自带基板清洁系统的旋涂机.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201922458066.6 (22)申请日 2019.12.31 (73)专利权人 青岛天仁微纳科技有限责任公司 地址 266109 山东省青岛市城阳区长城路 89号青岛博士创业园21A号楼407、 408 室 (72)发明人 冀然 (51)Int.Cl. B05C 9/10(2006.01) B05C 11/08(2006.01) B08B 5/02(2006.01) (54)实用新型名称 一种自带基板清洁系统的旋涂机 (57)摘要 本实用新型公开了一种自带基板清洁系统 的旋。

2、涂机， 包括底板和基板， 底板的上侧壁左侧 固定安装有真空泵， 真空泵的上侧壁固定安装有 基板托盘， 底板的上侧壁右侧固定安装有矩形块 和伸缩电缸， 矩形块的上侧壁滑动装配有活动 杆， 活动杆的上侧壁固定安装有固定管， 固定管 的右端固定连通有进气管， 固定管的左端下侧固 定连通有连接管， 连接管的下侧壁出气口， 本实 用新型在对基板旋涂胶体前， 先控制基板旋转， 在出气口处喷出氮气， 同时控制伸缩电缸带动活 动杆处做前后循环往复运动， 以清除整张基板表 面异物， 达到清洁基板的作用， 从而在后续旋涂 胶体过程中， 提高成膜均匀性， 大大降低缺陷数 量， 提升产品良率。 权利要求书1页 说明书。

3、2页 附图3页 CN 211436848 U 2020.09.08 CN 211436848 U 1.一种自带基板清洁系统的旋涂机， 其特征在于： 包括底板(1)和基板(4)， 所述底板 (1)的上侧壁左侧固定安装有真空泵(2)， 且真空泵(2)通过导线连接到外接电源， 所述真空 泵(2)的上侧壁固定安装有基板托盘(3)， 且基板(4)放置在基板托盘(3)的上侧壁， 所述底 板(1)的上侧壁右侧固定安装有矩形块(5)和伸缩电缸(14)， 且伸缩电缸(14)通过导线连接 到外接电源， 所述矩形块(5)的上侧壁滑动装配有活动杆(6)， 且活动杆(6)固定装配于伸缩 电缸(14)的输出端， 所述活动。

4、杆(6)的上侧壁固定安装有固定管(7)， 所述固定管(7)的右端 固定连通有进气管(8)， 所述固定管(7)的左端下侧固定连通有连接管(9)， 所述连接管(9) 的下侧壁出气口(10)。 2.根据权利要求1所述的一种自带基板清洁系统的旋涂机， 其特征在于： 所述基板托盘 (3)的上侧壁开设有通孔(11)， 所述基板托盘(3)的上侧壁均匀固定安装有环形气道(12)和 直线气道(13)， 且环形气道(12)与直线气道(13)相互连通。 3.根据权利要求1所述的一种自带基板清洁系统的旋涂机， 其特征在于： 所述矩形块 (5)的上侧壁开设有矩形槽(15)， 所述矩形槽(15)的内侧壁上侧左右对称固定安。

5、装有限位 板(16)， 且活动杆(6)贯穿两个所述限位板(16)， 所述活动杆(6)的下端固定安装有活动块 (17)， 且活动块(17)插接于矩形槽(15)内， 所述伸缩电缸(14)的输出端固定安装于活动块 (17)的后侧壁。 4.根据权利要求1所述的一种自带基板清洁系统的旋涂机， 其特征在于： 所述活动杆 (6)的左侧壁与固定管(7)的下侧壁之间固定安装有辅助支撑板(18)。 权利要求书 1/1 页 2 CN 211436848 U 2 一种自带基板清洁系统的旋涂机 技术领域 0001 本实用新型涉及纳米压印、 半导体生产技术领域， 具体为一种自带基板清洁系统 的旋涂机。 背景技术 0002。

6、 在半导体制造及纳米压印领域， 均需要在基板表面进行涂覆成膜， 然后再进行后 续工艺以形成预定的层图形， 目前的涂覆工艺中， 最常用的即为旋涂技术， 在旋涂过程中， 胶体从旋涂机的中心滴下， 然后旋涂机开始旋转进行甩胶， 从而使基板表面均匀的涂覆一 层胶体薄膜， 现有的旋涂机仅具备旋涂功能， 若待旋涂基板表面存在细微异物， 即会造成旋 涂不均匀， 成膜区域产生产较多缺陷， 最终导致产品良率下降， 增加生产成本， 为解决上述 问题， 我们提出一种自带基板清洁系统的旋涂机。 实用新型内容 0003 本实用新型的目的在于提供一种自带基板清洁系统的旋涂机， 以解决上述背景技 术中提出的问题。 0004。

7、 为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 一种自带基板清洁系统的旋涂 机， 包括底板和基板， 所述底板的上侧壁左侧固定安装有真空泵， 且真空泵通过导线连接到 外接电源， 所述真空泵的上侧壁固定安装有基板托盘， 且基板放置在基板托盘的上侧壁， 所 述底板的上侧壁右侧固定安装有矩形块和伸缩电缸， 且伸缩电缸通过导线连接到外接电 源， 所述矩形块的上侧壁滑动装配有活动杆， 且活动杆固定装配于伸缩电缸的输出端， 所述 活动杆的上侧壁固定安装有固定管， 所述固定管的右端固定连通有进气管， 所述固定管的 左端下侧固定连通有连接管， 所述连接管的下侧壁出气口。 0005 优选的， 所述基板托盘的上侧。

