过程控制的方法和设备.pdf

上传人：a*** 文档编号：754872 上传时间：2018-03-08 格式：PDF 页数：28 大小：996.14KB
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为了检查光学母盘上的光敏剂层被显像液显像的过程，使一透明体与显像液(14)相接触。然后，将来自光源的光束入射到光学母盘上，并且使衍射光束经过显像液和透明体射到探测器上。这样，衍射光束的光径是稳定的。最好是通过反射从入射光束中获得衍射光束，并且该衍射光束最好是第一阶衍射光束。入射光束还最好是经过调制的。然后，靠监控探测器(9)所探测到的衍射光束(8)的变化，来监控光敏剂层的显像过程。 。

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内容关键字: 过程 控制 方法 设备
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