光学真空镀膜用冷却装置.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201921770288.5 (22)申请日 2019.10.22 (73)专利权人 常州鑫立离子技术有限公司 地址 213114 江苏省常州市天宁区郑陆镇 青松村 (72)发明人 陈晓东 (51)Int.Cl. C23C 14/22(2006.01) (54)实用新型名称 一种光学真空镀膜用冷却装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种光学真空镀膜用冷 却装置， 包括镀膜箱， 所述镀膜箱的内部设有真 空室， 所述真空室的底端设有托盘,所述托盘的 底端设有第二电动伸缩杆， 所述镀膜。

2、箱的顶端安 装有抽真空装置， 所述抽真空装置的两侧均设有 第一离心风机， 所述第一离心风机上连接有抽吸 管， 该镀膜机的冷却装置采用两个冷凝箱， 分别 安装在镀膜机的底部和一侧上， 当需要降温的时 候， 底部的冷凝箱将冷气传送到真空室的底部， 冷气从底部将热气挤压到真空室顶部， 然后通过 顶部的离心风机将热气输送到侧边的冷凝箱内 将热气进行降温后排出， 从而降低室外的温度， 与此同时镀膜件可以来回的旋转， 提高冷却镀膜 件的效率， 也提高镀膜的质量， 让镀膜更加均匀。 权利要求书2页 说明书4页 附图2页 CN 210683923 U 2020.06.05 CN 210683923 U 1.一。

3、种光学真空镀膜用冷却装置， 包括镀膜箱 （1） ， 其特征在于： 所述镀膜箱 （1） 的内部 设有真空室 （2） ， 所述真空室 （2） 的底端设有托盘 （11） ,所述托盘 （11） 的底端设有第二电动 伸缩杆 （25） ， 所述镀膜箱 （1） 的顶端安装有抽真空装置 （6） ， 所述抽真空装置 （6） 的两侧均设 有第一离心风机 （7） ， 所述第一离心风机 （7） 上连接有抽吸管 （8） ， 所述抽吸管 （8） 的一端连 接有第二冷凝箱 （19） ， 所述镀膜箱 （1） 的两侧均设有第二离心风机 （15） ， 所述第二离心风机 （15） 上连接有进气管 （14） ， 所述进气管 （14）。

4、 的一端安装有电磁阀 （13） ， 所述第二离心风机 （15） 的顶端安装有制动箱 （24） ， 所述制动箱 （24） 的内部安装有电机 （21） ， 所述电机 （21） 的 一端连接有第一电动伸缩杆 （17） ， 所述第一电动伸缩杆 （17） 上固定有轴承 （18） 和镀膜件固 定头 （16） ， 所述镀膜箱 （1） 的底部设有第一冷凝箱 （9） ， 所述第一冷凝箱 （9） 的底端设有控制 箱 （22） ， 所述真空室 （2） 的两侧均设有出风板 （23） ， 所述镀膜箱 （1） 上连接有真空门 （3） ， 所 述真空门 （3） 的中部设有可视窗 （4） ， 所述可视窗 （4） 的顶端和底端。

5、均安装有加热器 （5） ， 所 述镀膜箱 （1） 的背面安装有电子枪 （12） ， 所述镀膜箱 （1） 的底端四个拐角处均焊接有支撑杆 （10） 。 2.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜用冷却装置， 其特征在于： 所述制动箱 （24） 焊接在所述镀膜箱 （1） 的两侧上， 所述电机 （21） 通过螺栓固定在所述制动箱 （24） 的内部， 所 述轴承 （18） 固定在所述制动箱 （24） 的一端上， 所述第一电动伸缩杆 （17） 固定在轴承 （18） 上 并与所述电机 （21） 的转轴固定相连， 所述镀膜件固定头 （16） 焊接在所述第一电动伸缩杆 （17） 上。 3.根据权利要求1所述的一。

