光刻版清洁装置.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201922388222.6 (22)申请日 2019.12.26 (73)专利权人 福建兆元光电有限公司 地址 350109 福建省福州市闽侯县南屿镇 生物医药和机电产业园区 (72)发明人 金宁城 (74)专利代理机构 福州市博深专利事务所(普 通合伙) 35214 代理人 柯玉珊 (51)Int.Cl. B08B 1/00(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种光刻版清洁装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种光刻版清洁装置, 。

2、包 括L型板和阻挡板, L型板包括垂直连接的竖向部 和横向部, 阻挡板位于横向部上远离竖向部的一 侧上, 竖向部的顶面设置有第一固定装置, 阻挡 板面向L型板的侧壁上与横向部水平的阻挡位置 上设置有第二固定装置, 竖向部的顶面与阻挡板 的阻挡位置之间的距离等于待清洁光刻版的长 度; 本实用新型能固定住光刻版, 以有效的清洁 光刻版, 且能避免操作人员因受力不稳而接触到 待清洗光刻版上的图形区的情况; 同时, 待清洗 光刻版为架空放置, 避免除棉签以外的其他物体 接触到待清洗光刻版上的图形区, 从而实现对待 清洗光刻版的有效清洁, 且能有效保护光刻版, 使其避免二次沾污或刮伤。 权利要求书1页 。

3、说明书4页 附图3页 CN 211463998 U 2020.09.11 CN 211463998 U 1.一种光刻版清洁装置, 其特征在于: 包括L型板和阻挡板, 所述L型板包括垂直连接的 竖向部和横向部, 所述阻挡板位于所述横向部上远离所述竖向部的一侧上; 所述竖向部的顶面设置有第一固定装置, 所述阻挡板面向所述L型板的侧壁上与所述 横向部水平的阻挡位置上设置有第二固定装置, 所述竖向部的顶面与所述阻挡板的阻挡位 置之间的距离等于待清洁光刻版的长度。 2.根据权利要求1所述的一种光刻版清洁装置, 其特征在于: 所述第一固定装置包括倒 钩部, 所述竖向部的顶面的两端各设置有一个所述倒钩部; 。

4、所述倒钩部与所述竖向部的顶面之间的间隙大于所述待清洁光刻版的厚度, 所述竖向 部的顶面长度大于待清洁光刻版的宽度。 3.根据权利要求2所述的一种光刻版清洁装置, 其特征在于: 所述倒钩部上面向所述竖 向部的顶面的侧面为弧形面。 4.根据权利要求1所述的一种光刻版清洁装置, 其特征在于: 所述竖向部的顶面包括斜 向面和支撑部, 所述支撑部位于所述斜向面上远离所述阻挡板的一侧, 所述斜向面向着所 述阻挡板的阻挡位置的方向倾斜。 5.根据权利要求4所述的一种光刻版清洁装置, 其特征在于: 所述斜向面的倾斜角度等 于所述竖向部的顶面与所述阻挡板的阻挡位置之间的夹角。 6.根据权利要求4所述的一种光刻版。

5、清洁装置, 其特征在于: 所述支撑部与所述斜向面 形成一个开口大于所述待清洁光刻版的厚度的第一横向卡槽。 7.根据权利要求1所述的一种光刻版清洁装置, 其特征在于: 所述第二固定装置为设置 在所述阻挡板的阻挡位置上的第二横向卡槽。 8.根据权利要求1至7任一所述的一种光刻版清洁装置, 其特征在于: 所述第一固定装 置与所述第二固定装置在与所述待清洁光刻版的接触处均设置有弧形过渡。 权利要求书 1/1 页 2 CN 211463998 U 2 一种光刻版清洁装置 技术领域 0001 本实用新型涉及LED生产技术领域, 特别涉及一种光刻版清洁装置。 背景技术 0002 生产LED的光刻版经过洗版液。

