一种晶棒切割系统.pdf

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1、10申请公布号CN104191534A43申请公布日20141210CN104191534A21申请号201410449275322申请日20140905B28D5/04200601B28D7/0020060171申请人苏州洛特兰新材料科技有限公司地址215101江苏省苏州市吴中区木渎镇珠江南路378号天隆大楼4722室72发明人马志明74专利代理机构北京众合诚成知识产权代理有限公司11246代理人连围54发明名称一种晶棒切割系统57摘要本发明涉及一种改良的晶棒切割系统，本晶棒切割系统包括一个由金属切割丝等距、平行排布所成的金属丝平面；在所述金属丝平面的上方，有一对与所述金属丝平面垂直的活动夹。

2、板，有一夹板控制器调节所述活动夹板的开合及上下移动；在这对所述活动夹板的内壁上有限制晶棒轴向位移的限位棱；在所述金属丝平面的下方，有一块与金属丝平面平行的活动支撑板；在所述支撑板的两侧，装置一对与上述活动夹板结构相同的定位板。该晶棒切割系统不需要用胶体固定晶棒即可将晶片切割，简化作业流程，提高工作效率；同时，改良了晶棒运送到金属丝平面的作业流程，有效减少晶棒损伤。51INTCL权利要求书1页说明书2页附图2页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书2页附图2页10申请公布号CN104191534ACN104191534A1/1页21一种晶棒切割系统，本晶棒切割系统包。

3、括一个由金属切割丝等距、平行排布所组成的金属丝平面3；其特征在于在所述金属丝平面3的上方，有一对与所述金属丝平面3垂直的活动夹板1，有一夹板控制器调节所述活动夹板1开合及上下移动；在这对所述活动夹板1的内壁上有限制晶棒轴向位移的限位棱11；在所述金属丝平面3的下方，有一块与金属丝平面3平行的活动支撑板4；所述活动支撑板4由支撑板控制器调节其上下及左右移动；在所述活动支撑板4的两侧，装置一对与上述活动夹板结构相同的定位板2。2根据权利要求1所述的晶棒切割系统，其特征在于所述支撑板4的上表面有一排与金属丝平面3一一对应的凹槽41；当晶棒压在支撑板4正上方时，每条金属丝平面3正好位于支撑板4上表面对。

4、应的凹槽41内。3根据权利要求1所述的晶棒切割系统，其特征在于所述夹板1和定位板2内壁上密布有竖条形纹路。4根据权利要求1所述的晶棒切割系统，其特征在于晶棒由一传输带5运送到金属丝平面3上。权利要求书CN104191534A1/2页3一种晶棒切割系统技术领域0001本发明涉及一种切片装置，特别的，是一种晶棒切割系统。背景技术0002在工业生产中，使用切片机将晶棒切成一个个晶片再进行包装、出厂；常用的方法是先将晶棒用胶体固定在切片晶托上，等胶体固化后使用运输小车夹持晶托，将其放在金属丝平面上，启动金属丝平面将晶棒切割成晶片，关闭仪器后抬起晶托，将晶托连同晶片放到去胶池中清洗；这种方法很复杂，需要。

5、粘胶、去胶，同时运输小车在搬运过程中容易出现滑落，损坏晶棒，甚至引发事故。发明内容0003针对上述问题，本发明的目的是提供一种改良的晶棒切割系统，该晶棒切割系统不需要用胶体固定晶棒即可将晶片切割，简化作业流程，提高工作效率；同时，改良了晶棒运送到金属丝平面的作业流程，有效减少晶棒损伤。0004为解决上述问题，本发明采用的技术方案是本晶棒切割系统包括一个由金属切割丝等距、平行排布所成的金属丝平面；在所述金属丝平面的上方，有一对与所述金属丝平面垂直的活动夹板，有一夹板控制器调节所述活动夹板的开合及上下移动；在这对所述活动夹板的内壁上有限制晶棒轴向位移的限位棱；在所述金属丝平面的下方，有一块与金属丝。

