用于碳化硅打磨加工的可调节固定装置.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201922299585.2 (22)申请日 2019.12.19 (73)专利权人 河南雅利安新材料有限公司 地址 450000 河南省郑州市荥阳市金寨乡 金寨村 (72)发明人 马红彬宛鹏 (74)专利代理机构 成都市鼎宏恒业知识产权代 理事务所(特殊普通合伙) 51248 代理人 张勋 (51)Int.Cl. B24B 7/07(2006.01) B24B 27/00(2006.01) B24B 41/06(2012.01) B24B 41/02(2006.01) B24B。

2、 47/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于碳化硅打磨加工的可调节固定装 置 (57)摘要 一种用于碳化硅打磨加工的可调节固定装 置， 涉及半导体加工技术领域， 与传统的平面磨 床用工件固定装置相比， 该可调节固定装置包括 托盘、 基座和水槽。 水槽设置有用于微调托盘位 置的推动件和调节螺纹件。 随着调节螺纹件的旋 入可以改变托盘在水槽宽度方向上的位置， 而推 动件则用于将托盘夹紧。 托盘和基座之间还通过 第一滑槽和滑块实现滑动配合， 这种配合方式实 现了托盘和基座的可拆卸连接， 并且使得托盘只 能在基座的宽度方向上相对滑动， 从而在整个可 调节固定装置做往复运动时能保持较好。

3、的稳定 性。 权利要求书1页 说明书5页 附图1页 CN 211249391 U 2020.08.14 CN 211249391 U 1.一种用于碳化硅打磨加工的可调节固定装置， 其特征在于， 包括： 托盘， 所述托盘的底部设置有第一滑槽， 所述第一滑槽沿所述托盘的宽度方向设置； 基座， 所述基座的上表面凸设有滑块， 所述托盘与所述基座为可拆卸连接， 当所述托盘 与所述基座连接时， 所述滑块滑动嵌设于所述第一滑槽内， 使得所述滑块可沿所述第一滑 槽滑动； 水槽， 所述基座位于所述水槽内， 所述基座宽度方向上的两侧与所述水槽的槽壁连接， 所述水槽的槽壁上靠近槽底的位置设置有排水管， 所述排水管贯。

4、穿所述水槽的槽壁与所述 水槽内部连通； 所述水槽包括长度方向上两侧的第一侧壁和第二侧壁， 所述第一侧壁设置 有推动件， 所述推动件与所述第一侧壁之间通过弹性件弹性连接； 所述第二侧壁设置有调 节螺纹件， 所述调节螺纹件沿所述水槽的宽度方向贯穿所述第二侧壁， 并与所述第二侧壁 螺纹配合； 所述推动件和所述调节螺纹件的高度略高于所述基座， 在所述托盘与所述基座 配合时， 所述推动件和所述调节螺纹件可分别由所述托盘长度方向上的两侧施加作用力； 所述水槽的底部设置有第二滑槽， 所述第二滑槽与平面磨床的导轨滑动配合。 2.根据权利要求1所述的可调节固定装置， 其特征在于， 所述推动件为长条状， 所述推 。

5、动件沿所述水槽的长度方向设置。 3.根据权利要求2所述的可调节固定装置， 其特征在于， 所述推动件的厚度与所述托盘 的厚度相当。 4.根据权利要求3所述的可调节固定装置， 其特征在于， 所述弹性件包括沿所述推动件 长度方向间隔设置多个弹簧。 5.根据权利要求4所述的可调节固定装置， 其特征在于， 所述推动件面向所述第一侧壁 的一侧设置有多个导向杆， 多个所述导向杆与多个所述弹簧一一对应， 每个所述导向杆均 设置于所述弹簧内部， 并沿所述水槽的宽度方向贯穿所述第一侧壁。 6.根据权利要求1所述的可调节固定装置， 其特征在于， 所述调节螺纹件包括螺杆， 所 述螺杆在所述水槽外的一端设置有手持部。 。

