对半导体设备多路循环液的高精度温调装置.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201922479667.5 (22)申请日 2019.12.31 (73)专利权人 河北艾法茨科技有限公司 地址 050000 河北省石家庄市高新区湘江 道319号天山科技工业园3号楼3单元 403室 (72)发明人 潘鸿当赵一航周明辉 (74)专利代理机构 北京中企鸿阳知识产权代理 事务所(普通合伙) 11487 代理人 徐晶石 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) (54)实用新型名称 对半导体设备多路循环液的高精度温调装 置 (57)摘要 本实用。

2、新型提出了一种对半导体设备多路 循环液的高精度温调装置， 包括柜体及设置于柜 体内部的控制柜、 液体循环装置， 所述控制柜连 接液体循环装置的控制端； 所述液体循环装置包 括循环组件、 出水组件、 进水组件、 冷水组件、 过 滤组件； 所述循环组件包括水循环箱、 循环泵、 三 通阀； 所述水循环箱上设有浮球液位开关、 电热 管、 四氟管、 水阻值传感器、 压力传感器、 温度传 感器， 所述循环泵的出口处设有三通阀， 且通过 三通阀与出水组件和过滤组件连接； 本实用新型 采用多路出水快插接头和进水快插接头的设计， 便于管道之间的快速插接， 还有利于实现利用多 组循环管道对不同的外部设备进行冷却，。

3、 还解决 了使用设备对循环液的温度、 水阻值的要求。 权利要求书2页 说明书7页 附图12页 CN 211045388 U 2020.07.17 CN 211045388 U 1.一种对半导体设备多路循环液的高精度温调装置， 其特征在于， 包括柜体及设置于 柜体内部的控制柜、 液体循环装置， 所述控制柜连接液体循环装置的控制端； 所述液体循环装置包括循环组件、 出水组件、 进水组件、 冷水组件、 过滤组件； 所述循环组件包括水循环箱、 循环泵、 三通阀； 所述水循环箱上设有浮球液位开关、 电 热管、 四氟管、 水阻值传感器、 压力传感器、 温度传感器， 所述水循环箱还与排液阀连接， 所 述循环。

4、泵设置于水循环箱上方， 且所述循环泵的出口处设有三通阀， 且通过三通阀与出水 组件和过滤组件连接； 所述出水组件包括与三通阀连接的出水管道、 与出水管道连接的多路出水快插接头， 所述出水管道上还设有出水温度传感器， 每路出水快插接头上设有出水回路阀和出水回路 单向阀， 所述水循环箱还通过换热器与进水组件、 冷水组件连接； 所述进水组件包括与换热器连接的进水管道、 与进水管道连接的多路进水快插接头， 每路进水快插接头上设有进水回路阀； 所述冷水组件包括冷水进水接头、 旁通管道、 冷水出水接头， 所述冷水进水接头与冷水 出水接头都与所述换热器连接， 所述旁通管道连接冷水进水接头和冷水出水接头； 所。

5、述控制柜包括电源组件、 控制器组件、 通讯组件， 所述电源组件与控制器组件电性连 接， 所述控制器组件与通讯组件电性连接。 2.如权利要求1所述的对半导体设备多路循环液的高精度温调装置， 其特征在于， 所述 过滤组件包括第一过滤器、 第二过滤器、 过滤器阀门， 所述三通阀通过过滤器阀门分别与第 一过滤器的输入端、 第二过滤器的输入端连接， 所述第一过滤器的输出端、 第二过滤器的输 出端都与所述水循环箱连接。 3.如权利要求2所述的对半导体设备多路循环液的高精度温调装置， 其特征在于， 所述 第一过滤器、 第二过滤器都通过绑带固定于柜体， 所述第一过滤器、 第二过滤器上都设有手 阀。 4.如权利。

6、要求1所述的对半导体设备多路循环液的高精度温调装置， 其特征在于， 所述 电源组件至少包括控制变压器、 开关电源、 变频器、 滤波器、 断路器、 电流感应开关、 接触器、 航空插头； 所述控制变压器、 开关电源、 变频器、 滤波器、 电流感应开关都固定与柜体内部， 所述航空插头通过航空插头底座固定于柜体侧面， 所述断路器、 接触器通过连接模块固定 于柜体内部。 5.如权利要求1或4所述的对半导体设备多路循环液的高精度温调装置， 其特征在于， 所述电源组件还包括急停按钮辅助触点， 所述急停按钮辅助触点设置于柜体内部， 且与柜 体外部的急停按钮连接， 所述急停按钮外部设有急停按钮保护罩。 6.如权。