6、种光学真空镀膜用冷却装置， 其特征在于： 所述第一离心风 机 （7） 和第二离心风机 （15） 均通过螺栓固定在所述镀膜箱 （1） 上， 所述第一离心风机 （7） 通 过抽吸管 （8） 与所述第二冷凝箱 （19） 和真空室 （2） 相连， 所述第二离心风机 （15） 通过进气管 （14） 与真空室 （2） 和第一冷凝箱 （9） 相连。 4.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜用冷却装置， 其特征在于： 所述第一冷凝箱 （9） 和第二冷凝箱 （19） 内均设有水箱、 压缩机、 冷凝管和冷凝器， 所述第一冷凝箱 （9） 和第二 冷凝箱 （19） 均通过螺栓固定在镀膜箱 （1） 上。 5.根据权利要。

7、求1所述的一种光学真空镀膜用冷却装置， 其特征在于： 所述真空门 （3） 通过铰链和密封垫与所述镀膜箱 （1） 固定相连， 所述加热器 （5） 通过螺栓固定在所述真空门 （3） 上。 6.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜用冷却装置， 其特征在于： 所述电子枪 （12） 通过螺栓安装在所述镀膜箱 （1） 的背面上， 所述电子枪 （12） 设有正负两极， 所述抽真空装置 （6） 包括机械泵、 罗茨泵和扩散泵， 并与所述真空室 （2） 相连。 7.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜用冷却装置， 其特征在于： 所述托盘 （11） 与 所述第二电动伸缩杆 （25） 通过螺栓固定相连， 所述第二电动。

8、伸缩杆 （25） 通过螺栓固定在所 述镀膜箱 （1） 的底部上。 8.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜用冷却装置， 其特征在于： 所述第一冷凝箱 （9） 的一侧设有电源开关 （20） ， 所述电源开关 （20） 分别与所述第一电动伸缩杆 （17） 、 第二电 动伸缩杆 （25） 、 电机 （21） 、 第一冷凝箱 （9） 、 第二冷凝箱 （19） 、 第一离心风机 （7） 、 第二离心风 机 （15） 和电磁阀 （13） 电性连接。 9.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜用冷却装置， 其特征在于： 所述控制箱 （22） 权利要求书 1/2 页 2 CN 210683923 U 2 分别与。

9、所述加热器 （5） 、 电子枪 （12） 和抽真空装置 （6） 电性连接。 权利要求书 2/2 页 3 CN 210683923 U 3 一种光学真空镀膜用冷却装置 技术领域 0001 本实用新型涉及真空镀膜领域， 具体为一种光学真空镀膜用冷却装置。 背景技术 0002 真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料， 使其蒸发并凝结于镀件 （金属、 半导体或绝缘体） 表面而形成薄膜的一种方法。 真空镀膜往往采用真空镀膜机进行 镀膜， 而现有的真空镀膜机在冷却方面性能差， 不能有效快速的将真空室内的温度抽走， 不 能将抽走的温度进行降温， 防止外界温度过高对镀膜机造成影响， 不能对镀膜件进行。

10、有效 的冷却降温， 冷却效果差， 效率低， 速度慢。 发明内容 0003 本实用新型的目的是针对现有技术的缺陷， 提供一种光学真空镀膜用冷却装置， 以解决上述背景技术提出的问题。 0004 为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 一种光学真空镀膜用冷却装置， 包括镀膜箱， 所述镀膜箱的内部设有真空室， 所述真空室的底端设有托盘,所述托盘的底端 设有第二电动伸缩杆， 所述镀膜箱的顶端安装有抽真空装置， 所述抽真空装置的两侧均设 有第一离心风机， 所述第一离心风机上连接有抽吸管， 所述抽吸管的一端连接有第二冷凝 箱， 所述镀膜箱的两侧均设有第二离心风机， 所述第二离心风机上连接有进气管， 。

