用于超精细充足能量的两次聚焦激光加工装置.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201921184863.3 (22)申请日 2019.07.25 (73)专利权人 深圳晶尹阳光电有限公司 地址 518000 广东省深圳市宝安区西乡街 道臣田社区臣田工业区24栋201 (72)发明人 蔡春迎郭云华 (74)专利代理机构 深圳市道勤知酷知识产权代 理事务所(普通合伙) 44439 代理人 何兵饶盛添 (51)Int.Cl. B23K 26/046(2014.01) G02B 27/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于超精细充足能量的两次聚焦激。

2、光 加工装置 (57)摘要 本实用新型涉及一种用于超精细充足能量 的两次聚焦激光加工装置， 包括光纤激光器、 依 次远离所述光纤激光器并设置于所述光纤激光 器的出射光路上的反射镜、 聚焦镜、 狭缝调节装 置和显微镜， 所述光纤激光器出射的光束经所述 反射镜反射至所述聚焦镜聚焦后通过所述狭缝 调节装置调节狭缝， 通过所述显微镜缩小波长。 光纤激光器发射的光束经过聚焦镜和显微镜二 次聚焦， 使得光束足够精细； 本实用新型的一种 用于超精细充足能量的两次聚焦激光加工装置， 通过二次聚焦在激光器能量不充足的时候， 可以 提高单位阈值， 从而有足够能量进行超精细加 工； 聚焦镜聚焦整型后通过狭缝调节装置。

3、根据需 要调节狭缝结构， 提高了狭缝调节的精度。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 210498794 U 2020.05.12 CN 210498794 U 1.一种用于超精细充足能量的两次聚焦激光加工装置， 其特征在于， 包括光纤激光器、 依次远离所述光纤激光器并设置于所述光纤激光器的出射光路上的反射镜、 聚焦镜、 狭缝 调节装置和显微镜， 所述光纤激光器出射的光束经所述反射镜反射至所述聚焦镜聚焦后通 过所述狭缝调节装置调节狭缝， 通过所述显微镜缩小波长。 2.根据权利要求1所述的一种用于超精细充足能量的两次聚焦激光加工装置， 其特征 在于， 所述显微镜的目镜和物镜之间连接有CC。

4、D相机， 所述CCD相机的镜头与所述显微镜的 物镜之间设有LED灯源。 3.根据权利要求2所述的一种用于超精细充足能量的两次聚焦激光加工装置， 其特征 在于， 所述CCD相机固定在所述显微镜的一侧， 所述CCD相机通过反射转换镜组照射至所述 显微镜的物镜。 4.根据权利要求3所述的一种用于超精细充足能量的两次聚焦激光加工装置， 其特征 在于， 所述LED灯源设置在所述显微镜相对于所述CCD相机的另一侧， 所述LED灯源通过反光 镜斜照射至所述CCD相机的镜头。 5.根据权利要求1所述的一种用于超精细充足能量的两次聚焦激光加工装置， 其特征 在于， 所述聚焦镜与所述反射镜之间设有合束镜， 所述合。

5、束镜侧方设有照明定位狭缝的激 光光源， 所述合束镜将所述光纤激光器发射的光束和所述激光光源发射的光束合束传递给 所述聚焦镜。 6.根据权利要求1所述的一种用于超精细充足能量的两次聚焦激光加工装置， 其特征 在于， 所述反射镜将所述光纤激光器的光束九十度转换传递。 7.根据权利要求1所述的一种用于超精细充足能量的两次聚焦激光加工装置， 其特征 在于， 所述光纤激光器发射的光束为4mm， 经所述聚焦镜和所述狭缝调节装置调整为200 m- 4mm， 通过所述显微镜后缩小为1 m-100 m。 权利要求书 1/1 页 2 CN 210498794 U 2 一种用于超精细充足能量的两次聚焦激光加工装置 。

