基板处理方法以及基板处理装置.pdf

上传人：1*** 文档编号：1531867 上传时间：2018-06-22 格式：PDF 页数：51 大小：3.83MB
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本发明提供基板处理方法以及基板处理装置。向基板供给疏水剂，使该基板的表面疏水化。然后，使基板干燥。从被疏水化之后到干燥为止，作为处理对象的基板保持不与水接触的状态。由此，能够抑制或防止形成于基板表面的图案的倒塌。。

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内容关键字: 处理 方法 以及 装置
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