硅片料清洗用漂流机械臂.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201921764977.5 (22)申请日 2019.10.21 (73)专利权人 浙江矽盛电子有限公司 地址 321071 浙江省衢州市开化县工业园 区银辉路 号 (72)发明人 李威 (74)专利代理机构 浙江翔隆专利事务所(普通 合伙) 33206 代理人 周培培 (51)Int.Cl. B08B 3/04(2006.01) B08B 13/00(2006.01) F26B 21/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)实用新型名称 一种硅。

2、片料清洗用漂流机械臂 (57)摘要 本实用新型公开了一种硅片料清洗用漂流 机械臂， 包括气缸、 横杆、 漂流箱、 漂流篮和鼓风 机， 漂流箱的内壁上固定有支撑块， 支撑块的上 方放置有漂流篮， 漂流箱两侧的地面上放置有支 架， 支架的上端固定有气缸， 气缸一侧的支架上 端固定有导轨， 导轨上通过滑块滑动连接有竖 杆， 竖杆内侧的上端部固定有横杆， 横杆的内侧 嵌入固定有硬质水管， 硬质水管的底部固定有漂 流清洗管， 漂流清洗管的底部固定有喷嘴， 漂流 箱内部的上端固定有基板， 基板的上方固定有鼓 风机。 本实用新型通过设置有横杆、 气缸、 漂流 箱、 漂流篮、 喷嘴、 漂流清洗管、 鼓风机， 。

3、解决了人 工对硅片料进行清洗的效果差、 浪费人力资源、 效率低和无法对清洗后的硅片料进行快速干燥 的问题。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 210966106 U 2020.07.10 CN 210966106 U 1.一种硅片料清洗用漂流机械臂， 包括气缸(2)、 横杆(6)、 漂流箱(11)、 漂流篮(12)和 鼓风机(18)， 其特征在于： 所述漂流箱(11)的内壁上固定有支撑块(13)， 所述支撑块(13)的 上方放置有漂流篮(12)， 所述漂流箱(11)放置于地面(9)上， 所述漂流箱(11)两侧的地面 (9)上放置有支架(1)， 所述支架(1)的上端固定有气缸(2)， 。

4、所述气缸(2)一侧的支架(1)上 端固定有导轨(3)， 所述导轨(3)上通过滑块(4)滑动连接有竖杆(5)， 所述竖杆(5)内侧的上 端部固定有横杆(6)， 所述横杆(6)的内侧嵌入固定有硬质水管(7)， 所述硬质水管(7)的底 部固定有漂流清洗管(16)， 所述漂流清洗管(16)的底部固定有喷嘴(15)， 所述漂流箱(11) 内部的上端固定有基板(17)， 所述基板(17)的上方固定有鼓风机(18)。 2.根据权利要求1所述的一种硅片料清洗用漂流机械臂， 其特征在于： 所述漂流箱(11) 共设有三组， 所述支架(1)及其上方的气缸(2)、 导轨(3)皆设有两组， 且两组导轨(3)上的滑 块(。

5、4)上皆固定有竖杆(5)， 两组竖杆(5)分别对应横杆(6)的两端。 3.根据权利要求1所述的一种硅片料清洗用漂流机械臂， 其特征在于： 所述漂流篮(12) 的内部放置有硅片料主体(14)， 所述喷嘴(15)底端的水平位置低于漂流篮(12)上端面的水 平位置。 4.根据权利要求1所述的一种硅片料清洗用漂流机械臂， 其特征在于： 所述漂流箱(11) 的一侧贯穿固定有排水管(10)， 且排水管(10)的排水量等于喷嘴(15)的出水量。 5.根据权利要求1所述的一种硅片料清洗用漂流机械臂， 其特征在于： 所述横杆(6)的 内部开设有圆槽(19)， 所述硬质水管(7)嵌入圆槽(19)内与横杆(6)固定。

