加热固化装置.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 202010130265.9 (22)申请日 2020.02.28 (71)申请人 昆山国显光电有限公司 地址 215300 江苏省苏州市昆山市开发区 龙腾路1号4幢 (72)发明人 申丽萍林峰徐琳 (74)专利代理机构 北京远智汇知识产权代理有 限公司 11659 代理人 范坤坤 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) G09F 9/30(2006.01) (54)发明名称 一种加热固化装置 (57)摘要 本发明实施例公开了一种加热固化装置， 包 括第一。

2、加热源和底座， 第一加热源用于对待加热 固化的基板进行加热固化； 底座用于放置待加热 固化的基板， 底座可带动基板运动以调节基板与 第一加热源之间的相对位置。 本发明实施例的技 术方案可以提高基板的各区域受热均匀性， 从而 提高固化均匀性， 可以提高固化效果， 避免基板 始终与第一加热源的位置固定， 导致基板上的靠 近第一加热源的那部分有机膜层的温度高于基 板上的远离第一加热源的那部分有机膜层的温 度， 导致基板上的有机膜层受热不均， 局部固化 不良， 在后续制备柔性显示面板的制程中， 有机 膜层容易脱落或破膜的情况发生。 权利要求书1页 说明书7页 附图6页 CN 111293063 A 2。

3、020.06.16 CN 111293063 A 1.一种加热固化装置， 其特征在于， 包括： 第一加热源， 所述第一加热源用于对待加热固化的基板进行加热固化； 底座， 所述底座用于放置待加热固化的所述基板， 所述底座可带动所述基板运动以调 节所述基板与所述第一加热源之间的相对位置。 2.根据权利要求1所述的加热固化装置， 其特征在于， 所述第一加热源位于所述底座用 于放置所述基板的表面的边缘的外侧， 所述底座可绕垂直于所述底座用于放置所述基板的 表面的中心轴转动。 3.根据权利要求1所述的加热固化装置， 其特征在于， 所述底座包括多个并排间隔设置 的条状结构， 所述基板放置于所述条状结构上。。

4、 4.根据权利要求1-3任一所述的加热固化装置， 其特征在于， 还包括： 第一真空腔室， 所述底座设置于所述第一真空腔室内， 所述第一加热源设置于所述第 一真空腔室的内壁上， 所述内壁为所述第一真空腔室垂直于所述底座所在平面的内壁。 5.根据权利要求4所述的加热固化装置， 其特征在于， 所述第一真空腔室为长方体腔 室， 所述第一加热源均匀设置于所述第一真空腔室的三个所述内壁上。 6.根据权利要求4所述的加热固化装置， 其特征在于， 所述第一真空腔室内的气压大于 等于10-6毫巴， 小于等于10-5毫巴。 7.根据权利要求4所述的加热固化装置， 其特征在于， 还包括： 第二真空腔室， 所述第二真。

5、空腔室的真空度低于所述第一真空腔室的真空度， 所述第 二真空腔室用于对所述基板进行预处理， 预处理后的所述基板传递至所述第一真空腔室。 8.根据权利要求7所述的加热固化装置， 其特征在于， 还包括： 第二加热源， 所述第二加热源位于所述第二真空腔室内， 所述第二加热源对所述基板 的加热温度小于所述第一加热源对所述基板的加热温度。 9.根据权利要求8所述的加热固化装置， 其特征在于， 所述第一真空腔室与所述第二真 空腔室并排设置， 所述第一真空腔室未设置所述第一加热源的第一侧壁与所述第二真空腔 室未设置所述第二加热源的第二侧壁相对设置， 所述第一侧壁上和所述第二侧壁上设置有 可开关调节门， 所述。

