横向相减差动共焦抛物面顶点曲率半径测量方法.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910316323.4 (22)申请日 2019.04.19 (71)申请人 北京理工大学 地址 100081 北京市海淀区中关村南大街5 号 (72)发明人 邱丽荣郝群肖阳赵维谦 (74)专利代理机构 北京理工正阳知识产权代理 事务所(普通合伙) 11639 代理人 邬晓楠 (51)Int.Cl. G01B 11/255(2006.01) (54)发明名称 横向相减差动共焦抛物面顶点曲率半径测 量方法 (57)摘要 本发明属于光学精密测量技术领域， 涉及一 种横向相减差动。

2、共焦抛物面顶点曲率半径测量 方法。 该方法将差动共焦探测器中焦前焦后两路 探测器探测到的光斑分别采用不同大小虚拟针 孔进行横向相减得到锐化后的横向相减共焦响 应曲线， 将两路横向相减共焦响应曲线差动相减 后得到横向相减差动共焦响应曲线， 根据横向相 减差动共焦响应曲线的过零点精确确定被测抛 物面镜的表面顶点和焦点位置， 得到被测抛物面 镜顶点曲率径的精确值。 本发明中横向相减激光 差动共焦的光强响应曲线过零点附近的斜率大 于传统的差动共焦光强响应曲线， 因而定焦灵敏 度高， 测量精度得到提高； 并且抗环境干扰能力 强。 本方法测量精度高， 抗环境干扰能力强。 权利要求书2页 说明书5页 附图3。

3、页 CN 109883357 A 2019.06.14 CN 109883357 A 1.横向相减差动共焦抛物面顶点曲率半径测量方法， 其特征在于： 包括以下步骤： a)打开点光源(1)， 其发出的光经分束镜(2)、 准直透镜(3)、 测量物镜(4)和平面半反半 透镜(35)后形成测量光束照射在被测抛物面镜(5)上； b)调整被测抛物面镜(5)和平面半反半透镜(35)使其与准直透镜(3)和测量物镜(4)共 光轴， 测量物镜(4)将准直透镜(3)出射的平行光束汇聚成测量光束照射在被测抛物面镜 (5)上， 由被测抛物面镜(5)反射回来的光通过测量物镜(4)将准直透镜(3)被分束镜(2)反 射， 反。

4、射的光束聚焦为测量光斑， 并被横向相减差动共焦探测系统(6)探测； c)沿光轴方向移动被测抛物面镜(5)， 使测量光束的焦点与被测抛物面镜(5)顶点位置 重合； 在顶点位置附近扫描被测抛物面镜(5)， 将横向相减差动共焦探测系统(6)中焦前大 虚拟针孔探测域(13)探测的焦前大虚拟针孔探测共焦特性曲线(18)IB1(z,-uM)， 和焦前小 虚拟针孔探测域(14)探测到的焦前小虚拟针孔探测共焦特性曲线(19)IS1(z,-uM)进行相减 处理， 得到半高宽压缩的焦前横向相减锐化共焦特性曲线(20)I1(z,-uM)IS1(z,-uM)- IB1(z,-uM)； 将横向相减差动共焦探测系统(6)。

5、中焦后大虚拟针孔探测域(16)探测的焦后大 虚拟针孔探测共焦特性曲线(21)IB2(z,+uM)， 和焦后小虚拟针孔探测域(17)探测到的焦后 小虚拟针孔探测共焦特性曲线(22)IS2(z,+uM)进行相减处理， 得到半高宽压缩的焦后横向 相减锐化共焦特性曲线(23)I2(z,+uM)IS2(z,+uM)-IB2(z,+uM)； 其中z为轴向坐标， 为 调节因子， uM为焦前CCD探测器(9)偏离焦前显微物镜(8)焦平面距离M的归一化距离， 也是 焦后CCD探测器(11)偏离焦后显微物镜(10)焦平面距离M的归一化距离； 将焦后横向相减锐 化共焦特性曲线(23)I2(z,+uM)和焦前横向相减。

