芯片级传感器封装结构.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910146156.3 (22)申请日 2019.02.27 (71)申请人 胜丽国际股份有限公司 地址 中国台湾新竹县 (72)发明人 洪立群李建成杜修文 (74)专利代理机构 北京律和信知识产权代理事 务所(普通合伙) 11446 代理人 冷文燕武玉琴 (51)Int.Cl. H01L 23/31(2006.01) H01L 23/488(2006.01) H01L 23/482(2006.01) H01L 21/60(2006.01) G01D 11/26(2006.。

2、01) G01D 18/00(2006.01) G01N 17/00(2006.01) (54)发明名称 芯片级传感器封装结构 (57)摘要 本发明公开一种芯片级传感器封装结构， 包 含感测芯片、 设置于感测芯片顶面的环形支撑 体、 设置于环形支撑体上的透光件、 封装体、 及重 置线路层。 所述透光件、 环形支撑体、 及感测芯片 共同包围形成有封闭空间。 封装体包围感测芯片 外侧缘、 环形支撑体外侧缘、 及透光件外侧缘， 并 且感测芯片的底面与透光件的一表面裸露于封 装体之外。 重置线路层直接成形于感测芯片的底 面与封装体的底缘。 重置线路层的底面形成有电 性耦接于感测芯片的多个外接点。 多个。

3、外接点中 的部分位于感测芯片朝向重置线路层底面正投 影所形成的投影区域的外侧。 据此， 通过结构上 的改良， 以使透光件的外侧缘被封装体所包覆， 而提升结合强度， 以避免在温度循环可靠度测试 中引起脱层现象。 权利要求书1页 说明书5页 附图6页 CN 111627866 A 2020.09.04 CN 111627866 A 1.一种芯片级传感器封装结构， 其特征在于， 所述芯片级传感器封装结构包括： 一感测芯片， 包含有位于所述感测芯片的顶面的一感测区、 位于所述感测芯片的底面 的多个内接点、 及自所述感测芯片的所述顶面贯穿到所述感测芯片的所述底面的多条导 线， 多个所述导线分别连接多个所。

4、述内接点并电性耦接于所述感测区； 一环形支撑体， 设置于所述感测芯片的所述顶面、 且位于所述感测区的外侧； 一透光件， 包含有位于相反两侧的一第一表面与一第二表面， 所述透光件的所述第二 表面设置于所述环形支撑体上， 以使所述透光件、 所述环形支撑体、 及所述感测芯片共同包 围形成有一封闭空间； 一封装体， 包围所述感测芯片的外侧缘、 所述环形支撑体的外侧缘、 及所述透光件的外 侧缘； 其中， 所述感测芯片的所述底面与所述透光件的所述第一表面裸露于所述封装体之 外； 以及 一重置线路层， 直接成形于所述感测芯片的所述底面与所述封装体的底缘， 并且所述 重置线路层的底面形成有电性耦接于多个所述内。

5、接点的多个外接点； 其中， 多个所述外接 点中的部分位于多个所述内接点朝向所述重置线路层的所述底面正投影所形成的一投影 区域的外侧。 2.依据权利要求1所述的芯片级传感器封装结构， 其特征在于， 所述感测芯片的所述底 面与所述封装体的所述底缘共平面。 3.依据权利要求1所述的芯片级传感器封装结构， 其特征在于， 所述透光件的所述第一 表面与所述封装体的顶缘共平面。 4.依据权利要求1所述的芯片级传感器封装结构， 其特征在于， 所述封装体包含有一液 态封装体及一模制封装体， 所述液态封装体包围所述感测芯片的所述外侧缘、 所述环形支 撑体的所述外侧缘、 及所述透光件的所述外侧缘， 并且所述感测芯片。

6、的所述底面与所述液 态封装体的底缘共平面； 所述模制封装体形成于所述液态封装体的顶缘。 5.依据权利要求1所述的芯片级传感器封装结构， 其特征在于， 所述感测芯片的所述顶 面、 所述环形支撑体的所述外侧缘、 及所述透光件的所述第二表面共同包围形成有一环形 凹槽， 并且所述封装体充填于所述环形凹槽内。 6.依据权利要求5所述的芯片级传感器封装结构， 其特征在于， 所述透光件朝所述感测 芯片的所述顶面正投影所形成的一投影区域， 其位于所述感测芯片的所述外侧缘的内侧。 7.依据权利要求1所述的芯片级传感器封装结构， 其特征在于， 所述感测芯片的所述外 侧缘、 所述环形支撑体的所述外侧缘、 及所述透光。

