高效磨倒一体机.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201921520263.X (22)申请日 2019.09.12 (73)专利权人 青岛高测科技股份有限公司 地址 266000 山东省青岛市高新技术产业 开发区火炬支路66号 (72)发明人 东野广俊解培玉段景波 张笑笑吴广忠王勇 (74)专利代理机构 北京同辉知识产权代理事务 所(普通合伙) 11357 代理人 于晶晶 (51)Int.Cl. B24B 27/00(2006.01) B24B 41/00(2006.01) B24B 41/02(2006.01) (ESM)同。

2、样的发明创造已同日申请发明专利 (54)实用新型名称 一种高效磨倒一体机 (57)摘要 本实用新型提出了一种高效磨倒一体机， 包 括底座组件、 工作台组件、 中转机械手、 粗磨组 件、 精磨组件、 粗滚磨组件、 精滚磨组件、 上料机 构和下料机构， 底座组件包括底座及设置在底座 上的导轨， 工作台组件设置有两组， 两组工作台 组件分别可滑动地设置在底座两端， 中转机械手 设置在底座中部， 粗磨组件和精磨组件均设置有 两组， 分别相对设置在底座的两侧， 粗滚磨组件 设置在底座一侧且位于粗磨组件与中转机械手 之间， 精滚磨组件设置在底座一侧且位于精磨组 件与中转机械手之间， 上料机构和下料机构结构。

3、 相同， 分别设置在底座两端， 本实用新型可对不 同规格晶硅进行弧、 角、 面一体抛光， 粗磨、 精磨 工序互不干扰， 降低设备空闲时间， 设备产能高， 加工周期短。 权利要求书2页 说明书5页 附图4页 CN 211249532 U 2020.08.14 CN 211249532 U 1.一种高效磨倒一体机， 其特征在于， 包括： 底座组件(2)， 所述底座组件(2)包括底座(21)及设置在底座(21)上的导轨； 工作台组件(3)， 所述工作台组件(3)设置有两组， 两组工作台组件(3)分别可滑动地设 置在底座(21)两端， 用于承载晶硅并带动晶硅沿着导轨移动； 中转机械手(4)， 所述中转。

4、机械手(4)设置在底座(21)中部， 用于夹持晶硅在两个工作 台组件(3)间移动； 粗磨组件(5)， 所述粗磨组件(5)设置有两组， 两组粗磨组件(5)相对设置在底座(21)的 两侧且位于中转机械手(4)的左侧， 用于对晶硅进行面与棱的粗磨加工； 精磨组件(6)， 所述精磨组件(6)设置有两组， 两组精磨组件(6)相对设置在底座(21)的 两侧且位于中转机械手(4)的右侧， 用于对晶硅进行面与棱的精磨加工； 粗滚磨组件(7)， 所述粗滚磨组件(7)设置在底座(21)一侧且位于粗磨组件(5)与中转 机械手(4)之间， 用于对晶硅的圆弧角进行粗磨加工； 精滚磨组件(8)， 所述精滚磨组件(8)设置。

5、在底座(21)一侧且位于精磨组件(6)与中转 机械手(4)之间， 用于对晶硅的圆弧角进行精磨加工； 上料机构(1)和下料机构(10)， 所述上料机构(1)和下料机构(10)结构相同， 分别设置 在底座(21)两端， 用于晶硅的上料及下料。 2.如权利要求1所述的高效磨倒一体机， 其特征在于， 所述导轨包括平行设置的底座导 轨一(22)和底座导轨二(23)， 所述底座导轨一(22)和底座导轨二(23)之间设置有两条底座 滚珠丝杠(24)， 所述底座(21)两端分别设置有底座电机， 所述底座电机分别驱动底座滚珠 丝杠转动。 3.如权利要求1所述的高效磨倒一体机， 其特征在于， 所述工作台组件(3)。