6、锐化共焦特性曲线(20)I1(z,-uM)进行差动 相减， 即得到轴向高灵敏的离散横向相减差动共焦特性曲线(24)ID(z)： ID(z)I2(z,+uM)-I1(z,-uM) (1) 通过离散横向相减差动共焦特性曲线(24)ID(z)的拟合直线零点(26)来确定测量汇聚 光束精确定焦在被测抛物面镜(5)的第一定焦表面顶点位置， 进而精确确定测量光束的焦 点位置Z1； d)继续沿光轴向测量物镜(4)的方向移动被测抛物面镜(5)， 使测量光束的焦点与被测 抛物面镜(5)的焦点位置重合， 此时测量光束被被测抛物面(5)反射后形成平行光束， 平行 光被平面半反半透镜(35)反射后经被测抛物面镜(5)。

7、反射进入横向相减差动共焦探测系统 (6)被探测。 在焦点位置附近扫描被测抛物面镜(5)， 由横向相减差动共焦探测系统(6)测得 离散横向相减差动共焦特性曲线(24)， 主控计算机(28)通过差动共焦线性拟合直线(25)的 拟合直线零点(26)来精确确定测量物镜(4)的焦点位置Z2， 记录此时被测抛物面镜(5)的位 置Z2； e)计算被测抛物面镜(5)的曲率半径r2(Z1-Z2)， 顶点焦距为fZ1-Z2。 2.根据权利要求1所述的横向相减差动共焦抛物面顶点曲率半径测量方法， 其特征在 于： 通过横向相减差动共焦探测系统(6)得到焦前横向相减锐化共焦特性曲线(20)和焦后 横向相减锐化共焦特性曲。

8、线(23)的过程如下： a)在被测抛物面镜(5)扫描过程中， 通过焦前CCD探测器(9)探测焦前测量艾里斑(12)， 以焦前测量艾里斑(12)的重心为中心， 在焦前CCD探测器(9)每帧探测图像上选定一定大小 的焦前大虚拟针孔探测域(13)， 将焦前大虚拟针孔探测域(13)中每个像素上的强度进行积 分， 得出焦前大虚拟针孔探测共焦特性曲线(18)； 权利要求书 1/2 页 2 CN 109883357 A 2 b)同时以焦前CCD探测器(9)探测的焦前测量艾里斑(12)重心为中心， 选择另一个焦前 小虚拟针孔探测域(14)， 所述焦前小虚拟针孔探测域(14)的尺寸小于所述焦前大虚拟针孔 探测域。

9、(13)， 积分焦前小虚拟针孔探测域(14)的强度得到另一条焦前小虚拟针孔探测共焦 特性曲线(19)， 焦前小虚拟针孔探测共焦特性曲线(19)的半高宽和峰值强度均低于焦前大 虚拟针孔探测共焦特性曲线(18)； c)将焦前大虚拟针孔探测共焦特性曲线(18)乘以调节因子， 使得焦前大虚拟针孔探 测共焦特性曲线(18)光强是焦前小虚拟针孔探测共焦特性曲线(19)的1/2倍； d)将焦前小虚拟针孔探测共焦特性曲线(19)减去乘调节后的焦前大虚拟针孔探测 共焦特性曲线(18)， 得到焦前横向相减锐化共焦特性曲线(20)。 e)重复步骤a)d)， 对焦后CCD探测器(11)探测到的焦后测量艾里斑(15)进。

10、行处理， 同 样得到焦后大虚拟针孔探测共焦特性曲线(21)和焦后小虚拟针孔探测共焦特性曲线(22)； 焦后大虚拟针孔探测共焦特性曲线(21)和焦后小虚拟针孔探测共焦特性曲线(22)横向相 减锐化处理后同样得到焦后横向相减锐化共焦特性曲线(23)。 权利要求书 2/2 页 3 CN 109883357 A 3 横向相减差动共焦抛物面顶点曲率半径测量方法 技术领域 0001 本发明属于光学精密测量技术领域， 涉及到一种横向相减差动共焦抛物面顶点曲 率半径测量方法， 可用于抛物面顶点曲率半径和焦距的高精度检测。 背景技术 0002 定焦精度是影响抛物面曲率半径和焦距测量的主要因素， 而传统测量方法受。