7、利要求1所述的对半导体设备多路循环液的高精度温调装置， 其特征在于， 所述 控制器组件包括CPU、 DI控制器、 DI/DO模块、 AI/AQ模块、 热电阻模块、 晶体管输出板、 继电器 模块、 显示屏； 所述CPU、 DI控制器、 DI/DO模块、 AI/AQ模块、 热电阻模块、 晶体管输出板都固 定与柜体内部， 且继电器模块通过继电器插座固定， 所述显示屏安装在柜体外部， 所述CPU 分别与DI控制器、 DI/DO模块、 AI/AQ模块、 热电阻模块、 晶体管输出板、 继电器模块、 显示屏 电性连接。 7.如权利要求1所述的对半导体设备多路循环液的高精度温调装置， 其特征在于， 所述 通讯。

8、组件包括通讯插针连接器、 连接信号线， 所述通讯插针连接器与连接信号线连接。 权利要求书 1/2 页 2 CN 211045388 U 2 8.如权利要求1所述的对半导体设备多路循环液的高精度温调装置， 其特征在于， 所述 柜体底部设有底座， 所述底座下方设有脚轮、 地脚， 所述排液阀安装于底座下部， 所述底座 上还安装漏液开关。 9.如权利要求1所述的对半导体设备多路循环液的高精度温调装置， 其特征在于， 所述 出水快插接头上的出水回路阀的两侧设有对丝。 10.如权利要求1所述的对半导体设备多路循环液的高精度温调装置， 其特征在于， 所 述冷水进水接头与冷水阀连接。 权利要求书 2/2 页 。

9、3 CN 211045388 U 3 对半导体设备多路循环液的高精度温调装置 技术领域 0001 本实用新型涉及循环液温调装置技术领域， 特别涉及一种对半导体设备多路循环 液的高精度温调装置。 背景技术 0002 目前， 现有的半导体设备循环液温调装置存在以下问题： 0003 1、 现有的半导体设备循环液温调装置的占地面积也大， 不能应用于空间较小的区 域内， 其应用范围窄。 0004 2、 现有的半导体设备循环液温调装置对循环液的水阻值要求较高， 装置本身不能 对自身循环液的水阻值进行修改。 0005 3、 现有的半导体设备循环液温调装置对循环液在循环过程中的温控效果较差。 0006 4、 。

10、现有的半导体设备循环液温调装置不能实现多路循环。 实用新型内容 0007 本实用新型的目的旨在至少解决所述技术缺陷之一。 0008 为此， 本实用新型的目的在于提出一种对半导体设备多路循环液的高精度温调装 置， 采用多路出水快插接头和进水快插接头的设计， 便于管道之间的快速插接， 还有利于实 现利用多组循环管道对不同的外部设备进行冷却， 还解决了使用设备对循环液的温度、 水 阻值的要求。 0009 为了实现上述目的， 本实用新型提供一种对半导体设备多路循环液的高精度温调 装置， 包括柜体及设置于柜体内部的控制柜、 液体循环装置， 所述控制柜连接液体循环装置 的控制端； 0010 所述液体循环装。

11、置包括循环组件、 出水组件、 进水组件、 冷水组件、 过滤组件； 0011 所述循环组件包括水循环箱、 循环泵、 三通阀； 所述水循环箱上设有浮球液位开 关、 电热管、 四氟管、 水阻值传感器、 压力传感器、 温度传感器， 所述水循环箱还与排液阀连 接， 所述循环泵设置于水循环箱上方， 且所述循环泵的出口处设有三通阀， 且通过三通阀与 出水组件和过滤组件连接； 0012 所述出水组件包括与三通阀连接的出水管道、 与出水管道连接的多路出水快插接 头， 所述出水管道上还设有出水温度传感器， 每路出水快插接头上设有出水回路阀和出水 回路单向阀， 所述水循环箱还通过换热器与进水组件、 冷水组件连接； 。