6、包括滑台座 (31)， 所述滑台座(31)两侧分别安装平行设置的滑台导轨一(32)和滑台导轨二(33)， 所述 滑台导轨一(32)和滑台导轨二(33)之间设置有滑台滚珠丝杠(34)， 所述滑台座(31)一端设 置有滑台电机(36)， 所述滑台座(31)一端固定安装有夹头连接座一(37)， 所述滑台导轨一 (32)和滑台导轨二(33)上设置可滑动的夹头连接座二(38)， 所述夹头连接座一(37)上设有 夹头一(39)， 所述夹头连接座二(38)上设有与夹头一(39)相对设置的夹头二(310)。 4.如权利要求3所述的高效磨倒一体机， 其特征在于， 所述夹头二(310)包括夹头部以 及与夹头部连接。

7、的夹头旋转电机(3101)， 所述夹头部包括夹头前板(3102)、 夹头后板 (3103)以及设置于所述夹头前板(3102)和夹头后板(3103)之间的膜片(3104)和球头 (3105)， 所述球头(3105)的两端与所述夹头前板(3102)和夹头后板(3103)的中心位置接 触， 所述膜片(3104)位于所述球头(3105)的周边。 5.如权利要求1所述的高效磨倒一体机， 其特征在于， 所述上料机构包括上料框架 (11)， 所述上料框架(11)顶部两侧安装有平行设置的导轨一(12)和导轨二(13)， 所述导轨 一(12)和导轨二(13)之间设置有滚珠丝杠一(14)， 所述上料框架(11)一。

8、端设置有电机一 (16)， 所述电机一(16)驱动滚珠丝杠一(14)转动， 所述导轨一(12)和导轨二(13)上设置有 可滑动的悬架一(17)， 所述悬架一(17)与滚珠丝杠一(14)连接， 所述悬架一(17)上设置有 线性模组一(18)， 所述线性模组一(18)上连接电机二(19)， 所述线性模组一(18)上设置有 抓手支架一(110)， 所述抓手支架一(110)下设置两个抓手气缸一(111)， 两个抓手气缸一 (111)两端分别设置有夹爪一(112)。 权利要求书 1/2 页 2 CN 211249532 U 2 6.如权利要求5所述的高效磨倒一体机， 其特征在于， 所述上料框架(11)一。

9、侧设有上料 台(113)， 所述上料台(113)上平行安装两条上料垫板(114)。 7.如权利要求1所述的高效磨倒一体机， 其特征在于， 所述中转机械手(4)包括中转框 架(41)， 所述中转框架(41)顶部两侧分别安装平行设置的中转导轨一(42)和中转导轨二 (43)， 所述中转导轨一(42)和中转导轨二(43)之间设置有中转滚珠丝杠(44)， 所述中转框 架(41)一端设置有中转电机(46)， 所述中转电机(46)驱动中转滚珠丝杠(44)转动， 所述中 转导轨一(42)和中转导轨二(43)上设置有可滑动的抓手架(47)， 所述抓手架(47)与中转滚 珠丝杠(44)连接， 所述抓手架(47)。

10、上设置有线性模组二(48)， 线性模组二(48)上连接夹爪 电机(49)， 所述夹爪电机(49)驱动线性模组二(48)转动， 所述线性模组二(48)上设置有用 于夹持硅棒的抓手(410)。 8.如权利要求1所述的高效磨倒一体机， 其特征在于， 所述粗磨组件(5)包括支撑框架 (51)、 设置在支撑框架(51)内的磨头体(52)、 设置在支撑框架(51)顶部的升降气缸(53)和 设置在支撑框架(51)底部的进给组件(54)， 所述磨头体(52)包括旋转电机(521)、 主轴 (522)和砂轮(523)， 所述主轴(522)的一端与磨头旋转电机(521)的输出端连接， 其另一端 连接砂轮(523)。