11、所述进气 管的一端安装有电磁阀， 所述第二离心风机的顶端安装有制动箱， 所述制动箱的内部安装 有电机， 所述电机的一端连接有第一电动伸缩杆， 所述第一电动伸缩杆上固定有轴承和镀 膜件固定头， 所述镀膜箱的底部设有第一冷凝箱， 所述第一冷凝箱的底端设有控制箱， 所述 真空室的两侧均设有出风板， 所述镀膜箱上连接有真空门， 所述真空门的中部设有可视窗， 所述可视窗的顶端和底端均安装有加热器， 所述镀膜箱的背面安装有电子枪， 所述镀膜箱 的底端四个拐角处均焊接有支撑杆。 0005 作为本实用新型的一种优选技术方案， 所述制动箱焊接在所述镀膜箱的两侧上， 所述电机通过螺栓固定在所述制动箱的内部， 所述。

12、轴承固定在所述制动箱的一端上， 所述 第一电动伸缩杆固定在轴承上并与所述电机的转轴固定相连， 所述镀膜件固定头焊接在所 述第一电动伸缩杆上。 0006 作为本实用新型的一种优选技术方案， 所述第一离心风机和第二离心风机均通过 螺栓固定在所述镀膜箱上， 所述第一离心风机通过抽吸管与所述第二冷凝箱和真空室相 连， 所述第二离心风机通过进气管与真空室和第一冷凝箱相连。 0007 作为本实用新型的一种优选技术方案， 所述第一冷凝箱和第二冷凝箱内均设有水 箱、 压缩机、 冷凝管和冷凝器， 所述第一冷凝箱和第二冷凝箱均通过螺栓固定在镀膜箱上。 0008 作为本实用新型的一种优选技术方案， 所述真空门通过铰。

13、链和密封垫与所述镀膜 箱固定相连， 所述加热器通过螺栓固定在所述真空门上。 0009 作为本实用新型的一种优选技术方案， 所述电子枪通过螺栓安装在所述镀膜箱的 说明书 1/4 页 4 CN 210683923 U 4 背面上， 所述电子枪设有正负两极， 所述抽真空装置包括机械泵、 罗茨泵和扩散泵， 所述扩 散泵与所述真空室相连。 0010 作为本实用新型的一种优选技术方案， 所述托盘与所述第二电动伸缩杆通过螺栓 固定相连， 所述第二电动伸缩杆通过螺栓固定在所述镀膜箱的底部上。 0011 作为本实用新型的一种优选技术方案， 所述第一冷凝箱的一侧设有电源开关， 所 述电源开关分别与所述第一电动伸缩。

14、杆、 第二电动伸缩杆、 电机、 第一冷凝箱、 第二冷凝箱、 第一离心风机、 第二离心风机和电磁阀电性连接。 0012 作为本实用新型的一种优选技术方案， 所述控制箱分别与所述加热器、 电子枪和 抽真空装置电性连接。 0013 本实用新型的有益效果是： 该镀膜机的冷却装置采用两个冷凝箱， 分别安装在镀 膜机的底部和一侧上， 当需要降温的时候， 底部的冷凝箱将冷气传送到真空室的底部， 冷气 从底部将热气挤压到真空室顶部， 然后通过顶部的离心风机将热气输送到侧边的冷凝箱内 将热气进行降温后排出， 从而降低室外的温度， 与此同时镀膜件可以来回的旋转， 提高冷却 镀膜件的效率， 也提高镀膜的质量， 让镀。

15、膜更加均匀。 附图说明 0014 图1为本实用新型的结构示意图； 0015 图2为本实用新型制动箱的内部结构示意图； 0016 图3为本实用新型托盘的连接结构示意图； 0017 图中： 1、 镀膜箱， 2、 真空室， 3、 真空门， 4、 可视窗， 5、 加热器， 6、 抽真空装置， 7、 第一 离心风机， 8、 抽吸管， 9、 第一冷凝箱， 10、 支撑杆， 11、 托盘， 12、 电子枪， 13、 电磁阀， 14、 进气 管， 15、 第二离心风机， 16、 镀膜件固定头， 17、 电动伸缩杆， 18、 轴承， 19、 第二冷凝箱， 20、 电 源开关， 21、 电机， 22、 控制箱， 。