6、平面平行的活动支撑板；所述活动支撑板由支撑板控制器调节其上下及左右移动；在所述支撑板的两侧，装置一对与上述活动夹板结构相同的定位板。0005本发明的有益效果是将晶棒通过传输带运送到金属丝平面上，用夹板控制器调节活动夹板夹住晶棒，并使其内壁上的限位棱卡住晶棒的两端，所述夹板下边缘紧贴金属丝平面；控制夹板调节晶棒位置，使其处于所述支撑板的正上方；启动切片机，金属切割丝转动，随着金属切割丝的切入，晶棒沿活动夹板内壁竖直滑动，所述活动夹板相对金属丝平面静止；调节支撑板控制器，使晶棒随活动支撑板逐渐下移；晶棒下移的过程中，所述定位板紧贴支撑板和晶棒，且定位板内壁上的限位棱卡在晶棒的两端；当晶棒被切割后，。

7、紧密排列的晶片束竖直立在支撑板上，调节支撑板控制器，将支撑板从切片机内侧向水平取出，将晶片束取出后，调节支撑板控制器使支撑板复位。整个过程中不需要用胶体固定晶棒，省去了粘胶、去胶、清洗等作业流程，简化生产工艺，节省作业时间，有效提高生产效率。0006作为优选，所述支撑板的上表面有一排与金属切割丝一一对应的凹槽，在晶棒压在支撑板正上方时，每条金属切割丝正好位于支撑板上表面对应的凹槽内，金属切割丝不接触支撑板，在作业时不会切割到支撑板。0007作为优选，所述夹板和定位板内壁上密布有竖条形纹路，以便于晶棒在内壁上以较小摩擦力竖直滑动且不产生水平位移。0008作为优选，晶棒由一传输带运送到金属丝平面上。

8、，使得晶棒从载物台运送到金属丝平面处无竖直方向上的位移，有效防止晶棒损伤。说明书CN104191534A2/2页4附图说明0009图1为本发明实施例中切片机的示意图。0010图2为本发明实施例中支撑板和定位板的结构示意图。0011图3为本发明实施例中夹板的示意图。具体实施方式0012实施例0013在图1至图3所示的实施例中，包括一个由金属切割丝等距、平行排布所组成的金属丝平面3；在所述金属丝平面3的上方，有一对与所述金属丝平面3垂直的活动夹板1，有一夹板控制器调节所述活动夹板1的开合及上下移动；在这对所述活动夹板3的内壁上有限制晶棒轴向位移的限位棱11；在所述金属丝平面3的下方，有一块与金属丝。

9、平面3平行的活动支撑板4，所述活动支撑板4的上表面有一排与金属丝平面3一一对应的凹槽41；所述活动支撑板由支撑板控制器调节上下及左右移动；在所述支撑板的两侧，装置一对与上述活动夹板结构相同的定位板；所述活动夹板1和定位板2内壁上密布有竖条形纹路。0014将晶棒6通过传输带5运送在金属丝平面3上，调节活动夹板1夹住晶棒6，并使其内壁上的限位棱11卡住晶棒6的两端，所述活动夹板1下边缘紧贴金属丝平面；控制夹板1调节晶棒6位置，使其处于所述支撑板4的正上方；此时，每根金属丝平面3正好位于支撑板4上表面对应的凹槽41内，金属丝平面3不接触支撑板4，在作业时不会切割到支撑板4；启动切片机，金属切割丝转动。

10、，随着金属切割丝的切入，晶棒6沿活动夹板1内壁竖直滑动，所述活动夹板1相对金属丝平面3静止；调节支撑板控制器，使晶棒6随活动支撑板4逐渐下移；晶棒6下移的过程中，所述定位板2紧贴支撑板4和晶棒6，且定位板2内壁上的限位棱21卡在晶棒6的两端；晶棒6沿定位板2内壁竖直滑下而不产生水平位移；当晶棒被切割后，紧密排列的晶片束竖直立在支撑板4上，调节支撑板控制器，将支撑板4从切片机内侧向水平移出，将晶片束取出后，调节支撑板控制器使支撑板4复位。整个过程中不需要用胶体固定晶棒，省去了粘胶、去胶、清洗等作业流程，简化生产工艺，有效提高生产效率。0015以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。说明书CN104191534A1/2页5图1图2说明书附图CN104191534A2/2页6图3说明书附图CN104191534A。