微通道板及荧光屏动态测试电极及连接结构.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201920917478.9 (22)申请日 2019.06.18 (73)专利权人 南京杉捷鑫电气科技有限公司 地址 211101 江苏省南京市江宁区江宁街 道司家村长兴大道1号 (72)发明人 赵勇袁志耀王芳 (74)专利代理机构 南京钟山专利代理有限公司 32252 代理人 戴朝荣 (51)Int.Cl. G01R 1/04(2006.01) G01N 21/95(2006.01) (54)实用新型名称 微通道板及荧光屏动态测试电极及连接结 构 (57)摘要 本实用新型是微。

2、通道板及荧光屏动态测试 电极及连接结构， 微通道板及荧光屏动态测试装 置内设置有被测管托盘， 该被测管托盘能够依次 带动被测管位于检测信号源和观察窗之间， 微通 道板及荧光屏动态测试电极及连接结构包括定 电极和真空高压同轴电缆， 即能够实现依次检测 被测管时， 被测管与外界高压电源的自动连接或 断开。 真空高压同轴电缆能够保证电缆穿过钟罩 底座处的气密性。 权利要求书2页 说明书4页 附图3页 CN 210514374 U 2020.05.12 CN 210514374 U 1.微通道板及荧光屏动态测试电极及连接结构， 包括机架 （8） 和控制柜 （1） ， 所述的机 架 （8） 上安装有测试。

3、装置， 所述的控制柜 （1） 用于控制微通道板及荧光屏动态测试装置的控 制系统、 多路高压电源以及高阻计， 所述的测试装置包括钟罩底座 （13） ， 所述的钟罩底座 （13） 上方可分离的与钟罩 （5） 密封连接， 所述的钟罩 （5） 的上表面与升降机 （2） 传动连接， 所 述的钟罩底座 （13） 下方连接有抽真空装置 （7） ， 所述的钟罩底座 （13） 和钟罩 （5） 之间设置有 被测管托盘 （11） ， 所述的被测管托盘 （11） 与工位旋转装置 （6） 传动连接， 上述工位旋转装置 （6） 设置在钟罩底座 （13） 下方； 其特征在于： 被测管托盘 （11） 上表面边缘均匀设置有若干。

4、个被测管 （10） ， 每个被测管 （10） 与一个动电极 （9） 电连接， 所述的动电极 （9） 设置在被测管托盘 （11） 上表面边缘， 所述 的动电极 （9） 与定电极 （12） 可分离连接， 所述的定电极 （12） 设置在钟罩底座 （13） 上表面， 所 述的定电极 （12） 通过真空高压同轴电缆 （14） 与外界电源连通； 所述的真空高压同轴电缆 （14） 包括同轴电缆法兰 （22） ， 所述的同轴电缆法兰 （22） 通过 安装螺钉 （16） 固定安装在钟罩底座 （13） 的下表面， 所述的同轴电缆法兰 （22） 上开有若干个 通孔， 每个通孔内设置有同轴电缆密封槽 （18） ， 所。

5、述的同轴电缆密封槽 （18） 内固定安装有 同轴电缆芯 （19） ， 所述的同轴电缆密封槽 （18） 用于实现通孔内壁与同轴电缆芯 （19） 外壁之 间的密封， 所述的同轴电缆密封槽 （18） 两端均通过同轴电缆锁紧帽 （20） 与钟罩底座 （13） 外 壁紧密固定， 所述的同轴电缆芯 （19） 一端穿过钟罩底座 （13） 与定电极 （12） 连通， 另一端与 外界电源连通。 2.根据权利要求1所述的微通道板及荧光屏动态测试电极及连接结构， 其特征在于： 所 述的被测管 （10） 的下方设置有检测信号源 （4） ， 所述的检测信号源 （4） 包括但不限于紫外光 源和电子源。 3.根据权利要求2。