16、23、 出风板， 24、 制动箱， 25、 第二电动伸缩杆。 具体实施方式 0018 下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述， 以使本实用新型的优点 和特征能更易被本领域人员理解， 从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界 定。 0019 实施例： 请参阅图1-3， 本实用新型提供一种技术方案： 一种光学真空镀膜用冷却 装置， 包括镀膜箱1， 镀膜箱1的内部设有真空室2， 真空室2的底端设有托盘11,托盘11的底 端设有第二电动伸缩杆25， 镀膜箱1的顶端安装有抽真空装置6， 抽真空装置6的两侧均设有 第一离心风机7， 第一离心风机7上连接有抽吸管8， 抽吸管8的一端连接有第二。

17、冷凝箱19， 镀 膜箱1的两侧均设有第二离心风机15， 第二离心风机15上连接有进气管14， 进气管14的一端 安装有电磁阀13， 第二离心风机15的顶端安装有制动箱24， 制动箱24的内部安装有电机21， 电机21的一端连接有第一电动伸缩杆17， 第一电动伸缩杆17上固定有轴承18和镀膜件固定 头16， 镀膜箱1的底部设有第一冷凝箱9， 第一冷凝箱9的底端设有控制箱22， 真空室2的两侧 均设有出风板23， 镀膜箱1上连接有真空门3， 真空门3的中部设有可视窗4， 可视窗4的顶端 和底端均安装有加热器5， 镀膜箱1的背面安装有电子枪12， 镀膜箱1的底端四个拐角处均焊 接有支撑杆10。 说明。

18、书 2/4 页 5 CN 210683923 U 5 0020 制动箱24焊接在镀膜箱1的两侧上， 电机21通过螺栓固定在制动箱24的内部， 轴承 18固定在制动箱24的一端上， 第一电动伸缩杆17固定在轴承18上并与电机21的转轴固定相 连， 镀膜件固定头16焊接在第一电动伸缩杆17上， 镀膜件可以通过第一电动伸缩杆17上的 镀膜件固定头16进行固定， 也可以通过电机21带动第一电动伸缩杆17正反旋转， 从而带动 镀膜件来回旋转， 提高镀膜件的镀膜质量， 也提高镀膜件的冷却效率。 0021 第一离心风机7和第二离心风机15均通过螺栓固定在镀膜箱1上， 第一离心风机7 通过抽吸管8与第二冷凝箱。

19、19和真空室2相连， 第二离心风机15通过进气管14与真空室2和 第一冷凝箱9相连， 第一离心风机7将真空室2内的热量抽吸走， 第二离心风机15将第一冷凝 箱9内的冷气抽吸到真空室2内。 0022 第一冷凝箱9和第二冷凝箱19内均设有水箱、 压缩机、 冷凝管和冷凝器， 第一冷凝 箱9和第二冷凝箱19均通过螺栓固定在镀膜箱1上， 空气通过压缩机压缩然后通过冷凝器制 冷的冷凝管， 从而让空气产生冷气。 0023 真空门3通过铰链和密封垫与镀膜箱1固定相连， 加热器5通过螺栓固定在真空门3 上， 在镀膜的时候， 加热器5通过真空室2内设置的温度传感器和控制器控制并检测真空室2 的温度， 让真空室2内。

20、的温度处于恒温状态。 0024 电子枪12通过螺栓安装在镀膜箱1的背面上， 电子枪12设有正负两极， 抽真空装置 6包括机械泵、 罗茨泵和扩散泵， 并与真空室2相连， 利用高压电柜给电子枪12提供电源， 托 盘11与第二电动伸缩杆25通过螺栓固定相连， 第二电动伸缩杆25通过螺栓固定在镀膜箱1 的底部上， 托盘11上安装有坩埚， 让电子枪12产生高强的电流溶解托盘11上的坩埚内的镀 膜材料， 使其雾化挥发， 从而给镀膜件进行镀膜， 控制箱22依次打开机械泵、 罗茨泵和扩散 泵， 并将真空室2抽成真空状态， 并通过镀膜箱1外设置的真空计进行真空检测， 利用第二电 动伸缩杆25可以将托盘11升高到。