11、， 所述砂轮(523)的外周上设有毛刷(524)， 所述升降气缸(53)沿着垂直方向 设置， 所述升降气缸(53)的输出端与磨头体(52)固连； 所述进给组件(54)包括固定座 (541)、 进给电机(542)和进给滚珠丝杠(543)， 所述固定座(541)与支撑框架(51)的底部固 连， 所述进给电机(542)固设于底座(21)上， 且其输出端与进给滚珠丝杠(543)连接， 所述固 定座(541)底部与进给滚珠丝杠(543)固连。 9.如权利要求8所述的高效磨倒一体机， 其特征在于， 所述滚磨组件(7)包括设置在支 撑框架(51)上的滚磨磨头体(71)， 所述滚磨磨头体(71)包括砂轮体壳(。

12、711)、 滚磨旋转电机 (712)、 滚磨主轴(713)和平行砂轮(714)， 所述滚磨主轴(713)的一端与旋转滚磨旋转电机 (712)的输出端连接， 其另一端连接平行砂轮(714)。 10.如权利要求9所述的高效磨倒一体机， 其特征在于， 所述底座(21)一侧或两侧的粗 磨组件(5)和精磨组件(6)上分别安装有探针(9)。 权利要求书 2/2 页 3 CN 211249532 U 3 一种高效磨倒一体机 技术领域 0001 本实用新型涉及硅棒加工设备技术领域， 特别涉及一种高效磨倒一体机。 背景技术 0002 光伏发电是当前最重要的清洁能源之一， 具有极大的发展潜力。 制约光伏行业发 展。

13、的关键因素， 一方面是光电转化效率低， 另一方面是成本偏高。 光伏硅片是生产太阳能电 池和组件的基本材料， 用于生产光伏硅片的多晶硅纯度必须在6N级以上， 否则光伏电池的 性能将受到很大的负面影响。 在光伏行业中， 为了去除硅棒加工过程的缺陷， 减小废片率， 需要在开方后、 切片前对硅棒进行磨削加工。 目前， 市场上在用的磨床都是单机形式， 包含 上料、 装夹、 粗磨、 精磨、 下料等功能组件合成为一台整机， 但每个功能组件都是单独工作。 致使浪费工位、 产能低， 总加工时间较长。 实用新型内容 0003 针对现有技术的不足， 现提出一种高效磨倒一体机， 该设备夹持、 测量、 粗磨、 精 磨、。

14、 搬运等工序都同时工作， 并对每个工序的加工时间做均衡匹配， 减去等待的时间， 将加 工单根棒的磨削时间降至最低。 从上棒到下棒， 全自动化运行， 无需人工干预， 同时具有尺 寸检测和自适应调整功能， 实现智能化与自动化的有效结合， 可以大幅提升磨削效率。 0004 为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 0005 一种高效磨倒一体机， 包括： 0006 底座组件， 所述底座组件包括底座及设置在底座上的导轨； 0007 工作台组件， 所述工作台组件设置有两组， 两组工作台组件分别可滑动地设置在 底座两端， 用于承载晶硅并带动晶硅沿着导轨移动； 0008 中转机械手， 所述中转机械手设置。

15、在底座中部， 用于夹持晶硅在两个工作台组件 间移动； 0009 粗磨组件， 所述粗磨组件设置有两组， 两组粗磨组件相对设置在底座的两侧且位 于中转机械手的左侧， 用于对晶硅进行面与棱的粗磨加工； 0010 精磨组件， 所述精磨组件设置有两组， 两组精磨组件相对设置在底座的两侧且位 于中转机械手的右侧， 用于对晶硅进行面与棱的精磨加工； 0011 粗滚磨组件， 所述粗滚磨组件设置在底座一侧且位于粗磨组件与中转机械手之 间， 用于对晶硅的圆弧角进行粗磨加工； 0012 精滚磨组件， 所述精滚磨组件设置在底座一侧且位于精磨组件与中转机械手之 间， 用于对晶硅的圆弧角进行精磨加工； 0013 上料机构。