6、可开关调节门根据所述基板的传输位置调节其自身的开关状态， 以使 得所述基板在低于或等于所述第一真空腔室的真空度， 高于或等于所述第二真空腔室的真 空度的状态下进行传输。 10.根据权利要求8所述的加热固化装置， 其特征在于， 还包括： 第三真空腔室， 所述第三真空腔室的真空度低于所述第二真空腔室的真空度， 所述第 三真空腔室用于将待加热固化的基板运输至所述第二真空腔室， 以及从第二真空腔室运出 加热固化后的基板； 优选地， 所述第三真空腔室还设有第三加热源， 所述第三加热源对所述基板的加热温 度小于所述第二加热源对所述基板的加热温度。 权利要求书 1/1 页 2 CN 111293063 A 。

7、2 一种加热固化装置 技术领域 0001 本发明涉及显示器件加工技术领域， 尤其涉及一种加热固化装置。 背景技术 0002 柔性显示装置具有可弯曲、 不易碎、 超轻超薄、 低功耗、 便携等特点， 在电子书、 移 动通信、 笔记本、 电视、 公共信息等领域具有广阔的应用前景和良好的发展前景。 0003 目前柔性基板的制备方法通常是在玻璃基板上涂覆PI(聚酰亚胺)胶， 而后将该玻 璃基板送入PI胶固化腔室中进行固化， 存在玻璃基板上的PI胶受热不均匀， 固化效果差的 问题。 发明内容 0004 本发明实施例提供一种加热固化装置， 以提高待加热固化的基板受热均匀性， 提 高固化均匀性， 提高固化效果。

8、， 且通过使多个真空度不同的腔室同时运作， 可以有效缩短制 程时间， 解决了若只设置一个真空腔室， 将基板从非真空状态的外界环境送入真空腔室中 或将基板从真空腔室取出时， 需要进行破真空或抽真空的时间较长， 导致生产效率低的问 题。 0005 本发明实施例提供了一种加热固化装置， 包括： 0006 第一加热源， 第一加热源用于对待加热固化的基板进行加热固化； 0007 底座， 底座用于放置待加热固化的基板， 底座可带动基板运动以调节基板与第一 加热源之间的相对位置， 以提高基板的各区域受热均匀性， 从而提高固化均匀性， 以提高固 化效果， 避免基板始终与第一加热源的位置固定， 导致基板上的靠近。

9、第一加热源的那部分 有机膜层的温度高于基板上的远离第一加热源的那部分有机膜层的温度， 导致基板上的有 机膜层受热不均， 局部固化不良， 在后续制备柔性显示面板的制程中， 有机膜层容易脱落或 破膜的情况发生。 0008 进一步地， 第一加热源位于底座用于放置基板的表面的边缘的外侧， 底座可绕沿 垂直于底座用于放置基板的表面的中心轴转动， 以调节基板与第一加热源之间的相对位 置。 0009 进一步地， 底座包括多个并排间隔设置的条状结构， 基板放置于条状结构上， 以方 便通过叉子状的机械手插入条状结构之间的空隙中， 以方便放置或取走基板。 0010 进一步地， 加热固化装置还包括： 第一真空腔室，。

10、 底座设置于第一真空腔室内， 第 一加热源设置于第一真空腔室的内壁上， 内壁为第一真空腔室垂直于底座所在平面的内 壁， 通过在第一真空腔室实现基板上的有机膜层的加热固化， 可以有效排出有机膜层中的 有机气体， 提高固化效果。 0011 进一步地， 第一真空腔室为长方体腔室， 第一加热源均匀设置于第一真空腔室的 三个内壁上， 以使第一加热源围绕基板的三个侧边， 提高基板受热的均匀性。 0012 进一步地， 第一真空腔室内的气压大于等于10-6毫巴， 小于等于10-5毫巴。 气压越 说明书 1/7 页 3 CN 111293063 A 3 小， 真空度越大， 越有利于排出有机膜层中的有机气体， 固。

