加工处理装置.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201921641830.7 (22)申请日 2019.09.29 (73)专利权人 长鑫存储技术有限公司 地址 230000 安徽省合肥市经济技术开发 区翠微路6号海恒大厦630室 (72)发明人 凌嘉宏 (74)专利代理机构 广州华进联合专利商标代理 有限公司 44224 代理人 别亮亮 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) H01L 21/673(2006.01) H01L 21/677(2006.01) H01L 21/68(2006.01) (。

2、ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 (54)实用新型名称 加工处理装置 (57)摘要 本实用新型涉及一种加工处理装置， 加工处 理装置包括： 第一载物机构、 装配件与一个以上 遮盖件。 根据实际加工工序需要向第一载物机构 内放置晶圆或取出已加工完成的晶圆。 此时， 可 以用机械手或其他自动化设备对位于第一载物 机构操作口处的部分或全部遮盖件进行移动， 随 着遮盖件的移动会暴露出用于机械手或其他自 动化设备伸入第一载物机构的窗口。 机械手或其 他自动化设备即可通过该窗口带动晶圆进入第 一载物机构进行放置或经过该窗口将晶圆从第 一载物机构中取出。 待完成了对于晶圆的操作 后， 将被移动的遮盖。

3、件进行复位移动， 即操作口 重新被遮盖件全部密封。 上述加工处理装置提高 了晶圆的成品效果。 权利要求书1页 说明书7页 附图4页 CN 211017012 U 2020.07.14 CN 211017012 U 1.一种加工处理装置， 其特征在于， 包括： 第一载物机构、 装配件与一个以上遮盖件， 所 述第一载物机构用于放置晶圆， 所述第一载物机构开设有用于取放晶圆的操作口， 所述装 配件装设在所述第一载物机构的操作口处， 一个以上所述遮盖件均可活动地套设在所述装 配件上， 且所述遮盖件用于遮盖所述操作口， 所述遮盖件上还设有防震件。 2.根据权利要求1所述的加工处理装置， 其特征在于， 还。

4、包括两个以上隔板， 所述第一 载物机构包括储物箱与搭载机构， 所述储物箱用于放置晶圆， 所述储物箱放置在所述搭载 机构上， 所述搭载机构开设有与所述储物箱的箱口相对应的所述操作口， 两个以上所述隔 板沿所述储物箱的高度方向间隔设置在所述储物箱内部， 所述隔板用于放置晶圆， 且相邻 两个所述隔板之间的间隔大于所述晶圆的厚度。 3.根据权利要求2所述的加工处理装置， 其特征在于， 还包括喷气机构， 所述喷气机构 上设有第一喷嘴与第二喷嘴， 所述储物箱的底部开设有第一进气孔与第二进气孔， 所述第 一喷嘴与所述第一进气孔相连通， 所述第二喷嘴与所述第二进气孔相连通。 4.根据权利要求2所述的加工处理装。

5、置， 其特征在于， 所述第一载物机构还包括装配 框， 所述装配件装设在所述装配框上， 所述装配框装设在所述搭载机构上， 且所述装配框的 框口与所述操作口相对应， 所述框口的开口面积大于所述操作口的开口面积。 5.根据权利要求4所述的加工处理装置， 其特征在于， 所述装配框由多根安装杆拼接形 成， 或所述装配框由多个安装板拼装形成。 6.根据权利要求1所述的加工处理装置， 其特征在于， 还包括两个以上防震件， 所述遮 盖件为两个以上， 所述遮盖件沿所述装配件的轴向叠放， 所述防震件一一对应装设在所述 遮盖件上， 且相邻两个所述遮盖件之间通过所述防震件进行减震。 7.根据权利要求6所述的加工处理装。

