气体静压转台的控制方法、装置及气体静压转台.pdf

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1、(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 202410000338.0(22)申请日 2024.01.02(71)申请人 中国机械总院集团宁波智能机床研究院有限公司地址 315000 浙江省宁波市象山县大目湾新城开源路101号(72)发明人 吴双峰吴公伟李萌李群陈昌敏汪琪苏枫(74)专利代理机构 浙江中桓凯通专利代理有限公司 33376专利代理师 刘潇(51)Int.Cl.B23Q 1/38(2006.01)(54)发明名称一种气体静压转台的控制方法、装置及气体静压转台(57)摘要本发明提供了一种气体静压转台的控制方法、装置及气体静压转台。

2、。气体静压转台包括依次设置的转台本体、壳体以及基座；基座内部设置有驱动装置；转台本体、壳体以及基座之间设置有静压腔室；驱动装置的驱动轴穿过所述壳体内部与所述转台本体传动连接，驱动装置能够带动转台本体进行转动；静压腔室包括：第一静压腔室以及第二静压腔室，第一静压腔室位于转台本体与壳体之间，第二静压腔室位于所述壳体与基座之间；其中，在壳体上设置有补气装置以及排气装置，补气装置与排气装置用于对第一静压腔室以及第二静压腔室内的气体压力进行调节。本发明能够解决气体静压转台在运行时，由于气体介质出现损失，进而降低气体介质支撑刚度的技术问题。权利要求书3页 说明书12页 附图2页CN 117484215 A。

3、2024.02.02CN 117484215 A1.一种气体静压转台的控制方法，其特征在于，所述气体静压转台（100）包括依次设置的转台本体（20）、壳体（10）以及基座（30）；所述基座（30）内部设置有驱动装置（40）；所述转台本体（20）、所述壳体（10）以及所述基座（30）之间设置有静压腔室（21）；所述驱动装置（40）的驱动轴（41）穿过所述壳体（10）内部与所述转台本体（20）传动连接，所述驱动装置（40）能够带动所述转台本体（20）进行转动；所述静压腔室（21）包括：第一静压腔室（211）以及第二静压腔室（212），所述第一静压腔室（211）位于所述转台本体（20）与所述壳体（1。

4、0）之间，所述第二静压腔室（212）位于所述壳体（10）与所述基座（30）之间；其中，在所述壳体（10）上设置有补气装置以及排气装置，所述补气装置与所述排气装置用于对所述第一静压腔室（211）以及所述第二静压腔室（212）内的气体压力进行调节；所述控制方法包括：在所述气体静压转台（100）运行前，获取所述第一静压腔室（211）的第一初始压力值F初 始1与所述第二静压腔室（212）的第二初始压力值F初 始2；同时在所述气体静压转台（100）运行时，获取所述第一静压腔室（211）的第一压力值F1与所述第二静压腔室（212）的第二压力值F2；根据所述第一初始压力值F初始1与所述第二初始压力值F初始2。

5、得到所述气体静压转台（100）运行前所述第一静压腔室（211）以及所述第二静压腔室（212）的初始压力差值F初 始；根据所述第一压力值F1与所述第二压力值F2得到所述气体静压转台（100）运行时所述第一静压腔室（211）以及所述第二静压腔室（212）的运行压力差值F1；根据所述初始压力差值F初 始、运行压力差值F1以及预设压力差值F0，判断所述气体静压转台是否满足压力调节条件；若是，则控制所述补气装置和/或所述排气装置对所述第一静压腔室（211）以及所述第二静压腔室（212）内的气体压力进行调节；若否，则控制所述气体静压转台维持当前状态继续运行。2.根据权利要求1所述的气体静压转台的控制方法，。

6、其特征在于，所述第一静压腔室（211）具有承载气体介质的第一承载面，且所述第一承载面的面积为第一面积S1，所述第二静压腔室（212）具有承载气体介质的第二承载面，且所述第二承载面的面积为第二面积S2；且第一面积S1与第二面积S2之间满足：S1S2；所述控制方法还包括：在所述气体静压转台（100）运行前，检测所述第一静压腔室（211）的第一初始压强值P初 始1与所述第二静压腔室（212）的第二初始压强值P初 始2；同时在所述气体静压转台（100）运行时，检测所述第一静压腔室（211）的第一压强值P1与所述第二静压腔室（212）的第二压强值P2；在获取所述第一静压腔室（211）的第一初始压力值F初。