8、壁开设有通孔， 所述基板托盘的上侧壁均匀固定安 装有环形气道和直线气道， 且环形气道与直线气道相互连通。 0006 优选的， 所述矩形块的上侧壁开设有矩形槽， 所述矩形槽的内侧壁上侧左右对称 固定安装有限位板， 且活动杆贯穿两个所述限位板， 所述活动杆的下端固定安装有活动块， 且活动块插接于矩形槽内， 所述伸缩电缸的输出端固定安装于活动块的后侧壁。 0007 优选的， 所述活动杆的左侧壁与固定管的下侧壁之间固定安装有辅助支撑板。 0008 与现有技术相比， 本实用新型的有益效果是： 本实用新型在对基板旋涂胶体前， 先 控制基板旋转， 在出气口处喷出氮气， 同时控制伸缩电缸带动活动杆处做前后循环。

9、往复运 动， 以清除整张基板表面异物， 达到清洁基板的作用， 从而在后续旋涂胶体过程中， 提高成 膜均匀性， 大大降低缺陷数量， 提升产品良率。 附图说明 0009 图1为本实用新型的主视剖视图。 0010 图2为本实用新型的俯视图。 说明书 1/2 页 3 CN 211436848 U 3 0011 图3为本实用新型基板托盘的俯视图。 0012 图中： 1、 底板， 2、 真空泵， 3、 基板托盘， 4、 基板， 5、 矩形块， 6、 活动杆， 7、 固定管， 8、 进气管， 9、 连接管， 10、 出气口， 11、 通孔， 12、 环形气道， 13、 直线气道， 14、 伸缩电缸， 15、。

10、 矩形 槽， 16、 限位板， 17、 活动块， 18、 辅助支撑板。 具体实施方式 0013 下面将结合本实用新型实施例中的附图， 对本实用新型实施例中的技术方案进行 清楚、 完整地描述， 显然， 所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例， 而不是全部的 实施例。 基于本实用新型中的实施例， 本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下 所获得的所有其他实施例， 都属于本实用新型保护的范围。 0014 请参阅图1、 图2和图3， 本实用新型提供一种技术方案： 一种自带基板清洁系统的 旋涂机， 包括底板1和基板4， 底板1的上侧壁后侧安装有控制结构， 用于控制真空泵2和伸缩 电缸14的运行，。

11、 底板1的上侧壁左侧固定安装有真空泵2， 且真空泵2通过导线连接到外接电 源， 真空泵2的上侧壁固定安装有基板托盘3， 且基板4放置在基板托盘3的上侧壁， 利用真空 泵2将基板4固定在基板托盘3上， 底板1的上侧壁右侧固定安装有矩形块5和伸缩电缸14， 利 用伸缩电缸14实现对活动杆6处移动的控制， 且伸缩电缸14通过导线连接到外接电源， 矩形 块5的上侧壁滑动装配有活动杆6， 活动杆6能够在矩形块5上前后移动， 且活动杆6固定装配 于伸缩电缸14的输出端， 在伸缩电缸14的作用下令活动杆6能够发生前后方向的往复运动， 活动杆6的上侧壁固定安装有固定管7， 固定管7的右端固定连通有进气管8， 。

12、进气管8处进入 的是氮气， 固定管7的左端下侧固定连通有连接管9， 连接管9的下侧壁出气口10， 气体最终 从出气口10处流出， 对基板4表面进行清理， 出气口10为扁平状， 令吹出的气体能够更有效 的对整个基板4表面进行清理。 0015 具体而言， 基板托盘3的上侧壁开设有通孔11， 基板托盘3的上侧壁均匀固定安装 有环形气道12和直线气道13， 且环形气道12与直线气道13相互连通， 能够令真空泵2处对基 板4产生的吸力更加均匀， 实现更好的对基板4的固定。 0016 具体而言， 矩形块5的上侧壁开设有矩形槽15， 矩形槽15的内侧壁上侧左右对称固 定安装有限位板16， 且活动杆6贯穿两个。

13、限位板16， 活动杆6的下端固定安装有活动块17， 且 活动块17插接于矩形槽15内， 伸缩电缸14的输出端固定安装于活动块17的后侧壁， 对活动 块17及活动杆6的往复移动范围进行限定。 0017 具体而言， 活动杆6的左侧壁与固定管7的下侧壁之间固定安装有辅助支撑板18， 起到对固定管7的辅助支撑， 增加强度。 0018 工作原理： 此自带基板清洁系统的旋涂机， 先将基板4置于基板托盘3上， 并通过真 空泵2实现对基板4的固定， 之后启动伸缩电缸14带动活动杆6处进行前后方向的反复运动， 进而带动固定管7、 连接管9和出气口10处进行前后方向的反复运动， 同时通入氮气， 从出气 口吹出氮气。

14、， 即可实现对基板4表面的清洁， 结束后， 将活动杆6处结构移动至最后侧位置， 之后即可进行旋涂工作。 0019 尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例， 对于本领域的普通技术人员而言， 可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、 修 改、 替换和变型， 本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。 说明书 2/2 页 4 CN 211436848 U 4 图1 说明书附图 1/3 页 5 CN 211436848 U 5 图2 说明书附图 2/3 页 6 CN 211436848 U 6 图3 说明书附图 3/3 页 7 CN 211436848 U 7 。