场效应管的开关速度调节方法和装置.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 202010017783.X (22)申请日 2020.01.08 (71)申请人 苏州大学 地址 215104 江苏省苏州市相城区济学路8 号 (72)发明人 钟博文张大前孙立宁 (74)专利代理机构 苏州谨和知识产权代理事务 所(特殊普通合伙) 32295 代理人 叶栋 (51)Int.Cl. H03K 17/04(2006.01) (54)发明名称 场效应管的开关速度调节方法和装置 (57)摘要 本申请涉及一种场效应管的开关速度调节 方法和装置， 属于电子技术领域， 场效应。

2、管与驱 动开关相连， 驱动开关的集电极通过栅极电阻与 场效应管的栅极相连、 驱动开关的发射极通过发 射极电阻接地、 驱动开关的集电极还通过集电极 电阻连接至源极电阻， 源极电阻的另一端与场效 应管的源极相连； 场效应管的漏极连接至电流 源； 该方法包括： 获取场效应管开关速度的调节 目标； 基于调节目标确定发射极电阻的第一电阻 值和/或集电极电阻的第二电阻值； 基于调节后 的电阻值控制场效应管运行； 可以解决现有的场 效应管由于米勒效应的存在会拖慢开启和关闭 的速度的问题； 达到根据需要调节场效应管的开 关速度的效果。 权利要求书2页 说明书6页 附图3页 CN 111162763 A 202。

3、0.05.15 CN 111162763 A 1.一种场效应管的开关速度调节方法， 其特征在于， 所述场效应管与驱动开关相连， 所 述驱动开关的集电极通过栅极电阻与所述场效应管的栅极相连、 所述驱动开关的发射极通 过发射极电阻接地、 所述驱动开关的集电极还通过集电极电阻连接至源极电阻， 所述源极 电阻的另一端与所述场效应管的源极相连； 所述场效应管的漏极连接至电流源； 所述方法 包括： 获取所述场效应管开关速度的调节目标； 基于所述调节目标确定所述发射极电阻的第一电阻值和/或所述集电极电阻的第二电 阻值； 基于调节后的电阻值控制所述场效应管运行。 2.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 。

4、所述基于所述调节目标确定所述发射极电 阻的第一电阻值和/或所述集电极电阻的第二电阻值， 包括： 所述调节目标包括用于调节开启速度的第一调节目标， 基于所述第一调节目标确定所 述发射极电阻的第一电阻值； 和/或， 所述调节目标包括用于调节关闭速度的第二调节目标， 基于所述第二调节目标确定所 述集电极电阻的第二电阻值。 3.根据权利要求2所述的方法， 其特征在于， 所述第一调节目标指示的开启速度与所述 第一电阻值呈负相关关系： 所述第二调节目标指示的关闭速度与所述第二电阻值呈负相关 关系。 4.根据权利要求2所述的方法， 其特征在于， 所述基于所述第一调节目标确定所述发射 极电阻的第一电阻值， 包。

5、括： 获取开启速度与所述发射极电阻的阻值之间的第一对应关系； 基于所述第一对应关系确定所述第一调节目标指示的开启速度对应的第一电阻值。 5.根据权利要求2所述的方法， 其特征在于， 所述基于所述第二调节目标确定所述集电 极电阻的第二电阻值， 包括： 获取关闭速度与所述集电极电阻的阻值之间的第二对应关系； 基于所述第二对应关系确定所述第二调节目标指示的关闭速度对应的第二电阻值。 6.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 所述驱动开关为PNP型三极管。 7.根据权利要求1至6任一所述的方法， 其特征在于， 所述发射极电阻和所述集电极电 阻为可调电阻。 8.一种场效应管的开关速度调节装置， 其特。

6、征在于， 所述场效应管与驱动开关相连， 所 述驱动开关的集电极通过栅极电阻与所述场效应管的栅极相连、 所述驱动开关的发射极通 过发射极电阻接地、 所述驱动开关的集电极还通过集电极电阻连接至源极电阻， 所述源极 电阻的另一端与所述场效应管的源极相连； 所述场效应管的漏极连接至电流源； 所述装置 包括： 目标获取模块， 用于获取所述场效应管开关速度的调节目标； 阻值确定模块， 用于基于所述调节目标确定所述发射极电阻的第一电阻值和/或所述 集电极电阻的第二电阻值； 运行控制模块， 用于基于调节后的电阻值控制所述场效应管运行。 9.根据权利要求8所述的装置， 其特征在于， 所述阻值确定模块， 用于： 。