7、 始1与所述第二静压腔室（212）的第二初始压力值F初 始2的步骤中，F初 始1=P初 始1S1；F初 始2=P初 始2S2；在获取所述第一静压腔室（211）的第一压力值F1与所述第二静压腔室（212）的第二压力值F2的步骤中，F1=P1S1；F2=P2S2。3.根据权利要求2所述的气体静压转台的控制方法，其特征在于，所述初始压力差值F初 始根据以下公式计算：F初 始=F初 始1F初 始2；所述运行压力差值F1根据以下公式计算：F1=F1F2。4.根据权利要求3所述的气体静压转台的控制方法，其特征在于，所述压力调节条件包括第一压力调节条件以及第二压力调节条件，所述判断所述气体静压转台是否满足压。

8、力调权利要求书1/3 页2CN 117484215 A2节条件包括：在所述初始压力差值 F初 始、运行压力差值 F1以及预设压力差值 F0之间满足：|F1F初 始|F0，且F1F初 始时，判断所述气体静压转台满足所述第一压力调节条件；在所述初始压力差值 F初 始、运行压力差值 F1以及预设压力差值 F0之间满足：|F1F初 始|F0，且F1F初 始时，判断所述气体静压转台满足所述第二压力调节条件；所述控制所述补气装置和/或所述排气装置对所述第一静压腔室（211）以及所述第二静压腔室（212）内的气体压力进行调节包括：若所述气体静压转台满足所述第一压力调节条件，同时控制所述排气装置对所述第一静压。

9、腔室（211）以及所述第二静压腔室（212）内的气体压力进行排气调节；若所述气体静压转台满足所述第二压力调节条件，同时控制所述补气装置对所述第一静压腔室（211）以及所述第二静压腔室（212）内的气体压力进行补气调节。5.根据权利要求4所述的气体静压转台的控制方法，其特征在于，所述壳体（10）设置有连通所述第一静压腔室（211）以及所述第二静压腔室（212）的进气口（11）以及排气口（12），所述补气装置包括第一调节开关以及第二调节开关，所述第一调节开关以及所述第二调节开关设置于所述进气口（11）；所述排气装置包括第三调节开关以及第四调节开关，所述第三调节开关以及所述第四调节开关设置于所述排气。

10、口（12）；其中，气体介质能够通过所述第一调节开关以及所述第二调节开关输送至所述第一静压腔室（211）以及所述第二静压腔室（212）内，同时可经所述第三调节开关以及所述第四调节开关由所述第一静压腔室（211）以及所述第二静压腔室（212）向外排出；所述第一调节开关与所述第三调节开关用于调节所述进气口（11）与所述排气口（12）的关闭以及疏通，所述第二调节开关与所述第四调节开关用于调节气体介质的流量。6.根据权利要求5所述的气体静压转台的控制方法，其特征在于，所述控制所述排气装置对所述第一静压腔室（211）以及所述第二静压腔室（212）内的气体压力进行排气调节包括：控制所述第三调节开关以及所述第。

11、四调节开关开启；同时控制所述第一调节开关以及所述第二调节开关关闭。7.根据权利要求5所述的气体静压转台的控制方法，其特征在于，所述控制所述补气装置对所述第一静压腔室（211）以及所述第二静压腔室（212）内的气体压力进行补气调节包括：控制所述第一调节开关与所述第二调节开关开启；同时控制所述第三调节开关以及所述第四调节开关关闭。8.根据权利要求5所述的气体静压转台的控制方法，其特征在于，所述判断所述气体静压转台是否满足压力调节条件还包括：在所述初始压力差值 F初 始、运行压力差值 F1以及预设压力差值 F0之间满足：|F1F初 始|F0时，判断所述气体静压转台不满足所述压力调节条件。9.根据权利。

12、要求8所述的气体静压转台的控制方法，其特征在于，在所述气体静压转台不满足所述压力调节条件时，所述控制方法包括：控制所述第一调节开关、所述第二调节开关、所述第三调节开关以及所述第四调节开关关闭。权利要求书2/3 页3CN 117484215 A310.一种气体静压转台控制装置，其特征在于，所述气体静压转台（100）包括依次设置的转台本体（20）、壳体（10）、基座（30）以及驱动装置（40）；所述转台本体（20）、所述壳体（10）以及所述基座（30）之间设置有静压腔室（21）；所述驱动装置（40）的驱动轴（41）穿过所述壳体（10）内部与所述转台本体（20）传动连接，所述驱动装置（40）能够带动。

