显微镜检测与激光切割修复模组及装置.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201921636423.7 (22)申请日 2019.09.29 (73)专利权人 江苏才道精密仪器有限公司 地址 215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇 高新区元丰路33号 (72)发明人 马观岚 (74)专利代理机构 南京纵横知识产权代理有限 公司 32224 代理人 韩赛 (51)Int.Cl. C03C 23/00(2006.01) B23K 26/38(2014.01) G01N 21/88(2006.01) G01N 21/958(2006.01) (ESM)同样的。

2、发明创造已同日申请发明专利 (54)实用新型名称 一种显微镜检测与激光切割修复模组及装 置 (57)摘要 本实用新型公开一种显微镜检测与激光切 割修复模组， 包括基板、 滑动板、 承载板、 显微镜、 相机、 激光切割器和驱动装置； 基板的一侧板面 设有直线轨道， 滑动板通过直线轨道与基板构成 沿直线的滑动连接； 承载板固设于滑动板上， 驱 动装置固设于基板上， 其驱动部与承载板固连； 显微镜、 相机和激光切割器均固设于承载板上， 显微镜的物镜的轴线和激光切割器的发射头的 轴线均能够平行于承载板的移动方向； 显微镜的 物镜与相机的输入端建立光线通道以供相机的 成像芯片成像。 本实用新型具有的有益。

3、效果： 通 过将检测和修复合二为一进行系统集成， 实现了 同台设备同时运行的目的， 显著提高了作业效率 和作业精度。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 211035707 U 2020.07.17 CN 211035707 U 1.一种显微镜检测与激光切割修复模组， 其特征在于： 包括基板 （6） 、 滑动板 （5） 、 承载板 （3） 、 显微镜 （1） 、 相机、 激光切割器 （2） 和驱动装置； 所 述基板 （6） 的一侧板面设有直线轨道 （6.1） ， 所述滑动板 （5） 通过所述直线轨道 （6.1） 与所述 基板 （6） 构成沿直线的滑动连接； 所述承载板 （3） 固设于所。

4、述滑动板 （5） 上， 所述驱动装置固 设于所述基板 （6） 上， 其驱动部与所述承载板 （3） 固连； 所述显微镜 （1） 、 相机和所述激光切 割器 （2） 均固设于所述承载板 （3） 上， 所述显微镜 （1） 的物镜 （1.2） 的第一轴线 （I） 和所述激 光切割器 （2） 的发射头 （2.1） 的第二轴线 （II） 均能够平行于所述承载板 （3） 的移动方向 （III） ； 所述显微镜 （1） 的物镜 （1.2） 与所述相机的输入端建立光线通道以供所述相机的成 像芯片成像。 2.根据权利要求1所述的一种显微镜检测与激光切割修复模组， 其特征在于： 所述驱动装置包括电机 （10） 、 。

5、丝杠、 丝杠螺母和联轴器 （7） ， 所述电机 （10） 固设于所述 基板 （6） 上， 其主轴通过所述联轴器 （7） 与所述丝杠的端部连接； 所述丝杠的另一端转动安 装于所述基板 （6） 上， 所述丝杠螺母固设于所述承载板 （3） 上， 所述丝杠与所述丝杠螺母的 中心孔构成螺纹配合。 3.根据权利要求1所述的一种显微镜检测与激光切割修复模组， 其特征在于： 还包括上、 下限位器 （9、 11） ， 所述上、 下限位器 （9、 11） 固设于所述基板 （6） 上， 用于限制 所述滑动板 （5） 或所述承载板 （3） 的移动行程。 4.根据权利要求3所述的一种显微镜检测与激光切割修复模组， 其特。

6、征在于： 所述上、 下限位器 （9、 11） 具有能够受到外力作用而产生控制所述驱动装置的信号的触 发端。 5.根据权利要求1所述的一种显微镜检测与激光切割修复模组， 其特征在于： 所述显微镜 （1） 通过显微镜固定座 （4） 固设于所述承载板 （3） 上， 所述激光切割器 （2） 通 过激光固定座 （12） 固设于所述承载板 （3） 上。 6.一种显微镜检测与激光切割修复装置， 其特征在于： 包括两轴龙门架和如权利要求1 至5任一所述的一种显微镜检测与激光切割修复模组； 所述显微镜检测与激光切割修复模 组的基板 （6） 固设于所述两轴龙门架的移动端从而使所述显微镜检测与激光切割修复装置 能够。

