便于拆装区熔线圈的辅助装置.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201921315555.X (22)申请日 2019.08.14 (73)专利权人 天津中环领先材料技术有限公司 地址 300384 天津市滨海新区高新区华苑 产业区 （环外） 海泰东路12号内 (72)发明人 边智学郝大维刘琨吴峰 赵闯李皓王聚安孙晨光 王彦君 (74)专利代理机构 天津滨海科纬知识产权代理 有限公司 12211 代理人 戴文仪 (51)Int.Cl. C30B 13/20(2006.01) C30B 29/06(2006.01) (54)实用新型名称 一种便。

2、于拆装区熔线圈的辅助装置 (57)摘要 本实用新型提供一种便于拆装区熔线圈的 辅助装置， 该装置包括一种便于拆装区熔线圈的 辅助装置， 其特征在于： 包括珍珠棉、 主体钢托、 连接杆， 所述珍珠棉下表面与主体钢托上表面连 接， 所述主体钢托下表面中心位置设置有连接 杆。 该实用新型的有益效果是： 在原来区熔线圈 更换安装环节仅靠手托区熔线圈拆装， 容易造成 区熔线圈及与其连接的部位密封圈脱落， 进而造 成装置密封性能不达标， 以及手持安装不稳定容 易碰撞下方固有的保温桶结构的情况下， 增加了 该辅助装置， 在该辅助装置的连接杆上设置连接 孔直接连接在设备原有部件上， 借助设备原有部 件的结构及。

3、可升降的功能实现对区熔线圈的方 便稳定安装， 避免了连接部位密封圈密封不好及 保温桶碰撞损坏问题。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 210826436 U 2020.06.23 CN 210826436 U 1.一种便于拆装区熔线圈的辅助装置， 其特征在于： 包括珍珠棉、 主体钢托、 连接杆， 所 述主体钢托上表面连接有珍珠棉， 所述主体钢托下表面中心位置向下设置有连接杆， 所述 连接杆底端连接在夹持器上端的内轴轴尖上， 所述珍珠棉上侧表面抵在区熔线圈的下表 面。 2.根据权利要求1所述的一种便于拆装区熔线圈的辅助装置， 其特征在于： 所述珍珠棉 与主体钢托通过粘结剂牢固连接。 3。

4、.根据权利要求1所述的一种便于拆装区熔线圈的辅助装置， 其特征在于： 所述主体钢 托横截面为圆形， 所述珍珠棉的截面尺寸与主体钢托上表面尺寸一致。 4.根据权利要求1所述的一种便于拆装区熔线圈的辅助装置， 其特征在于： 所述连接杆 远离主体钢托一端的底部中心位置设置有开口向下的连接孔， 所述连接孔插接在夹持器的 内轴轴尖上。 5.根据权利要求4所述的一种便于拆装区熔线圈的辅助装置， 其特征在于： 所述连接孔 与内轴轴尖尺寸相同。 权利要求书 1/1 页 2 CN 210826436 U 2 一种便于拆装区熔线圈的辅助装置 技术领域 0001 本实用新型涉及区熔硅单晶生长工艺领域， 尤其是涉及到。

5、一种便于拆装区熔线圈 的辅助装置。 背景技术 0002 区熔法(FZ)生产单晶硅是区别于直拉法(CZ)的一种新型的单晶生长方法， 它利用 高频感应线圈(区熔线圈)将高纯的多晶料加热融化， 产生的熔区依靠熔硅的表面张力和加 热线圈提供的磁托浮力处于悬浮状态， 然后利用籽晶熔接多晶棒料经过晶体生长的过程拉 制成单晶。 0003 区熔法生长的硅单晶纯度高， 均匀性好， 低微缺陷， 优良的电学性能适合制作高 压、 大电流、 大功率的电力电子器件， 拥有极大的市场空间。 随着先进大规模集成电路和功 率半导体器件的不断发展， 单晶硅渐向大直径、 大重量、 低成本方向发展。 0004 区熔硅单晶的生长过程主。