13、所述转台本体（20）进行转动；所述静压腔室（21）包括：第一静压腔室（211）以及第二静压腔室（212），所述第一静压腔室（211）位于所述转台本体（20）与所述壳体（10）之间，所述第二静压腔室（212）位于所述壳体（10）与所述基座（30）之间；其中，在所述壳体上设置有补气装置以及排气装置，所述补气装置与所述排气装置用于对所述第一静压腔室（211）以及所述第二静压腔室（212）内的气体压力进行调节，所述控制装置包括：获取模块，用于在所述气体静压转台（100）运行前，获取所述第一静压腔室（211）的第一初始压力值F初 始1与所述第二静压腔室（212）的第二初始压力值F初 始2；同时在所述气体。

14、静压转台（100）运行时，获取所述第一静压腔室（211）的第一压力值F1与所述第二静压腔室（212）的第二压力值F2；计算模块，用于根据所述第一初始压力值F初 始1与所述第二初始压力值F初 始2计算所述气体静压转台（100）运行前所述第一静压腔室（211）以及所述第二静压腔室（212）的初始压力差值F初 始；以及根据所述第一压力值F1与所述第二压力值F2计算所述气体静压转台（100）运行时所述第一静压腔室（211）以及所述第二静压腔室（212）的运行压力差值F1；判断模块，用于根据所述初始压力差值F初 始、运行压力差值F1以及预设压力差值F0，判断所述气体静压转台是否满足压力调节条件；控制模块。

15、，用于在所述气体静压转台满足压力调节条件时，控制所述补气装置和/或所述排气装置对所述第一静压腔室（211）以及所述第二静压腔室（212）的气体压力进行调节；以及在所述气体静压转台不满足压力调节条件时，控制所述气体静压转台维持当前状态继续工作。11.一种气体静压转台，其特征在于，所述气体静压转台实现如权利要求19任意一项所述的气体静压转台的控制方法。权利要求书3/3 页4CN 117484215 A4一种气体静压转台的控制方法、装置及气体静压转台技术领域0001本发明涉及超精密测量和加工技术领域，具体而言，涉及一种气体静压转台的控制方法、装置及气体静压转台。背景技术0002气体静压转台是实现非球。

16、面光学元件高精度加工需要的重要支撑，具有良好的动静态特性和精度保持性、高刚性、高旋转定位精度的气体静压转台是零件达到微纳米加工精度重要保障条件之一；然而由于光学元件材料的硬脆性、加工状况的易变性以及支撑界面气体介质的刚度不足等影响了转台运转的稳定性与精度；为了满足不同工况下，高精度加工对气体静压转台支撑界面气体介质刚度的需求，需要对不同工况下支撑界面间气体介质的刚度进行调节。现有技术主要是通过设计节流器等机械装置来实现气体静压转台支撑界面的气体介质刚度的调节功能，但节流器设计难度大，对气体静压转台组成装置的加工精度要求高，而且本身的调节能力有限，而且气体介质流经节流器时，本身会损耗一部分介质压。

17、力能，从而降低了气体静压转台的承载能力。0003同时，当气体静压转台的密封性较差时，会使得气体静压转台中静压腔室内的气体介质会通过转台与壳体之间的运动间隙造成泄露，不仅造成压缩气体不能有效利用，还因为气体介质的外泄，引起气体介质压力损失，降低了气体介质的支撑刚度。发明内容0004本发明能够解决气体静压转台在运行时，由于气体介质出现损失，进而降低气体介质支撑刚度的技术问题。0005为解决上述问题，本发明提供了一种气体静压转台的控制方法，气体静压转台包括依次设置的转台本体、壳体以及基座；基座内部设置有驱动装置；转台本体、壳体以及基座之间设置有静压腔室；驱动装置的驱动轴穿过壳体内部与转台本体传动连接。

18、，驱动装置能够带动转台本体进行转动；静压腔室包括：第一静压腔室以及第二静压腔室，第一静压腔室位于转台本体与壳体之间，第二静压腔室位于壳体与基座之间；其中，在壳体上设置有补气装置以及排气装置，补气装置与排气装置用于对第一静压腔室以及第二静压腔室内的气体压力进行调节；控制方法包括：在气体静压转台运行前，获取第一静压腔室的第一初始压力值F初 始1与第二静压腔室的第二初始压力值F初 始2；同时在气体静压转台运行时，获取第一静压腔室的第一压力值F1与第二静压腔室的第二压力值F2；根据第一初始压力值F初 始1与第二初始压力值F初 始2得到气体静压转台运行前第一静压腔室以及第二静压腔室的初始压力差值F初 始。

19、；根据第一压力值F1与第二压力值F2得到气体静压转台运行时第一静压腔室以及第二静压腔室的运行压力差值F1；根据初始压力差值F初 始、运行压力差值F1以及预设压力差值 F0，判断气体静压转台是否满足压力调节条件；若是，则控制补气装置和/或排气装置对第一静压腔室以及第二静压腔室内的气体压力进行调节；若否，则控制气体静压转台维持当前状态继续运行。说明书1/12 页5CN 117484215 A50006与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：在气体静压转台的密封性较差时，会使得气体静压转台中静压腔室内的气体介质会通过转台与壳体之间的运动间隙造成泄露，不仅造成压缩气体不能有效利用，还因为气体介。