6、清洗后仍然存在颗粒等沾污, 在这种情况下, 需要人 工对光刻版进行再次清洁。 人工清洁的做法通常是, 用手固定住光刻版, 然后使用蘸了酒精 的棉签去擦拭掉沾污, 由于在擦拭过程中, 固定的手会因为受力不稳而接触到光刻版图形 区域, 造成光刻版的二次沾污或刮伤, 从而降低光刻版使用寿命。 实用新型内容 0003 本实用新型所要解决的技术问题是: 提供一种光刻版清洁装置, 有效的清洁光刻 版, 且能避免对光刻版的二次伤害。 0004 为了解决上述技术问题, 本实用新型采用的技术方案为: 0005 一种光刻版清洁装置, 包括L型板和阻挡板, 所述L型板包括垂直连接的竖向部和 横向部, 所述阻挡板位于。

7、所述横向部上远离所述竖向部的一侧上; 0006 所述竖向部的顶面设置有第一固定装置, 所述阻挡板面向所述L型板的侧壁上与 所述横向部水平的阻挡位置上设置有第二固定装置, 所述竖向部的顶面与所述阻挡板的阻 挡位置之间的距离等于待清洁光刻版的长度。 0007 进一步地, 所述第一固定装置包括倒钩部, 所述竖向部的顶面的两端各设置有一 个所述倒钩部; 0008 所述倒钩部与所述竖向部的顶面之间的间隙大于所述待清洁光刻版的厚度, 所述 竖向部的顶面长度大于待清洁光刻版的宽度。 0009 进一步地, 所述倒钩部上面向所述竖向部的顶面的侧面为弧形面。 0010 进一步地, 所述竖向部的顶面包括斜向面和支撑。

8、部, 所述支撑部位于所述斜向面 上远离所述阻挡板的一侧, 所述斜向面向着所述阻挡板的阻挡位置的方向倾斜。 0011 进一步地, 所述斜向面的倾斜角度等于所述竖向部的顶面与所述阻挡板的阻挡位 置之间的夹角。 0012 进一步地, 所述支撑部与所述斜向面形成一个开口大于所述待清洁光刻版的厚度 的第一横向卡槽。 0013 进一步地, 所述第二固定装置为设置在所述阻挡板的阻挡位置上的第二横向卡 槽。 0014 进一步地, 所述第一固定装置与所述第二固定装置在与所述待清洁光刻版的接触 处均设置有弧形过渡。 0015 本实用新型的有益效果在于: 一种光刻版清洁装置, 将待清洗光刻版的一端放置 在竖向部的顶。

9、面上, 另一端抵触于阻挡板的阻挡位置上, 通过两侧的固定装置固定住待清 洗光刻版, 从而在擦拭光刻版时起固定作用, 以有效的清洁光刻版, 且能避免操作人员因受 说明书 1/4 页 3 CN 211463998 U 3 力不稳而接触到待清洗光刻版上的图形区的情况; 同时, 待清洗光刻版为架空放置, 避免除 棉签以外的其他物体接触到待清洗光刻版上的图形区, 从而实现对待清洗光刻版的有效清 洁, 且能有效保护光刻版, 使其避免二次沾污或刮伤。 附图说明 0016 图1为本实用新型实施例的一种光刻版清洁装置与待清洁光刻版的配合示意图; 0017 图2为图1的正视图; 0018 图3为本实用新型实施例的。

10、一种光刻版清洁装置的结构示意图; 0019 图4为图3的截面示意图; 0020 图5为图4中A区域的放大示意图。 0021 标号说明: 0022 100、 待清洁光刻版; 1、 L型板; 2、 阻挡板; 11、 竖向部; 12、 横向部; 13、 倒钩部; 21、 第 二横向卡槽; 111、 斜向面; 112、 支撑部; 113、 第一横向卡槽; 131、 弧形面。 具体实施方式 0023 为详细说明本实用新型的技术内容、 所实现目的及效果, 以下结合实施方式并配 合附图予以说明。 0024 请参照图1至图5, 一种光刻版清洁装置, 包括L型板和阻挡板, 所述L型板包括垂直 连接的竖向部和横向。

