单晶硅棒搬运机构.pdf
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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201921604206.X (22)申请日 2019.09.25 (73)专利权人 扬州方通电子材料科技有限公司 地址 225603 江苏省扬州市高邮经济开发 区洞庭湖路 (72)发明人 蔡建名 (74)专利代理机构 北京盛凡智荣知识产权代理 有限公司 11616 代理人 商祥淑 (51)Int.Cl. B62B 3/02(2006.01) B62B 3/04(2006.01) B62B 3/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种单晶硅棒搬运机构 (57)摘要 本实。
2、用新型公开了一种单晶硅棒搬运机构, 包括框架, 所述框架的底部一端设有滚轮和万向 轮, 所述框架的端部设有推手, 所述框架的顶部 设有挡板和凸起, 所述凸起的顶部设有挡块凹 槽, 所述挡块凹槽内插接设有挡块, 所述挡块的 顶部和底部分别设有若干弧形缺口, 所述弧形缺 口上设有相互配合的箍紧装置和挂钩凹槽, 所述 箍紧装置包括凹槽, 所述凹槽内转动连接设有收 紧转轴, 所述收紧转轴一端连接设有收紧弹簧, 所述收紧转轴的另一端设有收紧带, 所述收紧带 的另一端设有套环, 所述收紧弹簧的上方设有限 位转轴, 所述挡块的端部设有贯穿挡块的叉车 孔, 所述框架的底部靠近万向轮的一侧设有柜 体。 本实用新。
3、型的优点在于: 可以对不同直径的 单晶硅棒进行搬运。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 210502768 U 2020.05.12 CN 210502768 U 1.一种单晶硅棒搬运机构, 包括框架(1), 所述框架(1)的底部一端设有一对滚轮(2), 另一端设有一对万向轮(3), 所述框架(1)的端部靠近万向轮(3)的一侧设有推手(4), 其特 征在于: 所述框架(1)的顶部设有挡板(20)和若干凸起(5), 所述挡板(20)设于靠近推手(4) 的一端, 所述凸起(5)的顶部设有挡块凹槽(6), 所述挡块凹槽(6)内插接设有挡块(7), 所述 挡块(7)的顶部和底部分别设有若干弧。
4、形缺口(8), 所述弧形缺口(8)上设有相互配合的箍 紧装置(15)和挂钩凹槽(16), 所述箍紧装置包括凹槽(15.10), 所述凹槽(15.10)内转动连 接设有收紧转轴(15.1), 所述收紧转轴(15.1)一端连接设有收紧弹簧(15.2), 所述收紧弹 簧(15.2)的别一端和挡块(7)连接, 所述收紧转轴(15.1)的另一端设有收紧带(15.9), 所述 收紧带(15.9)的另一端设有套环(15.11), 所述收紧弹簧(15.2)的上方设有限位转轴 (15.3), 所述限位转轴(15.3)上设有可单向转动的限位齿轮(15.4), 所述限位齿轮(15.4) 和收紧弹簧(15.2)位于挡。
5、块(7)的同一侧, 所述限位齿轮(15.4)的侧面靠近弧形缺口(8)的 一侧设有卡扣转轴(15.5), 所述卡扣转轴(15.5)上转动连接设有和限位齿轮(15.4)相配合 限位卡扣(15.6), 所述限位卡扣(15.6)靠近弧形缺口(8)的一侧设有限位弹簧(15.7)所述 限位弹簧(15.7)的另一端和挡块(7)连接, 所述限位齿轮(15.4)的一侧设有阻尼套管 (15.8), 所述阻尼套管(15.8)和收紧带(15.9)位于挡块(7)的同一侧, 所述挡块(7)的端部 设有贯穿挡块(7)的叉车孔(14), 所述框架(1)的底部靠近万向轮(3)的一侧设有柜体(9), 所述柜体(9)的两侧设有翻转。