20、质的外泄，引起气体介质压力损失，降低了气体介质的支撑刚度；因而通过获取气体静压转台运行前第一静压腔室的第一初始压力值F初 始1与第二静压腔室的第二初始压力值F初 始2的大小，并且的得到两个静压腔室的初始压力差值F初 始，进一步的还需要获取气体静压转台运行时第一静压腔室的第一压力值F1与第二静压腔室的第二压力值F2，并得到气体静压转台运行时的两个静压腔室之间运行压力差值F1；最终将初始压力差值F初 始与运行压力差值F1进行比较，从而能够在第一静压腔室与第二静压腔室内的压力是否出现了变化，在出现变化时可通过控制补气装置或者排气装置的方式，以达到对静压腔室内的气体压力实时调节的目的，在此过程中保证了。

21、气体静压转台运行的稳定性，进一步的也保证了气体介质的支撑刚度，同时也提高了气体静压转台的使用效率。0007进一步的，在本发明中，第一静压腔室具有承载气体介质的第一承载面，且第一承载面的面积为第一面积S1，第二静压腔室具有承载气体介质的第二承载面，且第二承载面的面积为第二面积S2；且第一面积S1与第二面积S2之间满足：S1S2；控制方法还包括：在气体静压转台运行前，检测第一静压腔室的第一初始压强值P初 始1与第二静压腔室的第二初始压强值P初 始2；同时在气体静压转台运行时，检测第一静压腔室的第一压强值P1与第二静压腔室的第二压强值P2；在获取第一静压腔室的第一初始压力值F初 始1与第二静压腔室的。

22、第二初始压力值F初 始2的步骤中，F初 始1=P初 始1S1；F初 始2=P初 始2S2；在获取第一静压腔室的第一压力值F1与第二静压腔室的第二压力值F2的步骤中，F1=P1S1；F2=P2S2。0008与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：在气体静压转台运行前，通过对第一静压腔室的第一初始压强值P初 始1以及对第二静压腔室的第二初始压强值P初 始2进行检测，能够得到初始阶段第一静压腔室与第二静压腔室内初始压力的大小；进一步的还检测了气体静压转台运行过程中第第一静压腔室的第一压强值P1与第二静压腔室的第二压强值P2，同样的得到了气体静压转台运行阶段第一静压腔室与第二静压腔室内初始压力。

23、的大小，最终通过初始阶段以及运行阶段下第一静压腔室与第二静压腔室内部气体压力的变化情况，并且基础上，能够判断是否需要通过排气装置或者补气装置对气体静压转台内部的气体压力进行调节，从而保证了气体静压转台运行稳定的目的，同时也提升了气体静压转台的使用效率。0009进一步的，在本发明中，初始压力差值F初 始根据以下公式计算：F初 始=F初 始1F初 始2；运行压力差值F1根据以下公式计算：F1=F1F2。0010与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：根据气体静压转台运行前第一初始压力值F初 始1与第二初始压力值F初 始2能够得到第一静压腔室与第二静压腔室之间的初始压力差值F初 始，同时根据。

24、第一压力值F1与第二压力值F2能够得到气体静压转台运行时第一静压腔室以及第二静压腔室的运行压力差值F1；通过对运行压力差值F1与初始压力差值F初 始之间进行比较，能够判断气体静压转台是否稳定运行，从而达到了稳定气体静压转台运行的目的。0011进一步的，在本发明中，压力调节条件包括第一压力调节条件以及第二压力调节条件，判断气体静压转台是否满足压力调节条件包括：在初始压力差值F初 始、运行压力差说明书2/12 页6CN 117484215 A6值F1以及预设压力差值F0之间满足：|F1F初 始|F0，且F1F初 始时，判断气体静压转台满足第一压力调节条件；在初始压力差值F初 始、运行压力差值F1以。

25、及预设压力差值F0之间满足：|F1F初 始|F0，且F1F初 始时，判断气体静压转台满足第二压力调节条件；控制补气装置和/或排气装置对第一静压腔室以及第二静压腔室内的气体压力进行调节包括：若气体静压转台满足第一压力调节条件，同时控制排气装置对第一静压腔室以及第二静压腔室内的气体压力进行排气调节；若气体静压转台满足第二压力调节条件，同时控制补气装置对第一静压腔室以及第二静压腔室内的气体压力进行补气调节。0012与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：通过对第一静压腔室的第一压强值P1以及第二静压腔室的第二压强值P2进行检测，进而根据第一压强值P1与第二压强值P2得到第一静压腔室的第一压力。