6、置， 其特征在于， 所述遮盖件为铝质遮盖件、 钛质 遮盖件或者轻金属遮盖件； 所述防震件为橡胶防震件、 塑胶防震件或者柔性材质防震件。 8.根据权利要求6所述的加工处理装置， 其特征在于， 所述防震件贴合在所述遮盖件的 其中一面上， 所述遮盖件上开设有第一调位部与第二调位部， 且所述第一调位部与所述第 二调位部位于所述防震件的两侧。 9.根据权利要求8所述的加工处理装置， 其特征在于， 还包括拿取基座、 举升件与拿取 件， 所述举升件与所述拿取件均可活动地装设在所述拿取基座上， 且所述举升件的端部与 所述第一调位部和/或第二调位部插接配合。 10.根据权利要求9所述的加工处理装置， 其特征在于。

7、， 还包括同步座、 调位驱动件、 举 升驱动件与拿取驱动件， 所述调位驱动件装设在所述拿取基座上， 所述同步座装设在所述 调位驱动件的输出端， 所述举升驱动件与所述拿取驱动件均装设在所述同步座上， 所述举 升驱动件与所述举升件相连， 所述拿取驱动件与所述拿取件相连。 权利要求书 1/1 页 2 CN 211017012 U 2 加工处理装置 技术领域 0001 本实用新型涉及晶圆加工的技术领域， 特别是涉及一种加工处理装置。 背景技术 0002 传统地， 晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片， 在硅晶片上可加工制作 成各种电路元件， 从而成为有特定电性功能的集成电路产品。 因此， 对于晶圆。

8、的加工有着十 分严格的要求。 即需要在具有高清洁度的环境(无菌、 无杂质等条件)下进行晶圆加工。 但 是， 传统的加工方式将晶圆放置在加工设备中后， 外部空气依然能够与晶圆接触， 此时， 水 分或微颗粒杂质会附着在晶圆上， 从而影响了晶圆的成品效果。 实用新型内容 0003 基于此， 有必要提供一种加工处理装置， 能够提高晶圆的成品效果。 0004 其技术方案如下： 0005 一种加工处理装置， 其特征在于， 包括： 第一载物机构、 装配件与一个以上遮盖件， 所述第一载物机构用于放置晶圆， 所述第一载物机构开设有用于取放晶圆的操作口， 所述 装配件装设在所述第一载物机构的操作口处， 一个以上所。

9、述遮盖件均可活动地套设在所述 装配件上， 且所述遮盖件能够遮盖所述操作口， 所述遮盖件上还设有防震件。 0006 上述加工处理装置在使用时， 根据实际加工工序需要向第一载物机构内放置晶圆 或取出已加工完成的晶圆。 载物机构随着遮盖件的移动会暴露出用于机械手或其他自动化 设备伸入第一载物机构的窗口。 机械手或其他自动化设备即可通过该窗口带动晶圆进入第 一载物机构进行放置或经过该窗口将晶圆从第一载物机构中取出。 在此过程中， 机械手先 与防震件接触并进一步带动遮盖件进行移动， 从而能够有效避免机械手在带动遮盖件移动 时所产生的震动， 即保证了上述加工处理装置对于晶圆的稳定取放。 待完成了对于晶圆的。

10、 操作后， 将被移动的遮盖件进行复位移动， 即操作口重新被遮盖件全部密封。 上述加工处理 装置利用遮盖件对操作口进行遮盖， 避免了外界水分或杂质颗粒经过操作口进入第一载物 机构中， 从而保证晶圆在第一载物机构中处于高清洁度的环境， 提高了晶圆的成品效果。 0007 一种加工处理装置， 包括： 第二载物机构与封挡机构， 所述第二载物机构用于放置 晶圆， 所述第二载物机构开设有用于取放晶圆的取放口， 所述封挡机构可活动地装设在所 述第二载物机构上， 且所述封挡机构用于遮盖所述取放口。 0008 上述加工处理装置在使用时， 根据实际加工工序需要向第二载物机构内放置晶圆 或取出已加工完成的晶圆。 此时。