11、化效果越好， 但真空度不能过大， 抽真空和破真空的时间和难度会增大。 0013 进一步地， 加热固化装置还包括： 第二真空腔室， 第二真空腔室的真空度低于第一 真空腔室的真空度， 第二真空腔室用于对基板进行预处理， 预处理后的基板传递至第一真 空腔室。 通过设置第一真空腔室和第二真空腔室可实现多批次货物运作， 保障低真空等待 腔室随时有货物等待作业。 相比大气状态下等待作业到抽真空， 作业时间要缩短很多， 作业 连续性较好。 0014 进一步地， 加热固化装置还包括： 第二加热源， 第二加热源位于第二真空腔室内， 第二加热源对基板的加热温度小于第一加热源对基板的加热温度。 在第二真空腔室， 通。

12、过 第二加热源对基板预先加热到中等温度， 以使基板上的有机膜层初步凝结固化， 但不完全 固化， 进而在高真空的第一真空腔室中进行高温加热， 使基板上的有机膜层中的气体完全 排出， 有机膜层完全固化， 以缩短加热固化时间。 0015 进一步地， 第一真空腔室与第二真空腔室并排设置， 第一真空腔室未设置第一加 热源的第一侧壁与第二真空腔室未设置第二加热源的第二侧壁相对设置， 第一侧壁上和第 二侧壁上设置有可开关调节门， 可开关调节门根据基板的传输位置调节其自身的开关状 态， 以使得所述基板在低于或等于第一真空腔室的真空度， 高于或等于第二真空腔室的真 空度的状态下进行传输， 以提高第一真空腔室与第。

13、二真空腔室连续作业的效率。 0016 进一步地， 加热固化装置还包括： 第三真空腔室， 第三真空腔室的真空度低于第二 真空腔室的真空度， 第三真空腔室用于将待加热固化的基板运输至第二真空腔室， 以及从 第二真空腔室运出加热固化后的基板； 优选地， 第三真空腔室还设有第三加热源， 第三加热 源对基板的加热温度小于第二加热源对基板的加热温度。 通过设置多个真空腔室连续作 业， 实现高真空度与大气的快速传输， 每个真空腔室各自保持各自的真空度， 仅传输过程开 关腔室门需要耗费短暂时间抽真空。 相比于将一个真空度较高的真空腔室直接由大气状态 下抽真空到真空状态的时间要缩短很多。 0017 本发明实施例。

14、的技术方案中的加热固化装置包括： 第一加热源和底座， 第一加热 源用于对待加热固化的基板进行加热固化； 底座用于放置待加热固化的基板， 底座可带动 基板运动以调节基板与第一加热源之间的相对位置， 以改善基板的各区域受热均匀， 从而 固化均匀， 可以提高固化效果， 避免基板始终与第一加热源的位置固定， 导致基板上的靠近 第一加热源的那部分有机膜层的温度高于基板上的远离第一加热源的那部分有机膜层的 温度， 导致基板上的有机膜层受热不均， 局部固化不良， 在后续制备柔性显示面板的制程 中， 有机膜层容易脱落或破膜的情况发生。 附图说明 0018 图1为本发明实施例提供的一种加热固化装置的结构示意图；。

15、 0019 图2为本发明实施例提供的一种加热固化装置加热基板时的结构示意图； 0020 图3为本发明实施例提供的又一种加热固化装置的结构示意图； 0021 图4为本发明实施例提供的一种基座的结构示意图； 0022 图5为本发明实施例提供的一种基座转动角度为0度时的结构示意图； 0023 图6为本发明实施例提供的一种基座转动角度为90度时的结构示意图； 说明书 2/7 页 4 CN 111293063 A 4 0024 图7为本发明实施例提供的一种基座转动角度为小角度时的结构示意图； 0025 图8为本发明实施例提供的又一种加热固化装置的结构示意图； 0026 图9为本发明实施例提供的又一种加热。

16、固化装置的结构示意图； 0027 图10为本发明实施例提供的又一种加热固化装置的结构示意图。 具体实施方式 0028 下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。 可以理解的是， 此处所描 述的具体实施例仅仅用于解释本发明， 而非对本发明的限定。 另外还需要说明的是， 为了便 于描述， 附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。 0029 本发明实施例提供一种加热固化装置。 图1为本发明实施例提供的一种加热固化 装置的结构示意图。 图2为本发明实施例提供的一种加热固化装置加热基板时的结构示意 图。 该加热固化装置可用于制作柔性显示基板， 该柔性显示基板可设置于柔性显示装置中， 该柔性显。