6、要包括清炉、 装炉、 抽空、 预热、 化料、 引晶、 放肩、 转肩、 等径、 收尾、 降温、 停炉。 在区熔炉生长单晶时， 拉制不同尺寸单晶需要大小不同的高频感应 线圈(区熔线圈)作为工艺基础， 在装炉环节也就需要根据单晶尺寸拆卸安装不同尺寸的区 熔线圈。 小尺寸区熔线圈拉制较细单晶， 一般200及240线圈重量在十公斤左右， 用手托 住线圈即可在铜轴上进行安装和拆卸。 随着半导体技术的发展， 硅单晶大直径化成为必然 趋势， 从原来的直径三寸、 四寸、 五寸、 六寸到现在生产的八寸区熔单晶， 使用大尺寸线圈重 量达二十多公斤， 如果再用手托住线圈进行拆装则很容易造成线圈与铜轴连接处密封圈错 位。

7、进而漏水， 使得在抽空过程中不能达到炉内所需真空环境， 需重复操作进而造成工时浪 费， 同时单晶制备设备结构紧凑， 用手托住线圈拆装很容易压到线圈下方的保温桶， 使保温 桶形状变形不能起到正常保温效果。 实用新型内容 0005 有鉴于此， 本实用新型旨在提出一种便于拆装区熔线圈的辅助装置， 以方便区熔 线圈的拆装， 减少拆装过程对整个区熔装置的影响， 进一步提高单晶硅制备效率。 0006 为达到上述目的， 本实用新型的技术方案是这样实现的： 0007 一种便于拆装区熔线圈的辅助装置， 包括珍珠棉、 主体钢托、 连接杆， 所述主体钢 托上表面连接有珍珠棉， 所述主体钢托下表面中心位置向下设置有连。

8、接杆， 所述连接杆底 端连接在夹持器上端的内轴轴尖上， 所述珍珠棉上侧表面抵在区熔线圈的下表面， 用于支 撑区熔线圈的重量。 0008 进一步的， 所述珍珠棉与主体钢托通过粘结剂牢固连接。 0009 进一步的， 所述主体钢托横截面为圆形， 所述珍珠棉的截面尺寸与主体钢托上表 面尺寸一致。 0010 进一步的， 所述连接杆远离主体钢托一端的底部中心位置设置有开口向下的连接 孔， 所述连接孔插接在夹持器的内轴轴尖上。 说明书 1/3 页 3 CN 210826436 U 3 0011 进一步的， 所述连接孔与内轴轴尖尺寸相同。 0012 相对于现有技术， 本实用新型所述的一种便于拆装区熔线圈的辅助。

9、装置具有以下 优势： 0013 本实用新型所述的便于拆装区熔线圈的辅助装置在原来区熔线圈更换安装环节 仅靠手托区熔线圈拆装， 容易造成区熔线圈及与其连接的部位密封圈脱落， 进而造成装置 密封性能不达标， 以及手持安装不稳定容易碰撞下方固有的保温桶结构的情况下， 增加了 该辅助装置， 在该辅助装置的连接杆上设置连接孔直接连接在设备原有部件上， 借助设备 原有部件的结构及可升降的功能实现对区熔线圈的方便稳定安装， 避免了连接部位密封圈 密封不好及保温桶碰撞损坏问题。 同时， 在主体钢托上表面设置珍珠棉， 相较于用手托区熔 线圈， 将区熔线圈放置在珍珠棉上， 不会损害线圈表面。 附图说明 0014 。

10、构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解， 本实用新 型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型， 并不构成对本实用新型的不当限定。 在 附图中： 0015 图1为本实用新型实施例所述的一种便于拆装区熔线圈的辅助装置示意图； 0016 图2为本实用新型实施例所述的一种便于拆装区熔线圈的辅助装置使用安装示意 图。 0017 附图标记说明： 0018 1-珍珠棉； 2-主体钢托； 3-连接杆； 4-连接孔； 5-保温桶； 6-区熔线圈； 7-线圈水路 孔； 8-铜轴水路孔； 9-密封圈； 10-螺纹孔； 11-铜轴； 12-内轴轴尖； 13-夹持器； 14-下轴。 具体实施方式。