26、值F压 力1以及第二静压腔室内的第二压力值F压 力2，最终能够判断出静压腔室内的气体压力是否处于正常水平；当|F1F初 始|F0，且F1F初 始时，此时气体静压转台满足第一压力调节条件，由于静压腔室内的压力差值F远高于初始压力差值F初 始，此时说明静压腔室内的当前气体压力不稳定，气体静压转台的运行会受到高压的影响，因此在气体静压转台满足第一压力调节条件时，需要控制排气装置对静压腔室内的气体压力进行调节；当|F1F初 始|F0，且F1F初 始时，此时气体静压转台满足第二压力调节条件，由于静压腔室内的压力差值F远低于初始压力差值F初 始，此时说明静压腔室内的当前气体压力不稳定，气体静压转台的运行会。

27、受到低压的影响，静压腔内的气体介质存在泄露的情况，因此在气体静压转台满足第二压力调节条件时，需要控制补气装置对静压腔室内的气体压力进行调节；通过对第一压力调节条件以及第二压力调节条进行判断，进而通过对补气装置以及补气装置进行调节，能够保证静压腔室内气体介质压力的稳定性，进一步的也提升了气体静压转台的使用效率；在气体静压转台满足第一压力调节条件时，需要控制排气装置对静压腔室内的气体介质进行泄压处理，以此达到降低静压腔室内气体介质压力的目的；在气体静压转台满足第二压力调节条件时，需要控制补气装置对静压腔室内的气体介质进行补充，以此达到提升静压腔室内气体介质压力的目的。0013进一步的，在本发明中，。

28、壳体设置有连通第一静压腔室以及第二静压腔室的进气口以及排气口，补气装置包括第一调节开关以及第二调节开关，第一调节开关以及第二调节开关设置于进气口；排气装置包括第三调节开关以及第四调节开关，第三调节开关以及第四调节开关设置于排气口；其中，气体介质能够通过第一调节开关以及第二调节开关输送至第一静压腔室以及第二静压腔室内，同时可经第三调节开关以及第四调节开关由第一静压腔室以及第二静压腔室向外排出；第一调节开关与第三调节开关用于调节进气口与排气口的关闭以及疏通，第二调节开关与第四调节开关用于调节气体介质的流量。0014与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：第一调节开关、第二调节开关、第三调节。

29、开关以及第四调节开关的设置实现了向静压腔室内输送或者排出气体介质的目的，从而达到了平衡静压腔室内气体介质压力的目的，进一步的也保证了气体静压转台的使用效率。0015进一步的，在本发明中，控制排气装置对第一静压腔室以及第二静压腔室进行排气包括：控制排气装置对第一静压腔室以及第二静压腔室内的气体压力进行排气调节包括：控制第三调节开关以及第四调节开关开启；同时控制第一调节开关以及第二调节开关说明书3/12 页7CN 117484215 A7关闭。0016与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：在气体静压转台满足第一压力调节条件时，由于静压腔室内的气体介质的压力较高，因而需要将静压腔室内的气体。

30、介质向外排出，此时需要控制第一调节开关以及第二调节开关关闭，即阻止气体介质继续流入静压腔室内；进一步的开启第三调节开关，静压腔室内的气体介质会通过第三调节开关向外排出；从而达到了平衡静压腔室内部气体介质压力的目的。0017进一步的，在本发明中，控制补气装置对第一静压腔室以及第二静压腔室内的气体压力进行补气调节包括：控制第一调节开关与第二调节开关开启；同时控制第三调节开关以及第四调节开关关闭。0018与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：在气体静压转台满足第二压力调节条件时，由于静压腔室内的气体介质的压力较低，因而需要将气体静压转台外部的气体介质输送至静压腔室内，此时需要控制第三调节开。

31、关以及第四调节开关关闭，即阻止静压腔室内的气体介质向外流出；从而达到了平衡静压腔室内部气体介质压力的目的。0019进一步的，在本发明中，判断气体静压转台是否满足压力调节条件还包括：在初始压力差值F初 始、运行压力差值F1以及预设压力差值F0之间满足：|F1F初 始|F0时，气体静压转台不满足压力调节条件。0020与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：当|F1F初 始|F0时，此时表明静压腔室内气体介质的压力相对稳定，因此不需要对静压腔室内的压力进行调节，即此时气体静压转台不满足压力调节条件，即不满足第一压力调节条件以及第二压力调节条件，进而不需要补气装置以及补气装置对静压腔室内气体介。