16、和下料机构， 所述上料机构和下料机构结构相同， 分别设置在底座两端， 用于晶硅的上料及下料。 0014 作为本实用新型的进一步技术方案， 0015 作为本实用新型的进一步技术方案， 所述上料机构包括上料框架， 所述上料框架 说明书 1/5 页 4 CN 211249532 U 4 顶部两侧安装有平行设置的导轨一和导轨二， 所述导轨一和导轨二之间设置有滚珠丝杠 一， 所述上料框架一端设置有电机一， 所述电机一驱动滚珠丝杠一转动， 所述导轨一和导轨 二上设置有可滑动的悬架一， 所述悬架一与滚珠丝杠一连接， 所述悬架一上设置有线性模 组一， 所述线性模组一上连接电机二， 所述线性模组一上设置有抓手支。

17、架一， 所述抓手支架 一下设置两个抓手气缸一， 两个抓手气缸一两端分别设置有夹爪一。 0016 作为本实用新型的进一步技术方案， 所述导轨包括平行设置的底座导轨一和底座 导轨二， 所述底座导轨一和底座导轨二之间设置有两条底座滚珠丝杠， 所述底座两端分别 设置有底座电机， 所述底座电机分别驱动底座滚珠丝杠转动。 0017 作为本实用新型的进一步技术方案， 所述工作台组件包括滑台座， 所述滑台座两 侧分别安装平行设置的滑台导轨一和滑台导轨二， 所述滑台导轨一和滑台导轨二之间设置 有滑台滚珠丝杠， 所述滑台座一端设置有滑台电机， 所述滑台座一端固定安装有夹头连接 座一， 所述滑台导轨一和滑台导轨二上。

18、设置可滑动的夹头连接座二， 所述夹头连接座一上 设有夹头一， 所述夹头连接座二上设有与夹头一相对设置的夹头二。 0018 作为本实用新型的进一步技术方案， 所述夹头二包括夹头部以及与夹头部连接的 夹头旋转电机， 所述夹头部包括夹头前板、 夹头后板以及设置于所述夹头前板和夹头后板 之间的膜片和球头， 所述球头的两端与所述夹头前板和夹头后板的中心位置接触， 所述膜 片位于所述球头的周边。 0019 作为本实用新型的进一步技术方案， 所述上料机构包括上料框架， 所述上料框架 顶部两侧安装有平行设置的导轨一和导轨二， 所述导轨一和导轨二之间设置有滚珠丝杠 一， 所述上料框架一端设置有电机一， 所述电机。

19、一驱动滚珠丝杠一转动， 所述导轨一和导轨 二上设置有可滑动的悬架一， 所述悬架一与滚珠丝杠一连接， 所述悬架一上设置有线性模 组一， 所述线性模组一上连接电机二， 所述线性模组一上设置有抓手支架一， 所述抓手支架 一下设置两个抓手气缸一， 两个抓手气缸一两端分别设置有夹爪一。 0020 作为本实用新型的进一步技术方案， 所述上料框架一侧设有上料台， 所述上料台 上平行安装两条上料垫板。 0021 作为本实用新型的进一步技术方案， 所述中转机械手组件包括中转框架， 所述中 转框架顶部两侧分别安装平行设置的中转导轨一和中转导轨二， 所述中转导轨一和中转导 轨二之间设置有中转滚珠丝杠， 所述中转框架。

20、一端设置有中转电机， 所述中转电机驱动中 转滚珠丝杠转动， 所述中转导轨一和中转导轨二上设置有可滑动的抓手架， 所述抓手架与 中转滚珠丝杠连接， 所述抓手架上设置有线性模组二， 线性模组二上连接夹爪电机， 所述夹 爪电机驱动线性模组二转动， 所述线性模组二上设置有用于夹持硅棒的抓手。 0022 作为本实用新型的进一步技术方案， 所述粗磨组件包括支撑框架、 设置在支撑框 架内的磨头体、 设置在支撑框架顶部的升降气缸和设置在支撑框架底部的进给组件， 所述 磨头体包括旋转电机、 主轴和砂轮， 所述主轴的一端与磨头旋转电机的输出端连接， 其另一 端连接砂轮， 所述砂轮的外周上设有毛刷， 所述升降气缸沿。

