翻转式真空阀及气相沉积设备.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201921332240.6 (22)申请日 2019.08.16 (73)专利权人 星弧涂层新材料科技(苏州)股份 有限公司 地址 215122 江苏省苏州市工业园区星华 产业园5号楼 (72)发明人 钱涛钱政羽吴其涛 (74)专利代理机构 南京艾普利德知识产权代理 事 务 所( 特 殊 普 通 合 伙 ) 32297 代理人 陆明耀顾祥安 (51)Int.Cl. F16K 1/20(2006.01) F16K 31/53(2006.01) F16K 27/02(2006.01。

2、) F16K 51/02(2006.01) C23C 14/56(2006.01) (54)实用新型名称 翻转式真空阀及气相沉积设备 (57)摘要 本实用新型揭示了翻转式真空阀及气相沉 积设备， 包括具有内腔且至少第一侧板上形成有 阀口的阀体， 所述阀体内设置有阀芯， 所述阀芯 上具有与所述阀口对应的密封圈， 所述阀芯连接 可驱动其朝所述阀口移动的驱动机构， 所述驱动 机构包括使阀芯的端面微调至与阀体的第一侧 板的内壁平行的微调机构。 本方案设计精巧， 结 构简单， 通过使阀板可相对摆臂转动的结构及弹 簧构成的微调结构， 使阀板的端面与阀口所在区 域的阀体内壁平行， 从而可以保证密封圈与阀体 。

3、内壁紧密贴合， 有效的改善了密封性， 保证了真 空度。 权利要求书1页 说明书4页 附图7页 CN 210978543 U 2020.07.10 CN 210978543 U 1.翻转式真空阀， 其特征在于： 包括具有内腔且至少第一侧板上形成有阀口的阀体， 所 述阀体内设置有阀芯， 所述阀芯的端面上设置有与所述阀口对应的密封圈， 所述阀芯连接 可驱动其朝所述阀口移动的驱动机构， 所述驱动机构包括使阀芯的端面微调至与阀体的第 一侧板的内壁平行的微调机构。 2.根据权利要求1所述的翻转式真空阀， 其特征在于： 所述阀体包括槽体及盖体， 所述 阀口所在的侧板的外表面形成有围设在所述阀口外围的密封件。。

4、 3.根据权利要求1所述的翻转式真空阀， 其特征在于： 所述密封圈为硅胶密封圈。 4.根据权利要求1所述的翻转式真空阀， 其特征在于： 所述驱动机构包括一位置固定且 可自转的转轴， 所述转轴连接驱动其自转的动力机构且其上设置有摆臂， 所述摆臂枢轴连 接阀芯的第二侧板上的枢轴连接座， 所述摆臂上位于其与枢轴连接座的连接点的下方位置 连接弹簧的一端， 所述弹簧的另一端固定在所述第二侧板上。 5.根据权利要求4所述的所述的翻转式真空阀， 其特征在于： 所述动力机构包括固定于 转轴上的第一锥齿轮， 所述第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合， 所述第二锥齿轮连接一传动轴， 所述传动轴可转动地插接在一位置固定的轴套。

5、中且连接传动杆的一端， 所述传动杆上形成 有腰型孔， 所述腰型孔中可滑动地连接一连接件， 所述连接件连接气缸。 6.根据权利要求5所述的所述的翻转式真空阀， 其特征在于： 所述连接件上卡接一导向 轴， 所述导向轴与所述气缸的气缸轴的延伸方向平行， 且其可滑动地插接在两个导向座上。 7.根据权利要求5所述的所述的翻转式真空阀， 其特征在于： 所述气缸位于所述阀体的 外部。 8.根据权利要求4-7任一所述的所述的翻转式真空阀， 其特征在于： 所述摆臂上位于其 枢轴连接座的连接点上方设置有穿过其的限位杆。 9.根据权利要求4-7任一所述的所述的翻转式真空阀， 其特征在于： 所述摆臂上设置有 插接在所。

6、述弹簧中的导向销， 所述导向销延伸到所述摆臂外的长度小于弹簧自然状态下延 伸到摆臂外的长度。 10.气相沉积设备， 其特征在于： 包括权利要求1-9任一所述的翻转式真空阀。 权利要求书 1/1 页 2 CN 210978543 U 2 翻转式真空阀及气相沉积设备 技术领域 0001 本实用新型涉及气相沉积设备领域， 尤其是翻转式真空阀及气相沉积设备。 背景技术 0002 气相沉积技术是利用气相中发生的物理、 化学过程， 在工件表面形成功能性或装 饰性的金属、 非金属或化合物涂层。 0003 气相沉积设备是进行沉积的主要场所， 在沉积过程中， 需在一定的真空环境下进 行， 因此， 各种沉积设备通。