11、 0019 需要说明的是， 在不冲突的情况下， 本实用新型中的实施例及实施例中的特征可 以相互组合。 0020 在本实用新型的描述中， 需要理解的是， 术语 “中心” 、“纵向” 、“横向” 、“上” 、“下” 、 “前” 、“后” 、“左” 、“右” 、“竖直” 、“水平” 、“顶” 、“底” 、“内” 、“外” 等指示的方位或位置关系为 基于附图所示的方位或位置关系， 仅是为了便于描述本实用新型和简化描述， 而不是指示 或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、 以特定的方位构造和操作， 因此不能理解 为对本实用新型的限制。 此外， 术语 “第一” 、“第二” 等仅用于描述目的， 而不能理。

12、解为指示 或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。 由此， 限定有 “第一” 、“第二” 等 的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。 在本实用新型的描述中， 除非另 有说明，“多个” 的含义是两个或两个以上。 0021 在本实用新型的描述中， 需要说明的是， 除非另有明确的规定和限定， 术语 “安 装” 、“相连” 、“连接” 应做广义理解， 例如， 可以是固定连接， 也可以是可拆卸连接， 或一体地 连接； 可以是机械连接， 也可以是电连接； 可以是直接相连， 也可以通过中间媒介间接相连， 可以是两个元件内部的连通。 对于本领域的普通技术人员而言， 可以通过具体情况理解。

13、上 述术语在本实用新型中的具体含义。 0022 下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。 说明书 2/3 页 4 CN 210826436 U 4 0023 如图1和图2所示， 一种便于拆装区熔线圈的辅助装置， 包括珍珠棉1、 主体钢托2、 连接杆3， 所述主体钢托2上表面连接有珍珠棉1， 所述主体钢托2下表面中心位置向下设置 有连接杆3， 所述连接杆3底端连接在夹持器13上端的内轴轴尖12上， 所述珍珠棉1上侧表面 抵在区熔线圈6的下表面， 用于支撑区熔线圈6的重量。 0024 所述珍珠棉1与主体钢托2通过粘结剂牢固连接。 0025 所述主体钢托2横截面为圆形， 所述珍珠棉1的截面尺。

14、寸与主体钢托2上表面尺寸 一致。 0026 所述连接杆3远离主体钢托2一端的底部中心位置设置有开口向下的连接孔4， 所 述连接孔4插接在夹持器的内轴轴尖12上。 0027 所述连接孔4与内轴轴尖12尺寸相同。 0028 所述夹持器13下方设置有下轴14， 所述下轴14连接在升降机构上， 实现下轴的升 降功能。 0029 本实施例的工作过程如下： 0030 当需要用到该装置辅助区熔线圈安装时， 将辅助装置通过连接孔4连接在设备原 有部件的内轴轴尖12上， 内轴轴尖12位于夹持器13上表面， 内轴轴尖12与连接孔4尺寸相 同， 此时利用设备原有部件下轴14的升降功能， 使该辅助装置上升通过两端开口。

15、设置的保 温桶5， 此时将需要安装的区熔线圈6放置在珍珠棉1上表面， 继续上升辅助装置使区熔线圈 6与铜轴11处于同一水平面上， 此时将线圈水路孔7与铜轴水路孔8之间的密封圈放置好， 微 调区熔线圈6的位置， 使铜轴11与区熔线圈6上的螺丝孔10位置对齐， 用螺丝固定拧紧， 然后 利用设备原有部件下轴14的升降功能， 使该辅助装置下降至初始高度， 取下该辅助装置。 0031 以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已， 并不用以限制本实用新型， 凡在本 实用新型的精神和原则之内， 所作的任何修改、 等同替换、 改进等， 均应包含在本实用新型 的保护范围之内。 说明书 3/3 页 5 CN 210826436 U 5 图1 说明书附图 1/2 页 6 CN 210826436 U 6 图2 说明书附图 2/2 页 7 CN 210826436 U 7 。