一种涂覆方法.pdf

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1、10申请公布号CN102476092A43申请公布日20120530CN102476092ACN102476092A21申请号201010563738022申请日20101129B05D1/26200601B05C5/00200601B05C13/02200601G02F1/133920060171申请人中国科学院微电子研究所地址100029北京市朝阳区北土城西路3号中科院微电子所72发明人胡明玮黄苒杜寰韩郑生林斌74专利代理机构北京市德权律师事务所11302代理人王建国54发明名称一种涂覆方法57摘要本发明属于硅基液晶（LCOS）微显示器件制造的技术领域，具体涉及一种应用于LCOS液晶盒制作。

2、的涂覆方法，包括如下步骤将衬垫珠放入易挥发的有机溶剂中，形成悬浊液；将悬浊液放入超声波清洗机中，使用超声波分散衬垫珠；使用磁力搅拌机对悬浊液进行充分搅拌；使用匀胶机旋转表面滴定悬浊液的LCOS晶圆，在LCOS晶圆表面形成一层溶液膜；LCOS晶圆表面溶液膜中的有机溶剂挥发后，即完成了将衬垫珠涂覆在LCOS晶圆表面的过程。本发明采用的涂覆方法使衬垫珠分散的更均匀，同时密度更低，使器件发光性能得到显著提高。51INTCL权利要求书1页说明书2页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书2页1/1页21一种涂覆方法，其特征在于，包括如下步骤（1）将衬垫珠放入易挥发的有机溶剂中。

3、，形成悬浊液；（2）将悬浊液放入超声波清洗机中，使用超声波分散衬垫珠；（3）使用磁力搅拌机对悬浊液进行充分搅拌；（4）使用匀胶机旋转表面滴定悬浊液的LCOS晶圆，在LCOS晶圆表面形成一层溶液膜；（5）LCOS晶圆表面溶液膜中的有机溶剂挥发后，即完成了将衬垫珠涂覆在LCOS晶圆表面的过程。2如权利要求1所述的涂覆方法，其特征在于所述有机溶剂为二氯甲烷或异丙醇。权利要求书CN102476092A1/2页3一种涂覆方法技术领域0001本发明属于硅基液晶（LCOS）微显示器件制造的技术领域，具体涉及一种应用于LCOS液晶盒制作的涂覆方法。背景技术0002硅基液晶（LCOS）微显示是一种新型的反射式液。

4、晶微显示技术。它利用CMOS技术将有源矩阵制作在硅衬底上，而顶面被用作反射层。显示面板通过在LCOS晶圆顶面盖装ITO玻璃，灌装液晶制成。0003在LCOS液晶盒的制作过程中，为了精确控制盒厚以及起到支撑作用，要用到衬垫带或者衬垫珠（SPACER），而盒厚在10M以下多用衬垫珠（SPACER）。由于盒厚度较小，为了得到均匀的间隙尺寸，需要采用尺寸很小的玻璃球作为衬垫珠。一般通用的LCOS液晶盒衬垫珠（SPACER）的涂覆方法为溶液喷洒的方法，由于衬垫珠尺寸较小，在LCOS晶圆表面涂覆时，易出现衬垫珠分布不均匀以及若干个衬垫珠堆叠现象。显示器件的彩色800600分辨率使得每个像素点大小也为微米量。

5、级，因此会影响器件发光性能，严重时会导致液晶盒厚度不均匀，并由此产生真空气泡等更严重的问题。发明内容0004本发明要解决的技术问题是提供一种涂覆方法，使衬垫珠可以均匀的涂覆在LCOS晶圆的表面。0005为了达到上述目的，本发明采用的技术方案为一种涂覆方法，包括如下步骤（1）将衬垫珠放入易挥发的有机溶剂中，形成悬浊液；（2）将悬浊液放入超声波清洗机中，使用超声波分散衬垫珠；（3）使用磁力搅拌机对悬浊液进行充分搅拌；（4）使用匀胶机旋转表面滴定悬浊液的LCOS晶圆，在LCOS晶圆表面形成一层溶液膜；（5）LCOS晶圆表面溶液膜中的有机溶剂挥发后，即完成了将衬垫珠涂覆在LCOS晶圆表面的过程。000。

6、6上述方案中，所述有机溶剂为二氯甲烷或异丙醇。0007与现有技术相比，本发明采用的技术方案所产生的有益效果如下本发明采用的涂覆方法使衬垫珠分散的更均匀，同时密度更低，使器件发光性能得到显著提高。具体实施方式0008下面通过实施例对本发明技术方案进行详细描述。0009实施例1本发明实施例提供一种涂覆方法，步骤如下说明书CN102476092A2/2页4采用300002M的玻璃球作为衬垫珠（SPACER），将衬垫珠放入二氯甲烷溶液中，形成悬浊液；然后将悬浊液放入超声波清洗机中片刻，利用超声波使衬垫珠一一分散开，接着再将悬浊液放在磁力搅拌机上进行充分搅拌；将用丙酮清洗后的LCOS晶圆置于匀胶机旋转台。

7、上，开启气泵固定后，用橡胶吸管吸取适量的衬垫珠悬浊液滴在LCOS晶圆表面，在匀胶机旋转台面带动LCOS晶圆高速旋转下，将在LCOS晶圆表面形成一层极薄的溶液膜，衬垫珠（SPACER）得到了较理想的散布，待LCOS晶圆表面的溶液膜中的有机溶剂挥发后，即完成将衬垫珠涂覆在LCOS晶圆表面的过程。0010实施例2本发明实施例提供一种涂覆方法，步骤如下采用300002M的玻璃球作为衬垫珠（SPACER），衬垫珠放入异丙醇溶液中，形成悬浊液；然后将悬浊液放入超声波清洗机中片刻，利用超声波使衬垫珠一一分散开，接着再将悬浊液放在磁力搅拌机上进行充分搅拌；将用丙酮清洗后的LCOS晶圆置于匀胶机旋转台上，开启气。

8、泵固定后，用橡胶吸管吸取适量的衬垫珠悬浊液滴在LCOS晶圆表面，在匀胶机旋转台面带动LCOS晶圆高速旋转下，将在LCOS晶圆表面形成一层极薄的溶液膜，衬垫珠（SPACER）得到了较理想的散布，待LCOS晶圆表面的溶液膜中的有机溶剂挥发后，即完成将衬垫珠涂覆在LCOS晶圆表面的过程。0011使用本发明提供的涂覆方法，可以使得衬垫珠均匀的涂覆在LCOS晶圆表面，粘连现象大幅度减少，衬垫珠密度的控制也较为理想，约为360个/MM2。因此，使用此涂覆方法制备的器件，发光性能得到显著提高。0012以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。说明书CN102476092A。