7、过阀门进行真空腔的密封或进行不同腔体之间的隔断， 但是常规 的阀体， 如各种插板阀， 翻板阀等。 0004 目前， 市场上常见的翻板阀主要包括翻转轴、 球头螺母、 压紧板、 锁板、 密封圈、 阀 体等零部件组成， 翻转轴固定于腔体外的摆动缸上， 压紧板焊接到翻转轴上， 通过球头螺母 与螺柱将压紧板与锁板连接到一起； 然而， 此种翻板阀存在以下问题： 0005 密封性不佳， 主要是由于翻板阀的密封板和腔体的密封面之间， 在接近贴合处， 两 个面不平行， 造成搓胶圈， 使密封性能下降， 胶圈易损。 实用新型内容 0006 本实用新型的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题， 提供一种翻转式真 空。

8、阀及气相沉积设备。 0007 本实用新型的目的通过以下技术方案来实现： 0008 翻转式真空阀， 包括具有内腔且至少第一侧板上形成有阀口的阀体， 所述阀体内 设置有阀芯， 所述阀芯上具有与所述阀口对应的密封圈， 所述阀芯连接可驱动其朝所述阀 口移动的驱动机构， 所述驱动机构包括使阀芯的端面微调至与阀体的第一侧板的内壁平行 的微调机构。 0009 优选的， 所述的翻转式真空阀中， 所述阀体包括槽体及盖体， 所述阀口所在的侧板 的外表面形成有围设在所述阀口外围的密封件。 0010 优选的， 所述的翻转式真空阀中， 所述密封圈为硅胶密封圈。 0011 优选的， 所述的翻转式真空阀中， 所述驱动机构包。

9、括一位置固定且可自转的转轴， 所述转轴连接驱动其自转的动力机构且其上设置有摆臂， 所述摆臂的枢轴连接阀芯的第二 侧板上的枢轴连接座， 所述摆臂上位于其与枢轴连接座的连接点的下方位置连接弹簧的一 端， 所述弹簧的另一端固定在所述第二侧板上。 0012 优选的， 所述的翻转式真空阀中， 所述动力机构包括固定于转轴上的第一锥齿轮， 所述第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合， 所述第二锥齿轮连接一传动轴， 所述传动轴可转动地 插接在一位置固定的轴套中且连接传动杆的一端， 所述传动杆上形成有腰型孔， 所述腰型 孔中可滑动地连接一连接件， 所述连接件连接气缸。 0013 优选的， 所述的翻转式真空阀中， 所述连接件。

10、上卡接一导向轴， 所述导向轴与所述 气缸的气缸轴的延伸方向平行， 且其可滑动地插接在两个导向座上。 说明书 1/4 页 3 CN 210978543 U 3 0014 优选的， 所述的翻转式真空阀中， 所述气缸位于所述阀体的外部。 0015 优选的， 所述的翻转式真空阀中， 所述摆臂上位于其枢轴连接座的连接点上方设 置有穿过其的限位杆。 0016 优选的， 所述的翻转式真空阀中， 所述摆臂上设置有插接在所述弹簧中的导向销， 所述导向销延伸到所述摆臂外的长度小于弹簧自然状态下延伸到摆臂外的长度。 0017 气相沉积设备， 其包括上述任一所述的翻转式真空阀。 0018 本实用新型技术方案的优点主要。

11、体现在： 0019 本方案设计精巧， 结构简单， 通过使阀板可相对摆臂转动的结构及弹簧构成的微 调结构， 使阀板的端面与阀口所在区域的阀体内壁平行， 从而可以保证密封圈与阀体内壁 紧密贴合， 有效的改善了密封性， 保证了真空度。 0020 本方案的驱动结构采用气缸作为动力源， 通过锥齿轮传动结构， 传动和控制更为 精准， 使阀板的翻转、 到位更为精准， 效率高， 控制简单， 密封效果更好。 0021 采用导向轴对气缸的伸缩轴进行限制， 能够有效的保证气缸的运动稳定性， 改善 了整个动力机构的运行有效性。 0022 采用硅胶密封圈， 质地更软， 相对于氟橡胶能够更好的保证密封性。 附图说明 00。