21、合适的高度， 不仅有利于对镀膜件的安装， 也能调节坩埚 到合适的高度。 0025 第一冷凝箱9的一侧设有电源开关20， 电源开关20分别与第一电动伸缩杆17、 第二 电动伸缩杆25、 电机21、 第一冷凝箱9、 第二冷凝箱19、 第一离心风机7、 第二离心风机15和电 磁阀13电性连接， 通过电源开关20分别接通第一电动伸缩杆17、 第二电动伸缩杆25、 电机 21、 第一冷凝箱9、 第二冷凝箱19、 第一离心风机7、 第二离心风机15和电磁阀13的电源。 0026 控制箱22分别与加热器5、 电子枪12和抽真空装置6电性连接， 通过控制箱22分别 接通加热器5、 电子枪12和抽真空装置6的电。

22、源。 0027 工作原理： 一种光学真空镀膜用冷却装置， 包括镀膜箱1、 真空室2、 真空门3、 可视 窗4、 加热器5、 抽真空装置6、 第一离心风机7、 抽吸管8、 第一冷凝箱9、 支撑杆10、 托盘11、 电 子枪12、 电磁阀13、 进气管14、 第二离心风机15、 镀膜件固定头16、 第一电动伸缩杆17、 轴承 18、 第二冷凝箱19、 电源开关20、 电机21、 控制箱22、 出风板23、 制动箱24和第二电动伸缩杆 25， 当镀膜完成后， 需要冷却的时候， 通过电源开关20打开第一冷凝箱9、 第二冷凝箱19、 第 一离心风机7、 第二离心风机15和电磁阀13的电源开关， 让第一冷。

23、凝箱9内的冷凝器工作将 空气压缩制冷并利用第二离心风机15将冷气输送到出风板23上， 出风板23将冷气从真空室 2的底部排出， 与此同时第一离心风机7通电工作将真空室2内的热气通过抽吸管8抽吸到第 二冷凝箱19内， 第二冷凝箱19对热气进行压缩制冷， 然后排出， 真空室2底部的冷气不断的 增多会挤压热量上移， 有利于第一离心风机7快速将热量输送走， 提高冷却效率， 而且还可 说明书 3/4 页 6 CN 210683923 U 6 以通过电机21的制动， 电机21为正反转电机， 可以带动第一电动伸缩杆17围绕轴承18旋转， 从而带动镀膜件固定头16上的镀膜件旋转， 不仅提高冷却效率， 而且在镀。

24、膜的过程也提高 镀膜的质量， 让镀膜件镀膜的更加均匀。 0028 该镀膜机的冷却装置采用两个冷凝箱， 分别安装在镀膜机的底部和一侧上， 当需 要降温的时候， 底部的冷凝箱将冷气传送到真空室的底部， 冷气从底部将热气挤压到真空 室顶部， 然后通过顶部的离心风机将热气输送到侧边的冷凝箱内将热气进行降温后排出， 从而降低室外的温度， 与此同时镀膜件可以来回的旋转， 提高冷却镀膜件的效率， 也提高镀 膜的质量， 让镀膜更加均匀。 0029 以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式， 其描述较为具体和详细， 但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。 应当指出的是， 对于本领域的普通技 术人员来说， 在不脱离本实用新型构思的前提下， 还可以做出若干变形和改进， 这些都属于 本实用新型的保护范围。 说明书 4/4 页 7 CN 210683923 U 7 图1 图2 说明书附图 1/2 页 8 CN 210683923 U 8 图3 说明书附图 2/2 页 9 CN 210683923 U 9 。