真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201921645767.4 (22)申请日 2019.09.29 (73)专利权人 天津涂冠科技有限公司 地址 300350 天津市津南区津南经济开发 区 (东区) 宝源路38号 (72)发明人 刘玉杰 (74)专利代理机构 深圳市科吉华烽知识产权事 务所(普通合伙) 44248 代理人 谢肖雄 (51)Int.Cl. C23C 14/22(2006.01) C23C 16/44(2006.01) F25D 16/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种真空镀膜机循环。

2、冷却系统用冷却外壳 (57)摘要 本实用新型公开了一种真空镀膜机循环冷 却系统用冷却外壳, 包括冷却系统主体、 散热外 壳、 T形安装板和冷凝压缩机, 散热外壳的侧壁对 称固定安装有安装块, T形安装板和安装块的侧 壁开设有螺纹孔, 螺纹孔的内壁螺接有螺钉, T形 安装板的外侧壁对称嵌入安装有风扇, 本实用新 型通过设置散热外壳对冷却系统主体的夹持安 装结构, 使得其在使用后, 能够轻松完成拆卸, 保 证与冷却系统主体连接的真空镀膜机能够完成 随时活动, 通过设置对冷却系统主体侧壁的三角 形挤压块固定结构, 进一步限制其固定位置, 保 证了散热效果。 通过设置多重降温结构, 保证真 空镀膜机油。

3、扩散结构不会因温度过高而出现安 全问题。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 211079312 U 2020.07.24 CN 211079312 U 1.一种真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳, 包括冷却系统主体(1), 其特征在于: 还 包括散热外壳(2)、 T形安装板(4)和冷凝压缩机(9), 所述散热外壳(2)的数量为两个, 所述 散热外壳(2)的侧壁对称固定安装有安装块(3), 所述T形安装板(4)和安装块(3)的侧壁开 设有螺纹孔(5), 所述螺纹孔(5)的内壁螺接有螺钉(6), 所述T形安装板(4)的外侧壁对称嵌 入安装有风扇(7), 所述散热外壳(2)的外侧壁嵌入安装有。

4、冷凝管(8), 所述冷凝压缩机(9) 的端口与冷凝管(8)间设有连接管(10)。 2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳, 其特征在于: 所述 T形安装板(4)的内侧壁开设有滑槽(11), 所述滑槽(11)的内壁滑动连接有滑块(12), 所述 滑块(12)的内侧壁固定安装有三角形挤压块(13), 所述滑块(12)的外侧壁转动连接有螺纹 杆(14), 所述滑槽(11)的外侧壁开设有第二螺纹孔(15), 且第二螺纹孔(15)的内壁螺接螺 纹杆(14)。 3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳, 其特征在于: 所述 螺纹杆(14)的外侧壁设有限位凸起。 4。

5、.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳, 其特征在于: 所述 三角形挤压块(13)的内侧壁开设有弹簧槽(16), 所述弹簧槽(16)的内壁固定安装有弹簧 (17)的一端, 所述弹簧(17)的另一端固定安装有温度探头(18)。 5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳, 其特征在于: 所述 连接管(10)的外侧壁固定安装有安装铜块(19), 所述安装铜块(19)的侧壁嵌入安装有第二 风扇(20)。 权利要求书 1/1 页 2 CN 211079312 U 2 一种真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳 技术领域 0001 本实用新型涉及镀膜机冷却技术领域, 具体。

6、为一种真空镀膜机循环冷却系统用冷 却外壳。 背景技术 0002 真空镀膜机作为精度较高的镀膜设备, 现已经在显示领域和半导体等领域得到了 充分的应用, 由于其通常使用油扩散结构作为提供真空的镀膜结构, 使得其在使用的过程 中, 需要格外注意散热问题, 目前现有的真空镀膜机冷却散热结构多为自来水冷却, 其效果 不强的同时, 使得真空镀膜机整体不易进行后续活动, 因此我们提出了一款便于完成拆卸 且散热效果明显的冷却外壳, 来处理上述问题。 实用新型内容 0003 本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳, 以解决上 述背景技术中提出的问题。 0004 为实现上述目的, 本实用新。

7、型提供如下技术方案: 一种真空镀膜机循环冷却系统 用冷却外壳, 包括冷却系统主体, 还包括散热外壳、 T形安装板和冷凝压缩机, 所述散热外壳 的数量为两个, 所述散热外壳的侧壁对称固定安装有安装块, 所述T形安装板和安装块的侧 壁开设有螺纹孔, 所述螺纹孔的内壁螺接有螺钉, 所述T形安装板的外侧壁对称嵌入安装有 风扇, 所述散热外壳的外侧壁嵌入安装有冷凝管, 所述冷凝压缩机的端口与冷凝管间设有 连接管。 0005 优选的, 所述T形安装板的内侧壁开设有滑槽, 所述滑槽的内壁滑动连接有滑块, 所述滑块的内侧壁固定安装有三角形挤压块, 所述滑块的外侧壁转动连接有螺纹杆, 所述 滑槽的外侧壁开设有第。

