用于18寸单晶炉热场的顶部保温支撑环定位结构.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201921884778.8 (22)申请日 2019.11.04 (73)专利权人 扬州合晶科技有限公司 地址 225000 江苏省扬州市经济技术开发 区马泊河路6号 (72)发明人 王鹏陶飞 (74)专利代理机构 北京轻创知识产权代理有限 公司 11212 代理人 刘红阳 (51)Int.Cl. C30B 29/06(2006.01) C30B 11/00(2006.01) C30B 15/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于18寸单晶炉热场的顶部保温支撑 。

2、环定位结构 (57)摘要 本实用新型公开一种用于18寸单晶炉热场 的顶部保温支撑环定位结构， 用于进行单晶炉热 场侧部保温装置与顶部保温装置的定位连接， 侧 部保温装置顶部设置有定位台阶， 定位台阶上放 置支撑环， 支撑环上放置顶部保温装置， 定位台 阶上设置有定位槽， 定位槽为贴合定位台阶外侧 面设置的圆环形槽， 支撑环为圆环结构， 支撑环 下侧面外圈对应定位槽设置有定位凸起， 支撑环 上表面设置有凹槽， 顶部保温装置下部对应凹槽 设置有突起与支撑环上表面凹槽进行接触定位， 支撑环上下表面内侧端部均进行倒圆处理。 本申 请更改支撑环定位结构， 保证石墨碎屑不会落入 单晶炉中， 同时在石墨支撑。

3、环内侧尖锐转角位置 设置直径较大的倒圆， 避免热应力引起的石墨脱 落。 权利要求书1页 说明书2页 附图2页 CN 210796697 U 2020.06.19 CN 210796697 U 1.一种用于18寸单晶炉热场的顶部保温支撑环定位结构， 用于进行单晶炉热场侧部保 温装置与顶部保温装置的定位连接， 侧部保温装置顶部设置有定位台阶， 所述定位台阶上 放置支撑环， 支撑环上放置顶部保温装置， 其特征在于， 所述定位台阶上设置有定位槽， 所 述定位槽为贴合定位台阶外侧面设置的圆环形槽， 所述支撑环为圆环结构， 支撑环下侧面 外圈对应定位槽设置有定位凸起， 所述支撑环上表面设置有凹槽， 顶部保。

4、温装置下部对应 凹槽设置有突起与支撑环上表面凹槽进行接触定位， 所述支撑环上下表面内侧端部均进行 倒圆处理。 2.根据权利要求1所述的一种用于18寸单晶炉热场的顶部保温支撑环定位结构， 其特 征在于： 所述定位槽距离定位台阶内边缘距离不小于10mm。 3.根据权利要求2所述的一种用于18寸单晶炉热场的顶部保温支撑环定位结构， 其特 征在于： 所述倒圆不小于5mm。 4.根据权利要求1-3任一所述的一种用于18寸单晶炉热场的顶部保温支撑环定位结 构， 其特征在于： 所述定位槽宽度不小于10mm。 权利要求书 1/1 页 2 CN 210796697 U 2 一种用于18寸单晶炉热场的顶部保温支撑。

5、环定位结构 技术领域 0001 本实用新型涉及单晶炉热场保温设备领域， 特别是涉及一种用于18寸单晶炉热场 的顶部保温支撑环定位结构。 背景技术 0002 单晶炉热场外部需设置保温设备， 如附图1所示， 单晶炉外设置有侧部保温装置， 侧部保温装置顶部设置有定位台阶， 所述定位台阶上放置支撑环， 支撑环上放置顶部保温 装置。 传统支撑环如图2所示， 其在环体底部外侧设置有定位面， 定位面为凹陷的平面， 在安 装时， 支撑环通常内侧先与侧部保证装置顶部接触， 接触时支撑环容易产生磕碰， 由于支撑 环为石墨制成， 磕碰易产生石墨碎屑， 石墨碎屑容易落入单晶炉的硅液中。 同时， 在热应力 效应下， 石。