32、质的压力进行调节，只需控制气体静压转台维持以当前运行状态进行运行即可；在此过程中，能够保证静压腔室内压力的稳定性，同时也保证可气体静压转台的使用效率。0021进一步的，在本发明中，在气体静压转台不满足压力调节条件时，控制方法包括：控制第一调节开关、第二调节开关、第三调节开关以及第四调节开关关闭。0022与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：由于静压腔室内的气体介质的压力相对稳定，因而需要维持气体静压转台当前的运行状态，即此时需要控制第一调节开关、第二调节开关、第三调节开关以及第四调节开关关闭，即此时整个静压腔室处于密封状态。0023进一步的，本发明还提供了一种气体静压转台的控制装置，。

33、气体静压转台包括依次设置的转台本体、壳体、基座以及驱动装置；转台本体、壳体以及基座之间设置有静压腔室；驱动装置的驱动轴穿过壳体内部与转台本体传动连接，驱动装置能够带动转台本体进行转动；静压腔室包括：第一静压腔室以及第二静压腔室，第一静压腔室位于转台本体与壳体之间，第二静压腔室位于壳体与基座之间；其中，在壳体上设置有补气装置以及排气装置，补气装置与排气装置用于对第一静压腔室以及第二静压腔室内的气体压力进行调节，控制装置包括：获取模块，用于在气体静压转台运行前，获取第一静压腔室的第一初始压力值F初 始1与第二静压腔室的第二初始压力值F初 始2；同时在气体静压转台运行时，获取第一静压腔室的第一压力值。

34、F1与第二静压腔室的第二压力值F2；计算模块，用于根据第一初始压力值F初 始1与第二初始压力值F初 始2计算气体静压转台运行前第一静压腔室以及第二静压腔室的初始压力差值F初 始；以及根据第一压力值F1与第二压力值F2计算气体静压转台运行时第一静说明书4/12 页8CN 117484215 A8压腔室以及第二静压腔室的运行压力差值F1；判断模块，用于根据初始压力差值F初 始、运行压力差值F1以及预设压力差值F0，判断气体静压转台是否满足压力调节条件；控制模块，用于在气体静压转台满足压力调节条件时，控制补气装置和/或排气装置对第一静压腔室以及第二静压腔室的气体压力进行调节；以及在气体静压转台不满足。

35、压力调节条件时，控制气体静压转台维持当前状态继续工作。0024与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：气体静压转台的控制装置在执行上述气体静压转台的控制方法时，具备了上述中控制方法的所有技术特征以及所有有益效果，此处不再作一一赘述。0025进一步的，在本发明还提供了一种气体静压转台，气体静压转台实现上述气体静压转台的控制方法。0026与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：气体静压转台在实现上述气体静压转台的控制方法时，具备了上述气体静压转台的控制方法的所有技术特征以及所有有益效果，此处不再作一一赘述。0027综上，采用本发明的技术方案后，能够达到如下技术效果：i）在气体静压转。

36、台的密封性较差时，会使得气体静压转台中静压腔室内的气体介质会通过转台与壳体之间的运动间隙造成泄露，不仅造成压缩气体不能有效利用，还因为气体介质的外泄，引起气体介质压力损失，降低了气体介质的支撑刚度；因而通过获取气体静压转台运行前第一静压腔室的第一初始压力值F初 始1与第二静压腔室的第二初始压力值F初 始2的大小，并且的得到两个静压腔室的初始压力差值F初 始，进一步的还需要获取气体静压转台运行时第一静压腔室的第一压力值F1与第二静压腔室的第二压力值F2，并得到气体静压转台运行时的两个静压腔室之间运行压力差值 F1；最终将初始压力差值 F初 始与运行压力差值F1进行比较，从而能够在第一静压腔室与第。

37、二静压腔室内的压力是否出现了变化，在出现变化时可通过控制补气装置或者排气装置的方式，以达到对静压腔室内的气体压力实时调节的目的，在此过程中保证了气体静压转台运行的稳定性，进一步的也保证了气体介质的支撑刚度，同时也提高了气体静压转台的使用效率；ii）通过对第一静压腔室的第一压强值P1以及第二静压腔室的第二压强值P2进行检测，进而根据第一压强值P1与第二压强值P2得到第一静压腔室的第一压力值F压 力1以及第二静压腔室内的第二压力值F压 力2，最终能够判断出静压腔室内的气体压力是否处于正常水平；当|F1F初 始|F0，且F1F初 始时，此时气体静压转台满足第一压力调节条件，由于静压腔室内的压力差值F。