6、连接。 6.根据权利要求1所述的一种硅片料清洗用漂流机械臂， 其特征在于： 所述漂流清洗管 (16)的底部共设有九个喷嘴(15)， 且喷嘴(15)与漂流清洗管(16)、 硬质水管(7)和进水管 (8)连通。 权利要求书 1/1 页 2 CN 210966106 U 2 一种硅片料清洗用漂流机械臂 技术领域 0001 本实用新型涉及硅片料清洗技术领域， 具体为一种硅片料清洗用漂流机械臂。 背景技术 0002 硅， 指半导体制作材料是 “晶体硅” ， 制作的元件叫做晶体管。 片， 指这个器件的形 状为片状， 形容比较薄。 硅片， 又叫做 “芯片” 、 集成电路块。 一只硅片里面通常含有数十到数 万。

7、个硅晶体管组成的电路， 完成一个或者数个功能。 目前， 现有的硅片料在生产加工时， 需 要对其进行漂流清洗， 而传统的现有技术都是通过人工漂流清洗， 人工漂流时手动摇摆给 水， 大大增加了人力， 浪费人力资源， 且需要人工守护， 不停的摇摆供水管， 一但停止摇摆漂 流工作即停止， 工作效率偏低， 人工摇摆不均匀， 漂流效果不佳， 沉料多， 辅助工作操作时需 停止漂流工作， 局限性较大， 且漂流清洗完成后无法快速的对硅片料进行干燥， 因此有必要 对现有技术进行改进， 以解决上述问题。 实用新型内容 0003 (一)解决的技术问题 0004 本实用新型的目的在于提供一种硅片料清洗用漂流机械臂， 以。

8、解决上述背景技术 中提出的问题。 0005 (二)技术方案 0006 为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 一种硅片料清洗用漂流机械臂， 包括气缸、 横杆、 漂流箱、 漂流篮和鼓风机， 所述漂流箱的内壁上固定有支撑块， 所述支撑块 的上方放置有漂流篮， 所述漂流箱放置于地面上， 所述漂流箱两侧的地面上放置有支架， 所 述支架的上端固定有气缸， 所述气缸一侧的支架上端固定有导轨， 所述导轨上通过滑块滑 动连接有竖杆， 所述竖杆内侧的上端部固定有横杆， 所述横杆的内侧嵌入固定有硬质水管， 所述硬质水管的底部固定有漂流清洗管， 所述漂流清洗管的底部固定有喷嘴， 所述漂流箱 内部的上端固定有。

9、基板， 所述基板的上方固定有鼓风机。 0007 优选的， 所述漂流箱共设有三组， 所述支架及其上方的气缸、 导轨皆设有两组， 且 两组导轨上的滑块上皆固定有竖杆， 两组竖杆分别对应横杆的两端。 0008 优选的， 所述漂流篮的内部放置有硅片料主体， 所述喷嘴底端的水平位置低于漂 流篮上端面的水平位置。 0009 优选的， 所述漂流箱的一侧贯穿固定有排水管， 且排水管的排水量等于喷嘴的出 水量。 0010 优选的， 所述横杆的内部开设有圆槽， 所述硬质水管嵌入圆槽内与横杆固定连接。 0011 优选的， 所述漂流清洗管的底部共设有九个喷嘴， 且喷嘴与漂流清洗管、 硬质水管 和进水管连通。 0012。

10、 (三)有益效果 0013 与现有技术相比， 本实用新型的有益效果是： 说明书 1/4 页 3 CN 210966106 U 3 0014 (1)本实用新型通过设置横杆、 气缸、 漂流箱、 漂流篮、 喷嘴、 漂流清洗管， 使本实用 新型采用机械化的漂流清洗方式， 无需人工守护， 打开电源和气阀， 即可自动摇摆给水， 进 行漂流清洗， 且机械化的摇摆均匀， 无间断， 辅助工作操作时无需停止漂流工作， 有效的解 决了人工对硅片料进行清洗的效果差、 浪费人力资源、 效率低的问题， 在进行漂流清洗时， 将硅片料主体放置于漂流篮内， 漂流篮通过支撑块放置在漂流箱内， 利用气缸带动滑块在 导轨上运动， 滑。