8、二螺纹孔, 且第二螺纹孔的内壁螺接螺纹杆。 0006 优选的, 所述螺纹杆的外侧壁设有限位凸起。 0007 优选的, 所述三角形挤压块的内侧壁开设有弹簧槽, 所述弹簧槽的内壁固定安装 有弹簧的一端, 所述弹簧的另一端固定安装有温度探头。 0008 优选的, 所述连接管的外侧壁固定安装有安装铜块, 所述安装铜块的侧壁嵌入安 装有第二风扇。 0009 与现有技术相比, 本实用新型的有益效果是: 本实用新型通过设置散热外壳对冷 却系统主体的夹持安装结构, 使得其在使用后, 能够轻松完成拆卸, 保证与冷却系统主体连 接的真空镀膜机能够完成随时活动, 通过设置对冷却系统主体侧壁的三角形挤压块固定结 构,。

9、 进一步限制其固定位置, 保证了散热效果。 通过设置多重降温结构, 保证了冷却系统主 体的降温能力, 从而保证真空镀膜机油扩散结构不会因温度过高而出现安全问题。 附图说明 0010 图1为本实用新型结构示意图。 说明书 1/3 页 3 CN 211079312 U 3 0011 图2为本实用新型散热外壳侧视图。 0012 图3为本实用新型三角形挤压块示意图。 0013 图4为本实用新型安装铜块处截面图。 0014 图中: 1冷却系统主体、 2散热外壳、 3安装块、 4T形安装板、 5螺纹孔、 6螺钉、 7风扇、 8 冷凝管、 9冷凝压缩机、 10连接管、 11滑槽、 12滑块、 13三角形挤压。

10、块、 14螺纹杆、 15第二螺纹 孔、 16弹簧槽、 17弹簧、 18温度探头、 19安装铜块、 20第二风扇。 具体实施方式 0015 下面将结合本实用新型实施例中的附图, 对本实用新型实施例中的技术方案进行 清楚、 完整地描述, 显然, 所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例, 而不是全部的 实施例。 基于本实用新型中的实施例, 本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下 所获得的所有其他实施例, 都属于本实用新型保护的范围。 0016 请参阅图1-4, 本实用新型提供一种技术方案: 一种真空镀膜机循环冷却系统用冷 却外壳, 包括冷却系统主体1, 还包括散热外壳2、 T形安装板4和冷。

11、凝压缩机9, 所述散热外壳 2的数量为两个, 且散热外壳2与冷却系统主体1的外侧壁贴合, 所述散热外壳2的侧壁对称 固定安装有安装块3, 所述T形安装板4和安装块3的侧壁开设有螺纹孔5, 所述螺纹孔5的内 壁螺接有螺钉6, 使得两侧散热外壳2的位置整体固定, 便于完成对冷却系统主体1的散热, 所述T形安装板4的外侧壁对称嵌入安装有风扇7, 所述散热外壳2的外侧壁嵌入安装有冷凝 管8, 所述冷凝压缩机9的端口与冷凝管8间设有连接管10, 冷凝管8内填充有冷凝剂, 风扇7 和冷凝压缩机9连接外界控制电源, 便于完成对冷却系统主体1的整体降温。 0017 为了进一步固定冷却系统主体1与散热外壳2, 。

12、所述T形安装板4的内侧壁开设有滑 槽11, 所述滑槽11的内壁滑动连接有滑块12, 所述滑块12的内侧壁固定安装有三角形挤压 块13, 所述滑块12的外侧壁转动连接有螺纹杆14, 所述滑槽11的外侧壁开设有第二螺纹孔 15, 且第二螺纹孔15的内壁螺接螺纹杆14, 只需转动螺纹杆14使得三角形挤压块13挤压冷 却系统主体1外壁即可实现对其进一步固定。 0018 具体而言, 所述螺纹杆14的外侧壁设有限位凸起, 限制螺纹杆14的转动位置。 0019 为了实现对冷却系统主体1的外壁温度探测, 所述三角形挤压块13的内侧壁开设 有弹簧槽16, 所述弹簧槽16的内壁固定安装有弹簧17的一端, 所述弹簧。

13、17的另一端固定安 装有温度探头18, 温度探头18的型号为RS485, 且温度探头18连接外界信号终端。 0020 具体而言, 所述连接管10的外侧壁固定安装有安装铜块19, 所述安装铜块19的侧 壁嵌入安装有第二风扇20, 安装铜块19的数量不唯一, 便于使下对冷却压缩结构的进一步 散热。 0021 工作原理: 本实用新型为一种真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳, 工作时, 冷却 系统主体1与散热外壳2之间, 只需将两者贴合后, 使得螺钉6螺进螺纹孔5, 即可完成固定, 同时转动螺纹杆14即可完成两侧三角形挤压块13对于冷却系统主体1的夹持, 保证固定效 果。 温度探头18实现对冷却系统主体。

14、1进行测温后, 将温度信号传递至外界信号终端, 操作 者根据需要开启风扇7和冷凝压缩机9, 便于完成对冷却系统主体1的整体降温。 0022 尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例, 对于本领域的普通技术人员而言, 可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、 修 说明书 2/3 页 4 CN 211079312 U 4 改、 替换和变型, 本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。 说明书 3/3 页 5 CN 211079312 U 5 图1 图2 说明书附图 1/2 页 6 CN 211079312 U 6 图3 图4 说明书附图 2/2 页 7 CN 211079312 U 7 。

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内容关键字: 真空镀膜 循环 冷却系统 冷却 外壳
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