6、所述的微通道板及荧光屏动态测试电极及连接结构， 其特征在于： 所 述的检测信号源 （4） 正上方设置有观察窗 （3） ， 所述的观察窗 （3） 设置在钟罩 （5） 上， 所述的 观察窗 （3） 用于目测或安装CCD监测装置。 4.根据权利要求2或3所述的微通道板及荧光屏动态测试电极及连接结构， 其特征在 于： 所述的工位旋转装置 （6） 包括旋转驱动电机和磁流体密封装置， 所述的磁流体密封装置 与钟罩底座 （13） 密封连接， 所述的转驱动电机的输出轴穿过钟罩底座 （13） 通过连接器 （15） 与被测管托盘 （11） 固定连接。 5.根据权利要求4所述的微通道板及荧光屏动态测试电极及连接结构。

7、， 其特征在于： 所 述的被测管托盘 （11） 上表面固定安装有1530个被测管 （10） ， 每个被测管 （10） 在检测时通 过工位旋转装置 （6） 带动旋转到检测信号源 （4） 和观察窗 （3） 之间。 6.根据权利要求1所述的微通道板及荧光屏动态测试电极及连接结构， 其特征在于： 所 述的升降机 （2） 采用悬臂式蜗轮蜗杆结构， 驱动电机通过控制竖直设置的蜗轮蜗杆结构的 升降进一步带动水平设置的悬臂实现升降功能， 所述的水平设置的悬臂与钟罩 （5） 外表面 固定连接。 7.根据权利要求1所述的微通道板及荧光屏动态测试电极及连接结构， 其特征在于： 所 述的同轴电缆法兰 （22） 与钟罩。

8、底座 （13） 接触面一侧设置有法兰密封槽 （17） ， 所述的法兰密 封槽 （17） 内设置有密封圈。 8.根据权利要求1所述的微通道板及荧光屏动态测试电极及连接结构， 其特征在于： 所 权利要求书 1/2 页 2 CN 210514374 U 2 述的定电极 （12） 包括竖直设置的定刷座 （23） ， 所述的定刷座 （23） 上固定安装有若干个同轴 弹性电极 （27） ， 若干个同轴弹性电极 （27） 在竖直方向上依次排列， 所述的同轴弹性电极 （27） 的数量与真空高压同轴电缆 （14） 内同轴电缆芯 （19） 的数量相同， 所述的同轴弹性电极 （27） 通过输入电极 （25） 与同轴。

9、电缆芯 （19） 一一对应连接； 所述的动电极 （9） 包括竖直设置的动刷座 （24） ， 每个动刷座 （24） 竖直依次设置有若干 个输出电极 （26） ， 所述的输出电极 （26） 数量与输入电极 （25） 数量相同， 每个输出电极 （26） 所在高度均对应一个设置在同样高度的同轴弹性电极 （27） 。 9.根据权利要求8所述的微通道板及荧光屏动态测试电极及连接结构， 其特征在于： 所 述的动刷座 （24） 的水平截面朝向定刷座 （23） 的一边为弧形结构， 所述的同轴弹性电极 （27） 与输出电极 （26） 接触时处于压缩状态。 权利要求书 2/2 页 3 CN 210514374 U 。

10、3 微通道板及荧光屏动态测试电极及连接结构 技术领域 0001 本实用新型是涉及微通道板以及荧光屏检测技术领域， 具体的说是微通道板及荧 光屏动态测试电极及连接结构。 背景技术 0002 在对微通道板及荧光屏进行测试时， 需要在在和真空环境下对通电状态的微通道 板或荧光屏进行紫外光源照射或者电子源喷射， 并通过对微通道板及荧光屏进行观察荧光 屏有无打火、 亮点、 剥落， 并分析其失效原因。 传统的检查方式需要对荧光屏单独检测， 由于 检测环境营造困难， 导致检测效率低下。 如果依次对多个电器元件进行检测， 则需要多次连 通和断开， 需要一种能够自动连接和断开的电极结构。 发明内容 0003 本。

