改进的等离子喷涂设备.pdf

《改进的等离子喷涂设备.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《改进的等离子喷涂设备.pdf（10页完成版）》请在专利查询网上搜索。

1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201922480095.2 (22)申请日 2019.12.31 (73)专利权人 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 地址 523000 广东省东莞市厚街镇汀山村 汀山路121号 (72)发明人 兰冰 (74)专利代理机构 北京天盾知识产权代理有限 公司 11421 代理人 林晓宏 (51)Int.Cl. C23C 4/134(2016.01) (54)实用新型名称 一种改进的等离子喷涂设备 (57)摘要 本实用新型公开了一种改进的等离子喷涂 设备， 包括控制单元、 喷枪和用于装夹工。

2、件的靶 材转台， 靶材转台的一侧设置有行走机构， 行走 机构设置有行走轨道和行走小车， 行走轨道平行 设置在靶材转台的一侧， 行走小车活动安装于行 走轨道， 喷枪固定安装于行走小车， 行走轨道设 置有行走驱动齿条， 行走驱动齿条沿喷涂设备的 长度方向延伸设置； 行走小车设置有行走驱动电 机， 行走驱动电机具有一输出轴， 输出轴连接有 行走驱动齿轮， 行走驱动齿轮与行走驱动齿条啮 合； 喷枪、 靶材转台和行走驱动电机分别电连接 控制单元。 与现有技术相比， 本实用新型通过改 进的行走小车驱动结构， 使喷枪的行走运动更加 快、 稳、 准， 提高了喷涂的精准度， 避免出现凹凸 涂层的现象。 权利要求。

3、书2页 说明书4页 附图3页 CN 211170834 U 2020.08.04 CN 211170834 U 1.一种改进的等离子喷涂设备， 喷涂设备包括控制单元、 喷枪(25)和用于装夹工件的 靶材转台(1)， 靶材转台(1)的一侧设置有行走机构， 行走机构设置有行走轨道和行走小车 (2)， 行走轨道平行设置在靶材转台(1)的一侧， 行走小车(2)活动安装于行走轨道， 喷枪 (25)安装于行走小车(2)， 其特征在于： 行走轨道设置有行走驱动齿条(32)， 行走驱动齿条 (32)沿喷涂设备的长度方向延伸设置； 行走小车(2)设置有行走驱动电机， 行走驱动电机具有一输出轴， 输出轴连接有行走。

4、驱 动齿轮(22)， 行走驱动齿轮(22)与行走驱动齿条(32)啮合； 喷枪(25)、 靶材转台(1)和行走驱动电机分别电连接控制单元。 2.根据权利要求1所述的一种改进的等离子喷涂设备， 其特征在于： 所述行走小车(2) 的底部设置有滑动配合结构， 滑动配合结构滑动连接于所述行走驱动齿条(32)和/或所述 行走轨道。 3.根据权利要求2所述的一种改进的等离子喷涂设备， 其特征在于： 所述滑动配合结构 包括至少一个半框体(23)， 半框体(23)活动套设于所述行走驱动齿条(32)， 半框体(23)的 内侧壁设置有滚珠结构， 滚珠结构具有至少一个滚珠， 滚珠与行走驱动齿条(32)的相应侧 壁滚动。

5、配合。 4.根据权利要求3所述的一种改进的等离子喷涂设备， 其特征在于： 所述行走小车(2) 的两侧分别设置有滚动轮(20)， 滚动轮(20)的圆周部凹陷成型有凹槽(201)； 所述行走轨道 包括有两条平行设置的钢轨(31)， 钢轨(31)的顶部成型设置有轨枕头； 钢轨(31)的轨枕头 的横截面形状与滚动轮(20)的凹槽(201)的横截面形状相匹配， 两侧的滚动轮(20)分别与 相应的钢轨(31)滚动配合， 并且滚动轮(20)的凹槽(201)分别活动卡设于相应钢轨(31)的 轨枕头。 5.根据权利要求4所述的一种改进的等离子喷涂设备， 其特征在于： 所述行走驱动齿条 (32)的齿槽面垂直设置，。

6、 行走驱动齿条(32)的底侧面整平形成滚动配合面； 所述滑动配合结构设置有一个所述半框体(23)， 半框体(23)的下部的内侧面设置有滚 珠平面轴承(24)， 滚珠平面轴承(24)包括有一滚珠盘， 滚珠盘开设有多个滚珠腔， 每个滚珠 腔内填充设置有一所述滚珠， 各滚珠组合形成滚珠轴承平面， 滚珠轴承平面与滚动配合面 活动抵顶配合。 6.根据权利要求5所述的一种改进的等离子喷涂设备， 其特征在于： 所述半框体(23)的 横截面呈 “冂” 形设置， 半框体(23)的两端开口分别安装有一挡尘板， 挡尘板的内侧凹缺成 型有避让缺口， 挡尘板的避让缺口与所述行走驱动齿条(32)间隙配合。 7.根据权利要。