6、技术领域 0001 本实用新型涉及光学精密加工设备技术领域， 尤其涉及一种用于超精细充足能量 的两次聚焦激光加工装置。 背景技术 0002 在光学精密加工设备技术领域， 光纤激光器被应用广泛， 但是现有的激光加工装 置为一次聚焦， 聚焦后的精密度无法满足越来越高的要求； 光纤激光器需要发射的激光能 量要求大， 增加了生产成本。 狭缝调节的精度低， 调节后的狭缝结构形状与理想结构形状差 距大， 导致加工精度低。 实用新型内容 0003 鉴于上述状况， 有必要提供一种精度高的用于超精细充足能量的两次聚焦激光加 工装置。 0004 为了解决上述技术问题， 本实用新型采用的技术方案为： 一种用于超精细。

7、充足能 量的两次聚焦激光加工装置， 包括光纤激光器、 依次远离所述光纤激光器并设置于所述光 纤激光器的出射光路上的反射镜、 聚焦镜、 狭缝调节装置和显微镜， 所述光纤激光器出射的 光束经所述反射镜反射至所述聚焦镜聚焦后通过所述狭缝调节装置调节狭缝， 通过所述显 微镜缩小波长。 0005 进一步的， 所述显微镜的目镜和物镜之间连接有CCD相机， 所述CCD相机的镜头与 所述显微镜的物镜之间设有LED灯源。 0006 进一步的， 所述聚焦镜与所述反射镜之间设有合束镜， 所述合束镜侧方设有照明 定位狭缝的激光光源， 所述合束镜将所述光纤激光器发射的光束和所述激光光源发射的光 束合束传递给所述聚焦镜。。

8、 0007 进一步的， 所述CCD相机固定在所述显微镜的一侧， 所述CCD相机通过反射转换镜 组照射至所述显微镜的物镜。 0008 进一步的， 所述LED灯源设置在所述显微镜相对于所述CCD相机的另一侧， 所述LED 灯源通过反光镜斜照射至所述CCD相机的镜头。 0009 进一步的， 所述反射镜将所述光纤激光器的光束九十度转换传递。 0010 进一步的， 所述光纤激光器发射的光束为4mm， 经所述聚焦镜和所述狭缝调节装置 调整为200 m-4mm， 通过所述显微镜后缩小为1 m-100 m。 0011 本实用新型的有益效果在于： 光纤激光器发射的光束经过聚焦镜和显微镜二次聚 焦， 使得光束足够。

9、精细； 通过二次聚焦在激光器能量不充足的时候， 可以提高单位阈值， 从 而有足够能量进行超精细加工； 聚焦镜聚焦整型后通过狭缝调节装置根据需要调节狭缝结 构， 提高了狭缝调节的精度。 说明书 1/3 页 3 CN 210498794 U 3 附图说明 0012 图1是本实用新型实施例一种用于超精细充足能量的两次聚焦激光加工装置的结 构示意图。 0013 标号说明： 0014 100、 光纤激光器； 200、 反射镜； 300、 聚焦镜； 400、 狭缝调节装置； 0015 500、 显微镜； 510、 目镜； 520、 物镜； 600、 CCD相机； 0016 610、 反射转换镜组； 700。

10、、 LED灯源； 710、 反光镜； 800、 合束镜； 0017 900、 激光光源。 ,具体实施方式 0018 为了使本实用新型的目的、 技术方案及优点更加清楚明白， 以下结合附图及实施 例， 对本实用新型一种用于超精细充足能量的两次聚焦激光加工装置进行进一步详细说 明。 应当理解， 此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型， 并不用于限定本实用新 型。 0019 请参见图1， 一种用于超精细充足能量的两次聚焦激光加工装置， 包括光纤激光器 100、 依次远离光纤激光器100并设置于光纤激光器100的出射光路上的反射镜200、 聚焦镜 300、 狭缝调节装置400和显微镜500， 光纤激。