11、实用新型要解决的技术问题是提供微通道板及荧光屏动态测试电极及连接结 构， 能够自动与被测管电极连通以及断开， 为多组被测管依次检测提供检测基础。 0004 为解决上述技术问题， 本实用新型采用的技术方案为： 0005 微通道板及荧光屏动态测试电极及连接结构， 包括机架和控制柜， 所述的机架上 安装有测试装置， 所述的控制柜用于控制微通道板及荧光屏动态测试装置的控制系统、 多 路高压电源以及高阻计， 所述的测试装置包括钟罩底座， 所述的钟罩底座上方可分离的与 钟罩密封连接， 所述的钟罩的上表面与升降机传动连接， 所述的钟罩底座下方连接有抽真 空装置， 所述的钟罩底座和钟罩之间设置有被测管托盘， 。

12、所述的被测管托盘与工位旋转装 置传动连接， 上述工位旋转装置设置在钟罩底座下方； 0006 其特征在于： 被测管托盘上表面边缘均匀设置有若干个被测管， 每个被测管与一 个动电极电连接， 所述的动电极设置在被测管托盘上表面边缘， 所述的动电极与定电极可 分离连接， 所述的定电极设置在钟罩底座上表面， 所述的定电极通过真空高压同轴电缆与 外界电源连通； 0007 所述的真空高压同轴电缆包括同轴电缆法兰， 所述的同轴电缆法兰通过安装螺钉 固定安装在钟罩底座的下表面， 所述的同轴电缆法兰上开有若干个通孔， 每个通孔内设置 有同轴电缆密封槽， 所述的同轴电缆密封槽内固定安装有同轴电缆芯， 所述的同轴电缆。

13、密 封槽用于实现通孔内壁与同轴电缆芯外壁之间的密封， 所述的同轴电缆密封槽两端均通过 同轴电缆锁紧帽与钟罩底座外壁紧密固定， 所述的同轴电缆芯一端穿过钟罩底座与定电极 连通， 另一端与外界电源连通。 0008 所述的被测管的下方设置有检测信号源， 所述的检测信号源包括但不限于紫外光 源和电子源。 0009 所述的检测信号源正上方设置有观察窗， 所述的观察窗设置在钟罩上， 所述的观 察窗用于目测或安装CCD监测装置。 0010 所述的工位旋转装置包括旋转驱动电机和磁流体密封装置， 所述的磁流体密封装 说明书 1/4 页 4 CN 210514374 U 4 置与钟罩底座密封连接， 所述的转驱动电。

14、机的输出轴穿过钟罩底座通过连接器与被测管托 盘固定连接。 0011 所述的被测管托盘上表面固定安装有1530个被测管， 每个被测管在检测时通过 工位旋转装置带动旋转到检测信号源和观察窗之间。 0012 所述的升降机采用悬臂式蜗轮蜗杆结构， 驱动电机通过控制竖直设置的蜗轮蜗杆 结构的升降进一步带动水平设置的悬臂实现升降功能， 所述的水平设置的悬臂与钟罩外表 面固定连接。 0013 所述的同轴电缆法兰与钟罩底座接触面一侧设置有法兰密封槽， 所述的法兰密封 槽内设置有密封圈。 0014 所述的定电极包括竖直设置的定刷座， 所述的定刷座上固定安装有若干个同轴弹 性电极， 若干个同轴弹性电极在竖直方向上。

15、依次排列， 所述的同轴弹性电极的数量与真空 高压同轴电缆内同轴电缆芯的数量相同， 所述的同轴弹性电极通过输入电极与同轴电缆芯 一一对应连接； 0015 所述的动电极包括竖直设置的动刷座， 每个动刷座竖直依次设置有若干个输出电 极， 所述的输出电极数量与输入电极数量相同， 每个输出电极所在高度均对应一个设置在 同样高度的同轴弹性电极。 0016 所述的动刷座的水平截面朝向定刷座的一边为弧形结构， 所述的同轴弹性电极与 输出电极接触时处于压缩状态。 0017 该种微通道板及荧光屏动态测试电极及连接结构能够产生的有益效果为： 第一， 同轴电缆密封槽能够保证每根同轴电缆芯在穿过同轴电缆法兰时的气密性。。