7、求1所述的一种改进的等离子喷涂设备， 其特征在于： 所述行走驱动齿条 (32)的齿槽面垂直设置， 行走驱动齿条(32)的顶面和底面分别平滑设置； 所述行走驱动齿轮(22)和所述行走驱动齿条(32)之间设置有防脱结构， 包括分别径向 凸出设置在行走驱动齿轮(22)上下两侧的限位部， 限位部沿圆周方向闭合设置， 行走驱动 齿轮(22)的上侧的限位部与行走驱动齿条(32)的顶面限位配合， 行走驱动齿轮(22)的底侧 的限位部与行走驱动齿条(32)的底面限位配合。 8.根据权利要求7所述的一种改进的等离子喷涂设备， 其特征在于： 所述行走驱动齿条 (32)的齿槽面设置有高分子薄膜， 高分子薄膜的硬度设。

8、置为邵氏硬度65A75A， 高分子薄 膜的厚度设置为0.5mm1.5mm。 权利要求书 1/2 页 2 CN 211170834 U 2 9.根据权利要求6或8所述的一种改进的等离子喷涂设备， 其特征在于： 所述行走小车 (2)设置有喷枪调节机构， 喷枪调节机构包括沿前后方向设置有X轴调节装置和沿上下方向 设置的Y轴调节装置， X轴调节装置安装于行走小车(2)的顶面， Y轴调节装置连接X轴调节装 置， 所述喷枪(25)固定于Y轴调节装置。 10.根据权利要求6或8所述的一种改进的等离子喷涂设备， 其特征在于： 所述行走驱动 电机包括有一伺服电机(21)， 伺服电机(21)与所述控制单元电连接。。

9、 权利要求书 2/2 页 3 CN 211170834 U 3 一种改进的等离子喷涂设备 技术领域 0001 本实用新型涉及靶材生产设备技术领域， 尤其是涉及一种改进的等离子喷涂设 备。 背景技术 0002 等离子喷涂技术是采用由直流电驱动的等离子电弧作为热源， 将陶瓷、 合金、 金属 等材料加热到熔融或半熔融状态， 并以高速喷向经过预处理的工件表面而形成附着牢固的 表面层的方法。 影响涂层质量的工艺参数主要有， 等离子气体、 电弧的功率、 供粉、 喷涂距 离、 喷涂角度、 基体温度控制以及喷枪与工件的相对运动速度。 0003 在现有的等离子喷涂设备中， 由于喷枪的行走驱动机构的稳定性和精度较。

10、低， 导 致每个行程的宽度之间出现没有充分搭叠或搭叠过度， 从而出现凹凸涂层的现象， 甚至出 现喷涂脊背的痕迹。 另外， 现有的等离子喷涂设备的喷枪还存在着移动速度不足， 容易导致 涂层产生局部热点和表面氧化。 实用新型内容 0004 针对现有技术存在的不足， 本实用新型的目的是提供一种改进的等离子喷涂设 备， 提高喷枪的行走稳定性以及喷涂精度， 以提高靶材的成膜质量。 0005 为了实现上述目的， 本实用新型所采用的技术方案是： 一种改进的等离子喷涂设 备， 喷涂设备包括控制单元、 喷枪和用于装夹工件的靶材转台， 靶材转台的一侧设置有行走 机构， 行走机构设置有行走轨道和行走小车， 行走轨道。

11、平行设置在靶材转台的一侧， 行走小 车活动安装于行走轨道， 喷枪固定安装于行走小车， 行走轨道设置有行走驱动齿条， 行走驱 动齿条沿喷涂设备的长度方向延伸设置； 行走小车设置有行走驱动电机， 行走驱动电机具 有一输出轴， 输出轴连接有行走驱动齿轮， 行走驱动齿轮与行走驱动齿条啮合； 喷枪、 靶材 转台和行走驱动电机分别电连接控制单元。 本实用新型通过改进的行走小车驱动结构， 使 喷枪的行走运动更加快、 稳、 准， 提高了喷涂的精准度， 避免出现凹凸涂层的现象。 0006 在进一步的技术方案中， 行走小车的底部设置有滑动配合结构， 滑动配合结构滑 动连接于行走驱动齿条和/或行走轨道。 0007 。