7、三轴运动。 权利要求书 1/1 页 2 CN 211035707 U 2 一种显微镜检测与激光切割修复模组及装置 技术领域 0001 本发明属于产品检测技术领域， 具体涉及一种显微镜检测与激光切割修复模组及 装置。 背景技术 0002 现有的产品检测， 例如液晶玻璃产品检测时， 为了更全面的检测产品瑕疵， 通常采 用显微镜进行检测面的放大， 从而对断线、 粗糙度、 导电粒子分布密度和大小等不良现象进 行有效的检出， 从而便于及时有效的修复， 提高产品良品率。 修复过程通常采用精度较高的 激光装置完成， 系统根据检测结果依照相应的修复程序进行修复。 0003 但是由于目前的检测系统和修复系统为独。

8、立的两套系统， 因此导致两个过程不能 很好地匹配， 存在效率低下的问题。 发明内容 0004 本发明的目的在于克服现有技术中的不足， 提供一种显微镜检测与激光切割修复 模组及装置， 通过将检测和修复合二为一进行系统集成， 实现了同台设备同时运行的目的， 显著提高了作业效率和作业精度。 0005 为解决现有技术问题， 本发明公开了一种显微镜检测与激光切割修复模组， 包括 基板、 滑动板、 承载板、 显微镜、 相机、 激光切割器和驱动装置； 所述基板的一侧板面设有直 线轨道， 所述滑动板通过所述直线轨道与所述基板构成沿直线的滑动连接； 所述承载板固 设于所述滑动板上， 所述驱动装置固设于所述基板上。

9、， 其驱动部与所述承载板固连； 所述显 微镜、 相机和所述激光切割器均固设于所述承载板上， 所述显微镜的物镜的轴线和所述激 光切割器的发射头的轴线均能够平行于所述承载板的移动方向； 所述显微镜的物镜与所述 相机的输入端建立光线通道以供所述相机的成像芯片成像。 0006 进一步地， 0007 所述驱动装置包括电机、 丝杠、 丝杠螺母和联轴器， 所述电机固设于所述基板上， 其主轴通过所述联轴器与所述丝杠的端部连接； 所述丝杠的另一端转动安装于所述基板 上， 所述丝杠螺母固设于所述承载板上， 所述丝杠与所述丝杠螺母的中心孔构成螺纹配合。 0008 进一步地， 0009 还包括上、 下限位器， 所述上。

10、、 下限位器固设于所述基板上， 用于限制所述滑动板 或所述承载板的移动行程。 0010 进一步地， 0011 所述上、 下限位器具有能够受到外力作用而产生控制所述驱动装置的信号的触发 端。 0012 进一步地， 0013 所述显微镜通过显微镜固定座固设于所述承载板上， 所述激光切割器通过激光固 定座固设于所述承载板上。 说明书 1/3 页 3 CN 211035707 U 3 0014 本发明还提供了一种显微镜检测与激光切割修复装置， 包括两轴龙门架和上述的 一种显微镜检测与激光切割修复模组； 所述显微镜检测与激光切割修复模组的基板固设于 所述两轴龙门架的移动端从而使所述显微镜检测与激光切割修。

11、复装置能够三轴运动。 0015 本发明具有的有益效果： 通过将检测和修复合二为一进行系统集成， 实现了同台 设备同时运行的目的， 显著提高了作业效率和作业精度。 附图说明 0016 图1为发明一个实施例中模组的结构立体图； 0017 图2是图1所示模组的结构前视图； 0018 图3是图1所示模组的结构左视图。 具体实施方式 0019 下面结合附图对本发明作进一步描述。 以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明 的技术方案， 而不能以此来限制本发明的保护范围。 0020 如图1至3所示， 本发明实施例提供了一种显微镜检测与激光切割修复模组， 包括 基板6、 滑动板5、 承载板3、 显微镜1、 CCD。