6、7.根据权利要求6所述的可调节固定装置， 其特征在于， 所述螺杆在所述水槽内的一端 设置有由缓冲材料制成的缓冲垫。 8.根据权利要求1所述的可调节固定装置， 其特征在于， 所述托盘的上表面凹设有容置 槽。 9.根据权利要求8所述的可调节固定装置， 其特征在于， 所述容置槽的槽壁为斜面， 使 得所述容置槽的槽底在槽口所处平面上的正投影， 位于所述槽口的范围内。 10.根据权利要求9所述的可调节固定装置， 其特征在于， 所述托盘长度方向上的两端 均设置有便于手持的把手。 权利要求书 1/1 页 2 CN 211249391 U 2 一种用于碳化硅打磨加工的可调节固定装置 技术领域 0001 本实用。

7、新型涉及半导体加工技术领域， 具体而言， 涉及一种用于碳化硅打磨加工 的可调节固定装置。 背景技术 0002 平面磨床是磨床的一种， 主要用砂轮旋转研磨工件以使其可达到要求的平整度。 在工业生产过程中， 为了提高生产效率， 对于碳化硅技工领域， 由于工件尺寸较小， 通常会 将多个工件摆放在一起集中打磨。 在这时候， 通常采用石蜡将多个小工件固定在同一个托 盘上， 随着托盘的往复运动， 多个小工件轮流经过砂轮下方， 即可实现利用一个砂轮对多个 工件进行打磨。 0003 实际生产中， 工件通常摆放成阵列， 但由于平面磨床的工作原理， 其只能对托盘长 度方向上的一列进行打磨， 打磨完成后再调整打磨装。

8、置的位置对下一列进行打磨。 调节打 磨装置的位置不仅比较麻烦， 而且不是很直观， 容易出现细微的偏差， 导致两列之间出现部 分区域未能打磨到。 实用新型内容 0004 本实用新型的目的在于提供一种用于碳化硅打磨加工的可调节固定装置， 其结构 简单， 使用方便， 可以通过对托盘的位置进行微调， 来进行位置修正， 确保打磨的效果。 0005 本实用新型的实施例是这样实现的： 0006 一种用于碳化硅打磨加工的可调节固定装置， 包括： 0007 托盘， 托盘的底部设置有第一滑槽， 第一滑槽沿托盘的宽度方向设置； 0008 基座， 基座的上表面凸设有滑块， 托盘与基座为可拆卸连接， 当托盘与基座连接 。

9、时， 滑块滑动嵌设于第一滑槽内， 使得滑块可沿第一滑槽滑动； 0009 水槽， 基座位于水槽内， 基座宽度方向上的两侧与水槽的槽壁连接， 水槽的槽壁上 靠近槽底的位置设置有排水管， 排水管贯穿水槽的槽壁与水槽内部连通； 水槽包括长度方 向上两侧的第一侧壁和第二侧壁， 第一侧壁设置有推动件， 推动件与第一侧壁之间通过弹 性件弹性连接； 第二侧壁设置有调节螺纹件， 调节螺纹件沿水槽的宽度方向贯穿第二侧壁， 并与第二侧壁螺纹配合； 推动件和调节螺纹件的高度略高于基座， 在托盘与基座配合时， 推 动件和调节螺纹件可分别由托盘长度方向上的两侧施加作用力； 水槽的底部设置有第二滑 槽， 第二滑槽与平面磨床。

10、的导轨滑动配合。 0010 进一步地， 在本实用新型的其它较佳实施例中， 推动件为长条状， 推动件沿水槽的 长度方向设置。 0011 进一步地， 在本实用新型的其它较佳实施例中， 推动件的厚度与托盘的厚度相当。 0012 进一步地， 在本实用新型的其它较佳实施例中， 弹性件包括沿推动件长度方向间 隔设置多个弹簧。 0013 进一步地， 在本实用新型的其它较佳实施例中， 推动件面向第一侧壁的一侧设置 说明书 1/5 页 3 CN 211249391 U 3 有多个导向杆， 多个导向杆与多个弹簧一一对应， 每个导向杆均设置于弹簧内部， 并沿水槽 的宽度方向贯穿第一侧壁。 0014 进一步地， 在本。