12、0013 所述进水组件包括与换热器连接的进水管道、 与进水管道连接的多路进水快插接 头， 每路进水快插接头上设有进水回路阀； 0014 所述冷水组件包括冷水进水接头、 旁通管道、 冷水出水接头， 所述冷水进水接头与 冷水出水接头都与所述换热器连接， 所述旁通管道连接冷水进水接头和冷水出水接头； 0015 所述控制柜包括电源组件、 控制器组件、 通讯组件， 所述电源组件与控制器组件电 性连接， 所述控制器组件与通讯组件电性连接。 说明书 1/7 页 4 CN 211045388 U 4 0016 在上述任一方案中优选的是， 所述过滤组件包括第一过滤器、 第二过滤器、 过滤器 阀门， 所述三通阀通。

13、过过滤器阀门分别与第一过滤器的输入端、 第二过滤器的输入端连接， 所述第一过滤器的输出端、 第二过滤器的输出端都与所述水循环箱连接。 0017 在上述任一方案中优选的是， 所述第一过滤器、 第二过滤器都通过绑带固定于柜 体， 所述第一过滤器、 第二过滤器上都设有手阀。 0018 在上述任一方案中优选的是， 所述电源组件至少包括控制变压器、 开关电源、 变频 器、 滤波器、 断路器、 电流感应开关、 接触器、 航空插头； 所述控制变压器、 开关电源、 变频器、 滤波器、 电流感应开关都固定与柜体内部， 所述航空插头通过航空插头底座固定于柜体侧 面， 所述断路器、 接触器通过连接模块固定于柜体内部。

14、。 0019 在上述任一方案中优选的是， 所述电源组件还包括急停按钮辅助触点， 所述急停 按钮辅助触点设置于柜体内部， 且与柜体外部的急停按钮连接， 所述急停按钮外部设有急 停按钮保护罩。 0020 在上述任一方案中优选的是， 所述控制器组件包括CPU、 DI控制器、 DI/DO模块、 AI/ AQ 模块、 热电阻模块、 晶体管输出板、 继电器模块、 显示屏； 所述CPU、 DI控制器、 DI/DO 模 块、 AI/AQ模块、 热电阻模块、 晶体管输出板都固定与柜体内部， 且继电器模块通过继电器插 座固定， 所述显示屏安装在柜体外部， 所述CPU分别与DI控制器、 DI/DO模块、 AI/AQ。

15、 模块、 热 电阻模块、 晶体管输出板、 继电器模块、 显示屏电性连接。 0021 在上述任一方案中优选的是， 所述通讯组件包括通讯插针连接器、 连接信号线， 所 述通讯插针连接器与连接信号线连接。 0022 在上述任一方案中优选的是， 所述柜体底部设有底座， 所述底座下方设有脚轮、 地 脚， 所述排液阀安装于底座下部， 所述底座上还安装漏液开关。 0023 在上述任一方案中优选的是， 所述出水快插接头上的出水回路阀的两侧设有对 丝。 0024 在上述任一方案中优选的是， 所述冷水进水接头与冷水阀连接。 0025 本实用新型的对半导体设备多路循环液的高精度温调装置具有以下有益效果： 0026 。

16、1、 本实用新型利用循环液体吸收外部设备产生的热量变成高温液体， 高温液体经 换热器冷却降温到设定温度， 温度高于设定值， 冷水阀打开， 冷却水进入换热器对循环液降 温， 温度低于设定值， 加热管开始加热， 从而保证循环液温度恒定在设定值， 解决了使用设 备对温度的要求。 0027 2、 本实用新型使用乙二醇溶液作为循环液， 乙二醇溶液有较高的水阻值， 同时使 用树脂对循环液进行过滤， 水阻值低于设定值， 过滤器阀门打开， 循环液经过装有树脂的过 滤器进行过滤， 减少循环液中的杂质， 达到设定的水阻值后过滤器阀门关闭， 从而解决了使 用设备对水阻值的要求。 0028 3、 本实用新型的冷水组件。

17、采用旁通管道的设计， 使得冷水阀关闭时， 冷水仍能够 形成回路， 保证管道之间的压力。 0029 4、 本实用新型将控制柜设置于液体循环装置的上方， 并且采用立式一体的设计， 能够大大减少占地面积， 可以适用于空间小的厂房， 其应用范围广。 0030 5、 本实用新型采用多路出水快插接头和进水快插接头的设计， 便于管道之间的快 速插接， 还有利于实现利用多组循环管道对不同的外部设备进行冷却。 说明书 2/7 页 5 CN 211045388 U 5 0031 6、 本实用新型的柜体底部设有底座， 底座下方设有脚轮、 地脚， 便于移动柜体。 0032 本实用新型附加的方面和优点将在下面的描述中部。