7、权利要求书 1/2 页 2 CN 111162763 A 2 所述调节目标包括用于调节开启速度的第一调节目标， 基于所述第一调节目标确定所 述发射极电阻的第一电阻值； 和/或， 所述调节目标包括用于调节关闭速度的第二调节目标， 基于所述第二调节目标确定所 述集电极电阻的第二电阻值。 10.根据权利要求8所述的装置， 其特征在于， 所述第一调节目标指示的开启速度与所 述第一电阻值呈负相关关系： 所述第二调节目标指示的关闭速度与所述第二电阻值呈负相 关关系。 权利要求书 2/2 页 3 CN 111162763 A 3 场效应管的开关速度调节方法和装置 技术领域 0001 本申请涉及一种场效应管的。

8、开关速度调节方法和装置， 属于电子技术领域。 背景技术 0002 场效应管(Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor， MOSFET)或 称MOS管， 与晶体管一样也具有放大作用。 0003 场效应管应用于放大器中时通常与驱动开关相连。 驱动开关用于驱动场效应管的 开启和关闭， 驱动开关通常实现为三极管。 具体地， 驱动开关的集电极通过栅极电阻与场效 应管的栅极相连、 驱动开关的发射极通过发射极电阻接地、 驱动开关的集电极还通过集电 极电阻连接至源极电阻， 源极电阻的另一端与场效应管的源极相连； 场效应管的漏极连接 至电流源。 0004。

9、 在上述连接关系中， 漏极和源极之间的极间电容(即Cds)的电压VDS伴随栅极和源 极之间的极间电容(即Cgs)的电压VGS的平台期内， 栅极电流ig几乎全部用于供栅极和漏极之 间的极间电容Cgd充放电， 使得Cds的电压上升或下降， 而Cgs的电压保持在平台电压VP而不 变， 这种现象称为场效应管的米勒效应。 0005 由于场效应管的米勒效应会拖慢场效应管开启和关闭的速度， 因此如何调节场效 应管开启和关闭的速度成为亟待解决的问题。 发明内容 0006 本申请提供了一种场效应管的开关速度调节方法和装置， 可以解决现有的场效应 管由于米勒效应的存在会拖慢开启和关闭的速度的问题。 本申请提供如下。

10、技术方案： 0007 第一方面， 提供了一种场效应管的开关速度调节方法， 所述场效应管与驱动开关 相连， 所述驱动开关的集电极通过栅极电阻与所述场效应管的栅极相连、 所述驱动开关的 发射极通过发射极电阻接地、 所述驱动开关的集电极还通过集电极电阻连接至源极电阻， 所述源极电阻的另一端与所述场效应管的源极相连； 所述场效应管的漏极连接至电流源； 所述方法包括： 0008 获取所述场效应管开关速度的调节目标； 0009 基于所述调节目标确定所述发射极电阻的第一电阻值和/或所述集电极电阻的第 二电阻值； 0010 基于调节后的电阻值控制所述场效应管运行。 0011 可选地， 所述基于所述调节目标确定。

11、所述发射极电阻的第一电阻值和/或所述集 电极电阻的第二电阻值， 包括： 0012 所述调节目标包括用于调节开启速度的第一调节目标， 基于所述第一调节目标确 定所述发射极电阻的第一电阻值； 和/或， 0013 所述调节目标包括用于调节关闭速度的第二调节目标， 基于所述第二调节目标确 定所述集电极电阻的第二电阻值。 说明书 1/6 页 4 CN 111162763 A 4 0014 可选地， 所述第一调节目标指示的开启速度与所述第一电阻值呈负相关关系： 所 述第二调节目标指示的关闭速度与所述第二电阻值呈负相关关系。 0015 可选地， 所述基于所述第一调节目标确定所述发射极电阻的第一电阻值， 包括。