11、实用新型的其它较佳实施例中， 调节螺纹件包括螺杆， 螺杆在水槽 外的一端设置有手持部。 0015 进一步地， 在本实用新型的其它较佳实施例中， 螺杆在水槽内的一端设置有由缓 冲材料制成的缓冲垫。 0016 进一步地， 在本实用新型的其它较佳实施例中， 托盘的上表面凹设有容置槽。 0017 进一步地， 在本实用新型的其它较佳实施例中， 容置槽的槽壁为斜面， 使得容置槽 的槽底在槽口所处平面上的正投影， 位于槽口的范围内。 0018 进一步地， 在本实用新型的其它较佳实施例中， 托盘长度方向上的两端均设置有 便于手持的把手。 0019 本实用新型实施例的有益效果是： 0020 本实用新型实施例提供。

12、了一种用于碳化硅打磨加工的可调节固定装置， 与传统的 平面磨床用工件固定装置相比， 该可调节固定装置包括托盘、 基座和水槽。 水槽设置有用于 微调托盘位置的推动件和调节螺纹件。 随着调节螺纹件的旋入可以改变托盘在水槽宽度方 向上的位置， 而推动件则用于将托盘夹紧。 托盘和基座之间还通过第一滑槽和滑块实现滑 动配合， 这种配合方式实现了托盘和基座的可拆卸连接， 并且使得托盘只能在基座的宽度 方向上相对滑动， 从而在整个可调节固定装置做往复运动时能保持较好的稳定性。 附图说明 0021 为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案， 下面将对实施例中所需要使用 的附图作简单地介绍， 应当理解， 以下。

13、附图仅示出了本实用新型的某些实施例， 因此不应被 看作是对范围的限定， 对于本领域普通技术人员来讲， 在不付出创造性劳动的前提下， 还可 以根据这些附图获得其他相关的附图。 0022 图1为本实用新型实施例一种平面磨床的示意图； 0023 图2为本实用新型实施例一种用于碳化硅打磨加工的可调节固定装置的示意图。 0024 图标： 10-平面磨床； 20-工件； 100-可调节固定装置； 110-托盘； 111-第一滑槽； 112-容置槽； 113-把手； 120-基座； 121-滑块； 130-水槽； 131-排水管； 132-第二滑槽； 133-第 一侧壁； 134-第二侧壁； 135-推动件。

14、； 136-弹性件； 137-调节螺纹件； 1371-螺杆； 1372-手持 部； 1373-缓冲垫； 138-导向杆； 200-支撑台； 210-导轨； 300-打磨装置。 具体实施方式 0025 为使本实用新型实施方式的目的、 技术方案和优点更加清楚， 下面将结合本实用 新型实施方式中的附图， 对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、 完整地描述， 显 然， 所描述的实施方式是本实用新型一部分实施方式， 而不是全部的实施方式。 基于本实用 新型中的实施方式， 本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他 实施方式， 都属于本实用新型保护的范围。 因此， 以下对在附图中提供。

15、的本实用新型的实施 方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围， 而是仅仅表示本实用新型的 选定实施方式。 基于本实用新型中的实施方式， 本领域普通技术人员在没有作出创造性劳 说明书 2/5 页 4 CN 211249391 U 4 动前提下所获得的所有其他实施方式， 都属于本实用新型保护的范围。 0026 在本实用新型的描述中， 需要理解的是， 术语 “中心” 、“纵向” 、“横向” 、“长度” 、“宽 度” 、“厚度” 、“上” 、“下” 、“前” 、“后” 、“左” 、“右” 、“竖直” 、“水平” 、“顶” 、“底” 、“内” 、“外” 、 “顺时针” 、“逆时针” 等指示的。

16、方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系， 仅是为 了便于描述本实用新型和简化描述， 而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的 方位、 以特定的方位构造和操作， 因此不能理解为对本实用新型的限制。 0027 此外， 术语 “第一” 、“第二” 仅用于描述目的， 而不能理解为指示或暗示相对重要性 或者隐含指明所指示的技术特征的数量。 由此， 限定有 “第一” 、“第二” 的特征可以明示或者 隐含地包括一个或者更多个该特征。 在本实用新型的描述中，“多个” 的含义是两个或两个 以上， 除非另有明确具体的限定。 0028 在本实用新型中， 除非另有明确的规定和限定， 术语 “安装” 、“相。