17、示装置可包括下述至少一种： 手机、 平板电脑、 笔记本电脑等。 该加热固化装置包 括： 第一加热源10和底座20。 0030 其中， 第一加热源10用于对待加热固化的基板1进行加热固化； 底座20用于放置待 加热固化的基板1， 底座20可带动基板1运动以调节基板1与第一加热源10之间的相对位置。 0031 其中， 第一加热源10可以包括红外加热灯管等。 该基板1可以是在表面涂覆一层有 机膜层的玻璃基板， 第一加热源10用于对待加热固化的基板1上的有机膜层进行加热固化， 有机膜层涂覆在基板1的与基座20背离的表面上。 该有机膜层可包括下述至少一种： 聚醚砜 (PES)、 聚丙烯酸酯(PAR)、 。

18、聚醚酰亚胺(PEI)、 聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、 聚对苯二甲酸乙 二酯(PET)、 聚苯硫醚(PPS)、 聚烯丙基(polyallylate)、 聚酰亚胺(PI)、 聚碳酸酯(PC)、 三醋 酸纤维素(TAC)、 醋酸丙酸纤维素(CAP)或丙烯酸酯(acryl)等。 越靠近第一加热源10的区域 温度越高， 越远离第一加热源10的区域温度越低。 底座20可带动基板1运动以调节基板1与 第一加热源10之间的相对位置， 以使基板1上的任意一块区域时而靠近第一加热源10， 时而 远离第一加热源10， 以避免基板1始终与第一加热源10的位置固定， 即静态烘烤， 导致基板1 上的靠近第一加热源10的。

19、那部分有机膜层的温度高于基板1上的远离第一加热源10的那部 分有机膜层的温度， 导致基板1上的有机膜层受热不均， 局部固化不良， 在后续制备柔性显 示面板的制程中， 有机膜层容易脱落或破膜的情况发生。 0032 本实施例的技术方案中的加热固化装置包括： 第一加热源和底座， 第一加热源用 于对待加热固化的基板进行加热固化； 底座用于放置待加热固化的基板， 底座可带动基板 运动以调节基板与第一加热源之间的相对位置， 以使基板的各区域受热均匀， 从而固化均 匀， 以提高固化效果， 避免基板始终与第一加热源的位置固定， 导致基板上的靠近第一加热 源的那部分有机膜层的温度高于基板上的远离第一加热源的那部。

20、分有机膜层的温度， 导致 基板上的有机膜层受热不均， 局部固化不良， 在后续制备柔性显示面板的制程中， 有机膜层 容易脱落或破膜的情况发生。 0033 本发明实施例提供又一种加热固化装置。 图3为本发明实施例提供的又一种加热 固化装置的结构示意图。 在上述实施例的基础上， 第一加热源10位于底座20用于放置基板 的表面21的边缘的外侧， 底座20可绕垂直于底座20用于放置基板的表面21的中心轴O1O2转 动。 说明书 3/7 页 5 CN 111293063 A 5 0034 其中， 底座20可绕垂直于底座20用于放置基板的表面21的轴O1O2转动至多种预设 角度， 从而调节基板与第一加热源之。

21、间的相对位置。 第一加热源10可以围绕至少部分底座 20设置。 在基板1进行加热固化时， 可控制基座20按照预设速度匀速转动， 以使基板1的各区 域受热均匀。 轴向O1O2平行于方向Z。 方向X、 方向Y和方向Z相互垂直， 方向X、 方向Y和方向Z 具体如图3所示。 0035 本发明实施例提供又一种加热固化装置。 图4为本发明实施例提供的一种基座的 结构示意图。 图5为本发明实施例提供的一种基座转动角度为0度时的结构示意图。 图6为本 发明实施例提供的一种基座转动角度为90度时的结构示意图。 图7为本发明实施例提供的 一种基座转动角度为小角度时的结构示意图。 在上述实施例的基础上， 底座20包。