21、着垂直方向设置， 所述升降气缸 的输出端与磨头体固连。 所述进给组件包括固定座、 进给电机和进给滚珠丝杠， 所述固定座 与支撑框架的底部固连， 所述进给电机固设于底座上， 且其输出端与进给滚珠丝杠连接， 所 述固定座底部与进给滚珠丝杠固连。 0023 作为本实用新型的进一步技术方案， 所述滚磨组件包括设置在支撑框架上的滚磨 说明书 2/5 页 5 CN 211249532 U 5 磨头体， 所述滚磨磨头体包括砂轮体壳、 滚磨旋转电机、 滚磨主轴和平行砂轮， 所述滚磨主 轴的一端与旋转电机二的输出端连接， 其另一端连接平行砂轮。 0024 作为本实用新型的进一步技术方案， 所述底座一侧或两侧的粗。

22、磨组件和精磨组件 上分别安装有探针。 0025 本实用新型的有益效果是： 0026 1.本实用新型可以对开方后不同规格的单晶、 多晶硅方棒进行弧、 角、 面一体抛 光， 且粗磨、 精磨两道工序互不干扰， 可同时进行， 降低设备空闲时间， 设备产能高， 加工周 期短。 0027 2.本实用新型可将磨削的粗磨、 精磨、 倒圆弧或者倒角作为单独的工位单元， 进行 多样化组合， 满足不同的工艺需求。 0028 3.本实用新型的高效磨倒一体机从上料到下料， 全自动化运行， 无需人工干预， 具 有尺寸检测和自适应调整功能， 实现智能化与自动化的有效结合， 可以大幅提升磨削效率。 0029 4.本实用新型的。

23、滚磨组件， 用来进行硅棒圆弧的加工， 该组件加工速度快， 极大节 省硅棒的加工时间。 附图说明 0030 为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案， 下面将对实施例 或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍， 显而易见地， 下面描述中的附图仅仅 是本实用新型的一些实施例， 对于本领域普通技术人员来讲， 在不付出创造性劳动的前提 下， 还可以根据这些附图获得其他的附图。 0031 图1是本实用新型的整体结构示意图； 0032 图2是上料机构结构示意图； 0033 图3是底座组件结构示意图； 0034 图4是工作台组件结构示意图； 0035 图5是夹头二组件结构示意图； 0036。

24、 图6是粗磨组件结构示意图； 0037 图7是粗滚磨组件结构示意图； 0038 图8是中转机械手结构示意图。 0039 附图中， 1-上料机构， 2-底座组件， 3-工作台组件， 4-中转机械手， 5-粗磨组件， 6- 精磨组件， 7-粗滚磨组件， 8-精滚磨组件， 9-探针组件， 10-下料机构， 11-上料框架， 12-导 轨一， 13-导轨二， 14-滚珠丝杠一， 15-电机固定座一， 16-电机一， 17-悬架一， 18-线性模组 一， 19-电机二， 110-抓手支架一， 111-抓手气缸一， 112-夹爪一， 113-上料台， 114- 上料垫 板， 21-底座， 22-底座导轨一。

25、， 23-底座导轨二， 24-底座滚珠丝杠， 31-滑台座， 32-滑台导轨 一， 33-滑台导轨二， 34-滑台滚珠丝杠， 35-滑台电机固定座， 36-滑台电机， 37-夹头连接座 一， 38-夹头连接座二， 39-夹头一， 310-夹头二， 3101-夹头旋转电机， 3102-夹头前板， 3103-夹头后板， 3104-膜片， 3105-球头， 41-中转框架， 42-中转导轨一， 43-中转导轨二， 44- 中转滚珠丝杠， 45-中转电机固定座， 46-中转电机， 47-抓手架， 48-线性模组二， 49-抓手， 51-支撑框架， 52-磨头体， 53-升降气缸， 54-进给组件， 5。