16、 第二， 动刷座 朝向定刷座的一侧为弧形面， 方便同轴弹性电极与输出电极连接和分离。 第三， 同轴弹性电 极与输出电极均在竖直方向上依次排列， 可以用相同的结构适应不同的电极数量。 附图说明 0018 图1为本实用新型微通道板及荧光屏动态测试装置的结构示意图。 0019 图2为本实用新型微通道板及荧光屏动态测试电极及连接结构的结构示意图。 0020 图3为本实用新型微通道板及荧光屏动态测试电极及连接结构的位置示意图。 0021 图4为本实用新型微通道板及荧光屏动态测试电极及连接结构真空高压同轴电缆 的结构示意图。 0022 图5为本实用新型微通道板及荧光屏动态测试电极及连接结构动电极和的定电极。

17、 结构示意图。 0023 说明书附图标注： 1、 控制柜； 2、 升降机； 3、 观察窗； 4、 检测信号源； 5、 钟罩； 6、 工位 旋转装置； 7、 抽真空装置； 8、 机架； 9、 动电极； 10、 被测管； 11、 被测管托盘； 12、 定电极； 13、 钟 罩底座； 14、 真空高压同轴电缆； 15、 连接器； 16、 安装螺钉； 17、 法兰密封槽； 18、 同轴电缆密 封槽； 19、 同轴电缆芯； 20、 同轴电缆锁紧帽； 22、 同轴电缆法兰； 23、 定刷座； 24、 动刷座； 25、 输入电极； 26、 输出电极； 27、 同轴弹性电极。 具体实施方式 0024 以下结合。

18、说明书附图和具体优选的实施例对本实用新型作进一步描述。 说明书 2/4 页 5 CN 210514374 U 5 0025 微通道板及荧光屏动态测试电极及连接结构， 包括机架8和控制柜1， 所述的机架8 上安装有测试装置， 所述的控制柜1用于控制微通道板及荧光屏动态测试装置的控制系统、 多路高压电源以及高阻计， 所述的测试装置包括钟罩底座13， 所述的钟罩底座13上方可分 离的与钟罩5密封连接， 所述的钟罩5的上表面与升降机2传动连接， 所述的钟罩底座13下方 连接有抽真空装置7， 所述的钟罩底座13和钟罩5之间设置有被测管托盘11， 所述的被测管 托盘11与工位旋转装置6传动连接， 上述工位。

19、旋转装置6设置在钟罩底座13下方； 0026 其特征在于： 被测管托盘11上表面边缘均匀设置有若干个被测管10， 每个被测管 10与一个动电极9电连接， 所述的动电极9设置在被测管托盘11上表面边缘， 所述的动电极9 与定电极12可分离连接， 所述的定电极12设置在钟罩底座13上表面， 所述的定电极12通过 真空高压同轴电缆14与外界电源连通； 0027 所述的真空高压同轴电缆14包括同轴电缆法兰22， 所述的同轴电缆法兰22通过安 装螺钉16固定安装在钟罩底座13的下表面， 所述的同轴电缆法兰22上开有若干个通孔， 每 个通孔内设置有同轴电缆密封槽18， 所述的同轴电缆密封槽18内固定安装有。

20、同轴电缆芯 19， 所述的同轴电缆密封槽18用于实现通孔内壁与同轴电缆芯19外壁之间的密封， 所述的 同轴电缆密封槽18两端均通过同轴电缆锁紧帽20与钟罩底座13外壁紧密固定， 所述的同轴 电缆芯19一端穿过钟罩底座13与定电极12连通， 另一端与外界电源连通。 0028 本实施例中， 被测管10的下方设置有检测信号源4， 所述的检测信号源4包括但不 限于紫外光源和电子源。 0029 本实施例中， 检测信号源4正上方设置有观察窗3， 所述的观察窗3设置在钟罩5上， 所述的观察窗3用于目测或安装CCD监测装置。 0030 本实施例中， 工位旋转装置6包括旋转驱动电机和磁流体密封装置， 所述的磁流。