22、括多个并 排间隔设置的条状结构22， 基板1放置于条状结构22上。 0036 其中， 相邻条状结构22之间的间隔距离可以相等或不等。 通过将基板1放置在条状 结构22上， 方便通过叉子状的机械手插入条状结构22之间的空隙中， 以放置或取走基板1， 且条状结构22之间的间隙可以使热量传导至基板1与基座20相对的表面， 进一步提高基板1 的受热均匀性。 0037 本发明实施例提供又一种加热固化装置。 图8为本发明实施例提供的又一种加热 固化装置的结构示意图。 在上述实施例的基础上， 加热固化装置还包括： 第一真空腔室30， 底座20设置于第一真空腔室30内， 第一加热源10设置于第一真空腔室30的。

23、内壁31上， 内壁 31为第一真空腔室30垂直于底座20所在平面的内壁。 0038 其中， 根据气压差原理可知， 通过在第一真空腔室30实现基板1上的有机膜层的加 热固化， 可以有效排出有机膜层中的有机气体， 提高固化效果。 0039 可选的， 在上述实施例的基础上， 继续参见图8， 第一真空腔室30为长方体腔室， 第 一加热源10均匀设置于第一真空腔室30的三个内壁31上。 0040 其中， 可选的， 第一真空腔室30的未设置有第一加热源10的第一侧壁32上设置有 可开关调节门60， 第一侧壁32为第一真空腔室30垂直于底座20所在平面的一个内壁。 通过 控制第一真空腔室30的第一侧壁32上。

24、的可开关调节门60的打开， 以将待加热固化的基板1 移入第一真空腔室30， 或将加热固化结束后的基板1从第一真空腔室30中移出。 通过控制第 一真空腔室30的第一侧壁32上的可开关调节门60的关闭， 以在真空状态下完成对基板1的 加热固化。 0041 可选的， 第一真空腔室30内的气压大于等于10-6毫巴， 小于等于10-5毫巴。 其中， 1 毫巴等于100帕斯卡。 可知的， 第一真空腔室30内的气压越小， 真空度越大， 越有利于排出有 机膜层中的有机气体， 固化效果越好。 0042 本发明实施例提供又一种加热固化装置。 图9为本发明实施例提供的又一种加热 固化装置的结构示意图。 在上述实施例。

25、的基础上， 加热固化装置还包括： 第二真空腔室40， 第二真空腔室40的真空度低于第一真空腔室30的真空度， 第二真空腔室40用于对基板1进 行预处理， 预处理后的基板1传递至第一真空腔室30。 0043 其中， 第二真空腔室40可为长方体腔室。 可选的， 第二真空腔室40的气压大于等于 10-4毫巴， 小于等于10-3毫巴。 通过设置真空度较小的第二真空腔室40， 以使在前一块基板1 进入第一真空腔室40进行加热固化， 将下一块基板1移入第二真空腔室40等待作业。 需要说 明的是， 待加热固化的基板1从第二真空腔室40进入第一真空腔室30后， 需要对第一真空腔 说明书 4/7 页 6 CN 。

26、111293063 A 6 室30进行真空度增大调节， 类似抽真空， 以使第一真空腔室30的真空度增大， 接近第一真空 腔室30进行加热固化所需的真空度， 以对基板1进行加热固化， 由于第二真空腔室40为真空 状态， 故相比于直接将基板从外界环境(非真空状态)进入第一真空腔室30， 抽真空所需的 时间缩短。 需要说明的是， 加热固化后的基板1从第一真空腔室30出来， 进入第二真空腔室 40前， 需要对第一真空腔室30进行真空度减小调节， 类似破真空， 以使第一真空腔室30的真 空度降低， 接近或稍大于第二真空腔室40的真空度， 由于第二真空腔室40为真空状态， 故相 比于直接将基板1从第一真空。