11、， 可以手动或依靠自动控制实现对封挡机构的移动。 随着封 挡机构的移动， 会解除封挡机构对于取放口的遮挡， 此时便可以通过取放口实现晶圆在第 二载物机构内部的放置(或将晶圆从第二载物机构内部取出)。 待完成了对于晶圆的操作 后， 将被移动的封挡机构进行复位移动， 即取放口重新被封挡机构全部密封。 上述加工处理 装置利用封挡机构对取放口进行遮盖， 避免了外界水分或杂质颗粒经过取放口进入第二载 物机构中， 从而保证晶圆在第二载物机构中处于高清洁度的环境， 提高了晶圆的成品效果。 说明书 1/7 页 3 CN 211017012 U 3 0009 下面进一步对技术方案进行说明： 0010 加工处理装。

12、置还包括两个以上隔板， 所述第一载物机构包括储物箱与搭载机构， 所述储物箱用于放置晶圆， 所述储物箱放置在所述搭载机构上， 所述搭载机构开设有与所 述储物箱的箱口相对应的所述操作口， 两个以上所述隔板沿所述储物箱的高度方向间隔设 置在所述储物箱内部， 所述隔板用于放置晶圆， 且相邻两个所述隔板之间的间隔大于所述 晶圆的厚度。 0011 加工处理装置还包括两个以上防震件， 所述遮盖件为两个以上， 所述遮盖件沿所 述装配件的轴向叠放， 所述防震件一一对应装设在所述遮盖件上， 且相邻两个所述遮盖件 之间通过所述防震件进行减震。 0012 所述遮盖件为铝质遮盖件、 钛质遮盖件或者轻金属遮盖件； 所述防。

13、震件为橡胶防 震件、 塑胶防震件或者其他柔性材质的防震件。 0013 所述防震件贴合在所述遮盖件的其中一面上， 所述遮盖件上开设有第一调位部与 第二调位部， 且所述第一调位部与所述第二调位部位于所述防震件的两侧。 0014 加工处理装置还包括喷气机构， 所述喷气机构上设有第一喷嘴与第二喷嘴， 所述 储物箱的底部开设有第一进气孔与第二进气孔， 所述第一喷嘴与所述第一进气孔相连通， 所述第二喷嘴与所述第二进气孔相连通。 0015 加工处理装置还包括拿取基座、 举升件与拿取件， 所述举升件与所述拿取件均可 活动地装设在所述拿取基座上， 且所述举升件的端部与所述第一调位部和/或第二调位部 插接配合。 。

14、0016 加工处理装置还包括同步座、 调位驱动件、 举升驱动件与拿取驱动件， 所述调位驱 动件装设在所述拿取基座上， 所述同步座装设在所述调位驱动件的输出端， 所述举升驱动 件与所述拿取驱动件均装设在所述同步座上， 所述举升驱动件与所述举升件相连， 所述拿 取驱动件与所述拿取件相连。 0017 加工处理装置还包括装配框， 所述装配框装设在所述搭载机构上， 且所述装配框 的框口与所述操作口相对应， 所述框口的开口面积大于所述操作口的开口面积。 附图说明 0018 图1为本实用新型一实施例所述的加工处理装置的结构示意图； 0019 图2为本实用新型另一实施例所述的加工处理装置的结构示意图； 002。

15、0 图3为本实用新型一实施例所述的储物箱的结构示意图； 0021 图4为本实用新型一实施例所述的遮盖件的结构示意图； 0022 图5为本实用新型一实施例所述的储物箱的内部结构示意图； 0023 图6为本实用新型一实施例所述的举升件与拿取件的结构示意图； 0024 图7为本实用新型另一实施例加工处理装置的结构示意图。 0025 附图标记说明： 0026 100、 第一载物机构， 110、 操作口， 120、 隔板， 130、 储物箱， 131、 第一进气孔， 132、 第 二进气孔， 140、 搭载机构， 150、 装配框， 160、 喷气机构， 161、 第一喷嘴， 162、 第二喷嘴， 20。