11、块带动竖杆及横杆做水平往复运动， 从而使横杆内的硬质水管做水平往复 运动， 而硬质水管通过进水管连通外界水源供水， 通过漂流清洗管聚集， 由喷嘴喷出， 在漂 流箱内对硅片料主体进行机械式漂流清洗。 0015 (2)本实用新型通过设置鼓风机、 漂流箱， 使本实用新型能够在漂流清洗后快速的 进行风干处理， 便于后续的加工使用， 有效的解决了无法对清洗后的硅片料进行快速干燥 的问题， 在漂流清洗后， 将漂流篮取出， 放置在漂流箱上， 利用鼓风机的工作吹风， 对清洗好 的硅片料主体进行快速风干。 附图说明 0016 图1为本实用新型的内部结构示意图； 0017 图2为本实用新型的漂流箱的侧剖图； 00。

12、18 图3为本实用新型漂流箱的剖视放大结构示意图 0019 图4为本实用新型的横杆的俯视图。 0020 图中附图标记为： 1、 支架； 2、 气缸； 3、 导轨； 4、 滑块； 5、 竖杆； 6、 横杆； 7、 硬质水管； 8、 进水管； 9、 地面； 10、 排水管； 11、 漂流箱； 12、 漂流篮； 13、 支撑块； 14、 硅片料主体； 15、 喷 嘴； 16、 漂流清洗管； 17、 基板； 18、 鼓风机； 19、 圆槽。 具体实施方式 0021 下面将结合本实用新型实施例中的附图， 对本实用新型实施例中的技术方案进行 清楚、 完整地描述， 显然， 所描述的实施例仅仅是本实用新型一部。

13、分实施例， 而不是全部的 实施例。 基于本实用新型中的实施例， 本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下 所获得的所有其他实施例， 都属于本实用新型保护的范围。 0022 请参阅图1-4， 本实用新型提供的一种实施例： 一种硅片料清洗用漂流机械臂， 包 括气缸2、 横杆6、 漂流箱11、 漂流篮12和鼓风机18， 漂流箱11的内壁上固定有支撑块13， 支撑 块13用于支撑漂流篮12使用， 支撑块13的上方放置有漂流篮12， 漂流篮12用于承载硅片料 主体14， 做漂流清洗的载体使用， 漂流箱11放置于地面9上， 漂流箱11两侧的地面9上放置有 支架1， 支架1上用于固定机械化的漂流清洗结构。

14、， 支架1的上端固定有气缸2， 气缸2的型号 为SC63， 属于现有技术， 在此不做过多描述， 气缸2作为机械化漂流清洗的气动动力来源， 气 缸2一侧的支架1上端固定有导轨3， 导轨3上通过滑块4滑动连接有竖杆5， 导轨3上滑动连接 滑块4， 滑块4作为漂流机械臂用的支撑载件， 也就是为了支撑竖杆5和横杆6做水平往复运 动使用， 从而带动硬质水管7及以下部件进行往复运动， 使喷嘴15能够对不同位置硅片料主 体14进行冲洗和翻转； 竖杆5内侧的上端部固定有横杆6， 横杆6提供供水结构的固定载体， 往复运动时形成机械漂流的主要支撑件， 横杆6的内侧嵌入固定有硬质水管7， 硬质水管7为 了方便固定使。

15、用， 硬质水管7的底部固定有漂流清洗管16， 漂流清洗管16的底部固定有喷嘴 说明书 2/4 页 4 CN 210966106 U 4 15， 喷嘴15及漂流清洗管16作为漂流出水的主要构件， 能够均匀的进行漂流作业， 旋转喷嘴 15的设计， 能够向周围进行喷水， 冲洗角度多样化， 使水流运动带动硅片料主体14进行不断 的翻转， 能够更好的托起硅片料主体14进行漂流， 使冲洗的更加全面漂流箱11内部的上端 固定有基板17， 基板17用于固定支撑鼓风机18使用， 基板17的上方固定有鼓风机18， 鼓风机 18的型号为RT-H2125AS， 属于现有技术， 在此不做过多描述， 鼓风机18作为对硅片。

16、料主体14 的快速风干结构。 0023 进一步， 漂流箱11共设有三组， 支架1及其上方的气缸2、 导轨3皆设有两组， 且两组 导轨3上的滑块4上皆固定有竖杆5， 两组竖杆5分别对应横杆6的两端， 气缸2、 导轨3、 滑块4、 竖杆5和横杆6构成整个漂流机械臂的主体部分， 利用两组气缸2推动滑块4在导轨3上水平 往复运动， 从而带动竖杆5及横杆6进行往复式的运动， 从而实现横杆6内侧供水结构的漂流 摇摆作业。 0024 进一步， 漂流篮12的内部放置有硅片料主体14， 喷嘴15底端的水平位置低于漂流 篮12上端面的水平位置， 硅片料主体14放置在漂流篮12内， 方便进行批量漂流清洗， 而喷嘴 。