7、件的所述外侧缘呈共平面设置。 8.依据权利要求1所述的芯片级传感器封装结构， 其特征在于， 所述封装体的外侧缘与 所述重置线路层的外侧缘共平面。 9.依据权利要求1所述的芯片级传感器封装结构， 其特征在于， 所述透光件包含有一板 状部、 呈环形的一支撑部、 及接合所述板状部与所述支撑部的一接合层； 其中， 远离所述支 撑部的所述板状部的表面定义为所述第一表面， 远离所述板状部的所述支撑部的表面定义 为所述第二表面。 10.依据权利要求9所述的芯片级传感器封装结构， 其特征在于， 所述接合层为一玻璃 胶层、 一环氧树脂层、 或一熔接层。 权利要求书 1/1 页 2 CN 111627866 A 。

8、2 芯片级传感器封装结构 技术领域 0001 本发明涉及一种封装结构， 尤其涉及一种芯片级传感器封装结构。 背景技术 0002 现有芯片级传感器封装结构中的透光件(如： 光学玻璃)是仅以其底缘通过一胶层 进行黏着固定， 并且透光件的尺寸大致等同于现有芯片级传感器封装结构的尺寸， 所以当 现有芯片级传感器封装结构在进行温度循环可靠度测试(temperature cycle test， TCT) 时， 所述透光件与胶层之间易产生脱层(delamination)现象， 因而无法通过测试。 0003 于是， 本发明人认为上述缺陷可改善， 乃特潜心研究并配合科学原理的运用， 终于 提出一种设计合理且有效。

9、改善上述缺陷的本发明。 发明内容 0004 本发明实施例在于提供一种芯片级传感器封装结构， 其能有效地避免现有芯片级 传感器封装结构中可能出现的缺陷。 0005 本发明实施例公开一种芯片级传感器封装结构， 包括： 一感测芯片， 包含有位于所 述感测芯片顶面的一感测区、 位于所述感测芯片的底面的多个内接点、 及自所述感测芯片 的所述顶面贯穿到所述感测芯片的所述底面的多条导线， 多个所述导线分别连接多个所述 内接点并电性耦接于所述感测区； 一环形支撑体， 设置于所述感测芯片的所述顶面、 且位于 所述感测区的外侧； 一透光件， 包含有位于相反两侧的一第一表面与一第二表面， 所述透光 件的所述第二表面。

10、设置于所述环形支撑体上， 以使所述透光件、 所述环形支撑体、 及所述感 测芯片共同包围形成有一封闭空间； 一封装体， 包围所述感测芯片的外侧缘、 所述环形支撑 体的外侧缘、 及所述透光件的外侧缘； 其中， 所述感测芯片的所述底面与所述透光件的所述 第一表面裸露于所述封装体之外； 一重置线路层， 直接成形于所述感测芯片的所述底面与 所述封装体的底缘， 并且所述重置线路层的底面形成有电性耦接于多个所述内接点的多个 外接点； 其中， 多个所述外接点中的部分位于多个所述内接点朝向所述重置线路层的所述 底面正投影所形成的一投影区域的外侧。 0006 优选地， 所述感测芯片的所述底面与所述封装体的所述底缘。

11、共平面。 0007 优选地， 所述透光件的所述第一表面与所述封装体的顶缘共平面。 0008 优选地， 所述封装体包含有一液态封装体及一模制封装体， 所述液态封装体包围 所述感测芯片的所述外侧缘、 所述环形支撑体的所述外侧缘、 及所述透光件的所述外侧缘， 并且所述感测芯片的所述底面与所述液态封装体的底缘共平面； 所述模制封装体形成于所 述液态封装体的顶缘。 0009 优选地， 所述感测芯片的所述顶面、 所述环形支撑体的所述外侧缘、 及所述透光件 的所述第二表面共同包围形成有一环形凹槽， 并且所述封装体充填于所述环形凹槽内。 0010 优选地， 所述透光件朝所述感测芯片的所述顶面正投影所形成的一投。