16、0、 装配件， 300、 遮盖件， 310、 防震件， 311、 第一调位部， 312、 第二调位部， 400、 晶圆， 500、 拿取 基座， 510、 同步座， 520、 调位驱动件， 530、 举升驱动件， 540、 拿取驱动件， 600、 举升件， 700、 说明书 2/7 页 4 CN 211017012 U 4 拿取件， 800、 第二载物机构， 810、 取放口， 900、 封挡机构。 具体实施方式 0027 为使本实用新型的目的、 技术方案及优点更加清楚明白， 以下结合附图及具体实 施方式， 对本实用新型进行进一步的详细说明。 应当理解的是， 此处所描述的具体实施方式 仅用以解。

17、释本实用新型， 并不限定本实用新型的保护范围。 0028 需要说明的是， 当元件被称为 “固定于” 另一个元件， 它可以直接在另一个元件上 或者也可以存在居中的元件。 当一个元件被认为是 “连接” 另一个元件， 它可以是直接连接 到另一个元件或者可能同时存在居中元件。 本文所使用的术语 “垂直的” 、“水平的” 、“左” 、 “右” 以及类似的表述只是为了说明的目的， 并不表示是唯一的实施方式。 0029 除非另有定义， 本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领 域的技术人员通常理解的含义相同。 本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为 了描述具体的实施方式的目的， 不是。

18、旨在于限制本实用新型。 本文所使用的术语 “及/或” 包 括一个或一个以上相关的所列项目的任意的和所有的组合。 0030 本实用新型中所述 “第一” 、“第二” 不代表具体的数量及顺序， 仅仅是用于名称的 区分。 0031 如图1或图2所示， 在一个实施例中， 一种加工处理装置， 包括： 第一载物机构100、 装配件200与一个以上遮盖件300， 所述第一载物机构100用于放置晶圆400， 所述第一载物 机构100开设有用于取放晶圆400的操作口110， 所述装配件200装设在所述第一载物机构 100的操作口110处， 一个以上所述遮盖件300均可活动地套设在所述装配件200上， 且所述 遮盖。

19、件300用于遮盖所述操作口110， 所述遮盖件300上还设有防震件310。 0032 上述加工处理装置在使用时， 根据实际加工工序需要向第一载物机构100 内放置 晶圆400或取出已加工完成的晶圆400。 此时， 可以用机械手或其他自动化设备对位于第一 载物机构100的操作口110处的部分或全部遮盖件300进行移动， 随着遮盖件300的移动会暴 露出用于机械手或其他自动化设备伸入第一载物机构100的窗口。 机械手或其他自动化设 备即可通过该窗口带动晶圆400 进入第一载物机构100进行放置或经过该窗口将晶圆400 从第一载物机构100 中取出。 在此过程中， 机械手先与防震件310接触并进一步。

20、带动遮盖件 300进行移动， 从而能够有效避免机械手在带动遮盖件300移动时所产生的震动， 即保证了 上述加工处理装置对于晶圆400的稳定取放。 待完成了对于晶圆400的操作后， 将被移动的 遮盖件300进行复位移动， 即操作口110重新被遮盖件300 全部密封。 上述加工处理装置利 用遮盖件300对操作口110进行遮盖， 避免了外界水分或杂质颗粒经过操作口110进入第一 载物机构100中， 从而保证晶圆 400在第一载物机构100中处于高清洁度的环境， 提高了晶 圆400的成品效果。 0033 在一个实施例中， 所述装配件200为装配柱或装配杆。 具体地， 所述装配件200垂直 装设在所述第。

21、一载物机构100上， 即一个以上所述遮盖件300沿所述装配件200的轴向套设 在所述装配件200上。 所述遮盖件300的一侧设有与所述装配件200相配合的穿插口。 更具体 地， 所述装配件200的个数可以是一个或者两个。 0034 在一个实施例中， 当所述装配件200的个数为一个时， 所述遮盖件300套设在所述 装配件200上后， 所述遮盖件300能够沿所述装配件200转动， 即在对遮盖件300进行移动时， 说明书 3/7 页 5 CN 211017012 U 5 可以通过举升遮盖件300形成用于晶圆400经过的窗口(指晶圆400从外部进入到第一载物 机构100所经过的窗口， 或晶圆400 从。

