用于射频二氧化碳激光器的M型光路引导装置.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201922411807.5 (22)申请日 2019.12.28 (73)专利权人 南京晨锐腾晶激光科技有限公司 地址 211100 江苏省南京市江宁区淳化街 道乾德路2号方山工业区4号厂房 (72)发明人 唐友清 (74)专利代理机构 南京天华专利代理有限责任 公司 32218 代理人 李德溅 (51)Int.Cl. H01S 3/22(2006.01) H01S 3/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于射频二氧化碳激光器的M型光路引 导装置 (57)摘要 。

2、本实用新型公开了一种用于射频二氧化碳 激光器的M型光路引导装置， 其特征在于： 该M型 光路引导装置包括陶瓷板 （6） ， 在陶瓷板 （6） 上设 有呈M形设置的四条光路凹槽， 其中边缘的两条 光路凹槽分别邻近陶瓷板 （6） 的相应长边且皆平 行于陶瓷板 （6） 的长边， 光路凹槽的截面呈U形且 U形的中下部为半圆弧形。 本实用新型通过在激 光谐振腔中设置构成M形的四条光路凹槽， 因光 路凹槽的截面近似于圆形， 因此在该光路凹槽中 振荡输出的激光光束截面也近似于圆形， 能够直 接应用于激光加工， 不需要通过复杂的光路整 形； 该M型光路引导装置用于激光谐振腔中能够 增加激光增益长度， 能够提高。

3、激光器的装配效 率， 降低生产成本， 适宜推广使用。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 210926602 U 2020.07.03 CN 210926602 U 1.一种用于射频二氧化碳激光器的M型光路引导装置， 其特征在于： 该M型光路引导装 置包括陶瓷板 （6） ， 在陶瓷板 （6） 上设有呈M形设置的四条光路凹槽， 其中边缘的两条光路凹 槽分别邻近陶瓷板 （6） 的相应长边且皆平行于陶瓷板 （6） 的长边， 光路凹槽的截面呈U形且U 形的中下部为半圆弧形。 2.根据权利要求1所述的用于射频二氧化碳激光器的M型光路引导装置， 其特征在于： 所述的光路凹槽分别是光路凹槽A （1）。

4、 、 光路凹槽B （2） 、 光路凹槽C （3） 和光路凹槽D （4） ， 其中 光路凹槽A （1） 和光路凹槽D （4） 分别临近相应的陶瓷板 （6） 的两条长边且皆平行于陶瓷板 （6） 的长边， 光路凹槽B （2） 和光路凹槽C （3） 分别起始于光路凹槽A （1） 和光路凹槽D （4） 同向 的一端、 且同时向陶瓷板 （6） 另一端的短边中部延伸交汇。 3.根据权利要求2所述的用于射频二氧化碳激光器的M型光路引导装置， 其特征在于： 所述光路凹槽A （1） 的自由端为激光输出端 （11） ， 光路凹槽A （1） 和光路凹槽B （2） 的交汇点为 第一交汇点激光反射端 （12） ； 光路凹。

5、槽B与光路凹槽C的交汇点为第二交汇点激光反射端 （31） ； 光路凹槽C （3） 与光路凹槽D （4） 的交汇点为第三交汇点激光反射端 （42） ， 且光路凹槽D （4） 的自由端为开口激光反射端 （41） 。 4.根据权利要求2或3所述的用于射频二氧化碳激光器的M型光路引导装置， 其特征在 于： 所述光路凹槽A （1） 和光路凹槽B （2） 之间的夹角为2 4 。 5.根据权利要求2或3所述的用于射频二氧化碳激光器的M型光路引导装置， 其特征在 于： 所述的光路凹槽B （2） 和光路凹槽C （3） 之间的夹角为4 8 。 6.根据权利要求2或3所述的用于射频二氧化碳激光器的M型光路引导装置，。

6、 其特征在 于： 所述的光路凹槽C （3） 和光路凹槽D （4） 之间的夹角为2 4 。 7.根据权利要求3所述的用于射频二氧化碳激光器的M型光路引导装置， 其特征在于： 所述激光输出端 （11） 对应的激光谐振腔腔体上设置有激光输出镜， 第一交汇点激光反射端 （12） 、 第二交汇点激光反射端 （31） 、 第三交汇点激光反射端 （42） 和开口激光反射端 （41） 对 应的激光谐振腔腔体上设置有激光反射镜。 8.根据权利要求1或2所述的用于射频二氧化碳激光器的M型光路引导装置， 其特征在 于： 所述光路凹槽的宽度为2.5mm3.5mm。 9.根据权利要求1所述的用于射频二氧化碳激光器的M型。