12、23 图 1 是本实用新型的翻转式真空阀的剖视图； 0024 图 2 是本实用新型的翻转式真空阀的立体图； 0025 图 3是本实用新型的翻转式真空阀隐去阀体的主视图； 0026 图4是本实用新型的翻转式真空阀隐去阀体的俯视图； 0027 图5是本实用新型的翻转式真空阀隐去阀体的侧视图； 0028 图6是本实用新型的翻转式真空阀隐去阀体的后视图； 0029 图7本实用新型的锁紧盘的立体图。 具体实施方式 0030 本实用新型的目的、 优点和特点， 将通过下面优选实施例的非限制性说明进行图 示和解释。 这些实施例仅是应用本实用新型技术方案的典型范例， 凡采取等同替换或者等 效变换而形成的技术方案。

13、， 均落在本实用新型要求保护的范围之内。 0031 在方案的描述中， 需要说明的是， 术语 “中心” 、“上” 、“下” 、“左” 、“右” 、“前” 、“后” 、 “竖直” 、“水平” 、“内” 、“外” 等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系， 仅是为了便于描述和简化描述， 而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方 位、 以特定的方位构造和操作， 因此不能理解为对本实用新型的限制。 此外， 术语 “第一” 、 “第二” 、“第三” 仅用于描述目的， 而不能理解为指示或暗示相对重要性。 并且， 在方案的描 述中， 以操作人员为参照， 靠近操作者的方向为近端， 远离操作者。

14、的方向为远端。 0032 下面结合附图对本实用新型揭示的翻转式真空阀进行阐述， 如附图1、 附图2所示， 其包括具有内腔11且至少第一侧板12上形成有阀口13的阀体1， 具体来看， 所述阀体1包括 具有长方体腔体的槽体15及盖体16， 所述槽体15的第一侧板14上形成一圆角矩形的阀口 13， 并且， 第一侧板14的外表面形成有围设在所述阀口13外围的密封槽111， 所述密封槽111 说明书 2/4 页 4 CN 210978543 U 4 内设置有密封件。 所述槽体15的槽口的端面上形成有密封圈固定槽151， 所述密封圈固定槽 内设置有密封圈， 所述盖体16为矩形并覆盖所述槽体的槽口， 从而所。

15、述槽体15及盖体16之 间通过密封圈密封。 0033 如附图1所示， 所述阀体1内设置有阀芯2， 所述阀芯包括阀板22， 常态下， 所述阀板 22朝向所述第一侧板14的端面21倾斜， 其上端到第一侧板14的距离小于其下端到所述第一 侧板14的距离， 所述阀板22的端面21处形成有密封圈安装槽23中， 如附图3所示， 所述密封 圈安装槽23内固定有密封圈3， 所述密封圈3与所述阀口13相对， 所述密封圈3优选为硅胶密 封圈， 相对于常规的氟橡胶， 硅胶圈的质地更软， 能够更好的形变， 从而保证密封的可靠性。 0034 如附图1所示， 所述阀芯2连接可驱动其朝所述阀口13移动的驱动机构4， 具体的。

16、所 述驱动机构4驱动所述阀芯2摆动， 并且， 所述驱动机构4包括使阀芯2在摆动后且其端面21 微调至与阀体1的第一侧板12的内壁平行的微调机构。 0035 具体来看， 如附图3所示， 所述驱动机构4包括一位置固定且可自转的转轴41， 所述 转轴41可转动地吊设于所述盖体16底部的两个支撑座410上， 所述支撑座410包括底板4101 及间隙设置于底板4101上的支撑板4102、 4103， 所述支撑板4102、 4103上共轴设置有轴承 440， 所述转轴41插接在所述轴承440的内孔中。 0036 如附图3所示， 所述转轴41连接驱动其自转的动力机构42， 所述动力机构42包括共 轴固定于转。

17、轴41上的第一锥齿轮421， 所述第一锥齿轮421与第二锥齿轮422啮合， 所述第二 锥齿轮422连接一传动轴423， 所述传动轴423垂直穿过所述阀体的盖体16， 且所述传动轴 423可转动地插接在一固定在所述盖体16上的轴套424中， 所述传动轴423延伸到所述盖体 16外部的一端连接一传动杆425的一端， 所述传动杆425上形成有一腰型孔4251， 所述腰型 孔4251中可滑动地连接一连接件426， 所述连接件426包括一U形座4261， 所述U形座4261的 两侧板上同轴设置有轴承4262， 所述轴承4262的内圈中插接有滑动销4263， 所述滑动销 （图 中未示出） 贯穿所述腰型孔4。