18、分给出， 部分将从下面的描述 中变得明显， 或通过本实用新型的实践了解到。 附图说明 0033 本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将 变得明显和容易理解， 其中： 0034 图1是本实用新型的结构图； 0035 图2是本实用新型的主视图； 0036 图3是图2的右视图； 0037 图4是图2的后视图； 0038 图5是本实用新型的内部结构图； 0039 图6是图4的内部结构图； 0040 图7是本实用新型的出水组件的结构图； 0041 图8是本实用新型的进水组件的结构图； 0042 图9是本实用新型的循环组件的结构图； 0043 图10是本实用新型的循环泵的结。

19、构图； 0044 图11是本实用新型的循环组件的另一方向上的结构图； 0045 图12是本实用新型的原理图。 0046 图中， 1、 柜体； 2、 出水组件； 3、 进水组件； 4、 过滤组件； 5、 底座； 7、 冷水组件； 8、 循环 组件； 0047 101、 控制变压器； 102、 开关电源； 103、 变频器； 104、 滤波器； 105、 断路器； 106、 断路 器； 107、 电流感应开关； 108、 航空插头底座； 109、 9针通讯接口； 110、 航空插头； 111、 37针通 讯接口； 112、 连接模块； 113、 接触器； 114、 继电器模块； 115、 急停按钮。

20、辅助触点； 116、 DI控制 器； 117、 CPU； 118、 DI/DO模块； 119、 AI/AQ模块； 120、 热电阻模块； 121、 晶体管输出板； 122、 继 电器插座； 123、 通讯插针连接器； 124、 连接信号线； 125、 显示屏； 126、 急停按钮； 127、 急停按 钮保护罩； 0048 21、 出水回路单向阀； 22、 对丝； 23、 出水回路阀； 24、 出水管道； 25、 出水快插接头； 26、 出水温度传感器； 0049 31、 压力传感器； 32、 温度传感器； 33、 进水回路阀； 34、 进水快插接头； 35、 堵头； 36、 进水管道； 005。

21、0 41、 第一过滤器； 42、 手阀； 43、 第二过滤器； 44、 绑带； 0051 51、 地脚； 52、 脚轮； 0052 60、 换热器； 61、 漏液开关； 62、 排液阀6； 0053 71、 冷水进水接头； 73、 旁通管道； 72、 冷水出水接头； 74、 冷水阀； 0054 81、 循环泵； 82、 浮球液位开关； 83、 电热管； 84、 连接座； 85、 卡套接头； 86、 四氟管； 87、 水阻值传感器； 88、 螺纹盖； 89、 压力传感器； 810、 过滤器阀门； 811、 三通阀； 812、 O型圈； 813、 水循环箱； 814、 温度传感器； 815、 温度。

22、保险装置； 816、 连接管； 0055 F1、 水阻值传感器； TF、 温度传感器； LS、 浮球液位开关； HET、 电热管； HE、 换热器； 说明书 3/7 页 6 CN 211045388 U 6 PM、 循环泵； DI、 电阻率传感器； PT2、 温度传感器； PS1、 低压开关； SVA-SVD、 出水回路阀； SVDI、 过滤器阀门； V11、 停止阀； DIF1、 第一过滤器； V21、 停止阀； S1第二过滤器； V31、 停止 阀； DIF2、 第一过滤器； V41停止阀； S2、 第二过滤器； PSW、 压力开关； BC、 旁通管道； SVFW、 冷水 阀； PS2、 。

23、低压开关； PT1、 温度传感器； SVRA-SVRD、 进水回路阀； 具体实施方式 0056 下面详细描述本实用新型的实施例， 所述实施例的示例在附图中示出， 其中自始 至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。 下面通过参 考附图描述的实施例是示例性的， 旨在用于解释本实用新型， 而不能理解为对本实用新型 的限制。 0057 本实用新型提供本实用新型提供一种对半导体设备多路循环液的高精度温调装 置， 如图1-12所示， 包括柜体及设置于柜体内部的控制柜、 液体循环装置， 控制柜设置于液 体循环装置的上方， 控制柜连接液体循环装置的控制端， 通过控制柜可以控制液体循。

