边缘检测装置和激光加工装置.pdf

上传人：a1 文档编号：771928 上传时间：2018-03-08 格式：PDF 页数：14 大小：698.69KB
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本发明提供一种即使是任何形状的检测对象物、也能对检测对象物的边缘位置进行高精度检测、作为空间滤光器的精度高、配置自由度高的边缘检测装置和激光加工装置。该边缘检测装置具有：白色光源(101)，其向第1光路(109a)发出包含多个波长的光的白色光；色像差聚光透镜(102)，其针对向第1光路(109a)发出的白色光内包含的各波长，朝向被加工物(1)(检测对象物)在光轴上形成多个焦点；光纤(104)，其将。

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内容关键字: 边缘 检测 装置 激光 加工
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