电容性绝对压力传感器及其制造方法.pdf

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电容性绝对压力传感器(10)包括其上沉积有电极(24)的衬底(14)和设置于衬底(14)上的隔膜组件(12)。随着压力的增大,隔膜(16)偏移,接触电极(24)(按触摸模式),并改变传感器(10)的电容量。检测变化的电容以测出压力变化。用埋入的引线测出隔膜(76)下面的腔(34)中的电容变化,由此确定测出的压力。适当选择检测电极和绝缘层(32)的厚度,对其进行热循环,并使隔膜组件(12)密封粘接到。

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内容关键字: 电容 绝对 压力传感器 及其 制造 方法
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