27、腔室30出来， 进入外界环境， 破真空所需的时间缩短。 第一真 空腔室30进行破真空的目的是便于将加热固化后的基板1从第一真空腔室30中移出， 进入 第二真空腔室40， 并将待加热固化的基板1从第二真空腔室40移出， 放入第一真空腔室30， 避免不进行破真空产生的气压差造成安全事故。 通过设置第一真空腔室30和第二真空腔室 40可实现多批次货物运作， 保障低真空等待腔室随时有货物等待作业。 相比大气状态下等 待作业到抽真空， 作业时间要缩短很多， 作业连续性较好。 0044 可选的， 在上述实施例的基础上， 继续参见图9， 加热固化装置还包括： 第二加热源 50， 第二加热源50位于第二真空腔。

28、室40内， 第二加热源50对基板1的加热温度小于第一加热 源10对基板1的加热温度。 0045 其中， 第二加热源50可以与第一加热源10为相同类型或不同类型的加热源。 在第 二真空腔室40， 通过第二加热源50对基板1预先加热到中等温度， 以使基板1上的有机膜层 初步凝结固化， 但不完全固化， 进而在高真空的第一真空腔室40中进行高温加热， 使基板1 上的有机膜层中的气体完全排出， 有机膜层完全固化， 以缩短加热固化时间。 0046 可选的， 在上述实施例的基础上， 继续参见图9， 第一真空腔室30与第二真空腔室 40并排设置， 第一真空腔室30未设置第一加热源10的第一侧壁32与第二真空腔。

29、室40未设置 第二加热源50的第二侧壁42相对设置， 第一侧壁32上和第二侧壁42上设置有可开关调节门 60， 可开关调节门60根据基板1的传输位置调节其自身的开关状态， 以使得基板在低于或等 于第一真空腔室的真空度， 高于或等于第二真空腔室的真空度的状态下进行传输。 0047 其中， 可选的， 第一真空腔室30的第一侧壁32和第二真空腔室40的第二侧壁42紧 密相邻， 即不存在缝隙。 可选的， 第一真空腔室30的第一侧壁32和第二真空腔室40的第二侧 壁42连接为一体。 可选的， 第一侧壁32上和第二侧壁42上设置的可开关调节门60为不同的 可开关调节门。 可选的， 第一真空腔室30的第一侧。

30、壁32和第二真空腔室40的第二侧壁42为 同一侧壁。 可选的， 第一侧壁32上和第二侧壁42上设置的可开关调节门60为同一可开关调 节门。 0048 连续作业时， 先对第一真空腔室30进行真空度减小调节， 类似破真空， 使第一真空 腔室30的真空度接近或稍大于第二真空腔室40的真空度， 然后控制第一真空腔室30的第一 侧壁32和第二真空腔室40的第二侧壁42上的可开关调节门60打开， 以将加热固化完成后的 基板1移出第一真空腔室30， 进入第二真空腔室40， 将待加热固化的基板1移出第二真空腔 室40， 进入第一真空腔室30， 之后， 控制第一真空腔室30的第一侧壁32和第二真空腔室40的 第。

31、二侧壁42上的可开关调节门60的关闭， 再对第一真空腔室30进行真空度增大调节， 类似 抽真空， 使第一真空腔室30的真空度由接近或稍大于第二真空腔室40的真空度增大至目标 真空度， 以在高真空状态下完成对基板1的加热固化， 加热固化完成之后， 对第一真空腔室 30进行真空度减小调节， 类似破真空， 然后控制第一真空腔室30的第一侧壁32和第二真空 说明书 5/7 页 7 CN 111293063 A 7 腔室40的第二侧壁42上的可开关调节门60打开， 将加热固化完成后的基板1移出第一真空 腔室30， 进入第二真空腔室40， 将待加热固化的基板1移出第二真空腔室40， 进入第一真空 腔室30。