6、门(10), 所述翻转门(10)上设有内凹式拉手(11), 所述柜体 (9)内设有若干和挡块(7)相配合的挡块存储槽(12)。 2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒搬运机构, 其特征在于: 所述箍紧装置(15)和挂 钩凹槽(16)设于挡块(7)的内部。 3.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒搬运机构, 其特征在于: 所述挡板(20)远离推手 的一侧设有防撞凹槽(13)。 权利要求书 1/1 页 2 CN 210502768 U 2 一种单晶硅棒搬运机构 技术领域 0001 本实用新型涉及搬运装置领域, 具体是指一种单晶硅棒搬运机构。 背景技术 0002 单晶硅棒是生产单晶硅圆片的材料, 单晶硅圆。
7、片的直径越大, 所能刻制的集成电 路越多, 芯片的成本也就越低, 目前市场上主流的产品是直径200mm, 逐渐向300mm过渡, 研 制水平达到400mm-450mm, 单晶硅棒在生产完成后还要经过多项测试, 才能放到切割机器上 切割成单晶硅圆片, 并且随着多次投料技术的成熟, 单晶硅棒的重量也在不断增加, 传统的 人工搬运已经不适合当前的环境了, 所以针对不同直径单晶硅棒的搬运机构亟待研究。 实用新型内容 0003 本实用新型要解决的技术问题是克服以上困难提供一种可以对不同直径的单晶 硅棒进行搬运的一种单晶硅棒搬运机构。 0004 为解决上述技术问题, 本实用新型提供的技术方案为: 一种单晶。
8、硅棒搬运机构, 包 括框架, 所述框架的底部一端设有一对滚轮, 另一端设有一对万向轮, 所述框架的端部靠近 万向轮的一侧设有推手, 所述框架的顶部设有挡板和若干凸起, 所述挡板设于靠近推手的 一端, 所述凸起的顶部设有挡块凹槽, 所述挡块凹槽内插接设有挡块, 所述挡块的顶部和底 部分别设有若干弧形缺口, 所述弧形缺口上设有相互配合的箍紧装置和挂钩凹槽, 所述箍 紧装置包括凹槽, 所述凹槽内转动连接设有收紧转轴, 所述收紧转轴一端连接设有收紧弹 簧, 所述收紧弹簧的别一端和挡块连接, 所述收紧转轴的另一端设有收紧带, 所述收紧带的 另一端设有套环, 所述收紧弹簧的上方设有限位转轴, 所述限位转轴。
9、上设有可单向转动的 限位齿轮, 所述限位齿轮和收紧弹簧位于挡块的同一侧, 所述限位齿轮的侧面靠近弧形缺 口的一侧设有卡扣转轴, 所述卡扣转轴上转动连接设有和限位齿轮相配合限位卡扣, 所述 限位卡扣靠近弧形缺口的一侧设有限位弹簧所述限位弹簧的另一端和挡块连接, 所述限位 齿轮的一侧设有阻尼套管, 所述阻尼套管和收紧带位于挡块的同一侧, 所述挡块的端部设 有贯穿挡块的叉车孔, 所述框架的底部靠近万向轮的一侧设有柜体, 所述柜体的两侧设有 翻转门, 所述翻转门上设有内凹式拉手, 所述柜体内设有若干和挡块相配合的挡块存储槽。 0005 作为改进, 所述箍紧装置和挂钩凹槽设于挡块的内部。 0006 作为。
10、改进, 所述挡板远离推手的一侧设有防撞凹槽。 0007 本实用新型与现有技术相比的优点在于: 柜体可以用来放置暂时用不到的挡块, 挡板可以防止搬运过程中搬运车急停, 单晶硅棒向前滑动伤到工作人员, 提高搬运的安全 性, 凸起上设有挡块凹槽, 挡块凹槽用来插接挡块, 挡块上设有不同尺寸的弧形缺口, 可以 根据单晶硅棒的实际尺寸快速进行更换, 叉车孔可以用叉车快速的对单晶硅棒进行装卸, 箍紧装置和挂钩凹槽可以对搬运车上的单晶硅棒进行箍紧固定, 防止在搬运过程中掉落。 说明书 1/3 页 3 CN 210502768 U 3 附图说明 0008 图1是本实用新型一种单晶硅棒搬运机构的结构示意图。 0。
11、009 图2是本实用新型一种单晶硅棒搬运机构的结构示意图。 0010 图3是本实用新型一种单晶硅棒搬运机构箍紧装置和挂钩凹槽剖视图。 0011 图4是本实用新型一种单晶硅棒搬运机构图3中A处放大图。 0012 图5是本实用新型一种单晶硅棒搬运机构收紧带和阻尼套管剖视图。 0013 如图所示: 1、 框架, 2、 滚轮, 3、 万向轮, 4、 推手, 5、 凸起, 6、 挡块凹槽, 7、 挡块, 8、 弧 形缺口, 9、 柜体, 10、 翻转门, 11、 内凹式拉手, 12、 挡块存储槽, 13、 防撞凹槽, 14、 叉车孔, 15 箍紧装置, 15.1、 收紧转轴, 15.2、 收紧弹簧, 1。