17、连” 、“连接” 、“固 定” 等术语应做广义理解， 例如， 可以是固定连接， 也可以是可拆卸连接， 或成一体； 可以是 直接相连， 也可以通过中间媒介间接相连， 可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互 作用关系。 对于本领域的普通技术人员而言， 可以根据具体情况理解上述术语在本实用新 型中的具体含义。 0029 在本实用新型中， 除非另有明确的规定和限定， 第一特征在第二特征之 “上” 或之 “下” 可以包括第一和第二特征直接接触， 也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通 过它们之间的另外的特征接触。 而且， 第一特征在第二特征 “之上” 、“上方” 和 “上面” 包括第 一特征在第二。

18、特征正上方和斜上方， 或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。 第一特 征在第二特征 “之下” 、“下方” 和 “下面” 包括第一特征在第二特征正下方和斜下方， 或仅仅 表示第一特征水平高度小于第二特征。 实施例 0030 本实施例提供了一种用于碳化硅打磨的可调节固定装置100， 参照图1和图2所示， 其主要用于平面磨床10。 平面磨床10包括支撑台200、 打磨装置300、 驱动装置 （图未示） 以及 可调节固定装置100， 支撑台200上设置有导轨210， 导轨210的上方设置有打磨装置300， 可 调节固定装置100与导轨210滑动配合， 并能在驱动装置的驱动下沿导轨210做往复运动。 。

19、其 中， 可调节固定装置100包括托盘110、 基座120和水槽130。 0031 如图2所示， 托盘110整体为长方体， 在托盘110的底部设置有第一滑槽111， 第一滑 槽111沿托盘110的宽度方向设置。 在本实施例中， 第一滑槽111的数量为两个， 分别位于托 盘110长度方向上的两端， 两个第一滑槽111的设计， 可以增加滑动的稳定性。 对应地， 基座 120的上表面凸设有滑块121， 托盘110与基座120为可拆卸连接， 将滑块121插入到第一滑槽 111中， 即可完成托盘110与基座120的连接。 进一步地， 滑块121为长条状， 其沿基座120的宽 度方向设置。 滑块121的宽。

20、度与第一滑槽111的宽度相当， 当托盘110与基座120连接时， 托盘 110沿其长度方向上的运动将被限制住， 因而在可调节固定装置100做往复运动时， 托盘110 可以与基座120保持相对静止。 同时， 滑块121滑动嵌设于第一滑槽111内， 使得滑块121可沿 第一滑槽111， 也就是托盘110的宽度方向滑动， 从而对打磨的位置进行微调。 0032 托盘110的上表面凹设有容置槽112， 容置槽112内用于放置需要固定的工件20。 容 置槽112可以起到限位效果， 在对工件20进行固定时， 将液态石蜡限制在容置槽112的范围 说明书 3/5 页 5 CN 211249391 U 5 内， 。

21、避免液态石蜡的浪费。 同时， 根据实际的需要， 容置槽112的数量可以是单个， 也可以是 多个。 多个容置槽112的设计， 可以用以将不同的工件20区别开。 同时， 要设置多个容置槽 112也就意味着单个容置槽112的容积缩小了， 在工件20数量较少的情况下， 还可以减少液 态石蜡的用量。 值得注意的是， 容置槽112的深度设置的较浅， 工件20的上表面凸出于容置 槽112， 以防止液态石蜡覆盖住工件20上表面， 利于对工件20上表面进行打磨、 切割等加工。 0033 容置槽112的槽壁为斜面， 使得容置槽112的槽底在槽口所处平面上的正投影， 位 于槽口的范围内。 也即是说， 整个容置槽11。

22、2呈一个倒置的梯台形状。 这样的设计主要是利 于对石蜡的回收。 在加工完成后， 将托盘110以一定的倾斜角度放置并对其加热， 石蜡即会 沿着斜面流出容置槽112， 避免石蜡在容置槽112中残留。 0034 进一步地， 托盘110长度方向上的两端均设置有把手113， 把手113主要是方便操作 人员手持。 需要工作人员手持的场景很多， 例如托盘110与基座120的组装拆卸过程， 打磨完 成后对托盘110进行转移的过程， 对托盘110进行加热回收石蜡的过程等， 有了把手113可以 让上述过程更加便利。 0035 如图2所示， 基座120位于水槽130内， 基座120宽度方向上的两侧与水槽130的槽壁。

