由于掩膜片通常为殷钢材料制作， 故掩 膜版1的外周遮挡部101、 悬空遮挡部102及连接部103可采用一体成型。

30、制作。 0065 需要说明的是， 上述殷钢材料的掩膜版1的工艺制作方法为： 在掩膜片上用于形成 悬空遮挡部102的区域、 用于形成外周遮挡部101对应的区域以及与用于形成连接部103的 区域涂布光刻胶， 通过化学蚀刻在掩膜片上制作蒸镀开口11。 上述化学蚀刻过程中， 光刻胶 覆盖的部分不会受到刻蚀药液的影响， 其他未涂布光刻胶的区域被腐蚀形成蒸镀开口11， 在刻蚀过程结束后， 将光刻胶从掩膜片上剥离， 得到所需的掩膜版1。 0066 同理， 若上述掩膜版具有尖角区12， 掩膜版1上除尖角区12以外的其他区域的厚度 为掩膜版1上尖角区12的厚度的23倍， 使得采用该工艺处理后的掩膜版1不会出现下。

31、垂问 题， 同时降低采用该掩膜版1蒸镀后得到的功能膜层在尖角区的阴影问题。 0067 在本说明书的描述中， 具体特征、 结构、 材料或者特点可以在任何的一个或多个实 施例或示例中以合适的方式结合。 0068 以上所述， 仅为本发明的具体实施方式， 但本发明的保护范围并不局限于此， 任何 熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内， 可轻易想到的变化或替换， 都应 涵盖在本发明的保护范围之内。 因此， 本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为 准。 说明书 6/6 页 8 CN 111254387 A 8 图1 图2 说明书附图 1/5 页 9 CN 111254387 A 9 图3 说明书附图 2/5 页 10 CN 111254387 A 10 图4 图5 说明书附图 3/5 页 11 CN 111254387 A 11 图6 图7 说明书附图 4/5 页 12 CN 111254387 A 12 图8 说明书附图 5/5 页 13 CN 111254387 A 13 。