一种用于微纳米几何量测量的阵列式测头.pdf

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本发明为一种用于微纳米几何量测量的阵列式测头，由网格状多方孔基座和多个测头组件构成。测头组件包括测头、测杆、悬挂结构、传感单元和电路板，测头组件垂直凸出安装在基座方孔上，方孔在基座上呈网格状阵列式排列，阵列式测头通过基座与三维高精度位移平台的测头连接结构相联接。根据被测工件尺寸，在网格状多方孔基座上选择合适的方孔安装各测头组件，各测头组件可装可拆。各测头组件的测头通过校准整合到统一坐标系中，先用一。

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内容关键字: 一种 用于 纳米 几何 测量 阵列 式测头
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