12、5.3、 限位转轴, 15.4、 限位齿轮, 15.5、 卡扣转 轴, 15.6、 限位卡扣, 15.7、 限位弹簧, 15.8、 阻尼套管, 15.9、 收紧带, 15.10、 凹槽, 15.11、 套 环, 16、 挂钩凹槽, 20、 挡板。 具体实施方式 0014 下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明。 0015 结合附图15, 一种单晶硅棒搬运机构, 包括框架1, 所述框架1的底部一端设有一 对滚轮2, 另一端设有一对万向轮3, 所述框架1的端部靠近万向轮3的一侧设有推手4, 所述 框架1的顶部设有挡板20和若干凸起5, 所述挡板20设于靠近推手4的一端, 所述凸起5的顶 部设有。
13、挡块凹槽6, 所述挡块凹槽6内插接设有挡块7, 所述挡块7的顶部和底部分别设有若 干弧形缺口8, 所述弧形缺口8上设有相互配合的箍紧装置15和挂钩凹槽16, 所述箍紧装置 包括凹槽15.10, 所述凹槽15.10内转动连接设有收紧转轴15.1, 所述收紧转轴15.1一端连 接设有收紧弹簧15.2, 所述收紧弹簧15.2的别一端和挡块7连接, 所述收紧转轴15.1的另一 端设有收紧带15.9, 所述收紧带15.9的另一端设有套环15.11, 所述收紧弹簧15.2的上方设 有限位转轴15.3, 所述限位转轴15.3上设有可单向转动的限位齿轮15.4, 所述限位齿轮 15.4和收紧弹簧15.2位于挡。
14、块7的同一侧, 所述限位齿轮15.4的侧面靠近弧形缺口8的一侧 设有卡扣转轴15.5, 所述卡扣转轴15.5上转动连接设有和限位齿轮15.4相配合限位卡扣 15.6, 所述限位卡扣15.6靠近弧形缺口8的一侧设有限位弹簧15.7所述限位弹簧15.7的另 一端和挡块7连接, 所述限位齿轮15.4的一侧设有阻尼套管15.8, 所述阻尼套管15.8和收紧 带15.9位于挡块7的同一侧, 所述挡块7的端部设有贯穿挡块7的叉车孔14, 所述框架1的底 部靠近万向轮3的一侧设有柜体9, 所述柜体9的两侧设有翻转门10, 所述翻转门10上设有内 凹式拉手11, 所述柜体9内设有若干和挡块7相配合的挡块存储槽。
15、12。 0016 所述箍紧装置15和挂钩凹槽16设于挡块7的内部, 所述挡板20远离推手的一侧设 有防撞凹槽13。 0017 本实用新型在具体实施时, 根据单晶硅棒的尺寸, 将挡块7按照一定的间距平放在 地面上, 将单晶硅棒放置在挡块7上的弧形缺口8内, 用叉车叉到叉车孔内将放置有单晶硅 棒的挡块7叉起搬运到搬运机构上, 将放置有单晶硅棒的挡块7插接在挡块凹槽6内, 将收紧 带15.9向上拉, 收紧转轴15.1转动, 带动收紧弹簧15.2收紧, 将拉出的收紧带15.9端部的套 环15.11挂在挂钩凹槽16内, 松开收紧带15.9, 收紧带15.9贴合在阻尼套管15.8上, 收紧弹 簧15.2扩。
16、张自动拉紧收紧带15.9, 限位弹簧15.7使限位卡扣15.6卡在限位齿轮15.4上, 使 限位齿轮15.4只能逆时针转动, 不通顺时针转动, 当收紧带15.9端部的套环15.11挂在挂钩 说明书 2/3 页 4 CN 210502768 U 4 凹槽16内时, 收紧带15.9贴合在阻尼套管15.8上, 搬运过程中单晶硅棒出现晃动时, 限位齿 轮15.4和限位卡扣15.6相配合可以防止收紧带15.9变松, 防止单晶硅棒掉落, 将暂时用不 到的挡块7放在柜体9内的挡块存储槽12内即可。 0018 以上对本实用新型及其实施方式进行了描述, 这种描述没有限制性, 附图中所示 的也只是本实用新型的实施方式之一, 实际的结构并不局限于此。 总而言之如果本领域的 普通技术人员受其启示, 在不脱离本实用新型创造宗旨的情况下, 不经创造性的设计出与 该技术方案相似的结构方式及实施例, 均应属于本实用新型的保护范围。 说明书 3/3 页 5 CN 210502768 U 5 图1 说明书附图 1/3 页 6 CN 210502768 U 6 图2 图3 说明书附图 2/3 页 7 CN 210502768 U 7 图4 图5 说明书附图 3/3 页 8 CN 210502768 U 8 。
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