32、， 如此循环。 0049 可选的， 第一真空腔室30的第一侧壁32和第二真空腔室40的第二侧壁42为间隔设 置， 第一真空腔室30的第一侧壁32和第二真空腔室40的第二侧壁42之间设置有缓冲区， 缓 冲区的真空度可低于或等于第一真空腔室30的真空度， 高于或等于第二真空腔室40的真空 度。 通过设置缓冲区， 可以在传输基板1时， 进一步减小对第一真空腔室30进行真空度调节 的幅度， 甚至无需对第一真空腔室30进行真空度调节， 使得基板1传输更加方便。 0050 本发明实施例提供又一种加热固化装置。 图10为本发明实施例提供的又一种加热 固化装置的结构示意图。 在上述实施例的基础上， 加热固化装。

33、置还包括： 第三真空腔室70， 第三真空腔室70的真空度低于第二真空腔室40的真空度， 第三真空腔室70用于将待加热固 化的基板1运输至第二真空腔室40， 以及从第二真空腔室40运出加热固化后的基板1。 0051 其中， 第三真空腔室70可为长方体腔室。 可选的， 第三真空腔室70的气压大于等于 10-2毫巴， 小于等于10-1毫巴。 通过多个真空腔室可实现多批次货物运作， 保障低真空等待 腔室随时有货物等待作业。 相比大气状态下等待作业到抽真空， 作业时间要缩短很多， 作业 连续性较好。 需要说明的是， 待加热固化的基板1从第三真空腔室70进入第二真空腔室40 后， 需要对第二真空腔室40进。

34、行真空度增大调节， 类似抽真空， 以使第二真空腔室40的真空 度增大， 接近第二真空腔室40进行预处理所需的真空度。 需要说明的是， 加热固化完成后的 基板1从第二真空腔室40出来， 进入第三真空腔室70前， 需要对第二真空腔室40进行真空度 减小调节， 类似破真空， 以使第二真空腔室40的真空度降低， 接近或稍高于第三真空腔室70 的真空度。 第二真空腔室40进行破真空的目的是便于加热固化完成后的基板1从第二真空 腔室40中移出， 进入第三真空腔室70， 且便于待加热固化的基板1从第三真空腔室70移出， 进入第二真空腔室40， 避免不进行破真空产生的气压差造成安全事故。 0052 可选的， 。

35、在上述实施例的基础上， 继续参见图10， 加热固化装置还包括： 第三加热 源80， 第三加热源80位于第三真空腔室70内， 第三加热源80对基板1的加热温度小于第二加 热源50对基板1的加热温度。 0053 其中， 第三加热源80可以与第二加热源50和第一加热源10为相同类型或不同类型 的加热源。 通过多个腔室对基板进行逐步的增温加热， 可以缩短固化时间。 0054 可选的， 在上述实施例的基础上， 继续参见图10， 第二真空腔室40和第三真空腔室 70并排设置， 第二真空腔室40未设置第二加热源50且与第一真空腔室30不相对的第三侧壁 43， 与第三真空腔室70未设置第三加热源80的第四侧壁。

36、72相对设置， 第三侧壁43上和第四 侧壁72上设置有可开关调节门60， 以使得基板1在低于或等于所述第二真空腔室40的真空 度， 高于或等于第三真空腔室70的真空度的状态下进行传输。 0055 其中， 可选的， 第一真空腔室30、 第二真空腔室40和第三真空腔室70依次并排设 置。 可选的， 第二真空腔室40的第三侧壁43和第三真空腔室70第四侧壁72紧密相邻， 即不存 在缝隙。 可选的， 第二真空腔室40的第三侧壁43和第三真空腔室70第四侧壁72连接为一体。 可选的， 第三侧壁43上和第四侧壁72上设置的可开关调节门60为不同的可开关调节门。 可 选的， 第二真空腔室40的第三侧壁43和。