12、影区域， 其 位于所述感测芯片的所述外侧缘的内侧。 说明书 1/5 页 3 CN 111627866 A 3 0011 优选地， 所述感测芯片的所述外侧缘、 所述环形支撑体的所述外侧缘、 及所述透光 件的所述外侧缘呈共平面设置。 0012 优选地， 所述封装体的外侧缘与所述重置线路层的外侧缘共平面。 0013 优选地， 所述透光件包含有一板状部、 呈环形的一支撑部、 及接合所述板状部与所 述支撑部的一接合层； 其中， 远离所述支撑部的所述板状部表面定义为所述第一表面， 远离 所述板状部的所述支撑部表面定义为所述第二表面。 0014 优选地， 所述接合层为一玻璃胶层、 一环氧树脂层、 或一熔接层。

13、。 0015 综上所述， 本发明实施例所公开的芯片级传感器封装结构， 其通过结构上的改良 (如： 所述感测芯片底面与所述封装体底缘上直接形成有所述重置线路层)， 以使所述透光 件的外侧缘能够被封装体所包覆， 进而提升所述透光件于芯片级传感器封装结构内的结合 强度， 借以避免所述芯片级传感器封装结构在温度循环可靠度测试中引起透光件的脱层现 象。 0016 为能更进一步了解本发明的特征及技术内容， 请参阅以下有关本发明的详细说明 与附图， 但是此等说明与附图仅用来说明本发明， 而非对本发明的保护范围作任何的限制。 附图说明 0017 图1为本发明实施例一的芯片级传感器封装结构的剖视示意图。 001。

14、8 图2为本发明实施例一的芯片级传感器封装结构的制造方法的步骤S110的示意 图。 0019 图3为本发明实施例一的芯片级传感器封装结构的制造方法的步骤S130的示意 图。 0020 图4为本发明实施例一的芯片级传感器封装结构的制造方法的步骤S150的示意 图。 0021 图5为本发明实施例一的芯片级传感器封装结构的制造方法的步骤S170的示意 图。 0022 图6为本发明实施例二的芯片级传感器封装结构的剖视示意图。 具体实施方式 0023 请参阅图1至图6， 其为本发明的实施例， 需先说明的是， 本实施例对应附图所提及 的相关数量与外型， 仅用来具体地说明本发明的实施方式， 以便于了解本发明。

15、的内容， 而非 用来局限本发明的保护范围。 0024 实施例一 0025 如图1至图5所示， 其为本发明的实施例一。 本实施例公开一种芯片级传感器封装 结构100； 也就是说， 任何传感器封装结构的尺寸未达芯片级， 其结构设计基础不同于本实 施例所指的芯片级传感器封装结构100， 故两者之间并无比较基础存在。 0026 所述芯片级传感器封装结构100包含一感测芯片1、 设置于所述感测芯片1上的一 环形支撑体2、 设置于所述环形支撑体2上的一透光件3、 围绕在上述组件外围的一封装体4、 成形于所述封装体4与所述感测芯片1下缘的一重置线路层5、 及设置于所述重置线路层5外 表面的多个焊接球6。 说。

16、明书 2/5 页 4 CN 111627866 A 4 0027 需先阐明的是， 为便于说明本实施例芯片级传感器封装结构100， 图式是以剖视图 呈现， 但可以理解的是， 在图式所未呈现的芯片级传感器封装结构100部位也会形成有相对 应的构造。 例如： 图1仅呈现一排焊接球6， 但在图1所未呈现的芯片级传感器封装结构100部 位还包含其他焊接球6。 以下将分别就本实施例芯片级传感器封装结构100的各个组件构造 与连接关系作一说明。 0028 如图1所示， 所述感测芯片1于本实施例中是以一影像感测芯片来说明， 但不以此 为限。 其中， 所述感测芯片1(的外表面)包含有位于相反两侧的一顶面11及一。

17、底面12、 及相 连于所述顶面11与底面12边缘的一外侧缘13。 其中， 所述感测芯片1于其顶面11的大致中央 处设有一感测区111、 并于底面12设置有多个内接点121。 所述感测芯片1还包含有自其顶面 11贯穿到其底面12的多条导线14， 多个所述导线14分别连接多个所述内接点121并电性耦 接于所述感测区111。 0029 所述环形支撑体2设置于所述感测芯片1的顶面11、 且位于(或围绕于)所述感测区 111的外侧。 其中， 本实施例的环形支撑体2例如是一胶材， 并且沿着图1中的水平方向来看， 所述环形支撑体2的外径小于所述感测芯片1的外径； 也就是说， 环形支撑体2的一外侧缘21 是与。