23、 连接， 水槽130的槽壁上靠近槽底的位置设置有排水管131， 排水管131贯穿水槽130的槽壁 与水槽130内部连通。 水槽130用于接住砂轮的冷却用水， 并由排水管131进行回收。 水槽130 的底部设置有第二滑槽132， 第二滑槽132与平面磨床10的导轨210滑动配合。 水槽130包括 长度方向上两侧的第一侧壁133和第二侧壁134， 第一侧壁133设置有推动件135， 推动件135 与第一侧壁133之间通过弹性件136弹性连接。 第二侧壁134设置有调节螺纹件137， 调节螺 纹件137沿水槽130的宽度方向贯穿第二侧壁134， 并与第二侧壁134螺纹配合； 推动件135和 调节螺纹。

24、件137的高度略高于基座120， 在托盘110与基座120配合时， 推动件135和调节螺纹 件137可分别由托盘110长度方向上的两侧施加作用力， 对托盘110进行固定。 0036 其中， 推动件135为长条状， 推动件135沿水槽130的长度方向设置。 推动件135的厚 度与托盘110的厚度相当， 可以与托盘110的侧壁更好地贴合。 弹性件136包括沿推动件135 长度方向间隔设置多个弹簧。 多个弹簧可以提供更均衡的推力， 使推动件135的推动效果更 好。 进一步地， 推动件135面向第一侧壁133的一侧设置有多个导向杆138， 多个导向杆138与 多个弹簧一一对应， 每个导向杆138均设置。

25、于弹簧内部， 并沿水槽130的宽度方向贯穿第一 侧壁133。 导向杆138可以限定推动件135的运动方向， 防止推动件135产生翻转等情况。 0037 调节螺纹件137包括螺杆1371， 螺杆1371贯穿第二侧壁134， 与第二侧壁134螺纹配 合， 螺杆1371在水槽130外的一端设置有手持部1372。 操作人员通过旋转手持部1372， 带动 螺杆1371的旋转， 即可通过螺杆1371将托盘110向推动件135推动直至达到目标位置。 此时 的推动件135在弹性件136的回弹力作用下， 推动托盘110向螺杆1371挤压， 在推动件135和 螺杆1371的共同作用下， 将托盘110的位置锁定。 。

26、由于整个微调的过程通过螺纹件的旋入程 度来进行控制， 整个托盘110位置的变化是缓慢而连续的， 并且操作人员就站立于托盘110 旁边， 对工件20的具体位置能够直观的把控， 所以整个调节过程的可控性极强。 进一步地， 螺杆1371在水槽130内的一端设置有由缓冲材料制成的缓冲垫1373。 缓冲垫1373可以在螺 杆1371和托盘110之间形成良好的缓冲， 减少对螺杆1371和托盘110的磨损， 增加其使用寿 命。 0038 综上所述， 本实用新型实施例提供了一种用于碳化硅打磨加工的可调节固定装置 说明书 4/5 页 6 CN 211249391 U 6 100， 与传统的平面磨床10用工件20。

27、固定装置相比， 该可调节固定装置100包括托盘110、 基 座120和水槽130。 水槽130设置有用于微调托盘110位置的推动件135和调节螺纹件137。 随 着调节螺纹件137的旋入可以改变托盘110在水槽130宽度方向上的位置， 而推动件135则用 于将托盘110夹紧。 托盘110和基座120之间还通过第一滑槽111和滑块121实现滑动配合， 这 种配合方式实现了托盘110和基座120的可拆卸连接， 并且使得托盘110只能在基座120的宽 度方向上相对滑动， 从而在整个可调节固定装置100做往复运动时能保持较好的稳定性。 0039 以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已， 并不用于限制本实用新型， 对于本 领域的技术人员来说， 本实用新型可以有各种更改和变化。 凡在本实用新型的精神和原则 之内， 所作的任何修改、 等同替换、 改进等， 均应包含在本实用新型的保护范围之内。 说明书 5/5 页 7 CN 211249391 U 7 图1 图2 说明书附图 1/1 页 8 CN 211249391 U 8 。