7、光路引导装置， 其特征在于： 所述陶瓷板 （6） 的截面形状为矩形。 10.根据权利要求1所述的用于射频二氧化碳激光器的M型光路引导装置， 其特征在于： 所述陶瓷板 （6） 上设有用于装配定位该M型光路引导装置的定位通孔 （5） 。 权利要求书 1/1 页 2 CN 210926602 U 2 一种用于射频二氧化碳激光器的M型光路引导装置 技术领域 0001 本实用新型涉及激光技术领域， 具体地说是一种用于射频二氧化碳激光器的M型 光路引导装置。 背景技术 0002 在射频二氧化碳激光器的谐振腔内一般由正电极板、 负电极板和连接正负电极板 的电感构成LC振荡电路， 正电极板和负电极板为两块平行。

8、相对设置的平板电极， 开启激光 器后， 在正负电极板之间的激光工作气体被激励发生辉光放电生成激光， 激光在振荡电路 中不断振荡放大最后输出到谐振腔外， 由于平板电极激励输出的激光束截面形状为矩形， 不能直接用于激光加工， 所以还需要通过外光路整形装置将矩形光束转变为圆形光束， 才 能用于激光加工， 因此采用平板电极的激光谐振腔一般都要和复杂的光路整形装置配套使 用， 这样就会增加激光器的装配难度和制造成本， 影响激光器的推广应用。 实用新型内容 0003 本实用新型的目的是针对现有技术存在的问题， 提供一种用于射频二氧化碳激光 器的M型光路引导装置， 将该M型光路引导装置加设到激光谐振腔的正负。

9、电极板之间， 即可 使激光谐振腔直接输出截面近圆的光束， 不需要采用光路整形装置对光束进行整形， 即可 直接用于激光加工。 0004 本实用新型的目的是通过以下技术方案解决的： 0005 一种用于射频二氧化碳激光器的M型光路引导装置， 其特征在于： 该M型光路引导 装置包括陶瓷板， 在陶瓷板上设有呈M形设置的四条光路凹槽， 其中边缘的两条光路凹槽分 别邻近陶瓷板的相应长边且皆平行于陶瓷板的长边， 光路凹槽的截面呈U形且U形的中下部 为半圆弧形。 0006 所述的光路凹槽分别是光路凹槽A、 光路凹槽B、 光路凹槽C和光路凹槽D， 其中光路 凹槽A和光路凹槽D分别临近相应的陶瓷板的两条长边且皆平行。

10、于陶瓷板的长边， 光路凹槽 B和光路凹槽C分别起始于光路凹槽A和光路凹槽D同向的一端、 且同时向陶瓷板另一端的短 边中部延伸交汇。 0007 所述光路凹槽A的自由端为激光输出端， 光路凹槽A和光路凹槽B的交汇点为第一 交汇点激光反射端； 光路凹槽B与光路凹槽C的交汇点为第二交汇点激光反射端； 光路凹槽C 与光路凹槽D的交汇点为第三交汇点激光反射端， 且光路凹槽D的自由端为开口激光反射 端。 0008 所述光路凹槽A和光路凹槽B之间的夹角为2 4 。 0009 所述的光路凹槽B和光路凹槽C之间的夹角为4 8 。 0010 所述的光路凹槽C和光路凹槽D之间的夹角为2 4 。 0011 所述激光输出。

11、端对应的激光谐振腔腔体上设置有激光输出镜， 第一交汇点激光反 射端、 第二交汇点激光反射端、 第三交汇点激光反射端和开口激光反射端对应的激光谐振 说明书 1/3 页 3 CN 210926602 U 3 腔腔体上设置有激光反射镜。 0012 所述光路凹槽的宽度为2.5mm3.5mm。 0013 所述陶瓷板的截面形状为矩形。 0014 所述陶瓷板上设有用于装配定位该M型光路引导装置的定位通孔。 0015 本实用新型相比现有技术有如下优点： 0016 本实用新型通过在激光谐振腔中设置构成M形的四条光路凹槽， 因光路凹槽的截 面近似于圆形， 因此在该光路凹槽中振荡输出的激光光束截面也近似于圆形， 能。