24、环装 置工作。 0058 如图1-12所示， 液体循环装置包括循环组件8、 出水组件2、 进水组件3、 冷水组件7、 过滤组件4。 0059 图9-11为循环组件的结构图， 循环组件8包括水循环箱813、 循环泵81、 三通阀811； 水循环箱813上设有浮球液位开关82、 电热管83、 四氟管86、 水阻值传感器87、 压力传感器 89、 温度传感器814， 其中， 四氟管86通过卡套接头85与水循环箱813连接； 利用浮球液位开 关82和四氟管86来显示水循环箱813内的液位。 循环泵81设置于水循环箱 813上方， 且循环 泵81的出口处设有三通阀811， 且通过三通阀811与出水组件2。

25、和过滤组件4连接。 循环泵81 与三通阀811连接处采用O型圈812密封， 三通阀811上还设有过滤器阀门810， 通过过滤器阀 门810来控制过滤组件4支路是否开启。 循环泵81的出口处还设有压力传感器89、 水阻值传 感器87， 通过压力传感器89、 水阻值传感器87检测压力和水阻值。 水循环箱813上还设有连 接管816， 连接管816的端口处设有螺纹盖88， 通过连接管816可以向水循环箱813内部添加 循环液。 水循环箱813通过连接座84固定在柜体 1上。 此外， 水循环箱813上还设有温度保险 装置815， 水循环箱813还与排液阀62连接。 0060 如图7所示， 出水组件2包。

26、括与三通阀811连接的出水管道24、 与出水管道24连接的 多路出水快插接头25， 出水管道24上还设有出水温度传感器26， 每路出水快插接头25 上设 有出水回路阀23和出水回路单向阀21， 出水快插接头25上的出水回路阀23的两侧设有对丝 22。 0061 水循环箱813还通过换热器60与进水组件3、 冷水组件7连接； 如图8所示， 进水组件 3包括与换热器60连接的进水管道36、 与进水管道36连接的多路进水快插接头34， 每路进水 快插接头34上设有进水回路阀33， 进水管道36的一端还设有堵头35， 有利于清理水垢； 换热 器60还接压力传感器31、 温度传感器32， 通过压力传感器。

27、31、 温度传感器32 来检测换热器 60内的压力和温度； 冷水组件7包括冷水进水接头71、 旁通管道73、 冷水出水接头72， 冷水进 水接头71与冷水出水接头72都与换热器60连接， 旁通管道73连接冷水进水接头71和冷水出 水接头72， 冷水进水接头71与冷水阀74连接。 0062 当冷水阀打开时， 冷水由冷水进水接头71进入到换热器60， 然后由换热器60从冷 说明书 4/7 页 7 CN 211045388 U 7 水出水接头72流出； 当冷水阀关闭时， 冷水由冷水进水接头71进入到旁通管道73， 然后由旁 通管道73从冷水出水接头72流出。 0063 如图5所示， 过滤组件包括第一。

28、过滤器41、 第二过滤器43、 过滤器阀门810， 三通阀 811通过过滤器阀门810分别与第一过滤器41的输入端、 第二过滤器43的输入端连接， 第一 过滤器41的输出端、 第二过滤器43的输出端都与水循环箱813连接。 0064 第一过滤器41、 第二过滤器43都通过绑带44固定于柜体， 第一过滤器41、 第二过滤 器43上都设有手阀42。 0065 如图12所示， 工作原理如下： 工作时， 水循环箱813内的液体经循环泵81(PM)抽出， 并通过三通阀811输出给出水组件2， 由出水组件2中4路出水快插接头25输出， 可以根据需 要由每路的出水回路阀23(SVA-SVD)控制对应的出水快。

29、插接头25(A1-D1)开关， 液体从出水 快插接头25流出经外部设备后， 变成高温液体， 从进水组件3中任一个进水快插接头34(A2- D2)返回， 进水快插接头34(A2-D2)由其对应的进水回路阀33(SVRA-SVRD) 控制， 高温液体 由进水快插接头34进入到换热器60(HE)， 并由换热器60回到水循环箱 813， 水循环箱813内 的浮球液位开关82(LS)将检测到的水循环箱813内的液位信息、 水阻值传感器87(F1)将检 测到的水循环箱813内的水阻值信息、 温度传感器814(TF)将检测到的水循环箱813内的温 度信息传输给控制柜， 当液体温度低于设定值时， 则由控制柜控。