38、远高于初始压力差值F初 始，此时说明静压腔室内的当前气体压力不稳定，气体静压转台的运行会受到高压的影响，因此在气体静压转台满足第一压力调节条件时，需要控制排气装置对静压腔室内的气体压力进行调节；当|F1 F初 始|F0，且F1F初 始时，此时气体静压转台满足第二压力调节条件，由于静压腔室内的压力差值F远低于初始压力差值F初 始，此时说明静压腔室内的当前气体压力不稳定，气体静压转台的运行会受到低压的影响，静压腔内的气体介质存在泄露的情况，因此在气体静压转台满足第二压力调节条件时，需要控制补气装置对静压腔室内的气体压力进行调节；通过对第一压力调节条件以及第二压力调节条进行判断，进而通过对补气装置以。

39、及补气装置进行调节，能够保证静压腔室内气体介质压力的稳定性，进一步的也提升了气体静压转台的使用效率。说明书5/12 页9CN 117484215 A9附图说明0028为了更清楚地说明本发明的技术方案，下面将对描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图；图1为本发明提供的气体静压转台的结构示意图；图2为图1的俯视图；图3为图2中沿AA方向的剖面示意图；图4为本发明提供的气体静压转台的控制方法的示意图；附图标记说明100气体静压转台；10壳体；11进气口；111第一进气。

40、口；112第二进气口；113第三进气口；12排气口；121第一排气口；122第二排气口；123第三排气口；20转台本体；21静压腔室；211第一静压腔室；212第二静压腔室；213第三静压腔室；30基座；40驱动装置；41驱动轴；411第二转台；50密封结构。具体实施方式0029为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。第一实施例0030优选的，参见图1图3，本发明第一实施例提供了一种气体静压转台，气体静压转台100包括依次设置的转台本体20、壳体10以及基座30；基座30内部设置有驱动装置40；转台本体20、壳体10以及基座30之间设置有。

41、静压腔室21；驱动装置40的驱动轴41穿过壳体10内部与转台本体20传动连接，驱动装置40能够带动转台本体20以及基座30进行转动，其中，在壳体10上设置有补气装置（图中未示出）以及排气装置（图中未示出），补气装置与排气装置用于对静压腔室21内的气体压力进行调节。0031优选的，壳体10设置有连通第一静压腔室211以及第二静压腔室212的进气口11以及排气口12，补气装置包括第一调节开关（图中未示出）以及第二调节开关（图中未示出），第一调节开关以及第二调节开关设置于进气口；排气装置包括第三调节开关（图中未示出）以及第四调节开关（图中未示出），第三调节开关以及第四调节开关设置于排气口；其中，气体。

42、介质能够通过第一调节开关以及第二调节开关输送至第一静压腔室211以及第二静压腔室212内，同时可经第三调节开关以及第四调节开关由第一静压腔室211以及第二静压腔室212向外排出；第一调节开关与第三调节开关用于调节进气口与排气口的关闭以及疏通，第二调节开关与第四调节开关用于调节气体介质的流量。0032需要说明的是，在本发明中，第一调节开关以及第三调节开关设置为电磁阀，第二调节开关以及第四调节开关设置为节流阀，同时由于设置第一调节开关以及第三调节开关的目的在于实现对进气口以及排气口的疏通以及关闭，设置第二调节开关与第四调节开关的目的在于调节气体介质的流量，即在实际过程中，当需要向静压腔室内输送气体。

43、介质时，首先需要打开进气口处的电磁阀，进一步的如需要控制气体介质的流量，那么控制进气口处的节流阀的开度即可；同样的，若将静压腔室内的气体介质排出时，首先需要打开排气口处的电磁阀，进一步的如需要控制气体介质的流量，那么控制排气口处的节流阀的开度即说明书6/12 页10CN 117484215 A10可；当然了，电磁阀以及节流阀也可设置为其他结构，只要能够实现同样的作用即可，不局限于本发明中电磁阀以及节流阀的限制。0033优选的，静压腔室21包括：第一静压腔室211、第二静压腔室212以及第三静压腔室213；第一静压腔室211位于转台本体20与壳体10之间，第二静压腔室212室位于壳体10与基座3。

44、0之间，第三静压腔室213位于驱动轴41与壳体10之间。0034具体的，气体静压转台100还包括：第二转台411；第二转台411套接在驱动轴41外侧，且位于基座30内部，第二转台411能够随驱动轴41进行同步转动；其中第二静压腔室212夹设在第二转台411与壳体10之间；气体静压转台100在工作时，会向第一静压腔室211、第二静压腔室212以及第三静压腔室213通入气体介质，能够避免转台本体20、第二转台411以及驱动轴41在转动过程中与基座30之间发生的碰撞，第一静压腔室211、第二静压腔室212以及第三静压腔室213内的气体介质起到了有效的防护作用。0035进一步的，进气口11包括：第一进。

