一种微波紫外光源.pdf

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本发明公开一种微波紫外光源，它由磁控管1、微波波导2、微波馈能口3、微波谐振腔4、紫外灯5、微波屏蔽网6、灯座7、风扇8、基座9等组成，其特征是紫外灯5内抽真空后可以填充惰性气体、汞蒸气、或金属卤化物蒸气以及上述气体的混合物。该光源由微波激发灯体内的特定气体电离产生等离子体发出紫外线光，能够实施对气体、液体、固体的消毒、灭菌以及通过紫外线实施对化学物质的光化学合成和对电子材料和器件进行紫外刻蚀、紫。

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