12、： 0016 获取开启速度与所述发射极电阻的阻值之间的第一对应关系； 0017 基于所述第一对应关系确定所述第一调节目标指示的开启速度对应的第一电阻 值。 0018 可选地， 所述基于所述第二调节目标确定所述集电极电阻的第二电阻值， 包括： 0019 获取关闭速度与所述集电极电阻的阻值之间的第二对应关系； 0020 基于所述第二对应关系确定所述第二调节目标指示的关闭速度对应的第二电阻 值。 0021 可选地， 所述驱动开关为PNP型三极管。 0022 可选地， 所述发射极电阻和所述集电极电阻为可调电阻。 0023 第二方面， 提供了一种场效应管的开关速度调节装置， 所述场效应管与驱动开关 相连。

13、， 所述驱动开关的集电极通过栅极电阻与所述场效应管的栅极相连、 所述驱动开关的 发射极通过发射极电阻接地、 所述驱动开关的集电极还通过集电极电阻连接至源极电阻， 所述源极电阻的另一端与所述场效应管的源极相连； 所述场效应管的漏极连接至电流源； 所述装置包括： 0024 目标获取模块， 用于获取所述场效应管开关速度的调节目标； 0025 阻值确定模块， 用于基于所述调节目标确定所述发射极电阻的第一电阻值和/或 所述集电极电阻的第二电阻值； 0026 运行控制模块， 用于基于调节后的电阻值控制所述场效应管运行。 0027 可选地， 所述阻值确定模块， 用于： 0028 所述调节目标包括用于调节开启。

14、速度的第一调节目标， 基于所述第一调节目标确 定所述发射极电阻的第一电阻值； 和/或， 0029 所述调节目标包括用于调节关闭速度的第二调节目标， 基于所述第二调节目标确 定所述集电极电阻的第二电阻值。 0030 可选地， 所述第一调节目标指示的开启速度与所述第一电阻值呈负相关关系： 所 述第二调节目标指示的关闭速度与所述第二电阻值呈负相关关系。 0031 本申请的有益效果在于： 通过获取场效应管开关速度的调节目标； 基于调节目标 确定发射极电阻的第一电阻值和/或集电极电阻的第二电阻值； 基于调节后的电阻值控制 场效应管运行； 可以解决现有的场效应管由于米勒效应的存在会拖慢开启和关闭的速度的 。

15、问题； 由于可以根据需要通过调节集电极电阻的阻值来调节场效应管的关闭速度、 和/或通 过调节发射极电阻的阻值来调节场效应管的开启速度， 可以达到根据需要调节场效应管的 开关速度的效果。 0032 上述说明仅是本申请技术方案的概述， 为了能够更清楚了解本申请的技术手段， 并可依照说明书的内容予以实施， 以下以本申请的较佳实施例并配合附图详细说明如后。 附图说明 0033 图1是本申请一个实施例提供的场效应管的开关速度调节系统的结构示意图； 说明书 2/6 页 5 CN 111162763 A 5 0034 图2是本申请一个实施例提供的场效应管的关闭过程的示意图； 0035 图3是本申请一个实施例。

16、提供的场效应管的开启过程的示意图； 0036 图4是本申请一个实施例提供的场效应管的开关速度调节方法的流程图； 0037 图5是本申请一个实施例提供的场效应管的开关速度调节装置的框图。 具体实施方式 0038 下面结合附图和实施例， 对本申请的具体实施方式作进一步详细描述。 以下实施 例用于说明本申请， 但不用来限制本申请的范围。 0039 图1是本申请一个实施例提供的场效应管的开关速度调节系统的电路图， 如图1所 示， 场效应管的开关速度调节系统包括场效应管M1和与场效应管M1相连的驱动开关Q1。 其 中， 驱动开关Q1的集电极c通过栅极电阻Rg与场效应管M1的栅极g相连、 驱动开关Q1的发。

17、射 极e通过发射极电阻Re接地、 驱动开关Q1的集电极c还通过集电极电阻Rc连接至源极电阻Rs， 源极电阻Rs的另一端与场效应管M1的源极s相连； 场效应管M1的漏极d连接至电流源。 0040 可选地， 发射极电阻和所述集电极电阻为可调电阻。 换句话说， 发射极电阻和所述 集电极电阻的阻值在对应范围内可变。 0041 如图1所示的场效应管M1， 该场效应管M1中存在极间电容， 即栅极g和漏极d之间的 极间电容Cgd、 栅极g和源极s之间的极间电容Cgs、 和漏极d和源极s之间的极间电容Cds。 0042 可选地， 驱动开关Q1的基极e还连接有基极电阻Re。 驱动开关Q1的类型为PNP型三 极管。