26、21-磨头旋转电机， 522-主轴， 523- 砂轮， 524-毛刷， 71-滚磨磨头体， 711-砂轮体壳， 712-滚磨旋转电机， 713-滚磨主轴， 714- 说明书 3/5 页 6 CN 211249532 U 6 平行砂轮。 具体实施方式 0040 下面将结合本实用新型实施例中的附图， 对本实用新型实施例中的技术方案进行 清楚、 完整地描述， 显然， 所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例， 而不是全部的 实施例。 基于本实用新型中的实施例， 本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下 所获得的所有其他实施例， 都属于本实用新型保护的范围。 0041 以下实施例中提到的方向用词。

27、， 例如 “上”“下”“左”“右” 等仅是参考附图的方向， 因此， 使用的方向用词是用来说明而非限制本实用新型创造。 0042 图1示出了一种高效磨倒一体机的一个可选实施例。 0043 该可选实施例中， 所述高效磨倒一体机包括底座组件2， 所述底座组件2左右方向 各设置一套工作台组件3， 所述底座组件2左端设置上料机构1， 右端设置下料机构11， 中部 设有中转机械手4。 所述底座组件2前后方向设有两个相对设置的粗磨组件5、 两个相对位置 的精磨组件6、 以及两个并排放置的滚磨组件7。 滚磨组件7一侧的粗磨组件5和精磨组件6上 分别安装探针组件8。 0044 具体地， 如图2所示， 上料机构1。

28、包括上料框架11， 所述上料框架11前后方向分别安 装导轨一12和导轨二13， 导轨一12和导轨二 13间安装滚珠丝杠一14， 所述上料框架11右端 安装电机固定座一15， 电机固定座一15上安装电机16一， 所述电机一16驱动滚珠丝杠14 转 动。 所述导轨一12和导轨二13上安装悬架一17， 悬架一17上安装线性模组一18， 线性模组一 18上连接电机二19， 所述电机二19 驱动线性模组一18转动。 线性模组一18上安装抓手支架 110， 抓手支架110下设置两个抓手气缸111， 两个抓手气缸一111两端分别安装夹爪一112。 上料框架11前方位置设有上料台113， 上料台113左右方向。

29、平行的安装两条上料垫板114。 0045 如图3所示， 底座组件2包括底座21， 所述底座21前后方向分别安装底座导轨一22 和底座导轨二23， 底座导轨一22和底座导轨二 23间安装两条底座滚珠丝杠24。 底座21左端 和右端分别安装底座电机固定座25， 两个底座电机固定座25上分别安装底座电机26， 所述 底座电机26分别驱动底座滚珠丝杠27转动。 0046 所述底座组件2左右方向分别设有工作台组件3， 所述工作台组件3安装在底座导 轨一22和底座导轨二23上。 如图4所示， 所述工作台组件3包括滑台座31， 所述滑台座31前后 方向分别安装滑台导轨一32和滑台导轨二33， 滑台导轨一32。

30、和滑台导轨二33间安装滑台滚 珠丝杠34。 滑台座31一端安装滑台电机固定座35， 滑台电机固定座35上安装滑台电机36， 所 述滑台电机36驱动滑台滚珠丝杠34 转动。 滑台座31左端安装夹头连接座一37， 所述夹头连 接座一37是固定的。 滑台导轨一32和滑台导轨二33上安装夹头连接座二38， 所述夹头连接 座二38可在滑台导轨一32和滑台导轨二33上移动。 夹头连接座一37上设有夹头一39， 夹头 连接座二38上设有夹头二310， 所述夹头一39和夹头二310相对设置。 硅棒夹在夹头一39和 夹头二 310之间， 所述夹头一39和夹头二310均为浮动夹头结构。 0047 具体的， 如图5。

31、所示， 所述夹头二310包括夹头部以及与加头部连接的夹头旋转电 机3101， 所述夹头部包括夹头前板3102、 夹头后板 3103以及设置于所述夹头前板3102和夹 头后板3103之间的膜片3104 和球头3105， 所述球头3105的两端与所述夹头前板3102和夹 头后板 3103的中心位置接触， 所述膜片3104位于所述球头3105的周边。 说明书 4/5 页 7 CN 211249532 U 7 0048 所述左侧工作台组件3前后方向各设置一套粗磨组件5， 如图6 所示， 所述粗磨组 件5包括支撑框架51、 设置在支撑框架51内的磨头体52、 设置在支撑框架51顶部的升降气缸 53和设置。