22、第一载物机构100取出到外部所经过的窗口)， 或者可 以将全部或部分的遮盖件300沿装配件200进行转动， 此时便会在操作口110处形成用于晶 圆400经过的窗口， 上述这种实施方式使得对遮盖件300的调节更加方便。 0035 在一个实施例中， 当所述装配件200的个数为两个时， 两个所述装配件200 均装设 在所述第一载物机构100上， 且两个所述装配件200分别位于所述操作口110处的对应两侧， 所述遮盖件300的两端分别开设有与所述装配件200相配合的第一装配口及第二装配口。 具 体地， 所述遮盖件300通过两根装配件200 进行轴向(遮盖件300沿装配件200的轴向移动) 移动， 同时。

23、能够避免遮盖件300在水平方向(装配件200的径向方向)发生移位， 保证了遮盖 件300对于第一载物机构100的密闭性。 0036 在一个实施例中， 所述遮盖件300为板体或片体。 当所述遮盖件300的个数为一个 时， 所述遮盖件300的尺寸大小会根据操作口110的开口尺寸进行确定， 即保证一个遮盖件 300能够完全遮挡操作口110。 当需要对晶圆400进行存放或取出时， 直接移动遮盖件300(遮 盖件300沿装配件200的轴向移动或者遮盖件300沿装配件200的径向进行转动)便能够形成 用于晶圆400经过的窗口 (指晶圆400从外部进入到第一载物机构100所经过的窗口， 或晶 圆400从第一。

24、载物机构100取出到外部所经过的窗口)。 最后， 待晶圆400完成取出或存放操 作后， 将遮盖件300重新复位实现对第一载物机构100的密封。 0037 在一个实施例中， 所述遮盖件300的个数为两个以上。 考虑到第一载物机构100内 部会叠放多个晶圆400， 因此， 在本实施例中， 当需要对晶圆400进行存放或取出时， 可以根 据第一载物机构100所能放置晶圆400的位置(指晶圆 400在第一载物机构100的放置高 度)， 或者所需移动的晶圆400在第一载物机构100对应的放置位置。 然后， 对与该晶圆400放 置位置对应的遮盖件300(或与该晶圆400位置最接近的遮盖件300)进行移动调节。

25、。 上述这 种实施方式一方面能够减少遮盖件300的移动距离， 另一方面也避免在操作口110处形成过 大的窗口， 避免水分或杂质颗粒经过该窗口进入到第一载物机构100内。 0038 如图1至图3所示， 在一个实施例中， 加工处理装置还包括两个以上隔板 120。 所述 第一载物机构100包括储物箱130与搭载机构140， 所述储物箱130 用于放置晶圆400， 所述 储物箱130放置在所述搭载机构140上， 所述搭载机构 140开设有与所述储物箱130的箱口 相对应的所述操作口110， 两个以上所述隔板120沿所述储物箱130的高度方向间隔设置在 所述储物箱130内部， 所述隔板120用于放置晶圆。

26、400， 且相邻两个所述隔板120之间的间隔 大于所述晶圆 400的厚度。 进一步地， 例如： 当机械手对架设在隔板120上的晶圆400进行取 放操作时， 机械手与晶圆400的表面接触后， 机械手会有一个举升的过程(即沿储物箱130的 高度方向移动)， 因此， 将相邻两个所述隔板120之间的间隔大于所述晶圆400的厚度， 一方 面能够为机械手提供举升空间， 另一方面也能够避免晶圆400在随机械手进行举升时与隔 板120发生摩擦损坏。 0039 上述加工处理装置在使用时， 按照加工程序需要向储物箱130内放置晶圆 400或 取出晶圆400。 此时， 利用机械手或其他自动化设备对位于搭载机构140。