18、。 0043 在场效应管的开关速度调节系统中， 当输入信号Vb为阶跃上升信号时， 驱动开关 管Q1将关断， 集电极电阻Rc的压降减小， 进而关断场效应管M1， 此时场效应管M1中Cds的压降 上升。 而由于场效应管M1中极间电容的影响， 场效应管M1的关断会出现延时现象。 0044 具体地， 参考图2所示的场效应管的关闭过程的示意图， 关断过程可以分为四个阶 段进行分析， 各个阶段电压和电流的变化曲线如图2中的(b)部分所示， 电流流向如图2中的 (a)部分所示。 0045 第一阶段t0t1： 场效应管M1中Cgs的电压VGS下降， Cgs放电， 此时由公式(1-12)可 得到栅极的电流ig，。

19、 并且ig等于放电电流i1， ig随着极间电压的减小而减小。 根据场效应管 的跨导效应， 由公式(1-13)可知漏极电流id减小， 并且在Cds的电压VDS开始变化之前， 场效应 管M1中Cgs的电压VGS将下降到平台电压VP。 其中， 平台电压VP可通过公式(1-14)计算得到。 0046 0047 id2kn(VGS-VTH)VDS0 (1-13) 0048 VP2VDS0+VTH (1-14) 0049 其中， VGSm为Cgs的电压在场效应管M1关断过程中的初始值、 kn为场效应管M1的导电 因子、 VTH为场效应管M1的开启电压、 VDS0为Cds的电压在场效应管M1关断过程中的初始。

20、值。 0050 第二阶段t1t2： 随着场效应管M1漏极电流id的减小， 电流源上的压降开始降 低， 场效应管M1的Cds的电压VDS开始增大。 但是， 只要Cds的电压VDS有增大的趋势， 场效应管M1 的极间电容Cgd需要被充电使其压降增大， 而充电电流i2由电流源ID提供。 此时， 由于极间电 容Cgd的充电电流i2的方向和电容Cgs的放电电流i1的方向相反， 电流i2将限制电容Cgs的放 说明书 3/6 页 6 CN 111162763 A 6 电， 使得场效应管M1中Cgs的电压VGS将保持在平台电压VP而不变。 栅极电流ig近似等于充电 电流i2， 可根据下述公式(1-15)计算得。

21、到； 并且漏极电流id也将因Cgs的不变而保持不变， 由 下述公式(1-16)计算得到。 在这个过程中， Cds的电压VDS不断增大， 同时极间电容Cgd不断被 充电。 0051 0052 idkn(VP-VTH)2 (1-16) 0053 第三阶段t2t3： 当电压VDS上升到VDSm达到直流电源电压时， 电流源ID停止对电 容Cgd充电， 电压VGS继续下降， 直到下降到场效应管的开启电压VTH。 此时， 栅极电流ig等于电 容Cgs的放电电流i1,并根据公式(1-12)可计算得到， 漏极电流id也随着电压VGS的下降而逐 渐减小到零。 0054 第四阶段t3t4： 在这个阶段电容Cgs继。

22、续放电， 电压VGS逐渐减小到零。 此时， 场 效应管M1完全被关断， 漏极电压保持在VDSm。 0055 根据关闭过程的四个阶段可知， 在Cds的电压VDS伴随Cgs的电压VGS的平台期， 也即是 平台电压VP的时间段内， 栅极电流ig几乎全部用来给极间电容Cgd充电， 使得Cds的电压上升， 而栅源电压VGS保持在平台电压VP不变。 0056 当输入信号Vb为阶跃下降信号时， 驱动开关Q1将开通得更大， 导致电阻Rc上的压降 上升， 进而开通场效应管M1， 使得场效应管M1中Cds的电压VDS下降。 而由于场效应管M1极间 电容的影响， M1的开启过程也会出现延时现象。 0057 具体地，。