18、251， 所述连接件426的U形座4261的连接气缸427的气缸轴 4271， 所述气缸427固定于所述盖体1上且位于所述阀体1的外部。 0037 进一步， 为了避免气缸轴伸缩时摆动， 如附图4所示， 所述连接件426的U形座4261 上设置有一卡件4263， 所述卡件4263为U形， 所述卡件4263上卡接一导向轴428， 所述导向轴 428与所述气缸427的气缸轴4271的延伸方向平行， 且所述导向轴428上凹设有与所述卡件 4263卡接的一圆槽4281， 所述导向轴428可滑动地插接在两个导向座429上， 所述导向座429 固定在所述盖体16上， 且其上具有供导向轴428穿过的通孔 （图。

19、中未示出） 。 0038 当然， 在其他实施例中， 所述传动轴423也可以通过电机等作为动力源进行驱动， 此处为已知技术， 不作赘述。 0039 进一步， 如附图3、 附图5所示， 所述转轴41上设置有摆臂43， 所述摆臂43为两个且 分别位于所述支撑座410的两个支撑板4102、 4103之间， 所述转轴41具有用于连接所述摆臂 43的平面411， 所述平面411处设置有连接孔412， 所述摆臂43为L形， 且较短的部分连接在所 述平面411处， 其较长的部分延伸到所述转轴41的下方， 所述转轴41自转时及可带动摆臂43 转动。 0040 如附图5、 附图6所示， 两个所述摆臂43分别枢轴连。

20、接所述阀芯1的第二侧板17外壁 的枢轴连接座44上， 具体的， 所述摆臂43上形成有一腰型孔431， 所述枢轴连接座44为T形， 其纵板441插接在所述腰型孔431中， 并且， 所述纵板441通过垂直穿过其及摆臂43的连接销 说明书 3/4 页 5 CN 210978543 U 5 420及锁紧盘430与摆臂43连接， 所述连接销420的一端形成有用于卡接所述锁紧盘430的卡 槽4201。 0041 如附图7所示， 所述锁紧盘430具有一开口大内端小的缺口4301及间隙设置的多个 卡止部4302， 优选为三个， 所述卡止部4302的内表面为一圆周面的局部弧面， 并且该圆周面 的直径不超过所述卡。

21、槽4201的槽底圆直径。 0042 进一步， 如附图1所示， 所述摆臂43上位于其与枢轴连接座44的连接点的下方位置 连接弹簧45的一端， 所述弹簧45的另一端固定在所述第二侧板17上且位于所述枢轴连接座 44的下方且其轴线与所述阀板的内端面垂直， 所述弹簧45使所述阀板22在常态下保持倾斜 状态； 并且， 为了对所述弹簧45进行导向， 避免其不规则形变， 所述摆臂43上还设置有插接 在所述弹簧45中的导向销47， 所述导向销47延伸到所述摆臂43外的长度小于弹簧45自然状 态下延伸到摆臂外的长度， 即常态下， 所述导向销47与所述阀板22的内壁保持间隙。 0043 另外， 如附图1所示， 所。

22、述摆臂43上位于其枢轴连接座的连接点上方设置有穿过其 的限位杆46， 所述限位杆46可以在所述阀板22摆正时， 限制其顺时针转动的行程， 从而避免 其过度翻转。 0044 本方案的翻转式真空阀工作时， 所述气缸427驱动所述传动杆425传动， 从而带动 所述传动轴423自转， 所述传动轴423的转动通过第一锥齿轮421和第二锥齿轮422转变为转 轴41的自转运动， 从而带动所述摆臂43转动， 摆臂43带动所述阀板22向所述阀口方向移动， 当所述阀板22或其上的密封圈3与阀体的第一侧板的内壁接触时， 在内壁的阻力下， 所述阀 板22绕其与摆臂连接的连接销20转动至其端面21与第一侧板的内壁平行，。

23、 从而其上的密封 圈3与第一侧板的内壁紧密贴合。 0045 本方案进一步揭示了一种气相沉积设备， 包括上述实施例的翻转式真空阀， 所述 翻转式真空阀的第一侧板12连接在腔体的开口处。 0046 本实用新型尚有多种实施方式， 凡采用等同变换或者等效变换而形成的所有技术 方案， 均落在本实用新型的保护范围之内。 说明书 4/4 页 6 CN 210978543 U 6 图1 说明书附图 1/7 页 7 CN 210978543 U 7 图2 说明书附图 2/7 页 8 CN 210978543 U 8 图3 说明书附图 3/7 页 9 CN 210978543 U 9 图4 说明书附图 4/7 页 10 CN 210978543 U 10 图5 说明书附图 5/7 页 11 CN 210978543 U 11 图6 说明书附图 6/7 页 12 CN 210978543 U 12 图7 说明书附图 7/7 页 13 CN 210978543 U 13 。