激活盘面.pdf

《激活盘面.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《激活盘面.pdf（6页完成版）》请在专利查询网上搜索。

1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201921804789.0 (22)申请日 2019.10.25 (73)专利权人 上海先普气体技术有限公司 地址 201108 上海市闵行区金都路4299号6 号楼6224室 (72)发明人 江晓松 (74)专利代理机构 上海怡恩专利代理事务所 (普通合伙) 31336 代理人 周渭铭 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) F17D 1/02(2006.01) F17D 3/01(2006.01) (54)实用新型名称 激活盘面 (57)摘要 本实用。

2、新型公开了激活盘面， 属于半导体技 术领域。 它包括底座和与底座顶部一侧相固定的 固定板， 固定板上固定安装有进气管， 且进气管 上连通有进气阀， 且进气管上连通有进气阀， 进 气管上通过三通管连通有第一管路， 第一管路一 端端部连通有压力表， 第一管路另一端端部通过 四通管分别连通有三个第二管路， 每个第二管路 的端部分别连通有手动阀， 每个手动阀的另一端 分别连通有软管,底座上固定安装有纯化器本 体。 本实用新型主要采用多个并联激活的方式， 来代替现有的单个激活方式， 从而使得整个GC系 列纯化器内部的物质的激活效率得到提高， 另外 每个纯化器还单独配置再生排气装置， 保证了激 活效果。 。

3、权利要求书1页 说明书2页 附图2页 CN 210692494 U 2020.06.05 CN 210692494 U 1.激活盘面， 包括底座和与底座顶部一侧相固定的固定板， 其特征在于： 所述固定板上 固定安装有进气管， 且所述进气管上连通有进气阀， 所述进气管上通过三通管连通有第一 管路， 所述第一管路一端端部连通有压力表， 所述第一管路另一端端部通过四通管分别连 通有三个第二管路， 每个所述第二管路的端部分别连通有手动阀， 每个所述手动阀的另一 端分别连通有软管,所述底座上固定安装有纯化器本体， 每个位于手动阀一端上的软管的 一端与纯化器本体进气端相连通， 所述固定板上还固定连接有横板。

4、， 所述横板上固定安装 有多个流量计， 所述流量计进气端也通过软管与纯化器本体出气端相连通。 2.根据权利要求1所述的激活盘面， 其特征在于： 所述纯化器本体进气端和出气端均位 于纯化器本体的顶部。 3.根据权利要求1所述的激活盘面， 其特征在于： 所述进气管的一端端部连通有接头， 所述接头与外部气源相连通。 4.根据权利要求1所述的激活盘面， 其特征在于： 每个所述软管上也连通有接头， 位于 每个软管上的接头与位于纯化器本体进气端或出气端上的接头相连通。 5.根据权利要求1所述的激活盘面， 其特征在于： 所述底座上开设有多个放置槽， 每个 所述纯化器本体放置在放置槽内。 权利要求书 1/1 。

5、页 2 CN 210692494 U 2 激活盘面 技术领域 0001 本实用新型涉及激活盘面， 属于半导体技术领域。 背景技术 0002 在半导体行业， GC系列纯化器内部的物质需要进行激活操作， 但是现有技术中的 激活操作， 主要采用的方式是单个激活的方式， 此方式中由于单个激活的方式是唯一途径， 继而一旦该激活方式中的仪器仪表受到损坏， 得不到及时的维修， 会使得整个GC系列纯化 器内部的物质的激活效率降低。 发明内容 0003 本实用新型所要解决的技术问题在于： 提供激活盘面， 它解决了由于单个激活的 方式是唯一途径， 继而一旦该激活方式中的仪器仪表受到损坏， 得不到及时的维修， 会使。

6、得 整个GC系列纯化器内部的物质的激活效率降低的问题。 0004 本实用新型所要解决的技术问题采取以下技术方案来实现： 0005 激活盘面， 包括底座和与底座顶部一侧相固定的固定板， 所述固定板上固定安装 有进气管， 且所述进气管上连通有进气阀， 所述进气管上通过三通管连通有第一管路， 所述 第一管路一端端部连通有压力表， 所述第一管路另一端端部通过四通管分别连通有三个第 二管路， 每个所述第二管路的端部分别连通有手动阀， 每个所述手动阀的另一端分别连通 有软管,所述底座上固定安装有纯化器本体， 每个位于手动阀一端上的软管的一端与纯化 器本体 进气端相连通， 所述固定板上还固定连接有横板， 所。

