可实现基板双面镀膜的载板.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201921328058.3 (22)申请日 2019.08.16 (73)专利权人 福建金石能源有限公司 地址 362000 福建省泉州市晋江市经济开 发区(五里园)泉源路17号 (72)发明人 张延任张建德王俊尧王树林 (51)Int.Cl. C23C 14/50(2006.01) H01L 31/18(2006.01) (54)实用新型名称 一种可实现基板双面镀膜的载板 (57)摘要 本实用新型公开了一种可实现基板双面镀 膜的载板， 其包括载板框架、 子载板， 所述载板框 。

2、架上设有多个用于承载子载板的镂空结构， 所述 子载板上也设有多个用于承载基板的镂空结构， 所述子载板的正面和背面的四周设有支撑基板 的支撑结构， 所述支撑结构为斜面结构。 本实用 新型通过镂空载板设计， 突破现有物理气相沉积 真空设备载板设计的局限性， 可以一次性完成正 面或背面或双面同时多层次镀膜工艺， 所述斜面 结构与基板接触点至尾部的距离小于0.45mm， 使 基板镀膜后仅产生0.9mm最小无效边， 大大提高 产品的最大镀膜面积， 设计斜面的承载结构， 克 服并解决传统载板在镀膜时产生的边界效应问 题， 为可一次性双面镀膜载板创造更多的产品镀 膜价值。 权利要求书1页 说明书2页 附图2。

3、页 CN 211445889 U 2020.09.08 CN 211445889 U 1.一种可实现基板双面镀膜的载板， 其特征在于： 其包括载板框架、 子载板， 所述载板 框架上设有多个用于承载子载板的镂空结构， 所述子载板上也设有多个用于承载基板的镂 空结构， 所述子载板的正面和背面的四周设有支撑基板的支撑结构， 所述支撑结构为斜面 结构。 2.根据权利要求1所述的可实现基板双面镀膜的载板， 其特征在于： 所述基板支撑在斜 面结构上。 3.根据权利要求2所述的可实现基板双面镀膜的载板， 其特征在于： 所述斜面结构与基 板接触点至尾部的距离小于0.45mm。 权利要求书 1/1 页 2 CN。

4、 211445889 U 2 一种可实现基板双面镀膜的载板 技术领域 0001 本实用新型涉及太阳能电池制备领域， 尤其涉及一种可实现基板双面镀膜的载 板。 背景技术 0002 在太阳能电池制备领域中需要应用到物理气相沉积技术， 现有的物理气相沉积真 空设备目前的载板设计还是停留在单面镀膜的传统设计， 只能实现单次正面或背面的单面 单层或单面多层次镀膜， 其载板设计因镀膜基板无效边设计无特定的极小化要求， 一般无 效边的设计规划会依产品需求或工艺提出之无效边尺寸进行设计， 所以无法达到镀膜基板 镀膜面积的最大化， 浪费了基板原有成型的尺寸面积， 且载板设计导致镀膜基板边界效应 的物理现象一直存。

5、在， 只能在后段工艺再将其切除或遮蔽， 此状况的缺陷势必缩小产品原 有成型尺寸面积的运用也直接反映在材料成本上。 这种边界效应造成的无效边， 导致产品 无法达到镀膜基板镀膜面积的最大化。 实用新型内容 0003 为解决现有技术中的缺陷， 本实用新型公开了一种可实现基板双面镀膜的载板， 其结构简单， 可实现基板的双面镀膜。 0004 为实现上述目的， 本实用新型采用以下设计方案， 一种可实现基板双面镀膜的载 板， 其包括载板框架、 子载板， 所述载板框架上设有多个用于承载子载板的镂空结构， 所述 子载板上也设有多个用于承载基板的镂空结构， 所述子载板的正面和背面的四周设有支撑 基板的支撑结构， 。

6、所述支撑结构为斜面结构。 0005 优选的， 所述基板支撑在斜面结构上。 0006 优选的， 所述斜面结构与基板接触点至尾部的距离小于0.45mm。 0007 本实用新型采用以上设计方案， 通过镂空载板设计， 突破现有物理气相沉积真空 设备载板设计的局限性， 可以一次性完成正面或背面或双面同时多层次镀膜工艺， 所述斜 面结构与基板接触点至尾部的距离小于0.45mm， 使基板镀膜后仅产生0.9mm最小无效边， 大 大提高产品的最大镀膜面积， 设计斜面的承载结构， 克服并解决传统载板在镀膜时产生的 边界效应问题， 为可一次性双面镀膜载板创造更多的产品镀膜价值。 附图说明 0008 下面结合附图对本。

7、实用新型进行进一步说明： 0009 图1为本实用新型可实现基板双面镀膜的载板的载板框架结构示意图； 0010 图2为本实用新型可实现基板双面镀膜的载板的子载板结构示意图； 0011 图3为本实用新型可实现基板双面镀膜的载板的结构示意图； 0012 图4为本实用新型可实现基板双面镀膜的载板的剖视结构示意图。 说明书 1/2 页 3 CN 211445889 U 3 具体实施方式 0013 为了使本实用新型的目的、 技术方案及优点更加清楚明白， 以下结合附图及实施 例， 对本实用新型进行进一步详细说明。 应当理解， 此处所描述的具体实施例仅仅用以解释 本实用新型， 并不用于限定本实用新型。 001。

8、4 如图1、 图2、 图3所示， 本实用新型公开了一种可实现基板双面镀膜的载板， 其包括 载板框架1、 子载板2， 所述载板框架1上设有多个用于承载子载板2的镂空结构11， 所述子载 板2上也设有多个用于承载基板的镂空结构21， 所述子载板2的正面和背面的四周设有支撑 基板的支撑结构22， 所述支撑结构22为斜面结构。 0015 如图4所示， 基板3支撑在斜面结构22上。 所述斜面结构22与基板3接触点至尾部的 距离小于0.45mm。 0016 本实用新型可同时双面镀膜载板， 采用镂空设计， 其基板放置面仅预留单边 0.45mm的凸缘设计的无效边， 使基板镀膜后仅产生0.9mm最小无效边的极限。

9、设计， 此设计大 大提高被镀物最大的镀膜面积(最大发电功率)。 采用镂空设计， 其基板放置面无效边背面 凸缘采倒角设计， 基板放置上面后可以直接进行正反面双面镀膜， 此设计之重要关键点可 以完全消除物理气相沉积镀膜容易造成的边界效应问题， 全面性的提高被镀物最大的镀膜 面积(最大发电功率)。 0017 以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已， 并不用以限制本实用新型， 凡在本 实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、 等同替换和改进等， 均应包含在本实用新型 的保护范围之内。 说明书 2/2 页 4 CN 211445889 U 4 图1 图2 说明书附图 1/2 页 5 CN 211445889 U 5 图3 图4 说明书附图 2/2 页 6 CN 211445889 U 6 。