30、制水循环箱813内的电热管 83(HET)给水循环箱813内的液体加热； 当高于设定值时， 则停止加热， 打开冷水阀74 (SVFW)， 冷水从冷水进水接头71进入， 流经换热器60 (HE)后从冷水出水接头72流出， 冷水 在换热器60(HE)内与高温液体进行加热； 当水阻值低于设定值时， 则控制柜控制过滤器阀 门810(SVDI)打开， 液体经三通阀811流入到过滤组件4， 经过滤组件4中的第一过滤器41、 第 二过滤器43过滤后返回到水循环箱 813。 0066 本实用新型的另一个实施例中， 为了强化过滤效果， 第一过滤器内部包括一级过 滤器 DIF1、 二级过滤器S1， 其中， 一级过。

31、滤器DIF1的两端设有停止阀V11/V21。 第二过滤器 内部包括一级过滤器DIF2、 二级过滤器S2， 其中， 二级过滤器DIF2的两端设有停止阀V31/ V41。 0067 本实用新型的另一个实施例中， 为了对循环泵81(PM)抽出的液体进行进一步检 测， 循环泵81(PM)的出口处还设有电阻率传感器DI、 温度传感器PT2、 低压开关PS1。 0068 本实用新型的另一个实施例中， 为了对换热器60(HE)输出给水循环箱813的液体 进行进一步检测， 换热器60(HE)与水循环箱813之间设有低压开关PS2、 温度传感器PT1。 0069 本实用新型的另一个实施例中， 为了平衡压力， 冷。

32、水进水接头71处接压力开关 PSW。 0070 如图5-6所示， 控制柜包括电源组件、 控制器组件、 通讯组件， 电源组件与控制器组 件电性连接， 控制器组件与通讯组件电性连接。 由电源组件给装置整体提供电能， 由控制器 组件来控制液体循环装置工作， 控制器组件还可以通过通讯组件与外部设备通信。 0071 如图5所示， 电源组件至少包括控制变压器101、 开关电源102、 变频器103、 滤波器 104、 断路器105、 电流感应开关107、 接触器113、 航空插头110； 控制变压器101、 开关电源 102、 变频器103、 滤波器104、 电流感应开关107都固定与柜体1内部， 航空插。

33、头110 通过航空 插头底座108固定于柜体1侧面， 断路器105、 接触器113通过连接模块112固定于柜体1内部。 其中， 电源组件的工作原理以及电源组件中的各个部件的结构是本领域中的现有技术， 故 说明书 5/7 页 8 CN 211045388 U 8 不再这里赘述。 0072 电源组件还包括急停按钮辅助触点115， 急停按钮辅助触点115设置于柜体1内部， 且与柜体1外部的急停按钮126连接， 急停按钮126外部设有急停按钮保护罩127。 急停按钮 辅助触点115按下后， 电源组件断电不给装置供电。 0073 控制器组件包括CPU117、 DI控制器116、 DI/DO模块118、 。

34、AI/AQ模块119、 热电阻模块 120、 晶体管输出板121、 继电器模块114、 显示屏125； CPU117、 DI控制器116、 DI/DO 模块118、 AI/AQ模块119、 热电阻模块120、 晶体管输出板121都固定与柜体1内部， 且继电器模块114通 过继电器插座122固定， 显示屏125安装在柜体1外部， CPU117分别与 DI控制器116、 DI/DO模 块118、 AI/AQ模块119、 热电阻模块120、 晶体管输出板121、 继电器模块114、 显示屏125电性 连接。 DI/DO模块与温度传感器、 压力传感器等连接， AI/AQ 模块与水阻值传感器、 浮球液位。

35、 开关等连接， 温度传感器、 压力传感器将检测到的温度、 压力等信号经DI/DO模块传输给 CPU117， 水阻值传感器、 浮球液位开关将检测到的水阻值、 液位等数据通过AI/AQ模块传输 给CPU117， 由CPU117根据检测到的数据通过继电器模块来控制液体循环装置中的阀门(例 如冷水阀、 三通阀、 过滤器阀等)工作， 还可以通过显示屏125进行显示。 其中， 控制器组件的 工作原理以及控制器组件中的各个部件的结构是本领域中的现有技术， 故不再这里赘述。 0074 DI控制器为过滤组件控制器。 0075 DI/DO模块为数字输入输出模块， 即DI指数字输入端口， DO指数字输出端口。 00。