7、述横板上固定安装有多个流量 计， 所述流量计进气端也通过软管与纯化器本体出气端相连通。 0006 作为优选实例， 所述纯化器本体进气端和出气端均位于纯化器本体的顶部。 0007 作为优选实例， 所述进气管的一端端部连通有接头， 所述接头与外部气源相连通。 0008 作为优选实例， 每个所述软管上也连通有接头， 位于每个软管上的接头与位于纯 化器本体进气端或出气端上的接头相连通。 0009 作为优选实例， 所述底座上开设有多个放置槽， 每个所述纯化器本体放置在放置 槽内。 0010 本实用新型的有益效果是： 本实用新型主要采用多个并联激活的方式， 来代替现 有的单个激活方式， 从而使得整个GC系。

8、列纯化器内部的物质的激活效率得到提高， 另外每 个纯化器还单独配置再生排气装置， 保证了激活效果。 附图说明 0011 图1为本实用新型的结构示意图； 0012 图2为图1中A部分的结构示意图。 0013 图中： 底座1、 固定板2、 进气管3、 第一管路4、 压力表5、 第二管路6、 手动阀7、 进气阀 8、 软管9、 纯化器本体10、 横板11、 流量计12、 放置槽13。 说明书 1/2 页 3 CN 210692494 U 3 具体实施方式 0014 为了对本实用新型的技术手段、 创作特征、 达成目的与功效易于明白了解， 下面结 合具体图示， 进一步阐述本实用新型。 0015 如图1-。

9、2所示， 激活盘面， 包括底座1和与底座1顶部一侧相固定的固定板2， 固定板 2上固定安装有进气管3， 且进气管3上连通有进气阀8， 进气管3上通过三通管连通有第一管 路4， 第一管路4一端端部连通有压力表5， 第一管路4另一端端部通过四通管分别连通有三 个第二管路6， 每个第二管路6的端部分别连通有手动阀7， 每个手动阀7的另一端分别连通 有软管9,底座1上固定安装有纯化器本体10， 每个位于手动阀7一端上的软管9的一端与纯 化器本体10 进气端相连通， 固定板2上还固定连接有横板11， 横板11上固定安装有多个流 量计12， 流量计12进气端也通过软管9与纯化器本体10出气端相连通。 00。

10、16 纯化器本体10进气端和出气端均位于纯化器本体10的顶部。 0017 进气管3的一端端部连通有接头， 接头与外部气源相连通。 0018 每个软管9上也连通有接头， 位于每个软管9上的接头与位于纯化器本体10进气端 或出气端上的接头相连通。 0019 底座1上开设有多个放置槽13， 每个纯化器本体10放置在放置槽13内。 0020 流量计12为带针阀的浮子流量计， 且该流量计12的一端还连接有使用管路， 利用 该使用管路的端部所出的气体进行下一步工序。 0021 工作原理： 首先打开进气阀8， 使气体经过进气管3进入第一管路4内， 此时压力表5 显示压力， 接着开启其中一个第二管路6上的手动。

11、阀7， 且使小流量的气体依次经过第一管 路4、 四通管、 第二管路6、 手动阀7和软管9， 然后从纯化器本体10进气端进入纯化器本体10 中进行激活作业， 激活完毕后， 激活后的气体依次经过纯化器本体10出气端、 软管9和流量 计12， 接着打开位于流量计12上的针阀， 保证气体从流量计12排出， 调节流量计12上的针 阀， 保证激活流量， 从而提高每个纯化器均能充分激活的情况。 0022 以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。 本行 业的技术人员应该了解， 本实用新型不受上述实施例的限制， 在不脱离本实用新型精神和 范围的前提下， 本实用新型还会有各种变化和改进， 这些变化和改进都落入要求保护的本 实用新型范围内。 本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。 说明书 2/2 页 4 CN 210692494 U 4 图1 说明书附图 1/2 页 5 CN 210692494 U 5 图2 说明书附图 2/2 页 6 CN 210692494 U 6 。