37、第三真空腔室70第四侧壁72为同一侧壁。 可选的， 第 三侧壁43上和第四侧壁72上设置的可开关调节门60为同一可开关调节门。 可控制第二真空 说明书 6/7 页 8 CN 111293063 A 8 腔室40的第三侧壁43和第三真空腔室70第四侧壁72上的可开关调节门60打开， 以使加热固 化完成后的基板1从第二真空腔室40出来， 进入第三真空腔室70， 使待加热固化的基板1从 第三真空腔室70出来， 进入第二真空腔室40。 第二真空腔室40的第二侧壁42和第三侧壁43 上的可开关调节门60不同时打开。 0056 可选的， 在上述实施例的基础上， 继续参见图10， 第三真空腔室70未设置第三。

38、加热 源80且与第二真空腔室40不相对的第五侧壁73上设置有可开关调节门60。 0057 其中， 可控制第三真空腔室70的第五侧壁73上的可开关调节门60打开， 以使加热 固化完成后的基板1移出第三真空腔室70， 进入外界环境， 使待加热固化的基板1从外界环 境进入第三真空腔室70。 第三真空腔室70的第四侧壁72和第五侧壁73上的可开关调节门60 不同时打开。 需要说明的是， 待加热固化的基板1从外界环境70进入第三真空腔室70后， 需 要对第三真空腔室70进行真空度增大调节， 类似抽真空， 以使第三真空腔室70的真空度增 大， 接近第三真空腔室70所需设置的真空度。 需要说明的是， 加热固。

39、化完成后的基板1从第 三真空腔室70出来， 到外界环境前， 需要对第三真空腔室70进行真空度减小调节， 类似破真 空， 以使第三真空腔室70的真空度降低， 接近外界环境的大气压。 第三真空腔室70进行破真 空的目的是便于加热固化完成后的基板1从第三真空腔室70中移出， 进入外界环境， 且便于 待加热固化的基板1从外界环境进入第三真空腔室70， 避免不进行破真空产生的气压差造 成安全事故。 0058 可选的， 第二真空腔室40的第三侧壁43和第三真空腔室70第四侧壁72为间隔设 置， 第二真空腔室40的第三侧壁43和第三真空腔室70第四侧壁72设置有缓冲区， 缓冲区的 真空度可低于或等于第二真空。

40、腔室40的真空度， 高于或等于第三真空腔室70的真空度。 通 过设置缓冲区， 可以在传输基板1时， 进一步减小对第二真空腔室40进行真空度调节的幅 度， 甚至无需对第二真空腔室40进行真空度调节， 使得基板1传输更加方便。 0059 需要说明的是， 通过设置多个真空腔室连续作业， 实现高真空度与大气的快速传 输， 每个真空腔室各自保持各自的真空度， 多个真空腔室的真空度依次降低， 多个真空腔室 的加热源的加热温度依次降低， 仅传输过程开关腔室门需要耗费短暂时间抽真空。 相比于 将一个真空度较高的真空腔室直接由大气状态下抽真空到真空状态的时间要缩短很多。 0060 注意， 上述仅为本发明的较佳实。

41、施例及所运用技术原理。 本领域技术人员会理解， 本发明不限于这里所述的特定实施例， 对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、 重新调整、 相互结合和替代而不会脱离本发明的保护范围。 因此， 虽然通过以上实施例对本 发明进行了较为详细的说明， 但是本发明不仅仅限于以上实施例， 在不脱离本发明构思的 情况下， 还可以包括更多其他等效实施例， 而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。 说明书 7/7 页 9 CN 111293063 A 9 图1 图2 图3 说明书附图 1/6 页 10 CN 111293063 A 10 图4 图5 说明书附图 2/6 页 11 CN 111293063 A 11 图6 图7 说明书附图 3/6 页 12 CN 111293063 A 12 图8 说明书附图 4/6 页 13 CN 111293063 A 13 图9 说明书附图 5/6 页 14 CN 111293063 A 14 图10 说明书附图 6/6 页 15 CN 111293063 A 15 。