27、 操作口110处的部 分或全部遮盖件300进行移动(沿装配件200的轴向进行升降移动或沿装配件200进行沿轴 转动)。 遮盖件300移动后， 被遮挡的操作口110 会暴露出用于机械手或其他自动化设备伸 入储物箱130的窗口， 机械手或其他自动化设备即可通过该窗口带动晶圆400进入储物箱 说明书 4/7 页 6 CN 211017012 U 6 130进行放置或从该窗口将晶圆400从储物箱130中取出。 待完成了对于晶圆400的操作后， 将被移动的遮盖件300进行复位移动， 即操作口110重新被遮盖件300全部密封。 上述加工处 理装置利用遮盖件300对操作口110进行遮盖， 避免了外界水分或杂。

28、质颗粒经过操作口110 进入储物箱130中， 从而保证晶圆400在储物箱130中处于高清洁度的环境， 提高了晶圆400 的成品效果。 0040 具体地， 通过储物箱130对晶圆400进行放置或存放， 通过搭载机构140 对储物箱 130进行搭载。 所述搭载机构140为桌体或基座。 考虑到晶圆400的加工程序较为繁琐， 此时， 通过搭载机构140可以将储物箱130固定在预设的高度位置， 实现储物箱130的箱口与加工 设备的腔室位于同一高度， 从而使得机械手在进行转移搬运时更加方便。 更具体地， 所述储 物箱130开设有箱口的一侧与搭载机构140的操作口110处相贴合， 即避免箱口与操作口110 。

29、之间存在缝隙。 0041 如图1和图4所示， 在一个实施例中， 加工处理装置还包括两个以上防震件310。 所 述遮盖件300为两个以上。 所述遮盖件300可以为铝质遮盖件、 钛质遮盖件或者其他轻金属 材质的遮盖件。 所述防震件310为橡胶防震件、 塑胶防震件或者其他柔性材质的防震件。 在 本实施例中， 所述遮盖件300为铝质遮盖件， 所述防震件310为全氟工程塑胶防震件。 进一步 地， 根据储物箱130内部多个隔板120的放置位置， 在本实施例中， 采用25个遮盖件， 即通过 25个遮盖件对储物箱130的窗口进行遮盖， 同时25个遮盖件遮盖在窗口后， 每个所述遮盖件 均能够一一对应相邻两个隔板。

30、之间的间隔(相邻两个隔板之间的间隔小于6mm)。 上述这种 实施方式有助于机械手对储物箱内部特定部位的晶圆进行取放。 所述遮盖件300沿所述装 配件200的轴向叠放， 所述防震件310一一对应装设在所述遮盖件300上， 且相邻两个所述遮 盖件300之间通过所述防震件310 进行减震。 具体地， 所述防震件310为缓冲垫或弹性层。 所 述防震件310装设在所述遮盖件300的底部。 即当两个以上所述遮盖件300进行叠放时， 位于 上方的遮盖件300会通过防震件310与下方的遮盖件300进行叠放， 从而实现了在相邻两个 遮盖件300之间的减震效果。 进一步地， 防震件310在遮盖件300 的重力作用。

31、下会产生一定 的弹性形变， 此时防震件310能够对相邻两个遮盖件 300形成的缝隙进行补偿填充， 从而提 高了遮盖件300对于第一载物机构100(操作口110)的密封性。 0042 如图1、 图4和图6所示， 在一个实施例中， 所述防震件310贴合在所述遮盖件300的 其中一面上， 所述遮盖件300上开设有第一调位部311与第二调位部312， 且所述第一调位部 311与所述第二调位部312位于所述防震件310的两侧。 加工处理装置还包括拿取基座500、 举升件600与拿取件700。 所述举升件600与所述拿取件700均可活动地装设在所述拿取基座 500上， 且所述举升件 600的端部与所述第一。