17、15设置于低于漂流篮12上端面的设计， 则是为了更好的对漂流箱11内的水进行漂流， 避免 喷嘴15过高而导致水流的冲击力不够。 0025 进一步， 漂流箱11的一侧贯穿固定有排水管10， 且排水管10的排水量等于喷嘴15 的出水量， 排水管10用于排出清洗时产生的带有杂质的水， 且排水管10的排水量等于九个 喷嘴15的出水量， 形成一个稳定的循环， 保持漂流箱11内的水量恒定。 0026 进一步， 横杆6的内部开设有圆槽19， 硬质水管7嵌入圆槽19内与横杆6固定连接， 横杆6开设圆槽19对硬质水管7进行镶嵌卡接， 无需外力及外部结构辅助， 简单便捷。 0027 进一步， 漂流清洗管16的底部。

18、共设有九个喷嘴15， 且喷嘴15与漂流清洗管16、 硬质 水管7和进水管8连通， 九个喷嘴15能够保持出水的均匀性， 保证出水的面积均匀分布， 不会 出现一片区域出水多， 一片区域出水少的情况， 增加漂流清洗的均匀稳定性。 0028 工作原理： 使用时， 将三组漂流箱11和两组支架1放置在地面9上， 将两组支架1上 气缸2的输出端与滑块4连接， 而滑块4上通过竖杆5与横杆6的两端连接， 两组气缸2的行程 一致， 推动滑块4在导轨3上水平来回滑动， 而在进行硅片料主体14的清洗时， 将硅片料主体 14放置于漂流篮12内， 漂流篮12放置于漂流箱11内， 通过支撑块13进行支撑， 而事先封堵排 水。

19、管10， 在漂流箱11内注入一定量的清洗水， 在开始清洗后， 连通气缸2的电源， 通过预设的 行程控制滑块4、 竖杆5和横杆6水平往复运动， 气缸2的控制方式不属于本实用新型的必要 技术特征， 在此不做过多描述， 而横杆6往复运动时， 带动其内侧圆槽19内卡接的硬质水管7 水平往复运动， 使硬质水管7底端漂流清洗管16底部的喷嘴15在漂流篮12的内部往复移动， 通过进水管8连接外部水源注入， 经硬质水管7和漂流清洗管16由喷嘴15喷出， 对漂流篮12 内的硅片料主体14进行机械化的漂流清洗， 九个喷嘴15喷出的水流在漂流箱11内的水面上 进行漂流， 带动水流动， 实现漂洗的过程， 而排水管10。

20、同步的进行排水， 将带有杂质的污水 排出， 如此循环往复， 直至漂洗完成， 漂流清洗完成后， 将漂流篮12取出， 横放在漂流箱11 上， 连通基板17上鼓风机18的电源， 对清洗后的漂流篮12内的硅片料主体14进行快速风干 作业， 且风干作业时， 能够再次进行新一轮的漂流清洗作业， 不耽误漂洗工作的效率。 0029 需要说明的是， 在本文中， 诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实 体或者操作与另一个实体或操作区分开来， 而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存 说明书 3/4 页 5 CN 210966106 U 5 在任何这种实际的关系或者顺序。 而且， 术语 “包括” 、“包含”。

21、 或者其任何其他变体意在涵盖 非排他性的包含， 从而使得包括一系列要素的过程、 方法、 物品或者设备不仅包括那些要 素， 而且还包括没有明确列出的其他要素， 或者是还包括为这种过程、 方法、 物品或者设备 所固有的要素。 0030 尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例， 对于本领域的普通技术人员而言， 可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、 修 改、 替换和变型， 本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。 说明书 4/4 页 6 CN 210966106 U 6 图1 图2 说明书附图 1/2 页 7 CN 210966106 U 7 图3 图4 说明书附图 2/2 页 8 CN 210966106 U 8 。