18、所述感测芯片1的外侧缘13间隔有一距离， 但本发明不受限于此。 0030 所述透光件3包含有位于相反两侧的一第一表面31与一第二表面32、 及相连于所 述第一表面31与第二表面32边缘的一外侧缘33。 其中， 所述透光件3的第二表面32设置于所 述环形支撑体2上(也就是说， 所述环形支撑体2夹持于所述感测芯片1的顶面11以及所述透 光片3的第二表面32之间)， 以使所述透光件3、 所述环形支撑体2、 及所述感测芯片1共同包 围形成有一封闭空间E。 0031 于本实施例中， 所述透光片3是以呈透明状的一平板玻璃来说明， 并且沿着图1中 的水平方向来看， 所述透光片3的外径是小于所述感测芯片1的外。

19、径； 也就是说， 所述透光件 3朝所述感测芯片1的顶面11正投影所形成的一投影区域， 其位于所述感测芯片1的外侧缘 13的内侧， 但本发明不受限于此。 再者， 沿着图1中的水平方向来看， 所述透光件3的外径大 于所述环形支撑体2的外径， 据以使所述感测芯片1的顶面11、 所述环形支撑体2的外侧缘 21、 及所述透光件3的第二表面32共同包围形成有一环形凹槽G。 0032 然而， 在本发明未绘示的其他实施例中， 所述透光片3的外径也可以是等于或大于 所述感测芯片1的外径， 并且所述环形支撑体2的外径可以是等于所述感测芯片1的外径。 或 者， 所述感测芯片1的外侧缘13、 所述环形支撑体2的外侧缘。

20、21、 及所述透光件3的外侧缘33 呈共平面设置。 0033 所述封装体4呈环状且包围所述感测芯片1的外侧缘13、 所述环形支撑体2的外侧 缘21、 及所述透光件3的外侧缘33， 并且所述封装体4充填于所述环形凹槽G内。 其中， 所述感 测芯片1的底面12与所述透光件3的第一表面31裸露于所述封装体4之外， 所述感测芯片1的 底面12于本实施例中是与所述封装体4的一底缘41共平面。 0034 更详细地说， 所述封装体4包含有一液态封装体4a及一模制封装体4b， 所述液态封 装体4a包围所述感测芯片1的外侧缘13、 所述环形支撑体2的外侧缘21、 及所述透光件3的外 侧缘33。 其中， 所述感测。

21、芯片1的底面12与所述液态封装体4a的底缘共平面， 而所述模制封 装体4b形成于所述液态封装体4a的顶缘， 并且所述液态封装体4a的外侧缘切齐于所述模制 封装体4b的外侧缘。 说明书 3/5 页 5 CN 111627866 A 5 0035 然而， 在本发明未绘示的其他实施例中， 所述封装体4可以仅为液态封装体4a(也 就是， 图1中的封装体4省略模制封装体4b)； 或者， 所述封装体4也可以仅为模制封装体4b， 并且所述封装体4的一顶缘42是与所述透光件3的第一表面31共平面。 0036 所述重置线路层5直接成形于所述感测芯片1的底面12与所述封装体4的底缘41， 并且所述封装体4的外侧缘。

22、43于本实施例中较佳是与所述重置线路层5的一外侧缘53共平 面， 但本发明不受限于此。 0037 其中， 所述重置线路层5的底面51形成有电性耦接于多个所述内接点121的多个外 接点52。 进一步地说， 所述感测芯片1的多个内接点121可以通过所述重置线路层5而形成具 有较大间距的多个外接点52。 也就是说， 所述重置线路层5相当于一种线路扇出结构 (circuit fan-out structure)。 换个角度来说， 部分外接点52是位于多个所述内接点121 朝向所述重置线路层5的底面51正投影所形成的一投影区域的外侧， 而位于所述封装体4下 方的所述重置线路层5部位较佳是设置有至少部分的。

23、多个所述外接点52， 但本发明不受限 于此。 0038 再者， 多个所述焊接球6分别设置于所述重置线路层5底面51的多个所述外接点52 上， 据以利于所述芯片级传感器封装结构100焊接固定于一电子构件(如： 电路板)上。 0039 以上为本实施例芯片级传感器封装结构100的结构说明， 为便于更清楚地理解本 实施例， 以下接着大致说明所述芯片级传感器封装结构100的制造方法， 但本实施例的芯片 级传感器封装结构100并不受限于以所述制造方法所制成。 其中， 所述芯片级传感器封装结 构100的制造方法于本实施例中包含有一前置步骤S110、 一封装步骤S130、 一倒置布线步骤 S150、 及一植球。