32、调位部311和/或第二调位部312插接配合。 具 体地， 所述第一调位部311与所述第二调位部312为凹部或弧形部。 所述举升件600为杆体或 柱体。 在本实施例中， 所述举升件600包括第一安装板与两根杆体， 两根所述杆体间隔设置 在所述第一安装板上。 在对遮盖件300进行移动时， 两根杆体分别插入第一调位部311与第 二调位部312， 同时由于第一调位部311与第二调位部312均为弧形部或凹部， 从而能够对杆 体起到一定的包裹作用， 避免在移动过程中， 杆体与第一调位部311或第二调位部312发生 意外脱落。 0043 如图5所示， 在一个实施例中， 加工处理装置还包括喷气机构160， 所。

33、述喷气机构 160上设有第一喷嘴161与第二喷嘴162， 所述储物箱130的底部开设有第一进气孔131与第 说明书 5/7 页 7 CN 211017012 U 7 二进气孔132， 所述第一喷嘴161与所述第一进气孔131相连通， 所述第二喷嘴162与所述第 二进气孔132相连通。 具体地， 当所述储物箱130放置在搭载机构140上后， 所述喷气机构160 能够与储物箱130进行对应装配， 即搭载机构140上留有用于喷气机构160与储物箱130安装 配合的空间(当所述储物箱130放置在搭载机构140上后， 所述第一喷嘴161能够与所述第一 进气孔131相连通， 所述第二喷嘴162能够与所述第。

34、二进气孔132相连通)。 通过喷气机构160 向所述储物箱130内部喷射氮气， 一方面能够为储物箱 130内部保持干燥的环境， 另一方面 使储物箱130内部形成正压， 有助于防止外界空气进入储物箱130内部。 更进一步地， 在本实 施例中由于遮盖件300能够对储物箱130的窗口进行遮盖， 所以喷气机构160可以采用低流 量氮气， 就能够保证储物箱130内部干燥、 干净的环境。 0044 如图1和图2所示， 在一个实施例中， 具体地， 所述拿取件700为板体或片体。 在本实 施例中， 所述拿取件700包括第二安装板与两个板体， 两个所述板体间隔设置在所述第二安 装板上， 且两个所述板体之间的间隔。

35、小于储物箱130 内两个隔板120之间的间隔(指位于储 物箱130相对两侧上的对应两个隔板 120)， 从而保证拿取件700在进入储物箱130后， 拿取 件700在进行微调上升或下降时不会与隔板120发生抵触。 0045 在一个实施例中， 加工处理装置还包括同步座510、 调位驱动件520、 举升驱动件 530与拿取驱动件540。 所述调位驱动件520装设在所述拿取基座500上， 所述同步座510装设 在所述调位驱动件520的输出端， 所述举升驱动件530与所述拿取驱动件540均装设在所述 同步座510上， 所述举升驱动件530与所述举升件600相连， 所述拿取驱动件540与所述拿取 件700。

36、相连。 具体地， 所述调位驱动件520、 举升驱动件530与拿取驱动件540为电机、 气缸或 油缸。 在本实施例中， 首先通过调位驱动件520带动同步座510移动或转动， 即使得位于同步 座510上的举升件600与拿取件700能够同步移动到与第一载物机构100 对应的操作区域， 然后， 通过举升驱动件530带动举升件600插入遮盖件300 的第一调位部311与第二调位部 312并进行举升操作， 此时便形成了用于拿取件700穿过的窗口。 通过拿取驱动件540带动拿 取件700穿过上述窗口进入第一载物机构100对晶圆400进行拿取或放置。 待晶圆400放置或 拿取后， 拿取驱动件540带动拿取件7。

