一种内存硬盘用抛光组合物.pdf

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1、10申请公布号CN104046258A43申请公布日20140917CN104046258A21申请号201410282506622申请日20140623C09G1/0220060171申请人青岛宝泰新能源科技有限公司地址266000山东省青岛市李沧区郑佛路17号8室72发明人范向奎54发明名称一种内存硬盘用抛光组合物57摘要本发明公开了一种内存硬盘用抛光组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质表面活性剂1018份，氧化镁59份，盐酸913份，氧化铜37份，氧化锌35份，锌粉12份，氧化铅12份，酒石酸13份，羟乙基纤维素713份，苯甲酸甲酯13份，液体石酯813份，硬脂酸38份，硬脂酸盐1。

2、7份，甲基硅油49份，聚乙烯醇59份，氯苯13份，纳米硫酸钙28份，钛酸酯偶联剂12份，纳米银001003份。本发明的有益效果是制备简单，抛光效果明显，性能稳定。51INTCL权利要求书1页说明书1页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书1页10申请公布号CN104046258ACN104046258A1/1页21一种内存硬盘用抛光组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质表面活性剂1018份，氧化镁59份，盐酸913份，氧化铜37份，氧化锌35份，锌粉12份，氧化铅12份，酒石酸13份，羟乙基纤维素713份，苯甲酸甲酯13份，液体石酯813份，硬脂酸38份，硬脂。

3、酸盐17份，甲基硅油49份，聚乙烯醇59份，氯苯13份，纳米硫酸钙28份，钛酸酯偶联剂12份，纳米银001003份。权利要求书CN104046258A1/1页3一种内存硬盘用抛光组合物技术领域0001本发明涉及一种内存硬盘用抛光组合物。背景技术0002对增加内存或硬盘容量的需求以及内存或硬盘小型化的趋势因为计算机设备中需要更小磁盘驱动器持续不断，强调内存或硬盘片制造方法的重要性，包括这类盘片的平坦化或抛光，以确保性能最佳。尽管存在几种用于与半导体装置制造相关的化学机械抛光CMP组合物及方法，但是几乎没有常规的CMP方法或商购的CMP组合物非常适于内存或硬盘片的平坦化或抛光。发明内容0003本发。

4、明所要解决的技术问题是提供一种内存硬盘用抛光组合物。0004为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是一种内存硬盘用抛光组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质表面活性剂1018份，氧化镁59份，盐酸913份，氧化铜37份，氧化锌35份，锌粉12份，氧化铅12份，酒石酸13份，羟乙基纤维素713份，苯甲酸甲酯13份，液体石酯813份，硬脂酸38份，硬脂酸盐17份，甲基硅油49份，聚乙烯醇59份，氯苯13份，纳米硫酸钙28份，钛酸酯偶联剂12份，纳米银001003份。0005本发明的有益效果是制备简单，抛光效果明显，性能稳定。具体实施方式0006实施例1一种内存硬盘用抛光组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质表面活性剂1018份，氧化镁59份，盐酸913份，氧化铜37份，氧化锌35份，锌粉12份，氧化铅12份，酒石酸13份，羟乙基纤维素713份，苯甲酸甲酯13份，液体石酯813份，硬脂酸38份，硬脂酸盐17份，甲基硅油49份，聚乙烯醇59份，氯苯13份，纳米硫酸钙28份，钛酸酯偶联剂12份，纳米银001003份。说明书CN104046258A。