21、体 密封装置与钟罩底座13密封连接， 所述的转驱动电机的输出轴穿过钟罩底座13通过连接器 15与被测管托盘11固定连接。 0031 本实施例中， 被测管托盘11上表面固定安装有1530个被测管10， 每个被测管10在 检测时通过工位旋转装置6带动旋转到检测信号源4和观察窗3之间。 0032 本实施例中， 升降机2采用悬臂式蜗轮蜗杆结构， 驱动电机通过控制竖直设置的蜗 轮蜗杆结构的升降进一步带动水平设置的悬臂实现升降功能， 所述的水平设置的悬臂与钟 罩5外表面固定连接。 0033 进一步的， 当紫外光源或电子源照射到被测管10时， 观察窗3用于目测或安装CCD 监测用， 可以观察荧光屏有无打火、。

22、 亮点、 剥落， 通过串接的微电流计可以计算读出MCP的电 子增益， 利用紫外光源上的自动关闸可以分析判断失效原因， 提供MCP管壳、 荧光屏等工艺 制作的改进的依据。 0034 进一步的， 通过钟罩5与钟罩底座13在升降机2的驱动下相互密封结合形成密闭空 间， 通过抽真空装置7对密封空间抽真空形成真空空间。 用于形成检测被测管10的检测环 境。 0035 进一步的， 工位旋转装置6中的旋转驱动电机采用伺服电机， 伺服电机与磁流体组 成密封旋转轴， 给被测管托盘11的旋转提供动力。 0036 本实施例中， 同轴电缆法兰22与钟罩底座13接触面一侧设置有法兰密封槽17， 所 述的法兰密封槽17内。

23、设置有密封圈。 说明书 3/4 页 6 CN 210514374 U 6 0037 本实施例中， 定电极12包括竖直设置的定刷座23， 所述的定刷座23上固定安装有 若干个同轴弹性电极27， 若干个同轴弹性电极27在竖直方向上依次排列， 所述的同轴弹性 电极27的数量与真空高压同轴电缆14内同轴电缆芯19的数量相同， 所述的同轴弹性电极27 通过输入电极25与同轴电缆芯19一一对应连接； 0038 本实施例中， 动电极9包括竖直设置的动刷座24， 每个动刷座24竖直依次设置有若 干个输出电极26， 所述的输出电极26数量与输入电极25数量相同， 每个输出电极26所在高 度均对应一个设置在同样高。

24、度的同轴弹性电极27。 0039 本实施例中， 动刷座24的水平截面朝向定刷座23的一边为弧形结构， 所述的同轴 弹性电极27与输出电极26接触时处于压缩状态。 0040 进一步的， 同轴电缆锁紧帽20还能够用于锁紧同轴电缆芯19两端， 设置同轴电缆 法兰22可以方便真空高压同轴电缆14更换。 0041 进一步的， 定刷座23由聚四氟乙烯制成， 用于绝缘与固定同轴弹性电极27， 输入电 极25用于将同轴弹性电极27与外部高压电源连接， 输出电极26用于连接被测管10的电极。 所述的同轴弹性电极27具有可伸缩的性能， 具有阻力小导电良寿命长的特点， 为现有技术。 所述的动刷座24用于绝缘与固定连接被测管电极。 0042 以上仅是本实用新型的优选实施方式， 本实用新型的保护范围并不仅局限于上述 实施例， 凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。 应当指出， 对 于本技术领域的普通技术人员来说， 在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰， 应视为本实用新型的保护范围。 说明书 4/4 页 7 CN 210514374 U 7 图1 图2 说明书附图 1/3 页 8 CN 210514374 U 8 图3 图4 说明书附图 2/3 页 9 CN 210514374 U 9 图5 说明书附图 3/3 页 10 CN 210514374 U 10 。