11、衍射 极限的限制， 无法继续提高光束的定焦能力。 本发明利用横向相减激光差动共焦定焦方法 提高定焦精度， 从而实现抛物面曲率半径和焦距的高精度测量。 0003 抛物面能将位于其焦点的点光源无像差的反射为平行光束， 因而其为一种应用极 为广泛的非球面透镜。 在反射式天文望远镜、 对地观测成像、 远距离照明灯光学系统中都有 广泛的应用。 抛物面的曲率半径作为其基本参数决定了光束经过后的焦点位置， 其曲率半 径值也是抛物面加工是否符合设计参数的关键指标之一， 所以对抛物面镜顶点曲率半径的 高精度测量具有重要的意义。 0004 针对抛物面镜的顶点曲率半径测量， 目前主要为接触式和非接触式两类。 接触式。

12、 测量方法通过在抛物面表面采集坐标信息拟合抛物面表面轮廓， 从而拟合求取被测抛物面 的顶点曲率半径。 接触式方法优势在于结构相对简单， 受环境干扰较小， 在测量小曲率半径 时测量重复性好。 但是， 该方法容易划伤被测表面， 并且测量精度随被测曲率的增大而迅速 下降； 因为需要在被测表面采集较多采样点所以测量速度慢。 0005 非接触测量方法主要有干涉法、 光线追迹法等。 光线追迹法通过求解入射光线和 反射光线的方程求得抛物面表面法线方程从而解算出被测抛物面顶点曲率半径值， 但其测 量精度只有0.5。 干涉测量方法通过获得非球面干涉图样， 对非球面各环带曲率半径中心 进行解算， 根据各曲率中心间。

13、距求得非球面顶点曲率半径值。 基于干涉原理的抛物面曲率 半径测量方法测量精度有所提高， 但是干涉光路复杂， 并且干涉条纹容易受到气流、 振动等 环境因素的影响， 限制了其发展及应用。 0006 而本发明中的横向相减激光差动共焦的光强响应曲线过零点附近的曲线斜率大 于传统差动共焦光强响应曲线， 因而定焦灵敏度高， 测量精度得到提高； 此外用抛物面可将 汇聚于其焦点的光束准直为平行光束的特点， 在光路中加入平面反射镜组成自准直光路， 再由横向相减激光差动共焦光强响应曲线的过零点来对被测抛物面的表面顶点和焦点位 置精确定焦， 从而实现抛物面顶点曲率半径和焦距的高精度测量。 发明内容 0007 本发明。

14、的目的是为了解决抛物面顶点曲率半径测量精度不高的问题， 提供一种横 向相减差动共焦抛物面顶点曲率半径测量方法， 该方法在差动共焦测量系统中， 通过大、 小 虚拟针孔横向相减探测来锐化离焦探测光路系统的共焦特性曲线， 通过双光路探测焦前和 焦后锐化共焦特性曲线的差动相减处理来实现被测表面的差动共焦双极性定焦测量， 通过 差动共焦定焦曲线的线性拟合来提升焦点位置捕获精度， 进而实现抛物面顶点曲率半径的 说明书 1/5 页 4 CN 109883357 A 4 高精度测量。 0008 本发明的目的是通过下述技术方案实现的。 0009 横向相减差动共焦抛物面顶点曲率半径测量方法， 包括以下步骤： 00。

15、10 a)打开点光源， 其发出的光经分束镜、 准直透镜、 测量物镜和平面半反半透镜后形 成测量光束照射在被测抛物面镜上； 0011 b)调整被测抛物面镜和平面半反半透镜使其与准直透镜和测量物镜共光轴， 测量 物镜将准直透镜出射的平行光束汇聚成测量光束照射在被测抛物面镜上， 由被测抛物面镜 反射回来的光通过测量物镜将准直透镜被分束镜反射， 反射的光束聚焦为测量光斑， 并被 横向相减差动共焦探测系统探测； 0012 c)沿光轴方向移动被测抛物面镜， 使测量光束的焦点与被测抛物面镜顶点位置重 合； 在该位置附近扫描被测抛物面镜， 将横向相减差动共焦探测系统中焦前大虚拟针孔探 测域探测的焦前大虚拟针孔。

16、探测共焦特性曲线IB1(z,-uM)和焦前小虚拟针孔探测域探测的 和焦前小虚拟针孔探测共焦特性曲线IS1(z,-uM)进行相减处理， 得到半高宽压缩的焦前横 向相减锐化共焦特性曲线I1(z,-uM)IS1(z,-uM)-IB1(z,-uM)， 将横向相减差动共焦探测 系统中焦后大虚拟针孔探测域探测的焦后大虚拟针孔探测共焦特性曲线IB2(z,+uM)和焦后 小虚拟针孔探测域探测的焦后小虚拟针孔探测共焦特性曲线IS2(z,+uM)进行相减处理， 得 到半高宽压缩的焦后横向相减锐化共焦特性曲线I2(z,+uM)IS2(z,+uM)-IB2(z,+uM)， 其 中z为轴向坐标， 为调节因子， uM为焦。