24、步骤S170， 以下将分别简要说明上述各个步骤S110S170。 0040 所述前置步骤S110： 如图2所示， 提供一半成品M， 其包含有所述感测芯片1、 设置于 所述感测芯片1上的所述环形支撑体2、 设置于所述环形支撑体2上的所述透光件3。 0041 所述封装步骤S130： 如图3所示， 于所述半成品M的外侧缘形成有所述封装体4， 并 使所述封装体4的底缘41共平面于所述半成品M的感测芯片1底面12。 0042 所述倒置布线步骤S150： 如图4所示， 倒置所述半成品M及形成于其外侧的所述封 装体4， 并于共平面的所述封装体4底缘41与所述感测芯片1底面12上形成有所述重置线路 层5。 其。

25、中， 所述重置线路层5的多个所述外接点52分别电性耦接于多个所述内接点121。 0043 所述植球步骤S170： 如图5所示， 于所述重置线路层5的多个所述外接点52上分别 固定有多个所述焊接球6。 0044 实施例二 0045 如图6所示， 其为本发明的实施例二， 本实施例类似于上述实施例一， 所以两个实 施例的相同处(如： 所述感测芯片1、 所述重置线路层5、 及多个所述焊接球6)则不再加以赘 述， 而两个实施例的差异说明如下： 0046 于本实施例中， 所述感测芯片1的外侧缘13、 所述环形支撑体2的外侧缘21、 及所述 透光件3的外侧缘33呈共平面设置， 并且所述封装体4仅为模制封装体。

26、， 并且封装体4的顶缘 与所述透光件3的第一表面31共平面。 0047 更详细地说， 所述透光件3为呈透明状的玻璃、 并包含有一板状部3a、 呈环形的一 支撑部3b、 及接合所述板状部3a与所述支撑部3b的一接合层3c。 其中， 远离所述支撑部3b的 板状部3a表面(如： 图6中的板状部3a顶面)定义为所述第一表面31， 远离所述板状部3a的所 说明书 4/5 页 6 CN 111627866 A 6 述支撑部3b表面(如： 图6中的支撑部3b底面)定义为所述第二表面32。 其中， 所述支撑部3b 的外形大致对应于所述环形支撑体2的外形， 而接合层3c为一玻璃胶层、 一环氧树脂层、 或 一熔接。

27、层。 0048 此外， 在本发明未绘示的其他实施例中， 所述透光件3也可以省略所述接合层3c； 也就是说， 所述透光件3的板状部3a与支撑部3b也可以是一体成形的单件式构造。 0049 本发明实施例的技术效果 0050 综上所述， 本发明实施例所公开的芯片级传感器封装结构， 其通过结构上的改良 (如： 所述感测芯片底面与所述封装体底缘上直接形成有所述重置线路层)， 以使所述透光 件的外侧缘能够被封装体所包覆， 进而提升所述透光件于芯片级传感器封装结构内的结合 强度， 借以避免所述芯片级传感器封装结构在温度循环可靠度测试中产生透光件的脱层现 象。 0051 再者， 于本发明实施例所公开的芯片级传。

28、感器封装结构中， 所述感测芯片的所述 底面是与所述封装体的所述底缘共平面， 以利于所述重置线路层的成形； 所述封装体充填 于所述感测芯片、 所述环形支撑体、 及所述透光件所共同包围形成的所述环形凹槽内， 据以 进一步提升所述透光件于芯片级传感器封装结构内的结合强度。 0052 另， 于本发明实施例所公开的芯片级传感器封装结构中， 所述透光件可以由板状 部与支撑部所构成， 据以使封闭空间变大、 并且所述感测芯片的感测区与所述透光件的垂 直距离变长， 进而降低附着于板状部上的污点(blemish)对感测芯片的感测结果的影响。 0053 以上所公开的内容仅为本发明的优选可行实施例， 并非因此局限本发明的专利范 围， 所以凡是运用本发明说明书及图式内容所做的等效技术变化， 均包含于本发明的专利 范围内。 说明书 5/5 页 7 CN 111627866 A 7 图1 说明书附图 1/6 页 8 CN 111627866 A 8 图2 说明书附图 2/6 页 9 CN 111627866 A 9 图3 说明书附图 3/6 页 10 CN 111627866 A 10 图4 说明书附图 4/6 页 11 CN 111627866 A 11 图5 说明书附图 5/6 页 12 CN 111627866 A 12 图6 说明书附图 6/6 页 13 CN 111627866 A 13 。