12、在进一步的技术方案中， 滑动配合结构包括至少一个半框体， 半框体活动套设于 行走驱动齿条， 半框体的内侧壁设置有滚珠结构， 滚珠结构具有至少一个滚珠， 滚珠与行走 驱动齿条的相应侧壁滚动配合。 0008 在进一步的技术方案中， 行走小车的两侧分别设置有滚动轮， 滚动轮的圆周部凹 陷成型有凹槽； 行走轨道包括有两条平行设置的钢轨， 钢轨的顶部成型设置有轨枕头； 钢轨 的轨枕头的横截面形状与滚动轮的凹槽的横截面形状相匹配， 两侧的滚动轮分别与相应的 钢轨滚动配合， 并且滚动轮的凹槽分别活动卡设于相应钢轨的轨枕头。 0009 在进一步的技术方案中， 行走驱动齿条的齿槽面垂直设置， 行走驱动齿条的底侧。

13、 面整平形成滚动配合面； 滑动配合结构设置有一个半框体， 半框体的下部的内侧面设置有 说明书 1/4 页 4 CN 211170834 U 4 滚珠平面轴承， 滚珠平面轴承包括有一滚珠盘， 滚珠盘开设有多个滚珠腔， 每个滚珠腔内填 充设置有一滚珠， 各滚珠组合形成滚珠轴承平面， 滚珠轴承平面与滚动配合面活动抵顶配 合。 0010 在进一步的技术方案中， 滑动配合结构设置有一个半框体， 半框体的横截面呈 “冂” 形设置， 半框体的两端开口分别安装有一挡尘板， 挡尘板的内侧凹缺成型有避让缺口， 挡尘板的避让缺口与行走驱动齿条间隙配合。 0011 在进一步的技术方案中， 行走驱动齿条的齿槽面垂直设置。

14、， 行走驱动齿条的顶面 和底面分别平滑设置； 行走驱动齿轮和行走驱动齿条之间设置有防脱结构， 包括分别径向 凸出设置在行走驱动齿轮上下两侧的限位部， 限位部沿圆周方向闭合设置， 行走驱动齿轮 的上侧的限位部与行走驱动齿条的顶面限位配合， 行走驱动齿轮的底侧的限位部与行走驱 动齿条的底面限位配合。 这里提供的另外一种防脱轨结构， 通过行走驱动齿轮上下两侧的 限位部与行走驱动齿条之间进行限位配合， 实现行走小车防脱轨。 0012 在进一步的技术方案中， 行走驱动齿条的齿槽面设置有高分子薄膜， 高分子薄膜 的硬度设置为邵氏硬度65A75A， 高分子薄膜的厚度设置为0.5mm1.5mm。 0013 在。

15、进一步的技术方案中， 行走小车设置有喷枪调节机构， 喷枪调节机构包括沿前 后方向设置有X轴调节装置和沿上下方向设置的Y轴调节装置， X轴调节装置安装于行走小 车的顶面， Y轴调节装置连接X轴调节装置， 喷枪固定于Y轴调节装置。 0014 在进一步的技术方案中， 行走驱动电机包括有一伺服电机， 伺服电机与控制单元 电连接。 0015 采用上述结构后， 本实用新型和现有技术相比所具有的优点是： 本实用新型通过 改进的行走小车驱动结构， 使喷枪的行走运动更加快、 稳、 准， 进一步提高了喷涂的精准度， 避免出现凹凸涂层的现象； 本实用新型通过改进的行走驱动齿条结构， 在行走驱动齿条的 齿槽面设置高分。

16、子薄膜， 高分子薄膜质软， 具有缓冲降噪的功能， 使喷枪的行走更加稳定， 减少机械振动， 进一步提高了喷涂质量； 本实用新型通过伺服电机作为行走小车的动力源， 具有操控精度高、 作用反应快的优点， 进一步避免机械延迟所导致的喷涂行程的叠加不充 分或叠加过度， 进一步提高了涂层质量。 附图说明 0016 下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。 0017 图1是本实用新型的结构示意图。 0018 图2是本实用新型的行走机构的正视结构示意图。 0019 图3是本实用新型的行走机构的侧视结构示意图。 0020 图中： 0021 1-靶材转台、 2-行走小车、 21-伺服电机、 22-行走驱动齿轮。

17、、 23-半框体、 24-滚珠平 面轴承、 25-喷枪、 31-钢轨、 32-行走驱动齿条、 4-旋转靶材。 具体实施方式 0022 以下仅为本实用新型的较佳实施例， 并不因此而限定本实用新型的保护范围。 0023 一种改进的等离子喷涂设备， 如图1至图3所示， 喷涂设备包括控制单元、 喷枪25和 说明书 2/4 页 5 CN 211170834 U 5 用于装夹工件的靶材转台1， 靶材转台1的一侧设置有行走机构， 行走机构设置有行走轨道 和行走小车2， 行走轨道平行设置在靶材转台1的一侧， 行走小车2活动安装于行走轨道。 行 走小车2设置有喷枪调节机构， 喷枪调节机构包括沿前后方向设置有X轴。