11、光器出射的光束经反射镜200反射至聚焦镜300 聚焦后通过狭缝调节装置400调节狭缝， 通过显微镜500缩小波长。 0020 光纤激光器100发射的光束经过聚焦镜300和显微镜500二次聚焦， 使得光束足够 精细； 通过二次聚焦在激光器能量不充足的时候， 可以提高单位阈值， 从而有足够能量进行 超精细加工； 聚焦镜300聚焦整型后通过狭缝调节装置400 根据需要调节狭缝结构， 提高了 狭缝调节的精度。 0021 优选的， 光纤激光器100具有扩束镜镜头。 一般的， 光纤激光器100本身会配有扩束 镜镜头， 通过扩束镜镜头进行扩束整型， 将光束的波长放大。 0022 请参见图1， 显微镜500的。

12、目镜510和物镜520之间连接有CCD相机600， CCD相机600 的镜头与显微镜500的物镜520之间设有LED灯源700。 0023 LED灯源700为CCD相机600提供光源采集加工产品的情况， CCD相机 600设置在目 镜510和物镜520之间， 加工产品的经过物镜520放大后被CCD 相机600采集， 方便观察。 0024 请参见图1， CCD相机600固定在显微镜500的一侧， CCD相机600通过反射转换镜组 610照射至显微镜500的物镜520。 0025 节省空间， 方便采集。 0026 请参见图1， LED灯源700设置在显微镜500相对于CCD相机600的另一侧， L。

13、ED灯源 700通过反光镜710斜照射至CCD相机600的镜头。 0027 提高LED灯源700的光照强度和效果。 0028 请参见图1， 聚焦镜300与反射镜200之间设有合束镜800， 合束镜800侧方设有照明 定位狭缝的激光光源900， 合束镜800将光纤激光器100发射的光束和激光光源900发射的光 束合束传递给聚焦镜300。 0029 通过设置合束镜800和激光光源900方面进行狭缝调节， 可以理解的该激光光源 900为可见光， 通过合束镜800和激光光源900可以方便的调节聚焦点位置和狭缝。 说明书 2/3 页 4 CN 210498794 U 4 0030 一般的， 合束镜800。

14、分别与光纤激光器100和激光光源900的出射光束呈四十五度 角。 0031 优选的， 反射镜200将光纤激光器100的光束九十度转换传递。 0032 方便将水平设置的光纤激光器100发射的光束转换为铅垂光束， 方便进行加工。 可 以理解的， 反射镜200与光纤激光器100的出射光束呈四十五度角。 0033 优选的， 光纤激光器100发射的光束为4mm， 经聚焦镜300和狭缝调节装置400调整 为200 m-4mm， 通过显微镜500后缩小为1 m-100 m。 0034 通过两次聚焦进行聚焦整型， 提高了可控性和精度。 0035 综上所述， 本实用新型提供的一种用于超精细充足能量的两次聚焦激光。

15、加工装 置， 光纤激光器发射的光束经过聚焦镜和显微镜二次聚焦， 使得光束足够精细； 通过二次聚 焦在激光器能量不充足的时候， 可以提高单位阈值， 从而有足够能量进行超精细加工； 聚焦 镜聚焦整型后通过狭缝调节装置根据需要调节狭缝结构， 提高了狭缝调节的精度。 0036 以上所述， 仅是本实用新型的较佳实施例而已， 并非对本实用新型作任何形式上 的限制， 虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上， 然而并非用以限定本实用新型， 任何熟 悉本专业的技术人员， 在不脱离本实用新型技术方案范围内， 当可利用上述揭示的技术内 容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例， 但凡是未脱离本实用新型技术方案内 容， 依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、 等同变化与修饰， 均仍 属于本实用新型技术方案的范围内。 说明书 3/3 页 5 CN 210498794 U 5 图1 说明书附图 1/1 页 6 CN 210498794 U 6 。