36、76 AI/AQ模块为模拟信号输入输出模块， 即AI就是模拟信号输入， AQ就是模拟信号输 出。 0077 需要说明的是， 本实用新型中的CPU117、 DI控制器116、 DI/DO模块118、 AI/AQ模块 129、 热电阻模块120、 晶体管输出板121、 继电器模块114、 显示屏125等部件， 选用的都是本 领域的常规部件， 其自身内部的电路结构、 电路原理、 软件等都是本领域已公开的， 并且这 些器件比较常见， 便于更换维修， 从而降低成本。 0078 本实用新型的另一个实施例中， 为了便于通讯， 通讯组件包括通讯插针连接器 123、 连接信号线124， 通讯插针连接器123与连。

37、接信号线124连接。 控制器组件能够通过通讯 组件与外部实现通讯， 将液体循环装置中检测到的数据以及控制数据传输给远程的电脑 端。 0079 此外， 通讯插针连接器123与9针通讯接口109和37针通讯接口111连接。 0080 本实用新型的另一个实施例中， 为了便于移动， 柜体底部设有底座5， 底座下方设 有脚轮52、 地脚51， 排液阀62安装于底座5下部， 底座5上还安装漏液开关61。 0081 本实用新型的另一个实施例中， 为了散热， 柜体1上还设有多个散热孔。 0082 本实用新型的对半导体设备多路循环液的高精度温调装置具有以下优点： 0083 1、 本实用新型利用循环液体吸收外部设。

38、备产生的热量变成高温液体， 高温液体经 换热器冷却降温到设定温度， 温度高于设定值， 冷水阀打开， 冷却水进入换热器对循环液降 温， 温度低于设定值， 加热管开始加热， 从而保证循环液温度恒定在设定值， 解决了使用设 备对温度的要求。 0084 2、 本实用新型使用乙二醇溶液作为循环液， 乙二醇溶液有较高的水阻值， 同时使 用树脂对循环液进行过滤， 水阻值低于设定值， 过滤器阀门打开， 循环液经过装有树脂的过 滤器进行过滤， 减少循环液中的杂质， 达到设定的水阻值后过滤器阀门关闭， 从而解决了使 说明书 6/7 页 9 CN 211045388 U 9 用设备对水阻值的要求。 0085 3、 。

39、本实用新型具有多重温度保护。 水循环箱超温保护： 通过温度传感器来检测水 循环箱内水循环的温度， 当温度超温时， 则由控制柜控制电热管停止加热并进行报警停机， 这是水循环箱超温的第一道保护； 水循环箱上还设有温度保险装置， 即采用温度保险丝， 形 成第二道保护， 温度高时， 温度保险丝断开， 使得装置整体断电， 实现第二道保护。 0086 尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例， 可以理解的是， 上述实施例是 示例性的， 不能理解为对本实用新型的限制， 本领域的普通技术人员在不脱离本实用新型 的原理和宗旨的情况下在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、 修改、 替换和 变型。 本实用。

40、新型的范围由所附权利要求及其等同限定。 说明书 7/7 页 10 CN 211045388 U 10 图1 说明书附图 1/12 页 11 CN 211045388 U 11 图2 说明书附图 2/12 页 12 CN 211045388 U 12 图3 说明书附图 3/12 页 13 CN 211045388 U 13 图4 说明书附图 4/12 页 14 CN 211045388 U 14 图5 说明书附图 5/12 页 15 CN 211045388 U 15 图6 说明书附图 6/12 页 16 CN 211045388 U 16 图7 说明书附图 7/12 页 17 CN 211045388 U 17 图8 说明书附图 8/12 页 18 CN 211045388 U 18 图9 说明书附图 9/12 页 19 CN 211045388 U 19 图10 说明书附图 10/12 页 20 CN 211045388 U 20 图11 说明书附图 11/12 页 21 CN 211045388 U 21 图12 说明书附图 12/12 页 22 CN 211045388 U 22 。