37、00再次移动并经过上述窗口离开第一载物机构100。 待 拿取件700完全离开第一载物机构100后， 举升驱动件530带动举升件600移动直至遮盖件 300重新复位， 此时便完成了对于晶圆400的取放操作。 0046 在一个实施例中， 加工处理装置上摒弃了在第一载物机构100上加设任何驱动机 构， 避免了由于驱动机构的工作对第一载物机构100产生震动影响， 即避免了由于驱动机构 的工作对晶圆400的加工产生影响。 另外， 加工处理装置加设防震件310， 一方面能够提高遮 盖件300对于操作口110密封性， 另一方面举升件600在对遮盖件300进行举升时， 由于举升 驱动件530会产生一定的震动，。

38、 此时遮盖件300能够有效地吸收由举升驱动件530带来的震 动， 从而能够保证晶圆400在移动过程中的稳定性。 0047 如图1和图2所示， 在一个实施例中， 所述第一载物机构100还包括装配框150。 所述 装配件200装设在所述装配框150上， 所述装配框150装设在所述搭载机构140上， 且所述装 配框150的框口与所述操作口110相对应， 所述框口的开口面积大于所述操作口110的开口 面积。 具体地， 将所述框口的开口面积大于所述操作口110的开口面积， 能够避免装配件200 装设在装配框150上后对操作口110产生阻挡。 更具体地， 所述装配框150由多根安装杆或安 装板拼装而成， 。

39、当需要更换装配件200或需要更换遮盖件300时， 直接拆卸装配框 150的对 说明书 6/7 页 8 CN 211017012 U 8 应部分， 即可将所需更换的装配件200或遮盖件300取出， 操作十分方便。 0048 如图7所示， 在一个实施例中， 一种加工处理装置， 包括： 第二载物机构 800与封挡 机构900。 所述第二载物机构800用于放置晶圆400， 所述第二载物机构800开设有用于取放 晶圆400的取放口810， 所述封挡机构900可活动地装设在所述第二载物机构800上， 且所述 封挡机构900用于遮盖所述取放口810。 0049 上述加工处理装置在使用时， 根据实际加工工序需。

40、要向第二载物机构800 内放置 晶圆400或取出已加工完成的晶圆400。 此时， 可以手动或依靠自动控制实现对封挡机构900 的移动控制。 随着封挡机构900的移动， 会解除封挡机构 900对于取放口810的遮挡， 此时便 可以通过取放口810实现晶圆400在第二载物机构800内部的放置(或将晶圆400从第二载物 机构800内部取出)。 待完成了对于晶圆400的操作后， 将被移动的封挡机构900进行复位移 动， 即取放口 810重新被封挡机构900全部密封。 上述加工处理装置利用封挡机构900对取 放口810进行遮盖， 避免了外界水分或杂质颗粒经过取放口810进入第二载物机构800中， 从 而。

41、保证晶圆400在第二载物机构800中处于高清洁度的环境， 提高了晶圆400的成品效果。 0050 在一个实施例中， 所述第二载物机构800为箱体或存储柜。 所述封挡机构 900为门 板或帘板。 具体地， 在本实施例中所述封挡机构900为门板， 所述加工处理装置上设有滑轨， 所述门板经过所述滑轨能够相对于所述第二载物机构800 的取放口810移动， 即实现了门 板对于取放口810的遮挡与打开。 0051 以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合， 为使描述简洁， 未对上述实 施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述， 然而， 只要这些技术特征的组合不存 在矛盾， 都应当认为是本说明书记载。

42、的范围。 0052 以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式， 其描述较为具体和详细， 但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。 应当指出的是， 对于本领域的普通技 术人员来说， 在不脱离本实用新型构思的前提下， 还可以做出若干变形和改进， 这些都属于 本实用新型的保护范围。 因此， 本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。 说明书 7/7 页 9 CN 211017012 U 9 图1 图2 说明书附图 1/4 页 10 CN 211017012 U 10 图3 图4 说明书附图 2/4 页 11 CN 211017012 U 11 图5 图6 说明书附图 3/4 页 12 CN 211017012 U 12 图7 说明书附图 4/4 页 13 CN 211017012 U 13 。