45、气口111、第二进气口112以及第三进气口113；排气口12包括：第一排气口121、第二排气口122以及第三排气口123；其中，第一进气口111以及第一排气口121与第一静压腔室211连通，且气体介质能够通过第一进气口111流向第一静压腔室211中，同时可由第一排气口121排出至第一静压腔室211外；第二进气口112以及第二排气口122与第二静压腔室212连通，且气体介质能够通过第二进气口112流向第二静压腔室212中，同时可由第二排气口122排出至第二静压腔室212外；同样的，第三进气口113以及第三排气口123与第三静压腔室213连通，且气体介质能够通过第三进气口113流向第三静压腔室21。

46、3中，同时可由第三排气口123排出至第三静压腔室213外。0036再进一步的，在第一进气口111、第二进气口112以及第三进气口113的位置均设置有第一调节开关以及第二调节开关；在第一排气口121、第二排气口122以及第三排气口123处均设置有第三调节开关以及第四调节开关；同时，在本发明中，第一进气口111、第二进气口112、第三进气口113、第一排气口121、第二排气口122以及第三排气口123间隔设置在壳体10四周，同时第一进气口111以及第二进气口112设置有两个，第三进气口113、第一排气口121、第二排气口122以及第三排气口123各设置有一个；需要说明的是，在本发明中，进气口11以。

47、及排气口12设置的个数目的在于方便气体介质的输送，当然了，也可以设置为别的个数，不局限于本发明中的个数限定。0037优选的，气体静压转台100还包括：密封结构50；密封结构50设置在转台本体20与壳体10之间，密封结构50用于实现转台本体20与壳体10之间的密封。第二实施例0038本发明第二实施例在上述实施例的基础上提供了一种气体静压转台的控制方法，具体的，参见图4，控制方法包括：S10：在气体静压转台运行前，获取第一静压腔室的第一初始压力值F初 始1与第二静压腔室的第二初始压力值F初 始2；同时在气体静压转台运行时，获取第一静压腔室的第一压力值F1与第二静压腔室的第二压力值F2；S20：根据。

48、第一初始压力值F初 始1与第二初始压力值F初 始2得到气体静压转台运行前第一静压腔室以及第二静压腔室的初始压力差值F初 始；根据第一压力值F1与第二压力值F2得到气体静压转台运行时第一静压腔室以及第二静压腔室的运行压力差值F1；S30：根据初始压力差值F初 始、运行压力差值F1以及预设压力差值F0，判断气说明书7/12 页11CN 117484215 A11体静压转台是否满足压力调节条件；S40：若是，则控制补气装置和/或排气装置对第一静压腔室以及第二静压腔室内的气体压力进行调节；S50：若否，则控制气体静压转台维持当前状态继续运行。0039可以理解的是，在S10S50中，通过获取气体静压转台。

49、运行前第一静压腔室与第二静压腔室内的第一初始压力值F初 始1与第二初始压力值F初 始2，并且由第一初始压力值F初 始1与第二初始压力值F初 始2得到气体静压转台在运行前的初始压力差值F初 始；进一步的还获取了气体静压转台运行过程中的第一压力值F1与第二压力值F2，并且由第一压力值F1与第二压力值F2得到了运行压力差值 F1，最终由初始压力差值 F初 始与运行压力差值 F1的大小，能够得到第一静压腔室与第二静压腔室内的压力变化情况，并且通过控制补气装置或者排气装置对第一静压腔室以及第二静压腔室内的气体压力进行实时调节，以保证气体静压转台运行的稳定。0040需要说明的是，在本发明中，补气装置与排气。

50、装置在调节静压腔室气体压力时，调节的是第一静压腔室以及第二静压腔室内的气体压力；具体的，第一静压腔室与第二静压腔室设置在竖直方向，静压转台中起到了支撑作用，第一静压腔室与第二静压腔室内部的机体介质的压力大小会对静压转台的支撑刚性起到影响，因此为保证气体静压转台的刚性需求，需要获取第一静压腔室与第二静压腔室内的气体介质的压力；而由于第三静压腔室设置在驱动轴与壳体之间，其目的是在气体静压转台运行时，防止驱动轴以及转台本体在转动过程中左右方向上出现对的晃动，第三静压腔室内部的气体介质的压力大小对转台本体支撑刚性的影响较小，因而不需要获取第三静压腔室内气体压力的大小。0041优选的，第一静压腔室具有承。