17、前CCD探测器偏离焦前显微物镜焦平面距离M的归一 化距离， 也是焦后CCD探测器偏离焦后显微物镜焦平面距离M的归一化距离； 将焦后横向相 减锐化共焦特性曲线I2(z,+uM)和焦前横向相减锐化共焦特性曲线I1(z,-uM)进行差动相 减， 即可得到轴向高灵敏的离散横向相减差动共焦特性曲线ID(z)： 0013 ID(z)I2(z,+uM)-I1(z,-uM) (1) 0014 通过离散横向相减差动共焦特性曲线ID(z)的拟合直线零点来确定测量汇聚光束 精确定焦在被测抛物面镜的第一定焦表面顶点位置， 进而精确确定测量光束的焦点位置 Z1； 0015 d)继续沿光轴向测量物镜的方向移动被测抛物面镜。

18、， 使测量光束的焦点与被测抛 物面镜的焦点位置重合， 此时测量光束被被测抛物面反射后形成平行光束， 平行光被平面 半反半透镜反射后经被测抛物面镜反射进入横向相减差动共焦探测系统被探测。 在该位置 附近扫描被测抛物面镜， 由横向相减差动共焦探测系统测得离散横向相减差动共焦特性曲 线， 主控计算机通过差动共焦线性拟合直线的拟合直线零点来精确确定测量物镜的焦点位 置Z2， 记录此时被测抛物面镜的位置Z2； 0016 e)计算被测抛物面镜的曲率半径r2(Z1-Z2)， 焦距为fZ1-Z2。 0017 本发明横向相减差动共焦抛物面顶点曲率半径测量方法， 通过横向相减差动共焦 探测系统得到焦前横向相减锐化。

19、共焦特性曲线和焦后横向相减锐化共焦特性曲线的过程 如下： 0018 a)在被测抛物面镜扫描过程中， 通过焦前CCD探测器探测焦前测量艾里斑， 以焦前 测量艾里斑的重心为中心， 在焦前CCD探测器每帧探测图像上选定特定大小的焦前大虚拟 针孔探测域， 将焦前大虚拟针孔探测域中每个像素上的强度进行积分， 得出焦前大虚拟针 孔探测共焦特性曲线； 说明书 2/5 页 5 CN 109883357 A 5 0019 b)同时以焦前CCD探测器探测的焦前测量艾里斑重心为中心， 选择另一个更小区 域的焦前小虚拟针孔探测域， 积分焦前小虚拟针孔探测域的强度得到另一条焦前小虚拟针 孔探测共焦特性曲线， 焦前小虚拟。

20、针孔探测共焦特性曲线的半高宽和峰值强度均低于焦前 大虚拟针孔探测共焦特性曲线； 0020 c)将焦前大虚拟针孔探测共焦特性曲线乘以系数， 使得焦前大虚拟针孔探测共 焦特性曲线光强是焦前小虚拟针孔探测共焦特性曲线的1/2倍； 0021 d)将焦前小虚拟针孔探测共焦特性曲线减去乘系数后的焦前大虚拟针孔探测 共焦特性曲线， 得到焦前横向相减锐化共焦特性曲线。 0022 e)重复步骤a)d)， 对焦后CCD探测器探测到的焦后测量艾里斑进行处理， 同样得 到焦后大虚拟针孔探测共焦特性曲线和焦后小虚拟针孔探测共焦特性曲线； 焦后大虚拟针 孔探测共焦特性曲线和焦后小虚拟针孔探测共焦特性曲线横向相减锐化处理后。

21、同样得到 焦后横向相减锐化共焦特性曲线。 0023 有益效果 0024 1)提出利用大、 小虚拟针孔探测横向相减锐化共焦特性曲线， 利用焦前、 焦后离焦 探测对锐化焦前共焦特性曲线和焦后共焦特性曲线进行差动处理， 进而显著提高了差动共 焦定焦曲线的定焦灵敏度和信噪比， 使焦距和曲率半径测量系统具有更高的焦距测量精 度。 0025 2)相比于差动共焦测量装置， 在未增加硬件成本的情况下提高了测量精度。 0026 3)该测量方法通过大小虚拟光斑探测区横向相减和焦前焦后两路信号的差动探 测， 有效消除共模噪声， 因而具有强抗环境干扰能力。 0027 4)相比于经典的高精度干涉曲率测量方法， 本方法由。