12、够直接应 用于激光加工， 不需要通过复杂的光路整形； 该M型光路引导装置用于激光谐振腔中能够增 加激光增益长度， 能够提高激光器的装配效率， 降低生产成本， 适宜推广使用。 附图说明 0017 附图1为本实用新型的M型光路引导装置的俯视图； 0018 附图2为本实用新型的M型光路引导装置的左视图。 0019 其中： 1光路凹槽A； 11激光输出端； 12第一交汇点激光反射端； 2光路凹槽 B； 3光路凹槽C； 31第二交汇点激光反射端； 4光路凹槽D； 41开口激光反射端； 42 第三交汇点激光反射端； 5定位通孔； 6陶瓷板。 具体实施方式 0020 下面结合附图与实施例对本实用新型作进一步。

13、的说明。 0021 如图1-2所示： 一种用于射频二氧化碳激光器的M型光路引导装置， 其特征在于： 该 M型光路引导装置包括陶瓷板6， 在截面形状为矩形的陶瓷板6上设有呈M形设置的四条光路 凹槽， 其中边缘的两条光路凹槽分别邻近陶瓷板6的相应长边且皆平行于陶瓷板6的长边， 光路凹槽的截面呈U形且U形的中下部为半圆弧形， 光路凹槽的宽度为2.5mm3.5mm， 即半 圆弧形的直径为2.5mm3.5mm。 光路凹槽分别是光路凹槽A1、 光路凹槽B2、 光路凹槽C3和光 路凹槽D4， 其中光路凹槽A1和光路凹槽D4分别临近相应的陶瓷板6的两条长边且皆平行于 陶瓷板6的长边， 光路凹槽B2和光路凹槽C。

14、3分别起始于光路凹槽A1和光路凹槽D4同向的一 端、 且同时向陶瓷板6另一端的短边中部延伸交汇。 进一步的来说， 光路凹槽A1的自由端为 激光输出端11， 光路凹槽A1和光路凹槽B2的交汇点为第一交汇点激光反射端12， 光路凹槽 A1和光路凹槽B2之间的夹角为2 4 ； 光路凹槽B2与光路凹槽C3的交汇点为第二交汇点激 光反射端31， 光路凹槽B2和光路凹槽C3之间的夹角为4 8 ； 光路凹槽C3与光路凹槽D4的 交汇点为第三交汇点激光反射端42， 光路凹槽C3和光路凹槽D4之间的夹角为2 4 且光路 凹槽D4的自由端为开口激光反射端41； 在激光输出端11对应的激光谐振腔腔体上设置有激 光输。

15、出镜， 第一交汇点激光反射端12、 第二交汇点激光反射端31、 第三交汇点激光反射端42 和开口激光反射端41对应的激光谐振腔腔体上设置有激光反射镜。 0022 为了装配该M型光路引导装置， 在陶瓷板6上设有用于装配定位该M型光路引导装 置的两个定位通孔5。 0023 安装时， 本实用新型的M型光路引导装置位于激光谐振腔的上电极板和下电极板 之间， 激光器运行时， 射频电源通过射频馈头给上电极板施加射频信号， 上电极板对下电极 板放电， 使得处于上电极板和下电极板之间的光路凹槽A1、 光路凹槽B2、 光路凹槽C3和光路 说明书 2/3 页 4 CN 210926602 U 4 凹槽D4中的激光。

16、气体被激发产生辉光放电， 形成激光在四块激光反射镜和一块激光输出镜 之间来回反射振荡放大， 振荡放大使激光功率不断增加， 当激光功率达到输出阈值时激光 束会冲破激光输出镜上的半透膜输出谐振腔外， 实现激光的起振和输出。 0024 本实用新型通过在激光谐振腔中设置构成M形的四条光路凹槽， 因光路凹槽的截 面近似于圆形， 因此在该光路凹槽中振荡输出的激光光束截面也近似于圆形， 能够直接应 用于激光加工， 不需要通过复杂的光路整形； 该M型光路引导装置用于激光谐振腔中能够增 加激光增益长度， 能够提高激光器的装配效率， 降低生产成本， 适宜推广使用。 0025 以上实施例仅为说明本实用新型的技术思想， 不能以此限定本实用新型的保护范 围， 凡是按照本实用新型提出的技术思想， 在技术方案基础上所做的任何改动， 均落入本实 用新型保护范围之内； 本实用新型未涉及的技术均可通过现有技术加以实现。 说明书 3/3 页 5 CN 210926602 U 5 图1 图2 说明书附图 1/1 页 6 CN 210926602 U 6 。