23、 参考图3所示的场效应管的开启过程的示意图， 开启过程可以分为四个阶 段进行分析， 各个阶段电压和电流的变化曲线如图3中的(b)部分所示， 电流流向如图3中的 (a)部分所示。 0058 第一阶段t0t1： 场效应管M1的栅源电压VGS上升， 其栅源两极之间的极间电容 Cgs需要充电， 并且驱动开关Q1的动态驱动电流ig提供充电电流i1， 栅极电流ig由下述公式 (1-17)可得到。 在此期间， 场效应管M1逐渐地开通， Cgs的电压VGS将上升到开启电压VTH。 0059 0060 第二阶段t1t2： 在这个过程中， 栅极电流ig继续给极间电容Cgs充电， 直到Cgs的 电压VGS增大到平台。

24、电压VP， 并且根据上述公式(1-16)可知， 漏极电流id随着栅源电压VGS的 增大而增大。 0061 第三阶段t2t3： 当Cgs的电压VGS增大到平台电压VP时， 场效应管M1被开通的更 大， 漏极电流id继续增大， 电流源上的压降也将增大， Cds的电压VDS开始减小。 此时， 极间电容 Cgd需要放电才能使电压VDS减小， 而此时场效应管M1还未完全开通， 无法提供快速放电回 路， 因此几乎全部的栅极电流ig对它反向充电， 栅极电流ig可由下述公式(1-18)计算得到。 同时， 因极间电容Cgs停止充电， Cgs的电压VGS维持电压VP恒定不变， Cds的电压VDS持续减小到 最小值。

25、VDSO。 0062 0063 第四阶段t3t4： 在这个阶段， 栅极电流ig继续给极间电容充电Cgs， 使得Cgs的电 说明书 4/6 页 7 CN 111162763 A 7 压VGS上升到最大， 同时根据上述公式(1-13)， 漏极电流id随电压VGS的增大而增大， 此时， 场 效应管M1完全被开通， Cds的电压保持在VDSO。 0064 根据开启过程的四个阶段可知， 在Cds的电压VDS伴随Cgs的电压VGS的平台期， 也即是 平台电压VP的时间段内， 栅极电流ig几乎全部用来给极间电容Cgd充电， 使得Cds的电压下降， 而栅源电压VGS保持在平台电压VP不变。 0065 结合关闭。

26、过程的四个阶段和开启过程的四个阶段可知， 极间电容Cgd充放电的越 快， Cgd的电压VGS的平台期也将越短， Cds的电压VDS的变化也就越快， 场效应管M1的开关速度 也会变快。 0066 而ig越小极间电容Cgd充放电的越快， 根据公式(1-15)可知， 在关闭过程中， ig的大 小与Rc的阻值有关； 在开启过程中， ig的大小与Re的阻值有关， 基于此， 本申请提供下述场效 应管的开关速度调节方法。 0067 图4是本申请一个实施例提供的场效应管的开关速度调节方法的流程图， 本实施 例以该方法应用于图1所示的场效应管的开关速度调节系统中为例进行说明。 该方法至少 包括以下几个步骤： 0。

27、068 步骤401， 获取场效应管开关速度的调节目标。 0069 调节目标用于指示场效应管的开启速度和/或关闭速度。 0070 步骤402， 基于调节目标确定发射极电阻的第一电阻值和/或集电极电阻的第二电 阻值。 0071 在一个示例中， 调节目标包括用于调节开启速度的第一调节目标， 基于第一调节 目标确定发射极电阻的第一电阻值。 0072 和/或， 调节目标包括用于调节关闭速度的第二调节目标， 基于第二调节目标确定 集电极电阻的第二电阻值。 0073 第一调节目标指示的开启速度与第一电阻值呈负相关关系： 第二调节目标指示的 关闭速度与第二电阻值呈负相关关系。 0074 可选地， 基于第一调节。

28、目标确定发射极电阻的第一电阻值， 包括： 获取开启速度与 发射极电阻的阻值之间的第一对应关系； 基于第一对应关系确定第一调节目标指示的开启 速度对应的第一电阻值。 0075 可选地， 基于第二调节目标确定集电极电阻的第二电阻值， 包括： 获取关闭速度与 集电极电阻的阻值之间的第二对应关系； 基于第二对应关系确定第二调节目标指示的关闭 速度对应的第二电阻值。 0076 步骤403， 基于调节后的电阻值控制场效应管运行。 0077 综上所述， 本实施例提供的场效应管的开关速度调节方法， 通过获取场效应管开 关速度的调节目标； 基于调节目标确定发射极电阻的第一电阻值和/或集电极电阻的第二 电阻值； 。