22、于采用非干涉的艾里斑中心 强度 “点探测” 方式， 克服了现有干涉定焦法对系统像差、 环境振动、 气流干扰和样品表面粗 糙度极度灵敏的不足， 大幅提高了抗系统像差、 环境干扰和表面散射的能力， 显著提高了抛 物面顶点曲率半径的测量精度。 附图说明 0028 图1为本发明横向相减差动共焦抛物面顶点曲率半径测量方法的示意图； 0029 图2为本发明大小虚拟针孔共焦特性曲线横向相减锐化示意图； 0030 图3为本发明横向相减差动共焦定焦曲线示意图； 0031 图4为本发明的差动共焦定焦曲线线性拟合触发定焦示意图； 0032 图5为本发明横向相减差动共焦抛物面顶点曲率半径测量实施例示意图。 0033 。

23、其中： 1-点光源、 2-分束镜、 3-准直透镜、 4-被测透镜、 5-被测抛物面镜、 6-横向相 减差动共焦探测系统、 7-分束镜、 8-焦前显微物镜、 9-焦前CCD探测器、 10-焦后显微物镜、 11-焦后CCD探测器、 12-焦前测量艾里斑、 13-焦前大虚拟针孔探测域、 14-焦前小虚拟针孔 探测域、 15-焦后测量艾里斑、 16-焦后大虚拟针孔探测域、 17-焦后小虚拟针孔探测域、 18- 焦前大虚拟针孔探测共焦特性曲线、 19-焦前小虚拟针孔探测共焦特性曲线、 20-焦前横向 相减锐化共焦特性曲线、 21-焦后大虚拟针孔探测共焦特性曲线、 22-焦后小虚拟针孔探测 共焦特性曲线、。

24、 23-焦后横向相减锐化共焦特性曲线、 24-横向相减差动共焦特性曲线、 25- 差动共焦线性拟合直线、 26-拟合直线零点、 27-图像采集系统、 28-主控计算机、 29-多路电 说明书 3/5 页 6 CN 109883357 A 6 机驱动系统、 30-轴向测量运动系统、 31-五维调整系统、 32-激光器、 33-显微物镜、 34-针孔、 35-平面半反半透镜。 具体实施方式 0034 下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明。 0035 本发明使用横向相减差动共焦抛物面顶点曲率半径测量方法来实现抛物面顶点 曲率半径的高精度测量， 核心思想： 在差动共焦测量系统中， 通过大、 小虚拟。

25、针孔横向相减 探测来锐化共焦特性曲线， 通过锐化共焦特性曲线的差动相减探测实现抛物面顶点曲率半 径测量中表面顶点和焦点位置的高精度定焦， 进而达到提高抛物面顶点曲率半径测量精度 的目的。 0036 实施例1： 0037 如附图5所示， 横向相减差动共焦抛物面顶点曲率半径测量方法的测量步骤是： 0038 1)启动主控计算机28的测量软件， 打开激光器32， 激光器32发出的光经过显微物 镜33和针孔34后形成点光源1。 点光源1发出的光经分束镜2、 准直透镜3、 测量物镜4和平面 半反半透镜35后照射在被测抛物面镜5上。 0039 2)调整被测抛物面镜5， 使其与准直透镜3、 测量物镜4和平面半。

26、反半透镜35共光 轴， 测量物镜4将准直透镜3出射的平行光束汇聚成测量光束照射在被测抛物面镜5上， 由被 测抛物面镜5反射回来的光通过测量物镜4将准直透镜3被分束镜2反射， 反射的光束聚焦为 测量光斑， 并被横向相减差动共焦探测系统6探测； 0040 3)主控计算机28中的测量软件， 通过图像采集系统27获得由焦前CCD探测器9采集 到的焦前测量艾里斑12， 和焦后CCD探测器11采集到的焦后测量艾里斑15； 0041 4)如图2所示， 沿光轴方向移动被测抛物面镜5， 使测量光束的焦点与被测抛物面 镜5顶点位置重合； 在顶点位置附近扫描被测抛物面镜5， 将横向相减差动共焦探测系统6中 焦前大虚。