11、部, 所述阻挡板位于所述横向部上远离所述竖向部的一侧上; 0025 所述竖向部的顶面设置有第一固定装置, 所述阻挡板面向所述L型板的侧壁上与 所述横向部水平的阻挡位置上设置有第二固定装置, 所述竖向部的顶面与所述阻挡板的阻 挡位置之间的距离等于待清洁光刻版的长度。 0026 从上述描述可知, 将待清洗光刻版的一端放置在竖向部的顶面上, 另一端抵触于 阻挡板的阻挡位置上, 通过两侧的固定装置固定住待清洗光刻版, 从而在擦拭光刻版时起 固定作用, 以有效的清洁光刻版, 且能避免操作人员因受力不稳而接触到待清洗光刻版上 的图形区的情况; 同时, 待清洗光刻版为架空放置, 避免除棉签以外的其他物体接触。

12、到待清 洗光刻版上的图形区, 从而实现对待清洗光刻版的有效清洁, 且能有效保护光刻版, 使其避 免二次沾污或刮伤。 0027 进一步地, 所述第一固定装置包括倒钩部, 所述竖向部的顶面的两端各设置有一 个所述倒钩部; 0028 所述倒钩部与所述竖向部的顶面之间的间隙大于所述待清洁光刻版的厚度, 所述 竖向部的顶面长度大于待清洁光刻版的宽度。 0029 从上述描述可知, 在使用时, 待清洁光刻版放置在竖向部的顶面上, 然后向着任意 一端移动, 直到待清洁光刻版卡入倒钩部内, 未在倒钩部的另一端通过手指轻压以固定住 待清洁光刻版。 0030 进一步地, 所述倒钩部上面向所述竖向部的顶面的侧面为弧形。

13、面。 0031 从上述描述可知, 在使用时, 待清洁光刻版放置在竖向部的顶面上, 然后向着任意 一端移动, 直到待清洁光刻版卡入倒钩部内, 未在倒钩部的另一侧通过手指轻压以固定住 待清洁光刻版。 说明书 2/4 页 4 CN 211463998 U 4 0032 进一步地, 所述竖向部的顶面包括斜向面和支撑部, 所述支撑部位于所述斜向面 上远离所述阻挡板的一侧, 所述斜向面向着所述阻挡板的阻挡位置的方向倾斜。 0033 从上述描述可知, 若是平面, 倾斜放置的待清洁光刻版与竖向部的顶面为线接触, 在对待清洁光刻版进行清洗擦拭的过程中, 线接触的地方由于压力较大, 容易出现损伤; 通 过斜向面来。

14、贴合待清洁光刻版的放置状态, 使得待清洁光刻版与竖向部的顶面为面接触, 从而减小接触处的压力, 避免对待清洁光刻版造成二次伤害。 0034 进一步地, 所述斜向面的倾斜角度等于所述竖向部的顶面与所述阻挡板的阻挡位 置之间的夹角。 0035 从上述描述可知, 通过斜向面来完全贴合待清洁光刻版, 从而最大程度上避免对 待清洁光刻版造成二次伤害。 0036 进一步地, 所述支撑部与所述斜向面形成一个开口大于所述待清洁光刻版的厚度 的第一横向卡槽。 0037 从上述描述可知, 第一横向卡槽起到辅助固定的作用, 以更好的固定住待清洁光 刻版。 0038 进一步地, 所述第二固定装置为设置在所述阻挡板的阻。