32、在支撑框架51 底部的进给组件54， 所述磨头体52包括旋转电机521、 主轴522和砂 轮523， 所述主轴522的一端与磨头旋转电机521的输出端连接， 其另一端连接砂轮523， 所述 砂轮523的外周上设有毛刷524， 所述升降气缸53沿着垂直方向设置， 所述升降气缸53的输 出端与磨头体52 固连。 所述进给组件54包括固定座541、 进给电机542和进给滚珠丝杠543， 所述固定座541与支撑框架51的底部固连， 所述进给电机542 固设于底座21上， 且其输出端 与进给滚珠丝杠543连接， 所述固定座 541底部与进给滚珠丝杠543固连。 0049 所述右侧工作台组件3前后方向各设。

33、置一套精磨组件6， 粗磨组件5与精磨组件6结 构大体相同， 不同的是所用的砂轮粗细不同。 0050 所述后侧的粗磨组件5的右侧设有粗滚磨组件7， 所述后侧的精磨组件6的左侧设 有精滚磨组件8。 如图7所示， 粗滚磨组件7包括设置在支撑框架51上的滚磨磨头体71。 所述 滚磨磨头体71包括砂轮体壳711、 滚磨旋转电机712、 滚磨主轴713和平行砂轮714， 所述滚磨 主轴713的一端与滚磨旋转电机712的输出端连接， 其另一端连接平行砂轮714。 粗滚磨组件 7与精滚磨组件8结构大体相同。 0051 所述底座21中间设有中转机械手4， 中转机械手4包括中转框架 41， 所述中转框架 41左右。

34、两侧分别安装中转导轨一42和中转导轨二 43， 中转导轨一42和中转导轨二43间安 装中转滚珠丝杠44。 所述中转框架41一端安装中转电机固定座45， 中转电机固定座45上安 装中转电机46， 所述中转电机46驱动中转滚珠丝杠44转动。 所述中转导轨一42和中转导轨 二43上安装抓手架47， 抓手架47上安装线性模组二48， 线性模组二48上连接夹爪电机49， 所 述夹爪电机49驱动线性模组二48转动。 线性模组二48上安装抓手410。 0052 本实用新型工作时， 将待加工的硅棒放置到上料台113上， 上料机构1的上的夹爪 一112通过悬架一17移动到上料台13正上方抓取硅棒， 将硅棒放到工。

35、作台组件3上， 夹头一 39和夹头二311夹紧硅棒， 滑台座31带着硅棒移动到粗磨组件5处， 粗磨组件5可对硅棒进行 4 个面和4个棱的粗磨加工， 粗滚磨组件7可对硅棒的圆弧角进行粗磨加工。 粗加工完成后， 中转机械手4将粗磨完的硅棒从左侧工作台组件3夹取， 移动到右侧工作台组件3上。 精磨组 件6可对硅棒进行4 个面和4个棱的精磨和抛光加工， 精滚磨组件8可对硅棒的圆弧角进行 精磨加工， 加工完成后， 由下料机构10将加工好的硅棒卸下。 在硅棒粗磨完成进行精磨时， 所述上料机构1和粗磨组件5继续工作对下一个硅棒进行加工， 粗磨、 精磨两道工序互不干 扰， 可同时进行， 降低设备空闲时间， 设备产能高， 加工周期短。 0053 以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已， 并不用以限制本实用新型， 凡在本 实用新型的精神和原则之内， 所作的任何修改、 等同替换、 改进等， 均应包含在本实用新型 的保护范围之内。 说明书 5/5 页 8 CN 211249532 U 8 图1 图2 说明书附图 1/4 页 9 CN 211249532 U 9 图3 图4 说明书附图 2/4 页 10 CN 211249532 U 10 图5 图6 说明书附图 3/4 页 11 CN 211249532 U 11 图7 图8 说明书附图 4/4 页 12 CN 211249532 U 12 。