12、相机、 激光切割器2和驱动装置。 所述基板6的一侧板 面设有直线轨道6.1， 所述滑动板5通过所述直线轨道6.1与所述基板6构成沿直线的滑动连 接。 需要说明的是， 在使用时， 基板6宜竖直设置， 因此通过滑动连接使滑动板5、 承载板3以 及固定物均具有了在Z轴上的自由度， 即构成三轴运动中的Z轴运动。 所述承载板3固设于所 述滑动板5上， 所述驱动装置固设于所述基板6上， 其驱动部与所述承载板3固连。 所述显微 镜1、 相机和所述激光切割器2均固设于所述承载板3上， 所述显微镜1的物镜1.2的轴线I和 所述激光切割器2的发射头2.1的轴线II均能够平行于所述承载板3的移动方向III。 显微镜。

13、 1的目镜1.1也能够获取检测面图像， 供使用者观察瑕疵， 其物镜1.2的数目为多个， 从而能 够调整放大倍数5X到100X， 物镜1.2的切换通过转盘1.3实现。 所述显微镜1的物镜1.2与所 述相机的输入端建立光线通道以供所述相机的成像芯片成像。 0021 在一个实施例中， 所述驱动装置包括电机10、 丝杠、 丝杠螺母和联轴器7， 所述电机 10通过电机座8固设于所述基板6的顶部， 其主轴通过所述联轴器7与所述丝杠的端部连接。 电机座8为中空框体结构， 联轴器7可以收容于电机座8的内部从而得到保护。 所述丝杠的另 一端转动安装于所述基板6上， 所述丝杠螺母固设于所述承载板3上， 所述丝杠与。

14、所述丝杠 螺母的中心孔构成螺纹配合。 0022 在一个实施例中， 还包括上、 下限位器9、 11， 所述上、 下限位器9、 11固设于所述基 板6上， 用于限制所述滑动板5或所述承载板3的移动行程。 0023 在一个实施例中， 所述上、 下限位器9、 11具有能够受到外力作用而产生控制所述 驱动装置的信号的触发端。 优选地， 上、 下限位器9、 11均为限位开关。 0024 在一个实施例中， 所述显微镜1通过显微镜固定座4固设于所述承载板3上， 所述激 光切割器2通过激光固定座12固设于所述承载板3上。 0025 本发明的工作过程及原理： 0026 S01、 固定产品到检测工位。 0027 S。

15、02、 移动显微镜1的物镜1.2对准产品， 然后调整到合适的放大倍数例如100倍对 说明书 2/3 页 4 CN 211035707 U 4 产品的瑕疵进行检测， 同时通过相机生成对应的检测图像。 检测图像呈现出来的瑕疵有断 线、 粗糙度、 导电粒子分布密度和大小等一些不良现象。 0028 S03、 根据检测结果匹配相应的程序以控制移动激光切割器2的发射头2.1发射激 光对产品进行切割、 修复。 0029 S04、 通过显微镜1对经过切割修复的产品进行检测， 判断是否合格。 0030 本发明还提供了一种显微镜检测与激光切割修复装置， 包括两轴龙门架和上述的 一种显微镜检测与激光切割修复模组； 。

16、所述显微镜检测与激光切割修复模组的基板6固设 于所述两轴龙门架的移动端从而使所述显微镜检测与激光切割修复装置能够三轴运动。 需 要说明的是， 两轴龙门架本身具有X轴和Y轴两个自由度， 因此当安装有模组后， 整机变为三 轴装置， 因此实现了显微镜1和激光切割器2的三轴运动。 同时， 本实施例中， 该装置的有效 检测行程为2300mm， 相比较于现有检测设备的1200mm的行程而言得到了大幅提升， 从而扩 大了检测范围。 0031 以上所述仅是本发明的优选实施方式， 应当指出， 对于本技术领域的普通技术人 员来说， 在不脱离本发明技术原理的前提下， 还可以做出若干改进和变形， 这些改进和变形 也应视为本发明的保护范围。 说明书 3/3 页 5 CN 211035707 U 5 图1 说明书附图 1/3 页 6 CN 211035707 U 6 图2 说明书附图 2/3 页 7 CN 211035707 U 7 图3 说明书附图 3/3 页 8 CN 211035707 U 8 。