15、挡位置上的第二横向卡 槽。 0039 从上述描述可知, 待清洗光刻版的一端滑入第二横向卡槽, 起到固定待清洗光刻 版的作用。 0040 进一步地, 所述第一固定装置与所述第二固定装置在与所述待清洁光刻版的接触 处均设置有弧形过渡。 0041 从上述描述可知, 弧形过渡能避免对待清洁光刻版造成二次损伤。 0042 请参照图1至图5, 本实用新型的实施例一为: 0043 一种光刻版清洁装置, 包括L型板1和阻挡板2, 如图3所示, L型板1包括垂直连接的 竖向部11和横向部12, 阻挡板2位于横向部12上远离竖向部11的一侧上。 0044 在本实施例中, 如图3所示, 竖向部11的顶面的包括斜向面。

16、111、 支撑部112以及设 置在两端的倒钩部13, 支撑部112位于斜向面111上远离阻挡板2的一侧, 斜向面111向着阻 挡板2的阻挡位置的方向倾斜。 如图5所示, 斜向面111的倾斜角度等于竖向部11的顶面与阻 挡板2的阻挡位置之间的夹角, 支撑部112与斜向面111形成一个开口大于待清洁光刻版100 的厚度的第一横向卡槽113, 以卡持待清洁光刻版100的一侧, 第一横向卡槽113用于卡持待 清洁光刻版100的一面均采用弧形面131进行衔接。 0045 如图5所示, 倒钩部13与竖向部11的顶面之间的间隙大于待清洁光刻版100的厚 度, 以使得待清洁光刻版100能卡入倒钩部13与竖向部。

17、11的顶面之间的间隙; 竖向部11的顶 面长度大于待清洁光刻版100的宽度, 以使得待清洁光刻版100放置在顶面上后向一侧的倒 钩部13移动; 倒钩部13上面向竖向部11的顶面的侧面为弧形面131, 以避免与待清洁光刻版 100接触后对待清洁光刻版100的二次损伤。 0046 如图5所示, 阻挡板2面向L型板1的侧壁上与横向部12水平的阻挡位置上设置有第 二横向卡槽21, 竖向部11的顶面与阻挡板2的阻挡位置之间的距离等于待清洁光刻版100的 长度, 第二横向卡槽21用于卡持待清洁光刻版100的一面均采用弧形面131进行衔接。 0047 如图1所示, 待清洁光刻版100的一侧与阻挡板2接触, 。

18、并卡入第二横向卡槽21内, 说明书 3/4 页 5 CN 211463998 U 5 另一侧完全贴合于斜向面111上, 且被卡入第一横向卡槽113内, 同时, 待清洁光刻版100的 另一侧的其中一端位于倒钩部13内, 在使用时, 未在倒钩部13的另一端通过手指轻压以固 定住待清洁光刻版100, 从而固定住待清洁光刻版100, 使其在清洗擦拭过程中不会滑动且 不会受到二次损伤。 0048 综上所述, 本实用新型提供的一种光刻版清洁装置, 将待清洗光刻版的一端放置 在竖向部的顶面上, 由倒钩部和第一横向卡槽对其进行固定, 另一端抵触于阻挡板的阻挡 位置上, 由第二横向卡槽对其进行固定, 从而在擦拭。

19、光刻版时起固定作用, 以有效的清洁光 刻版, 且能避免操作人员因受力不稳而接触到待清洗光刻版上的图形区的情况; 同时, 待清 洗光刻版为架空放置, 避免除棉签以外的其他物体接触到待清洗光刻版上的图形区, 从而 实现对待清洗光刻版的有效清洁, 且能有效保护光刻版, 使其避免二次沾污或刮伤; 另外, 采用完全贴合的斜向面并在有接触的地方均设置有弧形面, 从而避免装置对待清洗光刻版 的二次损伤。 0049 以上所述仅为本实用新型的实施例, 并非因此限制本实用新型的专利范围, 凡是 利用本实用新型说明书及附图内容所作的等同变换, 或直接或间接运用在相关的技术领 域, 均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。 说明书 4/4 页 6 CN 211463998 U 6 图1 图2 说明书附图 1/3 页 7 CN 211463998 U 7 图3 图4 说明书附图 2/3 页 8 CN 211463998 U 8 图5 说明书附图 3/3 页 9 CN 211463998 U 9 。

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