29、基于调节后的电阻值控制场效应管运行； 可以解决现有的场效应管由于米勒效应 的存在会拖慢开启和关闭的速度的问题； 由于可以根据需要通过调节集电极电阻的阻值来 调节场效应管的关闭速度、 和/或通过调节发射极电阻的阻值来调节场效应管的开启速度， 可以达到根据需要调节场效应管的开关速度的效果。 0078 图5是本申请一个实施例提供的场效应管的开关速度调节装置的框图， 本实施例 以该装置应用于图1所示的场效应管的开关速度调节系统中为例进行说明。 其中， 场效应管 说明书 5/6 页 8 CN 111162763 A 8 与驱动开关相连， 驱动开关的集电极通过栅极电阻与场效应管的栅极相连、 驱动开关的发 。

30、射极通过发射极电阻接地、 驱动开关的集电极还通过集电极电阻连接至源极电阻， 源极电 阻的另一端与场效应管的源极相连； 场效应管的漏极连接至电流源； 该装置至少包括以下 几个模块： 目标获取模块510、 阻值确定模块520和运行控制模块530。 0079 目标获取模块510， 用于获取所述场效应管开关速度的调节目标； 0080 阻值确定模块520， 用于基于所述调节目标确定所述发射极电阻的第一电阻值和/ 或所述集电极电阻的第二电阻值； 0081 运行控制模块530， 用于基于调节后的电阻值控制所述场效应管运行。 0082 可选地， 所述阻值确定模块520， 用于： 0083 所述调节目标包括用于。

31、调节开启速度的第一调节目标， 基于所述第一调节目标确 定所述发射极电阻的第一电阻值； 和/或， 0084 所述调节目标包括用于调节关闭速度的第二调节目标， 基于所述第二调节目标确 定所述集电极电阻的第二电阻值。 0085 可选地， 所述第一调节目标指示的开启速度与所述第一电阻值呈负相关关系： 所 述第二调节目标指示的关闭速度与所述第二电阻值呈负相关关系。 0086 相关细节参考上述方法实施例。 0087 需要说明的是： 上述实施例中提供的场效应管的开关速度调节装置在进行场效应 管的开关速度调节时， 仅以上述各功能模块的划分进行举例说明， 实际应用中， 可以根据需 要而将上述功能分配由不同的功能。

32、模块完成， 即将场效应管的开关速度调节装置的内部结 构划分成不同的功能模块， 以完成以上描述的全部或者部分功能。 另外， 上述实施例提供的 场效应管的开关速度调节装置与场效应管的开关速度调节方法实施例属于同一构思， 其具 体实现过程详见方法实施例， 这里不再赘述。 0088 可选地， 本申请还提供有一种计算机可读存储介质， 所述计算机可读存储介质中 存储有程序， 所述程序由处理器加载并执行以实现上述方法实施例的场效应管的开关速度 调节方法。 0089 可选地， 本申请还提供有一种计算机产品， 该计算机产品包括计算机可读存储介 质， 所述计算机可读存储介质中存储有程序， 所述程序由处理器加载并执。

33、行以实现上述方 法实施例的场效应管的开关速度调节方法。 0090 以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合， 为使描述简洁， 未对上述实 施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述， 然而， 只要这些技术特征的组合不存 在矛盾， 都应当认为是本说明书记载的范围。 0091 以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式， 其描述较为具体和详细， 但并 不能因此而理解为对发明专利范围的限制。 应当指出的是， 对于本领域的普通技术人员来 说， 在不脱离本申请构思的前提下， 还可以做出若干变形和改进， 这些都属于本申请的保护 范围。 因此， 本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。 说明书 6/6 页 9 CN 111162763 A 9 图1 图2 说明书附图 1/3 页 10 CN 111162763 A 10 图3 图4 说明书附图 2/3 页 11 CN 111162763 A 11 图5 说明书附图 3/3 页 12 CN 111162763 A 12 。