6、墨支撑内侧尖锐转角处经常会发生脱落， 并掉落至硅液中， 导致产品无法生产或 产品不合格。 发明内容 0003 为了解决以上问题， 本实用新型提供一种用于18寸单晶炉热场的顶部保温支撑环 定位结构， 更改支撑环定位结构， 保证石墨碎屑不会落入单晶炉中， 同时在石墨支撑环内侧 尖锐转角位置设置直径较大的倒圆， 避免热应力引起的石墨脱落。 0004 为达此目的， 本实用新型提供一种用于18寸单晶炉热场的顶部保温支撑环定位结 构， 用于进行单晶炉热场侧部保温装置与顶部保温装置的定位连接， 侧部保温装置顶部设 置有定位台阶， 所述定位台阶上放置支撑环， 支撑环上放置顶部保温装置， 所述定位台阶上 设置有。

7、定位槽， 所述定位槽为贴合定位台阶外侧面设置的圆环形槽， 所述支撑环为圆环结 构， 支撑环下侧面外圈对应定位槽设置有定位凸起， 所述支撑环上表面设置有凹槽， 顶部保 温装置下部对应凹槽设置有突起与支撑环上表面凹槽进行接触定位， 所述支撑环上下表面 内侧端部均进行倒圆处理。 0005 本实用新型的进一步改进， 所述定位槽距离定位台阶内边缘距离不小于10mm。 0006 本实用新型的进一步改进， 所述倒圆不小于5mm。 0007 本实用新型的进一步改进， 所述定位槽宽度不小于10mm。 0008 本申请一种用于18寸单晶炉热场的顶部保温支撑环定位结构， 其实现的技术效果 如下： 0009 (1)更。

8、改支撑环定位结构， 在支撑环底部外侧设置定位凸起， 侧部保温装置定位台 阶上设置定位槽， 在安装时， 定位凸起与定位槽先接触， 接触产生的石墨碎屑落入定位槽 中， 不会落入单晶炉中； 0010 (2)在石墨支撑环内侧尖锐转角位置设置直径较大的倒圆， 避免热应力引起的石 墨脱落。 说明书 1/2 页 3 CN 210796697 U 3 附图说明 0011 图1为现有的支撑环定位结构示意图； 0012 图2为现有的支撑环结构示意图； 0013 图3为本实用新型支撑环结构示意图； 0014 图4为本实用新型支撑环定位结构示意图； 0015 1、 单晶炉； 2、 侧保温装置； 3、 传统支撑环； 4。

9、、 顶部保温装置； 5、 石墨碎屑； 6、 支撑 环； 201、 定位台阶； 202、 定位槽； 301、 定位面； 601、 定位凸起； 602、 倒圆。 具体实施方式 0016 下面结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述： 0017 如图4所示的一种用于18寸单晶炉1热场的顶部保温支撑环6定位结构， 用于进行 单晶炉1热场侧部保温装置2与顶部保温装置4的定位连接， 侧部保温装置2顶部设置有定位 台阶201， 定位台阶201上放置支撑环6， 支撑环6上放置顶部保温装置4。 定位台阶201上设置 有定位槽202， 定位槽202为贴合定位台阶201外侧面设置的圆环形槽。 如图3所示，。

10、 支撑环6 为圆环结构， 支撑环6下侧面外圈对应定位槽202设置有定位凸起601， 支撑环6上表面设置 有凹槽， 顶部保温装置4下部对应凹槽设置有突起与支撑环 6上表面凹槽进行接触定位， 支 撑环6上下表面内侧端部均进行倒圆602处理。 0018 定位槽202宽度不小于10mm。 为保证定位凸起601磕碰产生的石墨碎屑5不会落入 单晶炉1中， 定位槽202距离定位台阶201内边缘距离不小于10mm。 为尽可能减少热应力引发 的石墨脱落， 倒圆602不小于5mm。 0019 在安装时， 定位凸起601与定位槽202先接触， 接触产生的石墨碎屑5落入定位槽 202中， 不会落入单晶炉1中。 0020 以上所述， 仅是本实用新型的较佳实施例而已， 并非是对本实用新型作任何其他 形式的限制， 而依据本实用新型的技术实质所作的任何修改或等同变化， 仍属于本实用新 型所要求保护的范围。 说明书 2/2 页 4 CN 210796697 U 4 图1 图2 说明书附图 1/2 页 5 CN 210796697 U 5 图3 图4 说明书附图 2/2 页 6 CN 210796697 U 6 。