18、调节装置和沿上下 方向设置的Y轴调节装置， X轴调节装置安装于行走小车2的顶面， Y轴调节装置连接X轴调节 装置， 喷枪25固定于Y轴调节装置。 行走轨道设置有行走驱动齿条32， 行走驱动齿条32沿喷 涂设备的长度方向延伸设置； 行走小车2设置有行走驱动电机， 行走驱动电机具有一输出 轴， 输出轴连接有行走驱动齿轮22， 行走驱动齿轮22与行走驱动齿条32啮合； 喷枪25、 靶材 转台1和行走驱动电机分别电连接控制单元。 本实施例通过齿轮齿条传动结构对行走小车2 进行驱动， 使行走小车2的运动更加平稳， 机械延时进一步减少， 从而提高喷枪25的喷涂精 度以及旋转靶材4的成膜质量。 0024 具。

19、体地， 行走小车2的底部设置有滑动配合结构， 滑动配合结构滑动连接于行走驱 动齿条32。 0025 具体地， 滑动配合结构包括至少一个半框体23， 半框体23活动套设于行走驱动齿 条32， 半框体23的内侧壁设置有滚珠结构， 滚珠结构具有至少一个滚珠， 滚珠与行走驱动齿 条32的相应侧壁滚动配合。 通过半框体23与行走驱动齿条32之间的滑动结构， 保证行走小 车2能够顺利运动的同时， 还能避免行走小车2发生脱轨， 进一步提高高速运行的行走小车2 的行走稳定性。 0026 具体地， 行走小车2的两侧分别设置有滚动轮20， 滚动轮20的圆周部凹陷成型有凹 槽201； 行走轨道包括有两条平行设置的钢。

20、轨31， 行走驱动齿条32位于两个钢轨31之间， 钢 轨31的顶部成型设置有轨枕头； 钢轨31的轨枕头的横截面形状与滚动轮20的凹槽201的横 截面形状相匹配， 两侧的滚动轮20分别与相应的钢轨31滚动配合， 并且滚动轮20的凹槽201 分别活动卡设于相应钢轨31的轨枕头。 该结构保证行走小车2发生侧脱， 滚动轮20始终滚动 连接于钢轨31。 行走小车2具体的连接结构可以分为， 滚动轮20以及半框体23的滑动结构， 各滚动轮20的连接结构保证行走小车2能够顺利进行往复滑动以及避免发生侧脱； 半框体 23与行走驱动齿条22的连接结构保证行走小车2能够顺利进行往复滑动以及避免发生上 脱。 两个连接。

21、结构协同配合， 保证行走小车2发生侧脱以及上脱， 减少机械振动， 进一步加强 了喷枪25的运动稳定性以及精准度。 0027 具体地， 行走驱动齿条32的齿槽面垂直设置， 行走驱动齿条32的底侧面整平形成 滚动配合面； 滑动配合结构设置有一个半框体23， 半框体23的下部的内侧面设置有滚珠平 面轴承24， 滚珠平面轴承24包括有一滚珠盘， 滚珠盘开设有多个滚珠腔， 每个滚珠腔内填充 设置有一滚珠， 各滚珠组合形成滚珠轴承平面， 滚珠轴承平面与滚动配合面活动抵顶配合。 0028 具体地， 半框体23的横截面呈 “冂” 形设置， 半框体23的两端开口分别安装有一挡 尘板， 挡尘板的内侧凹缺成型有避让。

22、缺口， 挡尘板的避让缺口与行走驱动齿条32间隙配合。 该结构能够尽可能减少齿轮齿条结构以及滚珠平面轴承24出现大量灰尘聚积， 影响机械运 动顺利进行。 0029 具体地， 行走驱动电机包括有一伺服电机21， 伺服电机21与控制单元电连接。 本喷 涂设备通过伺服电机21作为行走小车的行走动力源， 配合齿轮齿条传动结构， 使行走小车2 的运动更加稳定， 动作更加精准。 0030 以上内容仅为本实用新型的较佳实施例， 对于本领域的普通技术人员， 依据本实 说明书 3/4 页 6 CN 211170834 U 6 用新型的思想， 在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处， 本说明书内容不应理解为 对本实用新型的限制。 说明书 4/4 页 7 CN 211170834 U 7 图1 说明书附图 1/3 页 8 CN 211170834 U 8 图2 说明书附图 2/3 页 9 CN 211170834 U 9 图3 说明书附图 3/3 页 10 CN 211170834 U 10 。