27、拟针孔探测域13探测的焦前大虚拟针孔探测共焦特性曲线18IB1(z,-uM)和焦前小 虚拟针孔探测域14探测到的焦前小虚拟针孔探测共焦特性曲线19IS1(z,-uM)进行相减处 理， 得到半高宽压缩的焦前横向相减锐化共焦特性曲线20I1(z,-uM)IS1(z,-uM)-IB1 (z,-uM)； 将横向相减差动共焦探测系统6中焦后大虚拟针孔探测域16探测的焦后大虚拟针 孔探测共焦特性曲线21IB2(z,+uM)， 和焦后小虚拟针孔探测域17探测到的焦后小虚拟针孔 探测共焦特性曲线22IS2(z,+uM)进行相减处理， 得到半高宽压缩的焦后横向相减锐化共焦 特性曲线23I2(z,+uM)IS2(。

28、z,+uM)-IB2(z,+uM)， 取0.5、 uM2.98； 0042 大/小虚拟针孔探测域探测共焦特性曲线的过程是： 在CCD探测器探测焦前测量艾 里斑12和焦后测量艾里斑15的每帧图像上选取一个同心圆域， 对大圆域内的每个像素光强 进行积分得到一条共焦强度响应曲线IB(z,uM)， 对小圆域内的每个像素光强积分得到一条 共焦强度响应曲线IS(z,uM)， 然后将IB(z,uM)和IS(z,uM)进行相减处理， 得到横向相减共焦 响应曲线I(z,uM)IS(z,uM)-IB(z,uM)， 改变调节因子实现共焦特性曲线的优化。 0043 5)本实施例中大圆域直径选取11个像素， 小圆域直径。

29、选取5个像素， 取0.5， 如 图3所示， 主控计算机28的测量软件将相减处理得到的焦前横向相减锐化共焦特性曲线20 和焦后横向相减锐化共焦特性曲线23依据式(1)进行差动相减处理得到离散横向相减差动 共焦特性曲线24； 说明书 4/5 页 7 CN 109883357 A 7 0044 6)如图4所示， 将离散横向相减差动共焦特性曲线24进行拟合处理， 通过对离散横 向相减差动共焦特性曲线24绝对零点附近的离散测量数据进行线性拟合， 得到差动共焦线 性拟合直线25， 测量软件通过差动共焦线性拟合直线25的拟合直线零点26来精确定焦测量 物镜4的焦点位置， 记录测试被测抛物面镜5的表面顶点位置。

30、Z10.0158mm； 0045 7)继续沿测量物镜4光轴方向移动被测抛物面镜5， 当测量光束的焦点扫过被测抛 物面镜5的焦点位置时， 测量光束经被测抛物面镜5反射后准直为平行光束射向平面半反半 透镜35上， 光束经平面半反半透镜35反射后又经被测抛物面镜5反射后沿原光路， 经平面半 反半透镜35、 测量物镜4和准直透镜3入射到分束镜2， 由分束镜2反射后进入横向相减差动 共焦探测系统6被探测。 在该位置附近扫描被测抛物面镜5， 由横向相减差动共焦探测系统6 测得离散横向相减差动共焦特性曲线24， 主控计算机28通过差动共焦线性拟合直线25的拟 合直线零点26来精确确定被测抛物面镜5的焦点位置。

31、， 记录此时被测抛物面镜5的焦点位置 Z2-27.2589mm； 0046 8)计算被测抛物面镜5两位置之间的距离Z1-Z2-27.2747mm， 则27.2747mm即为被 测抛物面5的焦距值， 27.2747mm254.5494mm， 即为被测抛物面镜5的顶点曲率半径值。 0047 以上结合附图对本发明的具体实施方式作了说明， 但这些说明不能被理解为限制 了本发明的范围， 本发明的保护范围由随附的权利要求书限定， 任何在本发明权利要求基 础上的改动都是本发明的保护范围。 说明书 5/5 页 8 CN 109883357 A 8 图1 图2 说明书附图 1/3 页 9 CN 109883357 A 9 图3 图4 说明书附图 2/3 页 10 CN 109883357 A 10 图5 说明书附图 3/3 页 11 CN 109883357 A 11 。